JP2000208094A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JP2000208094A JP2000208094A JP11007754A JP775499A JP2000208094A JP 2000208094 A JP2000208094 A JP 2000208094A JP 11007754 A JP11007754 A JP 11007754A JP 775499 A JP775499 A JP 775499A JP 2000208094 A JP2000208094 A JP 2000208094A
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単に、短時間でフイラメントの交換作業が
完了し、かつフイラメント中心を収束磁石の中心に常に
配置することができる質量分析計を提供する。 【解決手段】 フイラメント１を保持するセラミック板
３ａにポールピース４ａを固着させ、収束磁石５ａのフ
イラメント１を保持するポールピース４ａと当接する面
にポールピース４ａと収束磁石５ａの中心を合致させ、
かつ嵌合する凹部を設けた。従ってポールピース４ａを
収束磁石５ａに吸着させることにより、簡単にフイラメ
ントの脱着を行うことができ、かつフイラメントの位置
も定まる。
完了し、かつフイラメント中心を収束磁石の中心に常に
配置することができる質量分析計を提供する。 【解決手段】 フイラメント１を保持するセラミック板
３ａにポールピース４ａを固着させ、収束磁石５ａのフ
イラメント１を保持するポールピース４ａと当接する面
にポールピース４ａと収束磁石５ａの中心を合致させ、
かつ嵌合する凹部を設けた。従ってポールピース４ａを
収束磁石５ａに吸着させることにより、簡単にフイラメ
ントの脱着を行うことができ、かつフイラメントの位置
も定まる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスクロマトグラ
フィ質量分析（ＧＣ／ＭＳ）などに用いられる質量分析
計に関する。
フィ質量分析（ＧＣ／ＭＳ）などに用いられる質量分析
計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、質量分析による有機化合物の成分
分析に用いられるガスクロマトグラフィ質量分析装置
（ＧＣ／ＭＳ装置）には図２に示すような構成が採られ
ている。ガスクロマトグラフ（ＧＣ）で成分分離をされ
た試料ガスはキャリアガスの除去ならびに大気圧のＧＣ
側から高真空にある質量分析計（ＭＳ）側への減圧が行
われ、試料導入管１２からイオン化室８へ送られる。イ
オン化室８で試料分子はイオン化されるのであるが、例
えば電子衝撃イオン化法による場合、レニウムなどのフ
ィラメント１から放射される熱電子により衝撃されて試
料の分子、原子がイオン化される。また化学イオン化法
による場合ではイオン化室８に導入されたメタンなどの
反応ガスがまず、フィラメント１から放射される熱電子
の衝撃によりイオン化され、このイオンと試料との間
で、いわゆるイオン分子反応を起こさせて試料をイオン
化する。
分析に用いられるガスクロマトグラフィ質量分析装置
（ＧＣ／ＭＳ装置）には図２に示すような構成が採られ
ている。ガスクロマトグラフ（ＧＣ）で成分分離をされ
た試料ガスはキャリアガスの除去ならびに大気圧のＧＣ
側から高真空にある質量分析計（ＭＳ）側への減圧が行
われ、試料導入管１２からイオン化室８へ送られる。イ
オン化室８で試料分子はイオン化されるのであるが、例
えば電子衝撃イオン化法による場合、レニウムなどのフ
ィラメント１から放射される熱電子により衝撃されて試
料の分子、原子がイオン化される。また化学イオン化法
による場合ではイオン化室８に導入されたメタンなどの
反応ガスがまず、フィラメント１から放射される熱電子
の衝撃によりイオン化され、このイオンと試料との間
で、いわゆるイオン分子反応を起こさせて試料をイオン
化する。
【０００３】イオン化された試料の分子、原子イオンは
イオン引き出し電極１３によって数千ボルトに加速さ
れ、レンズ電極１４で例えば四重極マスアナライザ等の
質量分析部１５へ収束される。そして質量分析部１５で
質量分離を行った試料の分子、原子イオンを例えばエレ
