JP2007538376A - イオン源のための置き換え可能な陽極ライナー - Google Patents
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Abstract
Description
電子流を生成する手段:
前記生成された電子流が注入される内部領域をもつ陽極であって、該電子流は前記陽極領域内で終了し、かつそこでイオンが生成される;及び
置き換え可能な陽極ライナーであって、該陽極ライナーは、前記内部陽極領域に挿入が可能であり、かつそこで該電子流を受けるように構築されている。
少なくとも1つのフィラメント、該フィラメントからの形成された電子ビームが、その中に入る陽極構造、分析のために処理ガスが入ることを許すガスポート、及び複数の陽極ライナーを含み、陽極ライナーは、前記陽極構造の内部内に挿入可能であり、前記ライナーの各々は、導電材料から作られ、かつ少なくとも前記電子流の一部が、前記陽極構造の内部に入ることを許す手段をもつ。
置き換え可能な陽極ライナーを、該ライナーが該陽極内部領域内に配置され、かつ前記電子流を受けるよう、陽極構造内に挿入し、該ライナーは、導電材料より作られ、該電子流からの絶縁堆積物が、前記陽極構造の内部に代わり、その内部表面上に形成されることを許す。
Claims (36)
- 質量分析システムにおけるイオン源であって、前記イオン源は以下のものよりなる:
電子流を形成する手段;
前記形成された電子流が注入される内部領域をもつ陽極であって、前記電子流が前記陽極領域内で終了し、かつそこでイオンが形成される;及び
取外し可能な陽極ライナーであって、前記陽極カバーは、前記内部陽極領域に挿入が可能であり、かつ前記電子流をそこで受けるように形状が構築されている。 - 請求項1のイオン源において、前記陽極領域からイオンを抽出するイオン抽出手段をさらに含む。
- 請求項2のイオン源において、前記システムによって観察される、プロセスからの少なくとも1つの試薬ガスを放射する手段を含む。
- 請求項3のイオン源において、前記少なくとも1つの試薬ガスが、前記イオン抽出手段によって作られた形成されたイオンビームと同軸に放射される。
- 請求項1のイオン源において、前記取外し可能な陽極ライナーは、前記陽極領域に入る電子がたたき、かつエネルギーを堆積し、かつ少なくとも表面吸収されたスピーシーズ及びガス相スピーシーズのうちの少なくとも1つからの堆積物が付着することのできる内部表面を含む。
- 請求項1のイオン源において、さらに前記取外し可能な陽極ライナーは、該ライナーが前記陽極領域に挿入された時、前記作られた電子流の少なくとも一部が、該陽極領域に入ることを許す電子入力手段を含む。
- 請求項1のイオン源において、前記電子入力方法は、前記取外し可能な陽極ライナー上に設けられた、少なくとも1つの水平スロットを含む。
- 請求項1のイオン源において、前記取外し可能な前記陽極ライナーが、前記陽極領域から選択的に挿入される、及び除去されることを可能とする挿入及び取出し可能な手段を含む。
- 請求項8のイオン源において、前記挿入及び取出し手段は、前記取外し可能な陽極ライナーの一端に設けられた少なくとも1つの取付け及び除去スロット、及び前記少なくとも1つの取付け及び除去スロットと係合する少なくとも1つのピンを持つ挿入/除去ツールを含む。
- 請求項6のイオン源であって、前記ライナーが前記陽極領域内に挿入された時、前記取外し可能な陽極ライナーの前記電子入力手段を前記電子流形成手段に揃える手段を含む。
- 請求項10のイオン源において、前記揃える手段は、前記陽極上に設けられた参照特徴を含み、該参照特徴は、前記ライナーがそこに組み立てられた時、該ライナーの前記電子流形成手段に関しての、位置決めを与えるようライナーが最初そこに組み立てられた後に、前記挿入ツールの一部に揃えられる。
- 請求項1のイオン源において、前記ライナーは、前記陽極の内部に適合する大きさのスリーブ状部材よりなる。
- 請求項1のイオン源において、前記電子流形成手段は、加熱されたフィラメントを含む。
- 請求項1のイオン源において、前記陽極ライナーは、導電材料よりなる。
- イオン源のための取外し可能な陽極ライナーにおいて、前記イオン源は、陽極支持構造の内部に関連して配置された電子流を作製する手段を持ち、前記ライナーは、前記イオン源と取外し可能に係合するものであり、前記陽極支持構造内に適合するように構築される。
- 請求項15の陽極ライナーであって、前記ライナーが前記陽極構造内に挿入された時、前記取外し可能な陽極ライナーを前記イオン源の電子流製造手段に関連して自動的に位置決めする手段を含む。
- 請求項16の陽極ライナーにおいて、前記ライナーは、前記陽極構造の内部内に適合する大きさの直径をもつ円周型のスリーブ部材である。
