KR100816647B1 - 인라인 타입의 큐어장치 - Google Patents

인라인 타입의 큐어장치 Download PDF

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KR100816647B1 KR1020060098233A KR20060098233A KR100816647B1 KR 100816647 B1 KR100816647 B1 KR 100816647B1 KR 1020060098233 A KR1020060098233 A KR 1020060098233A KR 20060098233 A KR20060098233 A KR 20060098233A KR 100816647 B1 KR100816647 B1 KR 100816647B1
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장석준
김소영
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오성엘에스티(주)
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Abstract

본 발명은 소정 온도하에서 대상물을 건조하는 큐어장치에 관한 것으로서, 공기를 가열하도록 구성된 히터, 상기 히터에 바람을 공급하도록 하는 팬 모터, 대상물을 이동시키도록 하는 다수의 이동장치를 포함하는 하나 이상의 큐어챔버와; 상기 큐어챔버의 입구와 출구에 배치되며 개폐 가능하도록 구성된 다수의 개폐도어와; 상기 큐어챔버에 대상물을 투입하도록 상기 큐어챔버 입구 측에 배치되는 로딩부와; 상기 큐어챔버로부터 배출된 대상물을 이동시키도록 상기 큐어챔버 출구 측에 배치되는 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 큐어챔버가 인라인 형태로 구성되고 동작함으로써, 대상물을 연속적이고 안정적으로 건조시키는 것이 가능하게 된다.
큐어장치, 큐어챔버, 로딩부, 언로딩부, 버퍼부, 재순환부, 이동장치

Description

인라인 타입의 큐어장치 {IN-LINE TYPE CURING APPARATUS}
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 큐어장치를 도시한 사시도.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 큐어장치를 도시한 단면도.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 큐어장치를 도시한 평면도.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬부재를 도시한 사시도.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로딩부를 도시한 사시도.
도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 큐어챔버를 도시한 사시도.
도7은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동장치를 도시한 사시도.
도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동장치를 도시한 사시도.
도9 및 도10은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동장치의 작동 상태를 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 큐어장치
10: 로딩부
20: 큐어챔버
30: 언로딩부
40: 팬모터
50: 히터
60: 이동장치
70: 버퍼부
80: 재순환부
본 발명은 소정 온도하에서 대상물을 건조시키는 큐어장치에 관한 것으로, 구체적으로는 인라인 형태로 이동하면서 대상물의 건조가 수행될 수 있는 인라인 타입의 큐어장치에 관한 것이다.
일반적으로 종래의 반도체 제조 라인에서는 인라인(in-line) 타입이 아닌 배치(batch) 타입의 큐어장치가 사용되어왔다. 이러한 배치 타입의 큐어장치는 대상물, 구체적으로 매거진(magazine)을 큐어챔버에 투입하고 일정 시간 경과 후에 다시 대상물을 배출시키는 방식으로 반도체 부품을 건조시키게 된다.
그러나, 이러한 종래의 큐어장치는 대상물의 로딩과 언로딩이 수작업으로 이루어지기 때문에 작업시간이 많이 소요되고 불량이 다수 발생하는 문제점이 있었다.
또한, 배치 타입으로 작업이 이루어지기 때문에 동시에 처리할 수 있는 대상물의 양에 한계가 있었다.
이에 따라, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 대상물의 로딩과 언로딩을 자동으로 수행할 수 있는 큐어장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 동시에 많은 대상물을 건조시킬 수 있는 인라인 타입의 큐어장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
아울러, 본 발명은 인라인 타입에서 안정적으로 이동 가능한 이동장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 공기를 가열하도록 구성된 히터, 상기 히터에 바람을 공급하도록 하는 팬 모터, 대상물을 이동시키도록 하는 다수의 이동장치를 포함하는 하나 이상의 큐어챔버와; 상기 큐어챔버의 입구와 출구에 배치되며 개폐 가능하도록 구성된 다수의 개폐도어와; 상기 큐어챔버에 대상물을 투입하도록 상기 큐어챔버 입구 측에 배치되는 로딩부와; 상기 큐어챔버로부터 배출된 대상물을 이동시키도록 상기 큐어챔버 출구 측에 배치되는 언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서 상기 큐어챔버는 상기 언로딩부의 하단에 배치되어 큐어챔버 출구로부터 나온 대상물을 소정 시간 보관하도록 구성된 버퍼부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서 상기 큐어챔버는 상기 로딩부의 하단에 배치되어 큐어챔버 입구로 투입되지 않은 대상물을 소정 시간 보관하도록 구성된 재순환부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 로딩부는, 컨베이어, 대상물을 안착하여 이동시키는 이동부재, 이동된 대상물을 집어 상기 큐어챔버로 투입하는 로딩 로봇으로 이루어지고, 상기 언로딩부는, 컨베이어, 대상물을 안착하여 이동시키는 이동부재, 대상물을 집어 상기 큐어챔버 출구로 배출하는 언로딩 로봇으로 이루어질 수 있다.
