JP4645616B2 - 成膜装置 - Google Patents
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前記内管は、縦長のプレートを周方向に互いに隙間を開けて連結してなる横断面形状が多角形の筒状体により構成され、
前記内管の全周に亘って多数の排気開口部が形成され、
前記排気開口部は、周方向に互に隣接する前記プレート間の縦長の隙間により構成されていることを特徴とする。
ここで内管20内のガスの一部は上面開口から折り返して内管20と外管21との隙間に流れるが、残りのガスは内管20の全周に亘って形成された排気孔7から前記隙間に流出して、外管21の上端から下降してきたガスと共に、マニホールド41の側面に形成された排気口43aから排気される。従って、従来のようにガスの全部が内管20の上面開口から排気されて、一方向流を形成していた場合に比べて、図4に示すように内管20全体から均一な排気が行われる。即ち、排気孔7を設けない場合には内管20内の下部側の圧力は上部側よりも高いが、排気孔7を内管20に形成すると下部側のもの程、マニホールドの側面に形成された排気口43aに近いことから排気力が大きくなり、結果として内管20内の処理領域の上部側と下部側との間に生じていた圧力差が緩和された状態で、ウエハボート6に載置されているウエハWに対して成膜処理が行われることになる。
上記装置にて成膜処理を繰り返し行うと内管20の内面の累積膜厚は大きくなり、この膜厚がある大きさに達すると熱ストレスによって膜割れが生じる。この状態で内管20内の下部領域にTEOSガスを導入すると、内管20の内面を通過したTEOSガスによって膜が剥がれてパーティクルとなる。このパーティクルは図5に示すようにTEOSガスが排気孔7から排気される際に一緒に排気される。つまり内管20の内面から剥がれた膜は、その剥がれた部位から近い排気孔7から排気されることになる。
従来の内管はガラスにより真円状に加工しなければならないことから加工コストが非常に高いが、上述したようにプレート80を連設して隙間83によりスリットを形成する構造を採用すれば内管の製造コストを大幅に抑えることができる。
2 反応管
20 内管
21 外管
23 ガス導入管
24 ガス導入管
30 断熱体
31 ヒータ
34 プロセスガス供給源
40 ベース体
41 マニホールド
42 真空排気手段
43 排気管
43a 排気口
7 排気孔
70 蓋体
71 排気孔
73 スリット
8 筒状体
80 プレート
81,82 突片
83 隙間
92,93 枠体
94,95 溝部
Claims (2)
- 加熱手段に取り囲まれ、内管と当該内管を収容する外管とからなる二重管構造の縦型の反応管内に、複数の基板を棚状に保持させた基板保持具を下方側から搬入し、内管内の下部側からプロセスガスを導入して、内管と外管との隙間を介して排気しながら前記基板に対して成膜処理を行う成膜装置において、
前記内管は、縦長のプレートを周方向に互いに隙間を開けて連結してなる横断面形状が多角形の筒状体により構成され、
前記内管の全周に亘って多数の排気開口部が形成され、
前記排気開口部は、周方向に互に隣接する前記プレート間の縦長の隙間により構成されていることを特徴とする成膜装置。 - 前記プレート群の上縁部及び下縁部には、多角形のリング状の枠体が係合していることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
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