JP2008007620A - アルカリ洗浄液 - Google Patents
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Abstract
【解決の手段】水、アルカリ剤、水溶性有機溶剤、下記一般式(1)で表わされるシラン系化合物[A]を含有するアルカリ洗浄液。
Xn(Ym)Si(OR)4−n−m (1)
[但し、式中nは0〜3の整数、mは0〜3の整数で、且つ、n+mは0〜3の整数を表す。Xはアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト基若しくは不飽和基を有する炭化水素基であり、Yは炭素数1〜4のアルキル基、Rは炭素数1〜4のアルキル基である。]
【選択図】なし
Description
Xn(Ym)Si(OR)4−n−m (1)
但し、式中nは0〜3の整数、mは0〜3の整数で、且つ、n+mは0〜3の整数を表す。Xはアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト基若しくは炭素−炭素不飽和結合含有基を有する炭化水素基であり、Yは炭素数1〜4のアルキル基、Rは炭素数1〜4のアルキル基である。
表1記載の各成分部数(重量部)(純分表示)を1Lビーカー中に入れ、室温で十分攪拌して実施例及び比較例の洗浄液を作成した。
表1中の略号は以下の通りである。
A成分(シラン化合物)
A1:テトラエトキシシラン
A2:γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン
B1成分(4級水酸化物)
B1a:テトラメチルアンモニウムヒドロキシド
B1b:トリメチル(2−ヒドキシエチル)アンモニウムヒドロキシド
B2成分(アミノアルコール)
B2a:トリエタノールアミン
B2b:ジエタノールアミン
C成分(水性有機溶剤)
C1:DMSO
C2:ジエチレングリコールモノメチルエーテル
C3:エチレングリコール
C4:グリセリン
1.ポリイミド配向膜(以下、単に配向膜)剥離性
ポリイミド樹脂、カップリング剤、エチレングリコールモノブチルエーテル及びNMPを主成分とする配向膜材料をガラス基板上に塗布し、120℃で60分間焼成した1μmのポリイミド膜を剥離対象物とした。この1×4cmに切断した基板の塗布面を上にしてアルカリ洗浄液中に40℃で所定時間、浸漬した。その後、取り出し、純水で洗浄し、N2ガスを用いたエアーガンで純水を吹き飛ばし、自然乾燥させた。処理後の基板を顕微鏡で観察し配向膜剥離性を次の5段階で評価した。
<評価基準>
5:ガラス基板上に配向膜が全くなし
4:ガラス基板上に配向膜が痕跡程度残っている
3:ガラス基板上の一部に配向膜が少し残っている
2:ガラス基板上の大部分に配向膜が残っている
1:ガラス基板上の全面に配向膜が残っている
Alが蒸着されたガラス基板上に1μmの膜厚で膜付けされたフォトレジスト(ノボラック樹脂/ジアゾナフトキノン系レジスト、ナガセケムテックス社製)を100℃で2分間ベークし、超高圧水銀ランプで露光した後、2.5%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像した後、160℃で2分間ベークした。その後、りん酸/酢酸/硝酸系のエッチング液を用いてエッチングし、水洗、乾燥させて形成したAl配線パターンを剥離対象物とした。この剥離対象物をアルカリ洗浄液中、40℃で1分間、浸漬した。その後、取り出し、純水で洗浄し、N2ガスを用いたアエーガンで純水を吹き飛ばし、自然乾燥させた。処理後の基板を電子顕微鏡で観察し、フォトレジスト剥離性を次の5段階で評価した。
<評価基準>
5:完全にフォトレジストが除去されている。
4:わずかにフォトレジストが残っているが、ほとんど除去されている。
3:一部にフォトレジストが残っている。
2:大部分のフォトレジストが残っている。
1:まったくフォトレジストが除去されていない。
3cm×4cmの純アルミ板をアルカリ洗浄液中に70℃24時間浸せきし、水素ガス発生状況及び重量減少率を測定した。算出方法は以下のとおり。
重量減少率(%)=100×(W0−W1)/W0
[W0:元のアルミ板重量(g)、W1:70℃24時間浸せき後のアルミ板重量(g)]
また、重量減少率と同時に、水素ガスの発生状況も観察した。
<評価基準)
5:水素ガスの発生が全くない
4:水素ガスの発生が極わずかに認められる
3:水素ガスの発生がやや認められる
2:水素ガスの発生がかなり認められる
1:水素ガスの発生が激しく認められる
Claims (5)
- 水、アルカリ剤、水溶性有機溶剤[C]、及び下記一般式(1)で表わされるシラン系化合物[A]を含有するアルカリ洗浄液。
Xn(Ym)Si(OR)4−n−m (1)
[但し、式中nは0〜3の整数、mは0〜3の整数で、且つ、n+mは0〜3の整数を表す。Xはアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト基若しくは炭素−炭素不飽和結合含有基を有する炭化水素基であり、Yは炭素数1〜4のアルキル基、Rは炭素数1〜4のアルキル基である。] - アルカリ剤が、第4級アンモニウム水酸化物[B1]及び/又は沸点150℃以上のアルカノールアミン[B2]であり、水溶性有機溶剤[C]が25℃における水に対する溶解度が100以上でかつ、沸点150℃以上である請求項1記載のアルカリ洗浄液。
- シラン系化合物[A]を0.1〜10重量%、第4級アンモニウム水酸化物[B1]及び/又は沸点150℃以上のアルカノールアミン[B2]を0.1〜60重量%、沸点150℃以上の水溶性有機溶剤[C]を10〜80重量%、水を1〜50重量%含有する請求項2記載のアルカリ洗浄液。
- 第4級アンモニウム水酸化物[B1]を0.1〜10重量%、沸点150℃以上のアルカノールアミン[B2]を5〜55重量%含有する請求項3記載のアルカリ洗浄液。
- pHが12以上である請求項1〜4のいずれか記載のアルカリ洗浄液。
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CN108701608A (zh) * | 2016-03-01 | 2018-10-23 | 东京应化工业株式会社 | 半导体基板或装置的洗涤液及洗涤方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000019744A (ja) * | 1998-04-28 | 2000-01-21 | Kao Corp | 剥離剤組成物 |
JP2000129177A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-05-09 | Dainippon Toryo Co Ltd | ポリイミド樹脂系配向膜用剥離剤 |
JP2006009006A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-12 | Air Products & Chemicals Inc | 基材から残留物を除去するための組成物及びその組成物を用いた方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000019744A (ja) * | 1998-04-28 | 2000-01-21 | Kao Corp | 剥離剤組成物 |
JP2000129177A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-05-09 | Dainippon Toryo Co Ltd | ポリイミド樹脂系配向膜用剥離剤 |
JP2006009006A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-12 | Air Products & Chemicals Inc | 基材から残留物を除去するための組成物及びその組成物を用いた方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8535789B2 (en) | 2008-04-22 | 2013-09-17 | Alps Electric Co., Ltd. | Bonded member and process for producing the same |
CN108701608A (zh) * | 2016-03-01 | 2018-10-23 | 东京应化工业株式会社 | 半导体基板或装置的洗涤液及洗涤方法 |
JPWO2017150620A1 (ja) * | 2016-03-01 | 2018-11-29 | 東京応化工業株式会社 | 半導体基板又は装置の洗浄液及び洗浄方法 |
TWI783640B (zh) * | 2016-03-01 | 2022-11-11 | 日商東京應化工業股份有限公司 | 半導體基板或裝置之洗淨液 |
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