이때, 본 발명에 있어서 상기 큐어챔버는 상기 로딩부의 일측에 배치되어 대상물의 위치를 정렬하는 정렬부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 개폐도어는 상기 큐어챔버의 상하 방향으로 회전함으로써 개폐될 수 있다.
또한, 상기 로딩 로봇과 언로딩 로봇은, 대상물의 상면과 하면을 집도록 하는 그리퍼가 형성될 수 있다.
한편, 상기 로딩 로봇과 언로딩 로봇의 그리퍼는, 상기 그리퍼가 대상물을 안정적으로 집도록 대상물을 집는 단부에 설치되는 탄성부재와, 상기 그리퍼가 상기 개페도어와 충돌하지 않도록 그 단부에 설치되는 센서를 더 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 큐어챔버는, 일측에 유지보수용 도어가 형성된 것이 큐어장치의 유지보수를 위해 바람직하다.
이때, 본 발명에 있어서 상기 큐어챔버는 서로 대향되게 배치되고 상하 2단으로 형성되는 것이 동시에 많은 대상물의 큐어가 가능하기 때문에 바람직하다.
한편, 본 발명에 있어서 상기 이동장치는, 길게 뻗어 있는 바 형태의 바닥부와; 상기 바닥부의 양 측을 따라 길게 뻗어 있는 한 쌍의 가이드부와; 일단은 상기 가이드부와 회전 가능하도록 결합하고 타단은 상기 바닥부와 회전 가능하도록 결합하는 하나 이상의 연결부와; 상기 연결부를 회전 구동시키는 구동부를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 구동부는, 연결부와 결합하고 일단에 웜이 설치된 두 개 이상의 구동축과; 상기 두 개 이상의 구동축 상에 설치된 웜과 맞물려 상기 구동축들의 회전 운동을 전달하는 웜휠이 설치되어 상기 구동축들의 회전 운동을 연동시키도록 구성된 연결축과; 상기 구동축들 중 적어도 어느 하나에 연결된 구동모터와; 상기 구동모터와 상기 구동축 사이에 개재된 구동기어 쌍을 더 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 큐어장치의 실시예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 다양한 실시예에 있어서 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하기로 한다.
우선 큐어장치의 구성에 대해 설명하기로 한다.
도1 내지 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 큐어장치를 도시한 도면이다. 도1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 큐어장치는 대상물을 로딩하는 로딩부(10), 로딩부로부터 투입된 대상물을 건조시키는 큐어챔버(20), 큐어챔버로부터 대상물을 배출하는 언로딩부(30), 상기 큐어챔버의 입구와 출구에 배치되며 개폐 가능하도록 구성된 다수의 개폐도어(21), 버퍼부(70), 재순환부(80)를 포함한다.
로딩부(10)는 큐어챔버(20)에 대상물을 투입하도록 큐어챔버(20) 입구에 배치되어 있다. 로딩부(10)는 대상물을 이동시키는 컨베이어(11), 이동된 대상물을 상기 큐어챔버(20)로 투입하는 로딩 로봇(12), 대상물을 안착하여 이동시키는 이동부재(13)로 이루어져 있다.
여기서 로딩 로봇(12)은 두 개의 그리퍼(15, 도5에 도시되어 있음)를 구비하며, 그리퍼(15)는 대상물인 매거진의 상면과 하면을 집어서 180도 회전하는 동작을 수행할 수 있도록 구성되어 있다.
그리퍼(15)는 대상물인 매거진의 상면과 하면을 집어서 180도 회전하는 동작을 수행할 수 있도록 구성되어 있다. 이때 그리퍼(15)는 그 단부에 매거진을 안정적으로 집도록 하는 탄성부재가 배치된다. 또한, 그리퍼(15)의 단부에는 개폐도어(21)와 충돌하지 않도록 센서가 배치되어 있다. 이에 따라, 개폐도어(21)가 닫혀진 상태에서는 그리퍼(15)가 큐어챔버(20) 내부로 이동하지 않게 된다.
