JP2007536553A - 高さ三角法測定方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
別の既知の光学的誤差は、通常異なる高さの結果が異なる方向の走査から達成されることにより表される。従って、測定の一般的方法は、物体を二度、即ち、右から左へ次いで左から右へ走査し、次いでその結果を平均化する方法である。本発明の「対称形構成」は、単一の走査で平均化を可能にする。
本発明の教示に従って、特に、表面上の物体の高さを測定する高さ三角法測定方法であって、
a)前記物体を既知の角度から空間的に非コヒーレントな狭い帯状光でもって照射するステップであって、前記既知の角度が前記光の帯に沿った大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の開口数とを有する、前記照射するステップと、
b)前記物体を、前記光の帯に沿った大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の小さい開口数とを用いてイメージングするステップと、
c)前記物体の高さを前記像上の前記光の帯の位置から計算するステップと
を備える高さ三角法測定方法が提供される。
・空間的に非コヒーレントな狭い帯状光でもって照射することが可能な照射手段と、
・前記物体を既知の角度からイメージングすることが可能なイメージング手段であって、前記物体上に前記光の帯の像を有する前記イメージング手段と、
・前記物体の高さを前記像上の前記光の帯の位置から計算する計算手段と
を備える高さ三角法測定システムが提供される。
・第1及び第2の照射及びイメージングの組を備え、前記第1の組は、前記物体を前記第2の組の反対角度から照射してイメージングし、前記組のそれぞれが、
−空間的に非コヒーレントである狭い帯状光でもって照射することが可能な照射手段であって、前記光の帯に沿った大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の小さい開口数とを有する前記照射手段と、
−前記物体への前記照射を反射し、且つ前記の反射された像を前記物体から直接通すことを可能にし、又はその逆を行うビーム・スプリッタと、
−前記物体をイメージングすることが可能なイメージング手段であって、前記物体上の前記光の帯の像を有する前記イメージング手段と、
−前記の照射及びイメージングの方向に配置された開口絞りと、を含み、
・前記第1及び第2の組により測定された前記像上の前記光の帯の位置から前記物体の両方の高さを計算して、その結果を平均化する計算手段を更に備える。
(1) 2ζ=φ+θ
ここで、sin(φ)及びsin(θ)は、投射チャネル及びイメージング・チャネルのそれぞれでの開口数である。
(2) DOF1=δ/sin(φ)
ここで、δは、照射された光の帯の幅である。
(3) DOF2=δ/sin(θ)
同じように言うと、長い焦点距離及び大きい測定範囲は、小さい開口数を要求する。
Claims (7)
- 特に、表面上の物体の高さを測定する高さ三角法測定方法であって、
a)前記物体を既知の角度から狭い帯状光でもって照射するステップであって、前記既知の角度が前記光の帯に沿った大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の小さい開口数とを有する、前記照射するステップと、
b)前記物体を、前記光の帯に沿った前記大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の前記小さい開口数とを有する既知の角度からイメージングして、前記物体及び前記光の帯を含む像を有するステップと、
c)前記物体の高さを前記像上の前記光の帯の位置から計算するステップと
を備える高さ三角法測定方法。 - 前記狭い帯状光が、空間的に非コヒーレントである請求項1記載の高さ三角法測定方法。
- 前記照射の方向に配置された第1の開口絞りと前記イメージングの方向に配置された第2の開口絞りとを使用することを更に含み、
前記開口絞りが、前記光の帯に対して平行に位置する長軸を有する矩形状通路を有し、
前記開口絞りが、前記の照射チャネル及び前記のイメージング・チャネルの開口数を定義するよう配置される
請求項1記載の高さ三角法測定方法。 - 対称形構成を使用することを更に含み、
照射及びイメージングの両方の側から、2つのビーム・スプリッタのそれぞれが異なる位置からの前記の照射を反射し、且つ前記の反射された像をイメージングするため直接通すことを可能にする前記2つのビーム・スプリッタを使用するステップを含む
請求項1記載の高さ三角法測定方法。 - 特に、表面上の物体の高さを測定する高さ三角法測定システムであって、
・前記物体を既知の角度から空間的に非コヒーレントである狭い帯状光でもって照射することが可能な照射手段であって、前記光の帯に沿った大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の小さい開口数とを有する前記照射手段と、
・前記物体を既知の角度からイメージングすることが可能なイメージング手段であって、前記物体上の前記光の帯の像を有する前記イメージング手段と、
・前記物体の高さを前記像上の前記光の帯の位置から計算する計算手段と
を備える高さ三角法測定システム。 - 前記照射の方向に配置された第1の開口絞りと前記イメージングの方向に配置された第2の開口絞りとを更に含み、
両方の前記開口絞りが、矩形状通路を有し、
両方の前記矩形状通路が、前記光の帯に対して平行に配置され、
前記開口絞りが、前記の照射チャネル及び前記のイメージング・チャネルの開口数を定義するよう配置される
請求項5記載の高さ三角法測定システム。 - 特に、表面上の物体の高さを測定する高さ三角法測定のための対称形構成システムであって、
・第1及び第2の照射及びイメージングの組を備え、
前記第1の組は、前記物体を前記第2の組の反対角度から照射してイメージングし、
前記組のそれぞれが、
−空間的に非コヒーレントである狭い帯状光でもって照射することが可能な照射手段であって、前記光の帯に沿った大きい開口数と前記光の帯に対して垂直方向の小さい開口数とを有する前記照射手段と、
−前記物体への前記照射を反射し、且つ前記の反射された像を前記物体から直接通すことを可能にし、又はその逆を行うビーム・スプリッタと、
−前記物体をイメージングすることが可能なイメージング手段であって、前記物体上の前記光の帯の像を有する前記イメージング手段と、
−前記の照射及びイメージングの方向に配置された開口絞りとを含み、
・前記第1及び第2の組により測定された前記像上の前記光の帯の位置から前記物体の両方の高さを計算して、その結果を平均化する計算手段を備える、対称形構成システム。
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