KR101958242B1

KR101958242B1 - 테스트핸들러

Info

Publication number: KR101958242B1
Application number: KR1020120112512A
Authority: KR
Inventors: 신희택; 이진재
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2012-10-10
Filing date: 2012-10-10
Publication date: 2019-03-18
Also published as: KR20140048369A

Abstract

본 발명은 반도체소자의 테스트를 지원하는 테스트핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 테스트챔버의 테스트창에 건조 공기를 공급하는 건조 공기 공급 장치를 구성함으로써 저온 테스트 시에 발생할 수 있는 결로 현상을 방지할 수 있는 기술이 개시된다.

Description

테스트핸들러{TEST　HANDLER}

본 발명은 반도체소자를 테스트할 때 사용되는 테스트핸들러에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다.

본 발명은 테스트핸들러의 챔버 내에서 테스트트레이를 이송하는 이송장치에 관한 것으로, 그와 관련된 기술은 대한민국 공개 특허 10-2009-0030183호(종래기술1) 등의 특허문서를 통해 공개되어 있다.

대개의 경우 반도체소자는 그 사용 환경(예를 들어 온도 환경)이 다양할 수 있기 때문에 테스트핸들러는 상온 테스트 외에도 고온 또는 저온 테스트를 지원해야할 필요성이 있다. 따라서 테스트핸들러는, 그 내부에 고온 또는 저온 환경을 조성할 수 있는 챔버를 가지며, 반도체소자가 적재된 테스트트레이를 챔버 내부로 반입함으로써 테스트가 요구되는 반도체소자에 열적 스트레스를 가한다. 그리고 그러한 챔버는 대한민국 공개 특허 10-2009-0044164호(종래기술2) 등 에서와 같이 다수개가 구비될 수 있다. 참고로 종래기술2에 제시된 3개의 챔버 중, 소크챔버와 테스트챔버의 내부에서는 반도체소자에 열적 스트레스가 가해지고, 디소크챔버의 내부에서는 반도체소자에 가해진 열적 스트레스가 제거된다.

한편, 테스트트레이는 일정한 순환 경로 상을 따라 순환하게 되는데, 순환 경로 중 일정 이송 구간이 챔버 내부에 있게 된다. 따라서 테스트핸들러에는 챔버 내부의 이송 구간 상에서 테스트트레이를 이송시키기 위한 이송장치가 구성되어야 한다. 그런데, 챔버 내부의 열적 스트레스는 이송장치의 구동원(모터 또는 실린더 등)의 작동 불량이나 수명 단축 등을 초래할 수 있기 때문에, 종래기술1에서와 같이 이송장치의 구동원(종래기술1에는 실린더로 구현됨)을 챔버 내부의 열적 스트레스로부터 격리시키고 있다. 참고로 종래기술1에는 테스트트레이를 캐리어보드로 명명하고 있으며, 이송장치는 소크챔버에서 병진 이동된 테스트트레이를 테스트챔버로 이동시키기에 적절한 높이로 상승시키는 역할을 담당한다.

그런데 도1에서와 같이 챔버 외부에 있는 금속재질의 풀리들은 동력을 전달하기 위한 금속재질의 전달축에 결합되어 있어서, 전달축의 열전도에 의해 일정 정도 챔버 내부의 열적 스트레스를 받게 되어 있다.

특히 저온 테스트의 경우 기존에는 최저 -40도의 테스트 한계 온도를 가졌으나, 최근에는 테스트되는 반도체소자가 다양해지고 그 적용되는 온도 범위가 확대됨에 따라 -40도 미만(-50도 또는 그 이하)에서 테스트되어야 할 필요성이 있게 되었다. 따라서 테스트핸들러도 -40도 미만에서 반도체소자가 테스트될 수 있도록 설계되어 지고 있다. 그런데, 그와 같은 극저온에서 테스트가 진행되면, 챔버 외부의 풀리들이 전달축을 통해 전달되는 냉기에 의해 저온으로 하강하고, 그에 따라 저온 상태의 풀리 주변에 있는 주변 공기의 온도를 하강시킨다. 이러한 경우, 주변 공기의 온도가 결로가 발생될 수 있는 노점 온도 이하로 하강하면서 풀리에 수증기가 달라붙어 응결하는 결로 현상이 발생한다. 그리고 이러한 결로 현상은 누전사고, 구조체의 강도 저하, 장비 오작동의 원인이 될 수 있다.

