JP2008008912A - Ic試験装置 - Google Patents
Ic試験装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008008912A JP2008008912A JP2007230448A JP2007230448A JP2008008912A JP 2008008912 A JP2008008912 A JP 2008008912A JP 2007230448 A JP2007230448 A JP 2007230448A JP 2007230448 A JP2007230448 A JP 2007230448A JP 2008008912 A JP2008008912 A JP 2008008912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- thermostatic chamber
- low
- test
- temperature thermostatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
【課題】低温恒温槽を具備したIC試験装置において、低温恒温槽の周面に結露が発生することを阻止する。
【解決手段】低温恒温槽の結露が発生する部分に密封カバーを被せるか又は低温恒温槽と高温恒温槽とを具備したIC試験装置では高温恒温槽の熱を高温恒温槽の内壁に沿って配管したチューブとエアコンプレッサ、又は高温恒温槽の上部に配した送風機によって上記低温恒温槽の外壁面に配給し、低温恒温槽の周面において結露の発生を阻止させる。
【選択図】図1
【解決手段】低温恒温槽の結露が発生する部分に密封カバーを被せるか又は低温恒温槽と高温恒温槽とを具備したIC試験装置では高温恒温槽の熱を高温恒温槽の内壁に沿って配管したチューブとエアコンプレッサ、又は高温恒温槽の上部に配した送風機によって上記低温恒温槽の外壁面に配給し、低温恒温槽の周面において結露の発生を阻止させる。
【選択図】図1
Description
この発明は被試験ICに低温度の熱ストレスを与えて試験を行なうIC試験装置に関し、特に低温恒温槽の外壁に結露が発生することを阻止する構造を提案するものである。
図6に低温恒温槽を具備したIC試験装置の一例を示す。図中TONは低温恒温槽を示す。低温恒温槽TONの内部にIC搬送装置HANDが内蔵される。IC搬送装置HANDは図6には特に詳しく示してないが、低温恒温槽TONの開閉蓋DORが付設された側に被試験ICが多数搭載されたトレイが挿入され、このトレイに搭載した被試験ICを真空吸着ヘッドで1個乃至数個ずつ吸着して低温恒温槽TONの床面に配置した低温プレート上に並べ、この低温プレート上で被試験ICに低温の熱ストレスを与える。
熱ストレスが与えられた被試験ICを再び真空吸着ヘッドに吸着し、その吸着したICを低温恒温槽TONに形成した開口部分WINに運び、開口部分WINを通じてテストヘッドTSHの上面に配置したICソケットSKにICを接触させ、ICソケットSKとケーブルKBを通じて被試験ICをメインフレームMINに電気的に接続し、被試験ICの試験を実行する。
ここでハンドラHANDでは真空吸着ヘッドをX−Y方向に移動させるための搬送手段の駆動機構として回転軸JKU等が設けられる。回転軸JKUは例えば低温恒温槽TONの壁面間に差し渡され、その端部は図7に示すようにベアリングBRとハウジングHUGと共に外部に露出される。この結果回転軸JKUの露出部分に図7に示すように結露KTUが付着する不都合が生じる。つまり、結露KTUが付着した場合、試験終了時に結露が溶け水滴となって落下するから床等を汚したり、或はテストヘッドTSHの上面に落下し、電気回路部分に水が侵入する等の事故が起きる不都合が生じる。このため従来は全ての試験が終了すると結露を強制的に手で取外し、水滴となって落下することを阻止する処置を行なわなくてはならない欠点がある。
図8に低温恒温槽TONを具備したIC試験装置の他の例を示す。この型式のIC試験装置はテストトレイTSTに例えば64個程度のICを搭載し、このテストトレイTSTを恒温槽100の内部と、外部の通路を循環させ、外部循環路上のローダ部Aで被試験ICをテストトレイTSTに積み込むと共に、被試験ICを積み込んだテストトレイTSTは低温恒温槽TON−1に導入される。低温恒温槽TON−1で被試験ICに例えば低温の熱ストレスを与え、テスト部を収容した低温恒温槽TON−2に送り込む。
テスト用の低温恒温槽TON−2内で被試験ICはテストトレイに搭載されたままテストが行なわれ、テスト終了後は高温恒温槽HONに送られ、この高温恒温槽HONで熱ストレスを除去し、被試験ICを常温に戻して再び外部通路に排出され、ローダ部Bで試験済ICを汎用のトレイ(特に図示しない)に良品と不良品に分類しながら積み替えて1つのテストトレイTSTに搭載したICの試験が終了する。
この種の型式のIC試験装置では低温度で試験を行なう場合、低温恒温槽TON−1と低温恒温槽TON−2の内部は例えば−30℃程度の低温度に維持される。このため低温恒温槽TON−1とTON−2の外壁面に結露が発生する場合がある。またケーブルKB引出口KBHにも結露が発生する場合があり、この結露が試験終了後に溶けて不都合を生じさせるおそれがある。
この発明の目的は低温恒温槽を具備したIC試験装置において、低温度のテスト中に低温恒温槽の外部に結露が発生することを阻止することができる構造を具備したIC試験装置を提案するものである。
この発明では低温度に維持される低温恒温槽の外部において、結露が生じる部位に対して密封カバー覆せ、結露が生じる部位に大気に開放されている空気が直接接触しない構造を提案すると共に、低温恒温槽と高温恒温槽を具備したIC試験装置では、高温恒温槽の熱を低温恒温槽の外壁面又はケーブル引出部分に配給し、この熱の配給において低温恒温槽の外壁又はケーブル引出部分に結露を生じさせないように構成したIC試験装置を提案するものである。
