JP2008004850A - 石英製品のベーク方法及び石英製品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】先ず、治具要素部材に石英製品を載置し、この治具要素部材の上に他の治具要素部材を積み重ね、当該他の治具要素部材に石英製品を載置し、こうして順次治具要素部材と石英製品とを積み重ねて石英製品を複数段に治具に載置する。次に石英製品を複数段に載置された治具が蓋体の上に搭載された状態で、蓋体を上昇させて非金属製の円筒状の縦型容器内に下方側から搬入し、縦型容器の下端開口部を蓋体により密閉する。続いてこの縦型容器内の雰囲気を加熱し、塩化水素ガスとこのガスの反応性を高めるためのガスとを含むベーク用ガスを縦型容器内に供給する。
【選択図】図5
Description
治具要素部材を着脱自在に複数段積み重ねて構成される治具を用い、
治具要素部材に石英製品を載置し、この治具要素部材の上に他の治具要素部材を積み重ね、当該他の治具要素部材に石英製品を載置し、こうして順次治具要素部材と石英製品とを積み重ねて石英製品を複数段に治具に載置する工程と、
石英製品を複数段に載置された治具が蓋体の上に搭載された状態で、蓋体を上昇させて非金属製の円筒状の縦型容器内に下方側から搬入し、縦型容器の下端開口部を蓋体により密閉する工程と、
この縦型容器内の雰囲気を加熱する工程と、
塩化水素ガスとこのガスの反応性を高めるためのガスとを含むベーク用ガスを縦型容器内に供給する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明の実施の形態に係るベーク方法を実施するためのベーク装置について説明する。図1は後述するベーク用の治具に載置される石英製品をベーク処理するためのベーク処理装置である。図1中の2は非金属製例えば石英により縦型の円筒状に形成された縦型容器である。この容器2の下端は、搬入出口(炉口)として開口され、その開口部21の周縁部にはフランジ22が一体に形成されている。前記容器2の下方には、フランジ22の下面に当接して開口部21を気密に閉鎖する、例えば石英製の蓋体23が昇降機構24により昇降自在に構成されたエレベータ25により上下方向に開閉可能に設けられている。なお、この蓋体23の上には後述するベーク用の治具が搭載される。
そして所定の時間が経過した後、ガス供給機器群31a内のバルブを閉じて塩化水素ガスの供給を停止すると共に、酸素ガスの供給流量を5L/minに設定して酸素パージを行う。この酸素パージは必要に応じて行えばよいが、このようにベーク用のガスを供給して後に酸素パージを行うことにより、塩化水素が酸化して塩素酸が生成し、石英の表面の未結合手と塩素酸とが結合して不純物となるのを抑えることができる。
続いて上述した縦型の容器2内に石英製品を搬入するためのベーク用の治具の他の形態について図8及び図9を参照しながら説明する。なお、図3及び図4に示すベーク用の治具6と同じ構成にある部分については同じ符号を付すと共にその説明を省略する。図8及び図9に示すベーク用の治具61は、5つの筒状体51,52,54,55,56を積み重ねたものであり、これらは着脱自在となっている。1段目から3段目の筒状体51,52,54には、先の実施の形態と同様の大きさ、同様の構造であり、開口部51a,52a,54aが形成されている。また3段目の筒状体54の上端面には周方向に沿ってリング状支持部54bが形成されており、このリング状支持部54bには後述する載置部である載置台54cが載置されるようになっている。
また第2の実施の形態の筒状体の一部を第1の実施の形態の治具6に組み込んでベーク処理を行ってもよい。
2 容器
23 蓋体
25 エレベータ
26 ヒータ
3 ガス供給管
4 反応チューブ
41 蓋体
42 断熱ユニット
43 ウエハボート
44 インジェクタ
51〜56 筒状体
51a〜56a 開口部
6,61 ベーク用の治具
Claims (9)
- 半導体基板を反応容器内に搬入して熱処理する熱処理装置であって、この熱処理装置の熱処理雰囲気に少なくとも一部が置かれる石英製品に含まれる金属を除去するためのベーク方法において、
治具要素部材を着脱自在に複数段積み重ねて構成される治具を用い、
治具要素部材に石英製品を載置し、この治具要素部材の上に他の治具要素部材を積み重ね、当該他の治具要素部材に石英製品を載置し、こうして順次治具要素部材と石英製品とを積み重ねて石英製品を複数段に治具に載置する工程と、
石英製品を複数段に載置された治具が蓋体の上に搭載された状態で、蓋体を上昇させて非金属製の円筒状の縦型容器内に下方側から搬入し、縦型容器の下端開口部を蓋体により密閉する工程と、
この縦型容器内の雰囲気を加熱する工程と、
塩化水素ガスとこのガスの反応性を高めるためのガスとを含むベーク用ガスを縦型容器内に供給する工程と、を含むことを特徴とする石英製品のベーク方法。 - 前記治具要素部材は、互に積み重ねられる治具要素部材本体と、この治具要素部材本体に設けられた載置部をなす載置台とを備えていることを特徴とする請求項1記載の石英製品のベーク方法。
- 前記載置台は治具要素部材本体に対して着脱自在であることを特徴とする請求項2に記載の石英製品のベーク方法。
- 前記載置台は、ガス通過用の開口部が形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載の石英製品のベーク方法。
- 前記治具要素部材本体は筒状体であることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか一に記載の石英製品のベーク方法。
- 前記治具要素部材本体は、その周壁にガスを通過させるための複数のガス通過用の開口部が周方向に形成されたことを特徴とする請求項2ないし5のいずれか一に記載の石英製品のベーク方法。
- 最上段の治具要素部材においては、石英製品が当該治具要素部材よりも上方に伸び出した状態で載置されることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一に記載の石英製品のベーク方法。
- 最上段の治具要素部材においては、石英製品である反応容器または基板保持具を載置することを特徴とする請求項7に記載の石英製品のベーク方法。
- 半導体基板を反応容器内に搬入して熱処理する熱処理装置であって、この熱処理装置の熱処理雰囲気に少なくとも一部が置かれる石英製品において、
請求項1ないし8のいずれか一つに記載のベーク方法によりベーク処理されたことを特徴とする石英製品。
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