결로 현상은 노점 온도 이하의 공기가 함유한 수증기가 구조물의 표면에 달라붙음으로써 발생되는 것이기 때문에, 일반적으로 공기의 온도를 높여주는 방법(제1 방법)을 사용하거나 노점 온도가 낮은 건조 공기를 구조물 주위에 공급하는 방법(제2 방법)으로 해결될 수 있다.

그러나 챔버 외부에 있는 풀리 주변의 공기는 공장 내부의 방대한 상온의 공기에 개방되어 있기 때문에, 풀리 주변의 공기를 히터로 가열하거나 건조 공기를 공급하여 결로 현상을 방지하기는 실질적으로 곤란하다.

본 발명의 목적은 풀리에서 발생할 수 있는 결로 현상을 방지할 수 있는 새로운 제3의 방법을 적용한 테스트핸들러에 관한 기술을 제공하는 것이다.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 반도체소자를 테스트트레이로 로딩하는 로딩부; 상기 로딩부에 의해 로딩된 반도체소자를 적재한 테스트트레이를 수용하는 챔버부; 상기 챔버부 내부의 온도를 조절함으로써 상기 챔버부에 수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 온도를 조절하는 온도조절부; 상기 챔버부에서 테스트트레이를 이송시키는 적어도 하나 이상 구비되는 이송부; 상기 챔버부에서 반출된 테스트트레이로부터 테스트 완료된 반도체소자를 언로딩하는 언로딩부; 및 상기한 각 부를 제어하며, 고온 테스트 시에는 상기 챔버부 내부의 적어도 일정 영역의 온도를 고온으로 조절하고, 저온 테스트 시에는 상기 챔버부 내부의 적어도 일정 영역의 온도를 상기한 고온보다 낮은 저온으로 조절하는 제어부; 를 포함하고, 상기 이송부는, 상기 챔버부의 외부에 설치되며, 이송 구동력을 제공하는 구동원; 상시 챔버부의 외부에 설치되며, 상기 구동원으로부터 제공되는 이송 구동력을 회전력으로 전환하는 외부 동력 전환부분; 상기 외부 동력 전환부분에 의해 전환된 회전력을 상기 챔버부의 내부로 전달하도록 상기 챔버부를 이루는 벽을 가로질러 설치되는 금속 재질로 구비되는 적어도 하나의 전달축; 상기 챔버부의 내부에 설치되며, 상기 전달축으로부터 오는 회전력을 테스트트레이의 이동력으로 전환하는 내부 동력 전환부분; 및 상기 외부 동력 전달부분 중 적어도 일부에 지속적으로 공기를 불어주는 적어도 하나의 송풍기; 를 포함하고, 상기 제어부는 저온 테스트 시에 상기 송풍기를 작동시킨다.

상기 외부 동력 전환부분은 상기 구동원으로부터 오는 이송 구동력에 의해 회전하며 상기한 회전축에 결합된 금속 재질의 풀리를 포함하고, 상기 송풍기는 상기 풀리를 향하여 공기를 불어준다.

상기 이송부는 테스트트레이를 상승시키는 상승기를 포함한다.

상기 외부 동력 전환 부분은, 하측에 마련되는 제1 풀리; 상기 제1 풀리보다 상측에 마련되는 제2 풀리; 및 상기 구동원으로부터 오는 이송 구동력에 의해 상기 제1 풀리와 제2 풀리를 각각 회전 반환점으로 하여 정역 회전하는 벨트; 를 포함하고, 상기 구동원은 로드가 상기 벨트에 결합된 실린더이다.