クトロンマルチプライアといったイオン検出部１６で検
出することにより試料中の特定元素の定性、定量測定を
行う。
イオン引き出し電極１３によって数千ボルトに加速さ
れ、レンズ電極１４で例えば四重極マスアナライザ等の
質量分析部１５へ収束される。そして質量分析部１５で
質量分離を行った試料の分子、原子イオンを例えばエレ
クトロンマルチプライアといったイオン検出部１６で検
出することにより試料中の特定元素の定性、定量測定を
行う。
【０００４】ところで、イオン化を行う構成部品として
イオン化室８の外側には、このイオン化室８を挟んで対
向するようにフイラメント１と電子トラップ６とが、そ
れぞれフイラメントステー２ａ、電子トラップステー２
ｂに保持され、さらにこれらのステー２ａ、２ｂはセラ
ミック板３ａ、３ｂに固着されている。そしてセラミッ
ク板３ａ、３ｂはイオン化室８を構成するイオン化室ブ
ロック８ａに固定ネジ１０ａ、１０ｂによりネジ止めさ
れている。フイラメント１および電子トラップ６の外側
には収束磁石５ａ、５ｂがヨーク７に固着され、配設さ
れている。
イオン化室８の外側には、このイオン化室８を挟んで対
向するようにフイラメント１と電子トラップ６とが、そ
れぞれフイラメントステー２ａ、電子トラップステー２
ｂに保持され、さらにこれらのステー２ａ、２ｂはセラ
ミック板３ａ、３ｂに固着されている。そしてセラミッ
ク板３ａ、３ｂはイオン化室８を構成するイオン化室ブ
ロック８ａに固定ネジ１０ａ、１０ｂによりネジ止めさ
れている。フイラメント１および電子トラップ６の外側
には収束磁石５ａ、５ｂがヨーク７に固着され、配設さ
れている。
【０００５】これらの構成部品によって加熱されたフイ
ラメント１から生成した熱電子が数十ｅＶに加速され、
収束磁石５ａ、５ｂによってこれらの電子線の進行方向
に数百ガウスの直流磁界を与えて、電子の広がりを抑え
てイオン発生領域を小さくし、電子に螺旋運動を与えて
電子衝撃イオン化法による場合は試料ガスに、あるいは
化学イオン化法による場合では反応ガスへの熱電子の衝
撃の確率を高めている。なお、フイラメント１とセラミ
ック板３ａの間には後方に放射された熱電子のイオン化
室８内への不要な散乱進入を防ぐため、さらには反射に
よる積極的な前方へのイオン化電子として進入させるた
めシールド板９が配設されている。
ラメント１から生成した熱電子が数十ｅＶに加速され、
収束磁石５ａ、５ｂによってこれらの電子線の進行方向
に数百ガウスの直流磁界を与えて、電子の広がりを抑え
てイオン発生領域を小さくし、電子に螺旋運動を与えて
電子衝撃イオン化法による場合は試料ガスに、あるいは
化学イオン化法による場合では反応ガスへの熱電子の衝
撃の確率を高めている。なお、フイラメント１とセラミ
ック板３ａの間には後方に放射された熱電子のイオン化
室８内への不要な散乱進入を防ぐため、さらには反射に
よる積極的な前方へのイオン化電子として進入させるた
めシールド板９が配設されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の質量分析計は以
上のように構成されているが、たとえばフイラメント切
れをおこしたり、フイラメントが汚れたりしてフイラメ
ントの交換が必要になり、また装置のメンテナンスなど
のためにイオン化室ブロックにネジ止めされているフイ
ラメントを取り外そうとする時、イオン化室に極近接し
て配設されているフイラメントやフイラメントステー、
さらにはシールド板や収束磁石によってセラミック板の
固定ネジの周囲は狭隘なスペースとならざるを得ず、従
ってセラミック板固定ネジの脱着のための操作が非常に
困難であった。
上のように構成されているが、たとえばフイラメント切
れをおこしたり、フイラメントが汚れたりしてフイラメ
ントの交換が必要になり、また装置のメンテナンスなど
のためにイオン化室ブロックにネジ止めされているフイ
ラメントを取り外そうとする時、イオン化室に極近接し
て配設されているフイラメントやフイラメントステー、
さらにはシールド板や収束磁石によってセラミック板の
固定ネジの周囲は狭隘なスペースとならざるを得ず、従
ってセラミック板固定ネジの脱着のための操作が非常に
困難であった。
【０００７】また前述したようにフイラメントを固定し
ているセラミック板はイオン化室ブロックに固定されて