이동부재(13)는 매거진이 넘어지지 않도록 구성되어 있으며, 컨베이어(11)에 의해 이동된다.
한편, 상기 로딩부(10)의 일측에 이동되는 매거진의 위치를 정렬하는 정렬부(14)가 배치될 수 있다. 정렬부(14)는 이동하는 매거진의 좌우를 정렬시킴으로써, 그리퍼(15)가 정확하게 매거진을 집을 수 있게 한다.
큐어챔버(20)는 많은 매거진의 건조를 동시에 수행하도록 여러 개가 배치될 수 있으며, 예를 들어 도1에 도시된 것처럼 상하 2단으로 서로 대향되게 배치될 수 있다. 각각의 큐어챔버(20)에는 여러 개의 이동장치(60)가 배치될 수 있으며, 예를 들어 도1에 도시된 것처럼 4개의 이동장치(60)가 2단으로 배치될 수 있다.
한편, 상기 큐어챔버(20)에는 일 측에 유지보수용 도어(22)가 형성될 수 있다. 유지보수용 도어(22)는 양쪽으로 여닫는 형태일 수도 있고, 이와 다른 형태일 수도 있다.
한편, 큐어챔버(20)는 공기를 가열하도록 구성된 히터(40), 상기 히터(40)에 바람을 공급하는 팬 모터(50), 대상물을 큐어챔버(20) 입구로부터 출구로 이동시키도록 하는 이동장치(60)를 포함할 수 있다.
히터(40)는 각 큐어챔버(20) 내에 적어도 하나가 설치되어, 공기를 가열하여 큐어챔버(20) 내의 온도를 원하는 온도로 유지시킨다.
팬 모터(50)는 상기 히터(40) 근처에 배치되어 히터(40)의 열을 큐어챔버(20) 내부로 분산시킨다.
이동장치(60)는, 도6 및 도7에 도시된 바와 같이, 바닥부(61), 가이드부(62), 연결부(63), 구동부(64)를 포함한다.
바닥부(61)는 이동시키려고 하는 물체, 예를 들어 매거진을 지지할 수 있도록 편평하게 구성되어 있으며 이동시키려는 방향으로 길게 뻗어 있다. 가이드부(62)는 상기 바닥부(61)의 양 측면을 따라 길게 뻗어 있으며 상기 바닥부(61)의 양 측면과 거리를 두고 이격되어 있다. 가이드부(62)는 후술하는 연결부(63)에 의해 바닥부(61)와 결합되도록 구성되어, 바닥부(61)가 이동할 때 가이드부(62)와 간섭이 일어나는 것을 방지한다. 연결부(63)는 서로 떨어져 있는 바닥부(61)와 가이 드부(62)를 연결한다. 연결부(63)는 캠 형상으로 이루어져 있으며 양 단부에 다른 부재와 결합 가능하도록 구멍이 형성되어 있다.
연결부(63)의 일 단부는 바닥부(61)와 결합되며, 연결부(63)의 타 단부는 가이드부(62)와 결합된다. 이때, 연결부(63)의 양 단부는 바닥부(61)와 가이드부(62)와 각각 회전 가능하도록 결합되어, 연결부(63)의 회전시 바닥부(61)도 회전할 수가 있게 된다.
구동부(64)는 가이드부(62)에 설치되어 상기 연결부(63)를 회전 구동시키는 역할을 한다. 구동부(64)는 연결부(63)와 연결되어 있으며, 구체적으로는 구동모터에 의해 연결부(63)를 구동시키게 된다.
한편, 구동부(64)는, 도7을 참조하면, 구동축(65), 연결축(66), 구동모터(69), 구동기어(70)를 더 포함할 수 있다.
구동축(65)은 연결부(63)와 결합되어 있으며 그 일단에 웜(67)이 설치되어 있다.
연결축(66)에는 예를 들어 두 개의 구동축(65)들 상에 설치된 웜(67)과 맞물려 상기 구동축(65)들의 회전 운동을 전달하도록 하는 웜휠(68)이 설치되어 있다. 연결축(66) 상의 웜휠(68)은 구동축(65) 상에 설치된 웜(67)과 맞물려서 웜(67)의 회전 운동을 수직한 방향으로 전달하는 역할을 한다. 이에 따라 연결축(66)은 구동축(65)의 회전 운동을 수직한 방향으로 변환시켜서 다른 구동축(65)과 연동하여 회전시키는 역할을 한다.