본 발명에 따르면 풀리 주변의 공기가 정체되지 않고 노점 온도보다 높은 공장 내부의 공기가 송풍기에 의해 계속해서 풀리 주변으로 공급되기 때문에 풀리에서의 결로 현상이 방지될 수 있다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면 구성도이다.
도2는 도1의 테스트핸들러에서 테스트트레이의 이송 경로를 개략적으로 표현한 참고도이다.
도3은 도1의 테스트핸들러의 이송부에 대한 개략적인 측면도이다.
도4는 도3의 이송부에 대한 응용예이다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 공지되었거나 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.

도1은 본 발명에 따른 테스트핸들러(100)에 대한 개념적인 평면 구성도이다.

도1에서 참조되는 바와 같이 본 발명에 따른 테스트핸들러(100)는 테스트트레이(TT), 로딩부(110), 챔버부(120), 온도조절부(130), 이송부(140), 언로딩부(150), 제어부(160) 를 포함한다.

테스트트레이(TT)는 반도체소자를 적재할 수 있으며, 로딩위치(LP), 테스트위치(TP) 및 언로딩위치(UP)를 지나 로딩위치(LP)로 이어지는 일정한 순환 경로(C) 상을 순환한다. 여기서 순환 경로(C)에는 도2에서 참조되는 바와 같이 상승 구간(RS)과 하강 구간(DS)이 포함된다.

로딩부(110)는 반도체소자를 테스트위치에 있는 테스트트레이(TT)로 로딩한다.

챔버부(120)는 로딩부(110)에 의해 로딩(loading)된 반도체소자를 적재한 테스트트레이(TT)를 수용한다. 이러한 챔버부(TT)는 세부적으로 소크챔버(121), 테스트챔버(122), 디소크챔버(123)로 나뉠 수 있다. 여기서 전술한 상승 구간(RS)은 소크챔버(121)에서 테스트챔버(123)로 이동되기 전에 있으며, 하강 구강(DS)은 테스트챔버(122)에서 디소크챔버(123)로 이동된 후에 있다.

소크챔버(121)는 수용된 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자를 테스트챔버(122)로 보내기에 앞서 테스트 조건에 따른 온도로 예열/예냉시키기 위해 마련된다.

테스트챔버(122)는 테스터(TESTER)와 테스트핸들러(100)가 결합될 수 있는 테스트창(TW)을 가진다. 참고로 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자는 테스트챔버(122)에 수용된 상태에서 테스트창(TW)을 통해 테스터(TESTER)에 전기적으로 접속된다.

디소크챔버(123)는 수용된 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자를 상온으로 회복시키기 위해 마련된다.

온도조절부(130)는 소크챔버(121) 내부와 테스트챔버(122) 내부에 수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 온도를 조절한다.

이송부(140)는 종래기술1의 캐리어보드 이송장치와 같이 상승 구간(RS)에서 테스트트레이(TT)를 소크챔버(121)에서 테스트챔버(122)로 이송될 수 있는 높이로 상승시키는 상승기(上昇機)로서 마련된다. 따라서 이송부(140)는 도3에서 참조되는 바와 같이 실린더(141), 외부 동력 전환부분(142), 제1 전달축(143a), 제2 전달축(143b), 내부 동력 전환부분(144) 및 제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)를 포함한다.

실린더(141)는, 챔버부(120)의 외부에 설치되며, 이송 구동력을 제공하는 구동원으로서 마련된다.

외부 동력 전환부분(142)은, 챔버부(120)의 외부에 설치되어서 실린더(141)의 로드(141a)의 진퇴력을 회전력으로 전환하며, 제1 풀리(142a), 제2 풀리(142b) 및 벨트(142c)를 포함한다.

제1 풀리(142a)는, 내마모성 및 내구성을 위해 금속 재질로 마련되며, 제2 풀리(142b)의 하측에 마련된다.

제2 풀리(142b)는, 내마모성 및 내구성을 위해 금속 재질로 마련되며, 제1 풀리(142a)와 일정 정도 이격되게 제1 풀리(142a)의 상측에 마련된다.