- 請求項17の陽極ライナーにおいて、前記ライナーは導電材料よりなる。
- 請求項18の陽極ライナーであって、前記電子流形成手段からの電子をして、中に入る試薬ガスからの絶縁堆積物が前記陽極ライナーの内部に付着するよう、前記陽極の内部、及び前記ライナーの内部に流れることを許す大きさの第1のスロットを含む。
- 請求項19の陽極ライナーであって、前記ライナーをイオン源に対して選択的に取外し、及び挿入するためのツールに係合する大きさの、第2のスロットを含む。
- 請求項20の陽極ライナーにおいて、前記第2のスロットは、前記ツールのピンと係合するために、実質的にT字型をしており、かつ前記第二のスロットの前記ピンとの係合は、前記ライナーの前記イオン源に対しての挿入及び除去のいずれをも可能とする。
- ガス分析システムのためのイオン源アセンブリであって、前記アセンブリは以下のものよりなる:
少なくとも1つのフィラメント、前記フィラメントからの形成された電子ビームがその中に入る内部領域を持つ陽極構造、分析のために処理ガスが入ることを可能にするガスポート、及び複数の置き換え可能な陽極ライナーを含み、陽極ライナーは、前記陽極構造の内部内に挿入可能であり、各々のライナーは導電材料から作られ、かつ少なくとも前記電子流の一部をして、前記陽極構造の内部内に入ることを許す手段をもつ。 - 請求項22のイオン源アセンブリであって、前記陽極構造の前記内部領域からイオンを抽出する手段を含む。
- 請求項22のイオン源アセンブリにおいて、前記イオン源は、閉じたイオン源である。
- 請求項22のイオン源アセンブリにおいて、前記置き換え可能な陽極ライナーの内の少なくとも1つは、前記電子ビームの少なくとも一部をして、前記内部陽極領域に入ることを許す大きさの開口を含む。
- 請求項22のイオン源アセンブリにおいて、前記置き換え可能な陽極ライナーの内の少なくとも1つは、ガス流出ポートを含む。
- 請求項25のイオン源アセンブリにおいて、前記開口は、水平のスロットである。
- 請求項22のイオン源アセンブリにおいて、前記陽極ライナーの各々は、前記陽極領域に入る電子を制御し、前記イオン源は、PVD及びCVD処理の各々をモニタするよう用いられる。
- 請求項25のイオン源アセンブリは、前記ライナーが前記陽極構造内に挿入された時、前記開口を前記電子流製造手段に関連して自動的に位置決めする手段を含む。
- 請求項22のイオン源アセンブリにおいて、前記置き換え可能な陽極ライナーの各々は、前記イオン源の内部陽極領域内に挿入された時の、前記陽極の内部上の表面蓄積物の蓄積を防ぐ。
- 汚染されたイオン源の感度を改善する方法において、前記イオン源は、内部領域を定義する陽極構造を含み、前記内部陽極領域は電子流を受け取り、イオンは該領域内で形成され、前記方法は以下のステップよりなる:
置き換え可能な陽極ライナーを、陽極構造内に、前記ライナーが、前記内部陽極領域内に配置され、かつ前記電子流を受け取るよう、挿入され、前記ライナーは、前記電子流からの絶縁堆積物が、前記陽極構造の内部の代わりに、それの内部表面上に、形成されることを許容するよう導電材料より作られる。 - 請求項31の方法において、前記置き換え可能な陽極ライナーは、スリーブ状部材であり、前記挿入ステップは以下のステップを含む:
前記置き換え可能な陽極ライナーの一端を、挿入ツールの一端上に置く;及び
陽極構造内に前記ライナーを挿入する。 - 請求項32の方法であって、前記挿入ステップの間に、前記置き換え可能な陽極ライナーの電子入力手段を、前記イオン源の電子流形成手段に対して揃えるステップを含む。
- 請求項33の方法において、前記揃えるステップは、以下のステップを含む:
前記置き換え可能な陽極ライナーの一端を挿入ツールの端にマウントする、前記マウントステップは以下の付加的なステップを含む:
前記挿入ツールのピンを前記ライナーのアセンブリスロットに揃える;及び、
前記アセンブリピンが前記アセンブリスロット内に配置されるよう前記ライナーを前記挿入ツール上で滑らせる;及び
前記アセンブリピンを前記陽極構造上に設けられた参照特徴に揃える、ここで、前記ライナーの挿入は、前記ライナーの電子入力手段を自動的に前記電子流形成手段に揃える。 - 請求項34の方法であって、前記ライナーを、その置き換えのための所定の時間後に、取り除くステップを含む。
- 請求項35の方法において、前記取り除くステップは、以下のステップよりなる:
取り除きツールを前記ライナーに、前記ライナーのT字型スロットが前記取り除きツールのピンに揃えられるように揃える;
前記ツールを、前記ピンが前記スロットと係合することを許すよう、中心軸の回りに回転させる;及び
前記取外し可能な陽極ライナーを、前記陽極構造から、軸方向に取り外す。
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