이때, 구동모터(69)는 구동축(65)들 중 적어도 어느 하나에 연결되어 구동 축(65)에 회전력을 전달한다.
상기 구동모터(69)와 상기 구동축(65) 사이에는 구동기어 쌍(70)이 개재되어 있어서 구동모터(69)의 회전력을 더욱 확실하게 전달할 수 있다.
연결축(66)에 의해 두 개의 구동축(65)을 서로 연동시킴으로써, 구동축(65)에 전달되는 회전력을 연결축(66)에 의해 연결부(63)에 더욱 확실하게 전달할 수가 있게 된다.
바닥부(61)는 이동시키려고 하는 물체, 예를 들어 매거진을 지지할 수 있도록 편평하게 구성되어 있으며 이동시키려는 방향으로 길게 뻗어 있다. 가이드부(62)는 상기 바닥부(61)의 양 측면을 따라 길게 뻗어 있으며 상기 바닥부(61)의 양 측면과 거리를 두고 이격되어 있다. 가이드부(62)는 후술하는 연결부(63)에 의해 바닥부(61)와 결합되도록 구성되어, 바닥부(61)가 이동할 때 가이드부(62)와 간섭이 일어나는 것을 방지한다. 연결부(63)는 서로 떨어져 있는 바닥부(61)와 가이드부(62)를 연결한다. 연결부(63)는 캠 형상으로 이루어져 있으며 양 단부에 다른 부재와 결합 가능하도록 구멍이 형성되어 있다.
연결부(63)의 일 단부는 바닥부(61)와 결합되며, 연결부(63)의 타 단부는 가이드부(62)와 결합된다. 이때, 연결부(63)의 양 단부는 바닥부(61)와 가이드부(62)와 각각 회전 가능하도록 결합되어, 연결부(63)의 회전시 바닥부(61)도 회전할 수가 있게 된다.
구동부(64)는 가이드부(62)에 설치되어 상기 연결부(63)를 회전 구동시키는 역할을 한다. 구동부(64)는 연결부(63)와 연결되어 있으며, 구체적으로는 구동모 터에 의해 연결부(63)를 구동시키게 된다.
한편, 도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구동부를 도시한다. 도8을 참조하면, 구동부(64)는 구동축(65), 연결축(66), 구동모터(69), 구동기어(70)를 더 포함할 수 있다.
구동축(65)은 연결부(63)와 결합되어 있으며 그 일단에 웜(67)이 설치되어 있다.
연결축(66)에는 예를 들어 두 개의 구동축(65)들 상에 설치된 웜(67)과 맞물려 상기 구동축(65)들의 회전 운동을 전달하도록 하는 웜휠(68)이 설치되어 있다. 연결축(66) 상의 웜휠(68)은 구동축(65) 상에 설치된 웜(67)과 맞물려서 웜(67)의 회전 운동을 수직한 방향으로 전달하는 역할을 한다. 이에 따라 연결축(66)은 구동축(65)의 회전 운동을 수직한 방향으로 변환시켜서 다른 구동축(65)과 연동하여 회전시키는 역할을 한다.
이때, 구동모터(69)는 구동축(65)들 중 적어도 어느 하나에 연결되어 구동축(65)에 회전력을 전달한다.
상기 구동모터(69)와 상기 구동축(65) 사이에는 구동기어 쌍(70)이 개재되어 있어서 구동모터(69)의 회전력을 더욱 확실하게 전달할 수 있다.
연결축(66)에 의해 두 개의 구동축(65)을 서로 연동시킴으로써, 구동축(65)에 전달되는 회전력을 연결축(66)에 의해 연결부(63)에 더욱 확실하게 전달할 수가 있게 된다.
언로딩부(30)는 상기 큐어챔버(20) 출구로부터 외부로 대상물을 이동시키도록 상기 큐어챔버(20)의 출구 부근에 배치되어 있다. 언로딩부(30)는 컨베이어(31), 이동된 대상물을 상기 큐어챔버(20)로부터 배출하는 언로딩 로봇(32), 대상물을 안착하여 이동시키는 이동부재(33)로 이루어져 있다. 여기서 언로딩 로봇(12)은 로딩 로봇과 동일하게 구성되어 있다. 언로딩 로봇(32)이 상기 큐어챔버(20)로부터 대상물을 컨베이어(31) 상의 이동부재(33)에 안착시킨 후, 컨베이어(31)는 배출된 대상물을 이동시킨다.