いるのに対して、収束磁石の方は別の部品であるヨーク
に固着されている。このことはフイラメントの脱着に際
してフイラメントの位置と収束磁石の位置が相対的にず
れる恐れがあり、フイラメントの中心と収束磁石の中心
とが正しく配設されない可能性が大であった。このため
にフイラメントからの熱電子の流れが収束磁束中に効率
良く取り込まれず、ひいては試料ガスまたは反応ガスの
イオン化の効率が低下することとなる。本発明は、この
ような事情に鑑みてなされたものであって、簡単に、短
時間でフイラメントの交換作業が完了し、また同時に、
常にフイラメント中心が収束磁石の中心に配設できる質
量分析計を提供することを目的とする。
ているセラミック板はイオン化室ブロックに固定されて
いるのに対して、収束磁石の方は別の部品であるヨーク
に固着されている。このことはフイラメントの脱着に際
してフイラメントの位置と収束磁石の位置が相対的にず
れる恐れがあり、フイラメントの中心と収束磁石の中心
とが正しく配設されない可能性が大であった。このため
にフイラメントからの熱電子の流れが収束磁束中に効率
良く取り込まれず、ひいては試料ガスまたは反応ガスの
イオン化の効率が低下することとなる。本発明は、この
ような事情に鑑みてなされたものであって、簡単に、短
時間でフイラメントの交換作業が完了し、また同時に、
常にフイラメント中心が収束磁石の中心に配設できる質
量分析計を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の質量分析計は、
上記の目的を達成するため、フイラメントと収束磁石と
の間にフイラメントと一体となるポールピースを配設
し、このポールピースが収束磁石にて吸着されることに
よりフイラメントを保持するようにしたものである。し
たがってポールピースと収束磁石は、協働して、フイラ
メントと収束磁石の位置ずれが生じなくなる。
上記の目的を達成するため、フイラメントと収束磁石と
の間にフイラメントと一体となるポールピースを配設
し、このポールピースが収束磁石にて吸着されることに
よりフイラメントを保持するようにしたものである。し
たがってポールピースと収束磁石は、協働して、フイラ
メントと収束磁石の位置ずれが生じなくなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の質量分析計の一実
施例を図１により説明する。図１において、１はフイラ
メントでフイラメントステー２ａに溶接され、さらにフ
イラメントステー２ａはセラミック板３ａに固着されて
いる。同時に該セラミック板３ａにはフイラメント１の
中心に合致してその後方に磁性材たとえば純鉄のポール
ピース４ａが固着されている。したがってフイラメント
１、フイラメントステー２ａ、セラミック板３ａ、そし
てポールピース４ａは一体として組立られ構成されてい
る。一方、電子トラップ６もまたフイラメント１と同様
に電子トラップステー２ｂに溶接され、さらに電子トラ
ップステー２ｂはセラミック板３ｂに固着されている。
同時に該セラミック板３ｂには電子トラップ６の中心に
合致してその後方に磁性材たとえば純鉄のポールピース
４ｂが固着されている。したがって電子トラップ６、電
子トラップステー２ｂ、セラミック板３ｂ、そしてポー
ルピース４ｂは一体として組立られ構成されている。
施例を図１により説明する。図１において、１はフイラ
メントでフイラメントステー２ａに溶接され、さらにフ
イラメントステー２ａはセラミック板３ａに固着されて
いる。同時に該セラミック板３ａにはフイラメント１の
中心に合致してその後方に磁性材たとえば純鉄のポール
ピース４ａが固着されている。したがってフイラメント
１、フイラメントステー２ａ、セラミック板３ａ、そし
てポールピース４ａは一体として組立られ構成されてい
る。一方、電子トラップ６もまたフイラメント１と同様
に電子トラップステー２ｂに溶接され、さらに電子トラ
ップステー２ｂはセラミック板３ｂに固着されている。
同時に該セラミック板３ｂには電子トラップ６の中心に
合致してその後方に磁性材たとえば純鉄のポールピース
４ｂが固着されている。したがって電子トラップ６、電
子トラップステー２ｂ、セラミック板３ｂ、そしてポー
ルピース４ｂは一体として組立られ構成されている。
【００１０】そしてこれらのフイラメント組立品と電子