벨트(142c)는 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)를 회전 반환점으로 하여 정역 회전한다. 이러한 벨트(142c)의 일 측 부분은 실린더(141)의 로드(141a)에 결합되어 있다. 따라서 실린더(141)의 로드(141a)가 상하 방향으로 진퇴하면, 그에 따라 벨트(142c)가 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)를 회전 반환점으로 하여 정역 회전하면서 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)를 정역 회전시키게 된다.

제1 전달축(143a)과 제2 전달축(143b)은, 외부 동력 전환부분(142)에 의해 전환된 회전력을 챔버부(120)의 내부로 전달하도록 챔버부(120)를 이루는 벽(W)을 가로 질러 회전 가능하게 설치되며, 각각 제1 풀리(142a) 및 제2 풀리(142b)의 회전과 함께 회전함으로써 제1 풀리(142a) 및 제2 풀리(142b)의 회전력을 챔버부(120) 내부에 위치하는 내부 동력 전환부분(144)으로 전달한다. 이를 위해 제1 전달축(143a)의 외측단은 제1 풀리(142a)에 결합되어 있고, 제2 전달축(143b)의 외측단은 제2 풀리(142b)에 결합되어 있다. 이러한 제1 전달축(143a) 및 제2 전달축(143b)은 회전력 전달에 필요한 강성을 확보하기 위해 금속재질로 마련된다.

내부 동력 전환부분(144)은, 챔버부(120)의 내부에 설치되어서 제1 전달축(143a) 및 제2 전달축(143b)으로부터 오는 회전력을 테스트트레이(TT)의 이동력으로 전환하며, 제1 스프라켓(144a), 제2 스프라켓(144b), 체인(144c) 및 승강부재(144d)를 포함한다.

제1 스프라켓(144a)은 제1 전달축(143a)의 내측단에 결합되어서 제1 전달축(143a)의 회전과 함께 회전한다.

제2 스프라켓(144b)은 제2 전달축(143b)의 내측단에 결합되어서 제2 전달축(143b)의 회전과 함께 회전한다.

체인(144c)은 제1 스프라켓(144a)과 제2 스프라켓(144b)을 회전 반환점으로 하여 정역 회전한다.

승강부재(144d)는 체인(144c)의 일 측 부분에 결합되어서 체인(144c)의 정역 회전과 함께 승강한다. 그리고 테스트트레이(TT)는 이러한 승강부재(144d)에 파지된 상태로 정해진 위치까지 상승하게 된다.

본 예에서는 내부 동력 전환부분(144)에 제1 스프라켓(144a), 제2 스프라켓(144b), 체인(144c)를 사용하였지만, 경우에 따라서는 풀리와 벨트를 사용할 수도 있다. 이때 사용되는 벨트는 극저온 상황에서 견딜 수 있는 것이어야 한다.

제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)는, 챔버부(120)의 외벽면에 고정되며, 저온 테스트 시에 각각 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)를 향하여 노점 온도가 높은 상온 상태에 있는 공장 내부의 공기를 불어주기 위해 마련된다.

제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)는 각각 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)의 회전축 방향에서 공기를 불어주도록 설치하였다. 또한, 공기를 불어주는 도구로 송풍기(145a, 145b)를 사용한 이유는 입체적인 형상의 풀리(142a, 142b) 모든 주변에 공기가 공급될 수 있도록 하기 위함이다.

그러나 노즐 등을 이용하여 공장 내부의 공기 혹은 압축 공기를 풀리에 불어주는 것도 고려될 수는 있을 것이다.

참고로 본 실시예에서는 외부 동력 전환부분(142)에 2개의 풀리(142a, 142b)를 구성하고 있지만, 도4에서 참조되는 바와 같이 랙기어(RG)와 피니언기어(PG)를 적용하면 하나의 풀리(피니언기어가 풀리 역할을 함)만으로도 외부 동력 전환부분을 구현할 수도 있다. 또한, 테스트핸들러(100)에는 테스트트레이(TT)를 순환 경로(C) 상에서 순환시키기 위해 위에서 언급한 이송부(140) 외에도 하강 구간(DS)에서 테스트트레이(TT)를 하강시키기 위한 하강기 등 다양한 이송부가 구성되나 이미 공지된 주지 기술들이므로 그 설명을 생략한다.

