JP2008020235A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 検査対象物を撮像して２次元の画像情報を生成する画像生成手段と、
   前記画像情報に対応した画像よりも画像サイズを縮小した縮小画像情報を前記画像情報から生成する縮小画像生成手段と、
   前記縮小画像情報を用いて前記検査対象物上の欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、
   を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
2. 前記縮小画像生成手段は、前記画像情報から第１の縮小画像情報を生成し、該第１の縮小画像情報に対応した画像よりも画像サイズを縮小した第２の縮小画像情報を前記第１の縮小画像情報から生成することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
3. 前記欠陥抽出手段は、前記縮小画像生成手段によって生成された、前記縮小画像情報と同一の画像サイズを有する参照用画像情報と前記縮小画像情報を比較し、前記検査対象物上の欠陥を抽出することを特徴とする請求項１または請求項2に記載の欠陥検査装置。
4. 前記欠陥抽出手段は、前記検査対象物上に所定の周期パターンが形成されている場合に、前記周期パターンに応じた検査領域を一単位として、前記縮小画像情報内で異なる前記検査領域の画像情報を比較し、前記検査対象物上の欠陥を抽出することを特徴とする請求項１〜請求項3のいずれかに記載の欠陥検査装置。
5. 前記縮小画像生成手段によって２以上の前記縮小画像情報が生成された場合に、前記欠陥抽出手段は、前記検査対象物上の欠陥を抽出する処理を、各々の前記縮小画像情報に対して個別に行うことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の欠陥検査装置。
6. 前記欠陥抽出手段による欠陥抽出の結果は、前記画像情報に対応した画像における欠陥の位置、面積、フェレ径、周囲長、円形度、分類結果、予め設定された検査領域に対する以降の処理の可否を示す判定結果、及び前記検査対象物に対する以降の処理の可否を示す判定結果のうち少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の欠陥検査装置。
7. 前記縮小画像生成手段は、離散ウェーブレット変換により前記縮小画像情報を生成することを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の欠陥検査装置。
8. 前記縮小画像生成手段は、前記画像情報に濃淡モフォロジー処理を実施することにより生成される画像情報の画像サイズを縮小して前記縮小画像情報を生成することを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の欠陥検査装置。
9. 前記縮小画像生成手段は、前記画像情報に対応した画像を所定のブロックに分割し、前記縮小画像情報に対応した画像の画素を前記ブロックに対応させ、該画素の輝度を、前記ブロック内の画素の輝度の平均値に基づいて決定することにより、前記縮小画像情報を生成することを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の欠陥検査装置。
10. 前記縮小画像生成手段は、前記縮小画像情報に対応した画像の画素の輝度を、該画素に対応した前記ブロック内の画素の輝度のうち、前記平均値との差が最大となる輝度に決定することを特徴とする請求項９に記載の欠陥検査装置。
11. 検査対象物を撮像して２次元の画像情報を生成するステップと、
    前記画像情報に対応した画像よりも画像サイズを縮小した縮小画像情報を前記画像情報から生成するステップと、
    前記縮小画像情報を用いて前記検査対象物上の欠陥を抽出するステップと、
    を備えたことを特徴とする欠陥検査方法。