この発明によるIC試験装置によれば低温恒温槽の外壁に結露を生じさせないから、試験終了後に人の手によって結露を取外す等の処置をしなくて済むため取扱いが容易なIC試験装置を提供することができる。
このように、この発明によれば低温恒温槽を備えたIC試験装置において、低温恒温槽の外部に結露が発生することを阻止し、結露が発生した場合に試験終了時に処置しなければならない事項を省略することができる。従って取扱いが容易なIC試験装置を構成することができ、その効果は実用に供して頗る大である。
図1にこの発明の一実施例を示す。図1に示す実施例では低温恒温槽TONの内部から回転軸JKU或はハウジンクHUG、ベアリングBR等が露出した部分にこの発明を適用した場合を示す。図1に示す例では低温恒温槽TONの外壁において結露が発生する結露発生部11に密封カバー12を覆せた構成とするものである。
カバー12は例えば金属或はプラスチック等の硬質部材で一面が開口とされた箱状に形成し、その開口面を低温恒温槽TONの結露発生部11に接合させ、結露発生部11を密封させる。カバー12の取付にはネジ或は接着剤等の適当な手段を用いることができる。
カバー12は例えば金属或はプラスチック等の硬質部材で一面が開口とされた箱状に形成し、その開口面を低温恒温槽TONの結露発生部11に接合させ、結露発生部11を密封させる。カバー12の取付にはネジ或は接着剤等の適当な手段を用いることができる。
図1に示したように結露発生部11を密封カバー12によって覆い、密封することにより回転軸JKU、ハウジングHUG、ベアリングBR等の部材に接する空気は密封カバー12の内部に存在する空気だけに限られる。密封カバー12の内の空気は序々に冷やされて温度が低下するが、密封カバー12の表面を通じて外部の空気と熱交換されるから、極度に温度が低下せず、室温に近い温度で安定する。従って密封カバー12の内部でも、また外部でも結露の発生は抑えられ、結露の処理をしなくて済むため、取扱が容易となる。
図2は低温恒温槽TONと高温恒温槽HONが隣接して存在する場合にこの発明を適用した場合を示す。この場合には低温恒温槽TONと高温恒温槽HONの境界部分が結露発生部11となる。従ってこの結露発生部11に密封カバー12を被せればよい。
図3は図8に示した型式のIC試験装置にこの発明を適用した場合を示す。この場合には高温恒温槽HONから放出される熱の一部を低温恒温槽TON−1とTON−2の周面に送風機105によって配給し、低温恒温槽TON−1とTON−2の外周面に結露が発生しようとしている状態で、低温恒温槽TON−1とTON−2の表面温度を温風により結露しない温度まで上昇させるように構成したものである。
このように温風を低温恒温槽TON−1とTON−2の表面に配給しても結露の発生を抑えることができる。
このように温風を低温恒温槽TON−1とTON−2の表面に配給しても結露の発生を抑えることができる。
図4は図3に示した実施例の変形例である。この図4に示す実施例では高温恒温槽HONの例では内壁に沿ってチューブ106を配管し、このチューブ106にエアコンプレッサ107から圧縮空気を送り込み、チューブ106の出口から排出される暖気108を低温恒温槽TON−1とTON−2の周面、特に結露が発生する部分に射出させて結露の発生を阻止させるように構成した場合を示す。
図5は低温恒温槽TON−2から引き出されるケーブル引出口KBHにこの発明を適用した場合を示す。この場合にはケーブル引出口KBHを断熱性を持つブッシュ109で密封すると共に、ブッシュ109の閉塞面に熱伝達プレート111を接触させ、熱伝達プレート111の端部を高温恒温槽HONの壁部材にネジ止めした構造としたものである。
この構造によれば高温恒温槽HONの熱が熱伝達プレート111を通じてブッシュ109に伝達されるから、ブッシュ109の温度を低温恒温槽TOH−2の内部の温度より高くすることができる。この結果ブッシュ109に湿気を含む空気が接触しても湿気が結露することを防止することができる。
HAND ハンドラ
MIN メインフレーム
TON,TON−1,TON−2 低温恒温槽
HON 高温恒温槽
TSH テストヘッド
SK ICソケット
KTU 結露
11 結露発生部
12 密封カバー
MIN メインフレーム
TON,TON−1,TON−2 低温恒温槽
HON 高温恒温槽
TSH テストヘッド
SK ICソケット
KTU 結露
11 結露発生部
12 密封カバー
Claims (2)
- 低温恒温槽の内部において被試験ICに低温度の熱ストレスを与えて試験を行ない、試験終了後の排出時は被試験ICに高温恒温槽において熱を加えて常温に戻し、試験済のICを高温恒温槽から排出させる構造のIC試験装置において、 上記試験済のICに熱を加える高温恒温槽の熱を、高温恒温槽の内壁に沿って配管したチューブとエアコンプレッサ、又は高温恒温槽の上部に配した送風機によって上記低温恒温槽の外壁面に配給し、低温恒温槽の外壁面に結露を発生させない構造としたことを特徴とするIC試験装置。
- 低温恒温槽の内部において被試験ICに低温度の熱ストレスを与えて試験を行ない、試験終了後の排出時は被試験ICに高温恒温槽において熱を加えて常温に戻し、試験済のICを高温恒温槽から排出させる構造のIC試験装置において、 上記低温恒温槽から引き出されるケーブルの引き出口を、断熱性を持つブッシュで密封すると共に、そのプッシュに熱伝導プレートを接触させ、その熱伝導プレートの端部を高温恒温槽の壁部材にネジ止めして上記高温恒温槽の熱を伝達し、ケーブル引き出口に結露が発生することを阻止する構造としたIC試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007230448A JP2008008912A (ja) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | Ic試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007230448A JP2008008912A (ja) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | Ic試験装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10049523A Division JPH11248787A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | Ic試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008008912A true JP2008008912A (ja) | 2008-01-17 |