언로딩부(150)는 챔버부(120)에서 반출된 테스트트레이(TT)로부터 테스트 완료된 반도체소자를 언로딩한다.

제어부(160)는 상기한 각 부를 제어한다. 이러한 제어부(160)는 고온 테스트 시에는 챔버부(120)의 소크챔버(121)와 테스트챔버(122) 내부의 온도를 고온으로 조절하고, 저온 테스트 시에는 챔버부(120)의 소크챔버(121)와 테스트챔버(122) 내부의 온도를 상기한 고온보다는 낮은 저온으로 조절하면서 제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)를 가동시킨다.

계속하여 상기한 바와 같은 구성을 가지는 테스트핸들러(100)의 특징적인 동작 및 작용에 대하여 설명한다.

저온 테스트 시에 제어부(160)는 온도조절부(130)를 제어하여 챔버부(120)의 소크챔버(121)와 테스트챔버(122)의 내부를 저온으로 조절하는 한편, 제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)를 가동시킨다. 이 때, 소크챔버(121)와 테스트챔버(122) 내부의 저온은 제1 전달축(143a) 및 제2 전달축(143b)을 통해 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)로 영향을 미치게 된다. 그러나 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b) 주변의 공기는 정체되어 있지 않고 제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)에 의해 노점 온도가 높은 상온의 공기로 지속적으로 대체된다. 이로 인해 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b) 주변에 순간 머무르는 공기는 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)로부터 냉기를 빼앗아 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)의 온도 하락을 최소화시키면서도 노점 온도 이하로 떨어지기 전에 새로운 상온 상태의 공기로 대체된다. 따라서 제1 풀리(142a)와 제2 풀리(142b)에 결로 현상이 발생되는 것이 방지된다.

참고로 저온 테스트라는 것이 "0"도 이하의 테스트를 총칭한다고 할 때, 저온 테스트의 온도범위에 따라서는 제1 송풍기(145a) 및 제2 송풍기(145b)를 가동시킬 필요가 없을 수 있다. 따라서 회사의 장비별로 테스트를 진행하여 저온 테스트 온도대별 (예를 들어 "-5도" "-40도"등)로 송풍기(145a, 145b) 가동 여부를 결정하는 것이 바람직하다. 물론, 제어의 편리성을 위하여 저온 테스트시에는 항상 송풍기를 가동시켜도 무방하다.

위와 같이 도1 이하를 참조하여 설명한 실시예는 종래기술들에서와 같이 테스트트레이(TT)가 수직으로 세워진 상태에서 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자가 테스터(TESTER)에 전기적으로 접촉하는 사이드도킹 방식(Side docking type)의 테스트핸들러(100)를 예시하여 설명하였지만, 본 발명은 테스트트레이가 수평인 상태에서 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 테스터에 전기적으로 접촉하는 언더헤드도킹 방식(Under head docking type)의 테스트핸들러에도 적용될 수 있다.

또한, 종래기술2의 도면 11 등에서와 같이 테스트챔버에 상하 2단으로 테스트트레이가 수용되는 테스트핸들러에서는, 소크챔버에서 테스트트레이를 각각 1단 높이 및 2단 높이로 상승시키기 위한 2개의 이송부가 구비되어야 한다. 이렇게 테스트트레이들이 상하 복수의 단으로 테스트챔버에 수용되는 경우에는 그에 따라 풀리의 개수도 많아지지 때문에 더 많은 송풍기들을 구성될 수 있다.