상기 큐어챔버(20)의 입구와 출구에는 다수의 개폐도어(21)가 형성되어 있다. 상기 개폐도어(21)는 큐어챔버(20) 내의 이동장치(60)로 대상물을 투입하기 위한 도어와 큐어챔버(20)의 이동장치(60)로부터 대상물을 배출하기 위한 도어로 구성되어 있다.
개폐도어(21)는 제어부(미도시함)에 의해 제어되며, 개폐장치(미도시함)가 부착되어 있어 매거진이 투입되거나 배출될 때에만 개폐도어(21)가 개방되고 그렇지 않을 경우에는 큐어챔버(20) 내부를 밀폐시키게 된다. 개폐도어(21)는 큐어챔버(20)의 상하 방향으로 회전함으로써 개폐된다.(도6 참조)
버퍼부(70)는 언로딩부(30)의 하단에 배치되어 큐어챔버(20) 출구로부터 나온 매거진을 소정 시간 보관하도록 한다. 버퍼부(70)는 언로딩부(30)의 컨베어(31)에 매거진이 모두 채워져 있을 경우 임시로 매거진을 보관하는 역할을 한다.
재순환부(80)는 상기 로딩부(10)의 하단에 배치되어 큐어챔버(20) 입구로 투입되지 않은 매거진을 소정 시간 보관하도록 한다. 재순환부(80)는 로딩부(10)의 로딩 로봇(12)이 큐어챔버(20) 내부로 매거진을 투입하지 못하는 경우 임시로 매거진을 보관하는 역할을 한다.
다음으로는 본 발명에 따른 인라인 타입의 큐어장치에 있어서 대상물을 큐어챔버에 투입하고 배출하는 동작에 대해 설명하기로 한다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정렬부를 도시하고, 도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로딩부를 도시하고, 도6는 본 발명의 일 실시예에 따른 큐어챔버를 도시한다.
도4에 도시된 것처럼, 컨베이어(11)를 통해 매거진이 정렬부(14)의 위치에 도달하면, 정렬부(14)가 매거진의 좌우 위치를 정렬한다. 정렬이 완료된 매거진은 컨베이어(11)를 통해 로딩 위치로 이동하고, 로딩 로봇(12)이 매거진을 들어 올린다. 큐어챔버(20)는 상하 2단으로 배열되고 서로 대향되도록 여러 개가 배치되어 있기 때문에, 로딩 로봇(12)은 일정한 규칙 또는 프로그램에 따라 원하는 큐어챔버로 이동한다. 로딩 로봇(12)에는 매거진을 잡는 그리퍼(gripper)(15)가 부착되어 있으며, 그리퍼(15)가 컨베어(11)에서 이송되어 오는 매거진의 상면과 하면을 집어서(실린더방식) 180도 회전한다. 그리퍼(15)의 180도 회전 후, 투입이 결정된 큐어챔버(20)의 개폐도어(21)가 열리면 매거진이 큐어챔버(20) 내부로 투입이 된다. 투입된 매거진은 큐어챔버(20) 내의 이동장치(60)에 얹혀지고, 로딩 로봇(12)의 그리퍼(15)가 밖으로 나오면 큐어챔버(20) 개폐 도어(21)는 닫히게 된다. 이때, 로딩 로봇(12)은 상하 이동 및 좌우 이동을 반복하여 매거진이 비어 있는 큐어챔버(20)로 이동하게 된다.
이와 같이 매거진을 인라인 형태로 계속 큐어챔버(20)에 투입함으로써, 큐어공정을 연속적으로 수행할 수가 있게 된다.
만약 투입이 결정된 큐어챔버(20)의 개폐도어(21)가 열리지 않는 경우 센서(17)가 감지하여 로딩 로봇(12)의 그리퍼가 큐어챔버(20) 내부로 투입되지 않게 한다.