トラップ組立品はイオン化室８を挟んで対向する位置に
配設されるが、フイラメント組立品と電子トラップ組立
品の外側にはさらにヨーク７に固着された収束磁石５ａ
と収束磁石５ｂとが配設されている。この各々の収束磁
石５ａと５ｂのポールピース４ａおよび４ｂがそれぞれ
当接する面にはポールピース４ａならびに４ｂの形状に
合い、かつ収束磁石５ａと５ｂの中心とポールピース４
ａと４ｂの中心を各々合致させた凹部が形成されてい
る。なお、イオン化室８に試料ガスを導入する試料導入
管１２、イオン化室８でイオン化された試料イオン分子
を加速ならびに収束させるイオン引き出し電極１３およ
びレンズ電極１４、質量分離を行う質量分析部１５、そ
して分離されたイオンを検出するイオン検出器１６につ
いては図２と同様であるので、説明を省略する。
トラップ組立品はイオン化室８を挟んで対向する位置に
配設されるが、フイラメント組立品と電子トラップ組立
品の外側にはさらにヨーク７に固着された収束磁石５ａ
と収束磁石５ｂとが配設されている。この各々の収束磁
石５ａと５ｂのポールピース４ａおよび４ｂがそれぞれ
当接する面にはポールピース４ａならびに４ｂの形状に
合い、かつ収束磁石５ａと５ｂの中心とポールピース４
ａと４ｂの中心を各々合致させた凹部が形成されてい
る。なお、イオン化室８に試料ガスを導入する試料導入
管１２、イオン化室８でイオン化された試料イオン分子
を加速ならびに収束させるイオン引き出し電極１３およ
びレンズ電極１４、質量分離を行う質量分析部１５、そ
して分離されたイオンを検出するイオン検出器１６につ
いては図２と同様であるので、説明を省略する。
【００１１】次に、図１に示す実施例の質量分析計の動
作を説明する。まずフイラメント１にフイラメントステ
ー２ａを介して電流が供給されると、加熱されたフイラ
メント１から熱電子が放出される。一方、収束磁石５
ａ、５ｂ、ヨーク７で発生される直流磁界の磁束はポー
ルピース４ａ、４ｂの働きで収束され、放出された熱電
子はこの磁束中に束縛されて、螺旋運動を与えられ、電
子の広がりを抑えてイオン化室８中の試料ガス分子のイ
オン発生領域を小さくして効率良く試料ガスをイオン化
する。
作を説明する。まずフイラメント１にフイラメントステ
ー２ａを介して電流が供給されると、加熱されたフイラ
メント１から熱電子が放出される。一方、収束磁石５
ａ、５ｂ、ヨーク７で発生される直流磁界の磁束はポー
ルピース４ａ、４ｂの働きで収束され、放出された熱電
子はこの磁束中に束縛されて、螺旋運動を与えられ、電
子の広がりを抑えてイオン化室８中の試料ガス分子のイ
オン発生領域を小さくして効率良く試料ガスをイオン化
する。
【００１２】フイラメント１の交換は、フイラメント
１、フイラメントステー２ａ、セラミック板３ａ、そし
てポールピース４ａが一体として組立てられているの
で、収束磁石５ａに設けられた凹部にポールピース４ａ
を脱着させるだけで完了する。このとき、収束磁石５ａ
とポールピース４ａの中心が合致するので、フイラメン
ト１と収束磁石５ａとの中心が常に合致して取り付けら
れることになる。また、このポールピース４ａは図２に
おけるフイラメント１とセラミック板３ａの間に配設さ
れていたシールド板９の働きを行うのでシールド板９は
不要となる。
１、フイラメントステー２ａ、セラミック板３ａ、そし
てポールピース４ａが一体として組立てられているの
で、収束磁石５ａに設けられた凹部にポールピース４ａ
を脱着させるだけで完了する。このとき、収束磁石５ａ
とポールピース４ａの中心が合致するので、フイラメン
ト１と収束磁石５ａとの中心が常に合致して取り付けら
れることになる。また、このポールピース４ａは図２に
おけるフイラメント１とセラミック板３ａの間に配設さ
れていたシールド板９の働きを行うのでシールド板９は
不要となる。
【００１３】なお、上記の実施例では、フイラメント１
のイオン化室８に対する対向位置に電子トラップ６を熱
電子収束極として配設したが、この電子トラップ６の位
置にフイラメント１と全く同じフイラメント組立品を置
き、電気的に電子トラップ６として動作させて用いるこ
ともできる。このような構成にしておくとフイラメント
切れなどでフイラメントの交換が必要になった時でもフ
イラメントの交換はせず、電子トラップとして動作させ
ていた側のフイラメント組立品をフイラメントとして動