더 나아가 본 실시예에서는 풀리(142a, 142b)에만 상온의 공기를 불어주도록 하고 있지만, 테스트트레이를 이송시키기 위해 챔버부의 외부에 구성되면서 결로 현상으로 인한 문제가 발생할 수 있는 구성 부품이라면 본 발명이 적절히 적용될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

100 : 테스트핸들러
110 : 로딩장치
120 : 챔버부
130 : 온도조절부
140 : 이송부
141 : 실린더
142 : 제1 동력 전환부분
142a : 제1 풀리 142b : 제2 풀리
142c : 벨트
143a : 제1 전달축 143b : 제2 전달축
144 : 제2 동력 전환부분
145a : 제1 송풍기 145b : 제2 송풍기
150 : 언로딩장치
160 : 제어부

Claims

반도체소자를 테스트트레이로 로딩하는 로딩부;
상기 로딩부에 의해 로딩된 반도체소자를 적재한 테스트트레이를 내부에 수용하는 챔버부;
상기 챔버부의 내부 온도를 조절함으로써 상기 챔버부에 수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 온도를 조절하는 온도조절부;
상기 챔버부의 내부에서 테스트트레이를 이송시키기 위한 적어도 하나의 이송부;
상기 챔버부에서 반출된 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩하는 언로딩부; 및
상기한 각 부를 제어하며, 고온 테스트 시에는 상기 챔버부의 내부 중 적어도 일정 영역의 온도를 고온으로 조절하고, 저온 테스트 시에는 상기 챔버부의 내부 중 적어도 일정 영역의 온도를 상기한 고온보다 낮은 저온으로 조절하는 제어부; 를 포함하고,
상기 이송부는,
상기 챔버부의 외부에 설치되며, 이송 구동력을 제공하는 구동원;
상시 챔버부의 외부에 설치되며, 상기 구동원으로부터 제공되는 이송 구동력을 회전력으로 전환하기 위해 상기 구동원으로부터 오는 이송 구동력에 의해 회전하는 금속 재질의 풀리를 가지는 외부 동력 전환부분;
상기 외부 동력 전환부분의 상기 풀리에 의해 전환된 회전력을 상기 챔버부의 내부로 전달하도록 상기 풀리에 결합되며, 상기 챔버부를 이루는 벽을 가로질러 설치되는 금속 재질로 구비되는 적어도 하나의 전달축;
상기 챔버부의 내부에 설치되며, 상기 전달축으로부터 오는 회전력을 테스트트레이의 이동력으로 전환하는 내부 동력 전환부분; 및
상기 챔버부의 외벽면에 고정되며, 상기 외부 동력 전달부분의 상기 풀리를 향하여 지속적으로 노점 온도가 높은 상태에 있는 공장 내부의 공기를 불어주는 적어도 하나의 송풍기; 를 포함하고,
상기 제어부는 저온 테스트 시에 상기 송풍기를 작동시키는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
삭제
제1항에 있어서,
상기 챔버부는,
테스터가 결합되는 테스트창을 가짐으로써 수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들이 테스터와 전기적으로 접속되어서 테스트가 이루어지는 테스트챔버;
수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 상기 테스트챔버로 보내기에 앞서 테스트 조건에 따른 온도로 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크챔버;
수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자를 상온으로 회복시키기 위해 마련되는 디소크챔버; 를 포함하며,
상기 이송부는 테스트트레이를 상기 소크챔버에서 상기 테스트챔버로 이송될 수 있는 높이로 상승시키기 위해 상기 소크챔버 내에서 테스트트레이를 상승시키는 상승기를 포함하고,
상기 송풍기는 상기 소크챔버의 외벽면에 결합되는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.
제3항에 있어서,
상기 외부 동력 전환 부분은,
하측에 마련되는 제1 풀리;
상기 제1 풀리보다 상측에 마련되는 제2 풀리; 및
상기 구동원으로부터 오는 이송 구동력에 의해 상기 제1 풀리와 제2 풀리를 각각 회전 반환점으로 하여 정역 회전하는 벨트; 를 포함하고,
상기 구동원은 로드가 상기 벨트에 결합된 실린더인 것을 특징으로 하는
테스트핸들러.