Family
ID=39067228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007230448A Pending JP2008008912A (ja) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | Ic試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008008912A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140048369A (ko) * | 2012-10-10 | 2014-04-24 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 |
CN109490182A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-03-19 | 江苏铭利达科技有限公司 | 一种便于对不同电池包壳体进行耐盐雾测试的装置 |
-
2007
- 2007-09-05 JP JP2007230448A patent/JP2008008912A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140048369A (ko) * | 2012-10-10 | 2014-04-24 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 |
KR101958242B1 (ko) | 2012-10-10 | 2019-03-18 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 |
CN109490182A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-03-19 | 江苏铭利达科技有限公司 | 一种便于对不同电池包壳体进行耐盐雾测试的装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI611193B (zh) | 測試座防結露模組及具備該模組之電子元件檢測裝置 | |
KR100899142B1 (ko) | 테스트 소켓 | |
TWI405970B (zh) | Interface elements, test unit and electronic components test device | |
JP2003279619A (ja) | 半導体デバイステストシステム | |
JP2007525672A (ja) | 通電テスト用の装置とその方法 | |
KR100742291B1 (ko) | 메모리모듈 검사용 냉/온기 발생장치 | |
JP2008008912A (ja) | Ic試験装置 | |
JPH07111995B2 (ja) | プローブ装置 | |
KR20060008379A (ko) | 반도체 검사를 위한 번인 테스터 | |
KR102257733B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 장치의 청정화 방법 | |
JP2000180502A (ja) | 電子部品試験装置 | |
JP2009042028A (ja) | 半導体デバイスの試験用ソケット | |
TW201011298A (en) | Low tempeature probe apparatus | |
KR100789699B1 (ko) | 고온 및 저온의 테스트 가능한 웨이퍼 프로버 장치 | |
US8008934B2 (en) | Burn-in system for electronic devices | |
JP2003008275A (ja) | 電子機器の冷却構造及びその冷却方式 | |
WO1999045403A1 (fr) | Appareil de test de ci | |
TWI426280B (zh) | The crimping mechanism of the electronic component testing device | |
KR100402314B1 (ko) | 모듈 아이씨 테스트 핸들러의 가열챔버 | |
JP2000162269A (ja) | 電子部品試験装置 | |
JP2009002960A (ja) | 電子部品試験装置 | |
JP4729025B2 (ja) | 断熱レンズセット | |
US20080272474A1 (en) | Apparatus for integrated circuit cooling during testing and image based analysis | |
KR20150031566A (ko) | 반도체 칩 실장 테스트 장치 | |
KR101360159B1 (ko) | 이중관 구조의 냉매가스 분사관 및 이를 이용한 핸들러 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091013 |