作させ、切れたフイラメント組立品を電子トラップとし
て動作させることによってフイラメント交換の手間を省
き、電気的切り換え操作のみで装置の測定を続行するこ
とができる。
のイオン化室８に対する対向位置に電子トラップ６を熱
電子収束極として配設したが、この電子トラップ６の位
置にフイラメント１と全く同じフイラメント組立品を置
き、電気的に電子トラップ６として動作させて用いるこ
ともできる。このような構成にしておくとフイラメント
切れなどでフイラメントの交換が必要になった時でもフ
イラメントの交換はせず、電子トラップとして動作させ
ていた側のフイラメント組立品をフイラメントとして動
作させ、切れたフイラメント組立品を電子トラップとし
て動作させることによってフイラメント交換の手間を省
き、電気的切り換え操作のみで装置の測定を続行するこ
とができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明の質量分析計は前記のように構成
されており、収束磁石にフイラメントを保持するポール
ピースと当接する面にポールピースと嵌合する凹部を設
けたので、フイラメントの交換は非常に簡単にでき、か
つフイラメント位置を常に正しい位置に定めることがで
きる。
されており、収束磁石にフイラメントを保持するポール
ピースと当接する面にポールピースと嵌合する凹部を設
けたので、フイラメントの交換は非常に簡単にでき、か
つフイラメント位置を常に正しい位置に定めることがで
きる。
【図１】 本発明の質量分析計の一実施例を示す図であ
る。
る。
【図２】 従来の質量分析計を示す図である。
１……………フイラメント ８…………………
イオン化室 ３ａ、３ｂ…セラミック板 ８ａ………………
イオン化室ブロック ４ａ、４ｂ…ポールピース ９…………………
シールド板 ５ａ、５ｂ…収束磁石 １０ａ、１０ｂ…
固定ネジ ６……………電子トラップ １５………………
質量分析部 ７……………ヨーク １６………………
イオン検出器
イオン化室 ３ａ、３ｂ…セラミック板 ８ａ………………
イオン化室ブロック ４ａ、４ｂ…ポールピース ９…………………
シールド板 ５ａ、５ｂ…収束磁石 １０ａ、１０ｂ…
固定ネジ ６……………電子トラップ １５………………
質量分析部 ７……………ヨーク １６………………
イオン検出器
Claims (1)
- 【請求項１】 熱電子を放出させるフイラメントと、そ
の放出された熱電子を収束させる収束磁石を有する質量
分析計において、前記フイラメントと収束磁石との間に
フイラメントと一体となるポールピースを配設し、この
ポールピースが収束磁石にて吸着されることによりフイ
ラメントが保持されるようにしたことを特徴とする質量
分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00775499A JP3775087B2 (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00775499A JP3775087B2 (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000208094A true JP2000208094A (ja) | 2000-07-28 |
| JP3775087B2 JP3775087B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=11674494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00775499A Expired - Lifetime JP3775087B2 (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3775087B2 (ja) |
-
1999
- 1999-01-14 JP JP00775499A patent/JP3775087B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3775087B2 (ja) | 2006-05-17 |
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