한편, 큐어 챔버(20)의 내부를 이동하여 큐어챔버(20)의 출구에 도달한 매거진은 언로딩 로봇(32)에 의해 큐어챔버(20)로부터 들어올려져 컨베어(32)에 안착된다. 이때, 언로딩 로봇(32)은 일정한 규칙 또는 프로그램에 따라 언로딩 위치에 도달한 큐어챔버(20)로 이동한다. 배출이 결정된 큐어챔버(20)의 개폐도어(21)가 열리면 언로딩 로봇(32)의 그리퍼가 큐어챔버(20) 내부로 투입이 된다. 투입된 그리퍼가 매거진의 상면과 하면을 집어서(실린더방식) 180도 회전하게 된다. 그리퍼의 회전 후, 배출된 매거진은 컨베어(31)에 얹혀지고, 언로딩 로봇(32)의 그리퍼가 밖으로 나오면 큐어챔버(20) 개폐 도어(21)는 닫히게 된다.
이때, 언로딩 로봇(32)은 상하 이동 및 좌우 이동을 반복하여 배출할 매거진이 있는 큐어챔버(20)로 이동하게 된다.
만약 배출이 결정된 큐어챔버(20)의 개폐도어(21)가 열리지 않는 경우 센서(17)가 감지하여 언로딩 로봇(32)의 그리퍼가 큐어챔버(20) 내부로 투입되지 않게 한다.
다음으로는 본 발명에 따른 인라인 타입의 큐어장치에 있어서 큐어챔버 내부에 투입된 매거진이 이동하는 동작에 대해 설명하기로 한다.
도9 및 도10은 이동장치(60)에 의해 매거진이 이동하는 방법을 도시한다. 큐어챔버(20)에 공급된 매거진은 이동장치(60)를 통해 이동하기 시작한다.
매거진이 로딩되는 때, 도9에 도시된 것처럼, 이동장치의 바닥부(61)는 가이드부(62)보다 하부에 위치한다. 이때 매거진은 가이드부(62)에 의해 지지되어 있다.
매거진이 로딩된 후 연결부(63)가 반시계 방향으로 회전함에 따라, 가이드부(62)보다 더 낮은 높이에 위치한 바닥부(61)는 반시계 방향으로 회전하고 가이드부(62)와 동일한 높이까지 이동한다. 이때, 매거진은 바닥부(61) 및 가이드부(62)에 의해 함께 지지된다.
연결부(63)가 반시계 방향으로 더 회전함에 따라, 도10에 도시된 것처럼, 바닥부(61)는 가이드부(62)보다 더 높은 높이에서 이동한다. 이 상태에서 매거진은 바닥부(61)에 의해 지지되고, 바닥부(61)가 회전 이동함에 따라 매거진도 바닥부(61)에 지지된 상태로 함께 이동한다.
연결부(63)가 반시계 방향으로 더 회전함에 따라, 바닥부(61)는 가이드 부(62)와 동일한 높이로 다시 위치한다. 이때, 매거진은 바닥부(61) 및 가이드부(62)에 의해 함께 지지된다.
연결부(63)가 반시계 방향으로 더 회전함에 따라, 도9에 도시된 것처럼 바닥부(61)는 가이드부(62)보다 낮은 높이에서 회전 이동한다. 이 상태에서 매거진은 가이드부(62)에 의해 지지된 상태로 정지해 있게 된다.
이와 같이 연결부(63)가 일 회전을 완료하면 매거진은 일정 거리만큼 이동하고 새로운 매거진이 다시 로딩된다. 그 후 다시 연결부(63)가 회전하고 매거진은 바닥부(61)에 의해 위와 같은 동작을 반복 수행하게 된다.
연결부(63)가 회전을 반복함에 따라 매거진은 원하는 거리만큼 안정적으로 이동하고, 이러한 이동 장치에 의해 매거진의 이동은 연속적으로 수행될 수 있다.
다음으로는 본 발명에 따른 인라인 타입의 큐어장치에 있어서 큐어챔버에 투입된 대상물의 건조에 대해 설명하기로 한다. 큐어챔버(20) 내에 공급된 매거진이 이동장치(60)를 통해 이동하는 동안 건조 공정이 진행된다.
도3에 도시된 것처럼, 히터(50)에 의해 가열된 공기는 큐어챔버(20) 내에 배치된 팬 모터(40)에 의해 적절히 순환된다. 팬 모터(40)에 의해 바람을 일으켜 공기를 순환시킴으로써 매거진에 장착된 부품들의 건조가 더욱 용이하게 수행된다. 매거진이 큐어챔버(20) 내에서 이동장치(60)에 의해 계속 이동하는 동안 건조가 진행된다.
매거진은 로딩부(10)에 의해 큐어챔버(20) 내로 계속 공급되고, 건조가 완료 된 매거진은 언로딩부(30)에 의해 큐어챔버(20) 외부로 배출된다.
위에 설명한 것처럼, 본 발명에 따른 큐어장치는 다수의 큐어챔버(20)에 여러 개의 이동장치(60)를 구비함으로써, 동시에 다수의 메거진들을 큐어챔버(20)에 투입하고 건조 공정을 수행하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 변형할 수 있는 범위까지 본 발명의 청구 범위 내에 있다는 것이 이해될 것이다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 큐어장치에 의하면, 대상물의 로딩과 언로딩을 자동으로 수행할 수 있게 되며, 인라인 형태로 건조시킴으로써 동시에 많은 대상물의 건조가 가능해진다.
또한, 본 발명에 따른 큐어장치에 의하면, 인라인으로 연속하여 진행되는 큐어 공정에서 안정적으로 이동 가능한 이동장치를 제공됨으로써, 더욱 효율적인 대상물의 건조가 수행될 수 있다.

Claims (12)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 소정 온도하에서 대상물을 건조하는 큐어장치에 있어서,
    공기를 가열하도록 구성된 히터, 상기 히터에 바람을 공급하도록 하는 팬 모터, 대상물을 이동시키도록 하는 다수의 이동장치를 포함하는 하나 이상의 큐어챔버와;
    상기 큐어챔버의 입구와 출구에 배치되며 개폐 가능하도록 구성된 다수의 개폐도어와;
    상기 큐어챔버에 대상물을 투입하도록 상기 큐어챔버 입구 측에 배치되는 로딩부와;
    상기 큐어챔버로부터 배출된 대상물을 이동시키도록 상기 큐어챔버 출구 측에 배치되는 언로딩부를 포함하고,
    상기 언로딩부의 하단에 배치되어 큐어챔버 출구로부터 나온 대상물을 소정 시간 보관하도록 구성된 버퍼부를 더 포함하며,
    상기 로딩부의 하단에 배치되어 큐어챔버 입구로 투입되지 않은 대상물을 소정 시간 보관하도록 구성된 재순환부를 더 포함하며,
    상기 로딩부는, 컨베이어, 대상물을 안착하여 이동시키는 이동부재, 이동된 대상물을 집어 상기 큐어챔버로 투입하는 로딩 로봇으로 이루어지고,
    상기 언로딩부는, 컨베이어, 대상물을 안착하여 이동시키는 이동부재, 대상물을 집어 상기 큐어챔버 출구로 배출하는 언로딩 로봇으로 이루어지고,
    상기 로딩부의 일측에 배치되어 대상물의 위치를 정렬하는 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 개폐도어는, 상기 큐어챔버의 상하 방향으로 회전함으로써 개폐되는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 로딩 로봇과 언로딩 로봇에는, 대상물의 상면과 하면을 집도록 하는 그 리퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 로딩 로봇과 언로딩 로봇의 그리퍼는,
    상기 그리퍼가 대상물을 안정적으로 집도록 대상물을 집는 단부에 설치되는 탄성부재와,
    상기 그리퍼가 상기 개폐도어와 충돌하지 않도록 그 단부에 설치되는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 큐어챔버는, 일측에 유지보수용 도어가 형성된 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 큐어챔버는, 서로 대향되게 배치되고 상하 2단으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이동장치는,
    길게 뻗어 있는 바 형태의 바닥부와;
    상기 바닥부의 양 측을 따라 길게 뻗어 있는 한 쌍의 가이드부와;
    일단은 상기 가이드부와 회전 가능하도록 결합하고 타단은 상기 바닥부와 회전 가능하도록 결합하는 하나 이상의 연결부와;
    상기 연결부를 회전 구동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 구동부는,
    연결부와 결합하고 일단에 웜이 설치된 두 개 이상의 구동축과;
    상기 두 개 이상의 구동축 상에 설치된 웜과 맞물려 상기 구동축들의 회전 운동을 전달하는 웜휠이 설치되어 상기 구동축들의 회전 운동을 연동시키도록 구성된 연결축과;
    상기 구동축들 중 적어도 어느 하나에 연결된 구동모터와;
    상기 구동모터와 상기 구동축 사이에 개재된 구동기어 쌍을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 타입의 큐어장치.
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