JP2007535170A - 動的走査フィールド湾曲の判定用装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
FPDを判定するための複数の方法が記載されてきた。これら方法の全てに関する共通事項は、外形(feature)(焦点基準又はFF)がウエハ上にプリントされ、続いて、焦点基準が測定されることである。焦点基準からのデータは処理され、FPD値δZが判定される。更に、これら方法の全てに共通して、ウエハ高さ,レンズ収差(レンズフィールド湾曲の形式で)、及び、ステージ同期が、はっきりとした成分として解明されることはない。
本発明に従い、ウエハ高さの変化ZW(x,y)の存在の下で、SFPDの適切な判定のためのプロセスが記載される。
一連のリソグラフィック露光が、フォトリソグラフィックスキャナを用いて、レジスト被覆シリコンウエハ上で実行される。リソグラフィック露光は、互いに対して独特な方法で配置される焦点基準のアレイを製作する。焦点基準が測定され、FPDが算出される。測定結果は、ウエハ高さの変化及び他のウエハ/レチクルステージの凹凸の存在の下で、絶対的な意味(absolute sense)での動的走査フィールド湾曲を算出するコンピュータアルゴリズムに供給される。好適な実施形態の代わりとなる形態は、非対称の露光フィールドを備えた走査システム用の動的な走査フィールド湾曲の判定を可能とする。
動的焦点面偏差
スキャナが動作する際に、Z方向における相互動作のため、ウエハ及びレチクルステージの不完全な同期からもたらされるスキャナ動的焦点面偏差(SFPD)の性能を判定することが求められる。図1は、本発明により較正されたスキャナシステムを概略的に示す図である。図1は、「動的走査フィールド湾曲」又は「動的走査FPD」又は単純に「SFPD」と呼ばれるものの原因となるような、スキャナと、走査方向に垂直なレチクルの動作(ΔZret)及びウエハの動作(ΔZwaf)と、を示している。SFPDは、動的レンズフィールド湾曲,レチクル/ウエハステージの凹凸(そり及び歪み)及びウエハ高さの変化などの他の動的焦点調整エラーとは関係しない、ウエハ高さセンサ及び調整器に起因するウエハ面での基本的な焦点における偏差である。このため、本発明は、ウエハ高の変化ZW(x,y)の存在の下で、SFPDを適切に判定するためのプロセスに関する。
ここで、連続したフィールド位置(x,y)が使用され、
ZL(x)=動的レンズフィールド湾曲=レンズからの寄与。これは、典型的に、ピストン及びロール(a+b*x、ここで、a及びbは一定である)の範囲内で知られている。図2及び5参照。
ZS(y)=動的スキャンピストン。上記「動的レンズフィールド湾曲」に記載されるように、これは、瞬時のピストン及びピッチの組合せの移動平均である。図5参照。
θ(y)=動的スキャンロール。これは、スキャナロールの移動平均である。図5及び6参照。
ZW(x,y)=スキャンフィールドにおけるウエハ高さ。図3及び5参照。
加えて、以下で説明するように、ZS(y)及びθ(y)は、スキャナ動的焦点面偏差(SFPD)として定義される。これは、単に、Z方向におけるステージ同期エラーに巻rねしたスキャナフィールド湾曲エラーである。動的レンズフィールド湾曲がない(ZL=0)完璧なレンズが存在しても、依然として、SFPDにより、焦点面偏差が存在し得る(ZS及びθ≠0)ことに注目すべきである。
本発明に従い、焦点基準(FF)が、ウエハ高さ変化の影響が隔絶させられ、また、動的スキャンFPD(SFPD)の真の測定値が取得され得るように、ウエハ上に露光される。
180°及び270°で配置されたウエハ位置調整マークを備えたレジスト被覆ウエハが提供される(図13)。マークの目的は、ウエハが、互いに+90°又は−90°だけ異なる2つの異なるノッチ角度で差し込まれ位置調整されることを可能とすることである。適用されるスキャナ及びFPD技術に従い、ウエハノッチは、それ自体で、その後のウエハ位置調整についての十分な精度を提供し得る。
その後、ウエハは、ノッチ角度N(N=0°,90°,180°又は270°)で装填され、対応するウエハ位置調整マークに対して位置調整される。
焦点基準レチクルが提供される。採用される正確な形式は、使用中の技術に依存するが、それらは、図12において、Pに等しいピッチ又は間隔における焦点基準(FF)の(2mx+1)*(2my+1)のアレイとして、全て概略的にあらわされる。各FFのサイズ又は程度は、Sである。レチクルは装填され、スキャナ上で位置調整される。図15は、この実施形態に使用され得る焦点基準レチクルの一例を概略的に示す図である。
(2mx+1)*(2my+1)の位置(図12)での焦点基準(FF)のアレイを含むレチクル(R)は、個々の焦点基準フィールドポイントが、近接した文字A:Yで符号付けされた露光フィールドA(図14a,例えばmx=2,my=2を伴う)を構成するウエハ上に露光される。次に、Nx及びNyが、奇数Nx=2mx+1,Ny=2my+1である場合について説明する。前述は、混合した奇数−偶数,偶数−奇数及び偶数−偶数(NX−NY)の構成に容易に一般化され得る。この露光は、フィールドがウエハ上において位置(XW1,YW1)で中央合わせされつつ行われる。露光済みのフィールドが、図14aに概略的に示される。焦点基準FFは、正方形のボックスであらわされ、A:Yで符号付けされている。
[XF(i),YF(j)]=(i*P/M,j*P/M)
の走査されたフィールド内の位置をあらわすインデックスi及びjがまた示される。(XF,YF)は、図3に示される座標(x,y)である。
続いて、ウエハが所望の角度に回転させられる。例えば、ウエハは、元のノッチ角度N(すなわちN±90°)から異なるノッチ角度90°に回転可能である。ウエハは、対応するウエハ位置調整マークに対して位置調整される。
ウエハは、フィールドセンタが第1の露光から距離Gだけシフトしつつ露光される。図14bは、第2の露光後のフィールドを示す。焦点基準A’:Y’は、この第2の露光により書き留められたものである。オフセットGは、焦点基準が別個で使用可能であるものの、サイズFの間隔においてウエハの平坦性が著しく変化しないように選択される。Gは、ウエハにおいて、典型的に1mmより小さいため、より高い空間周波数の変化のみが寄与する。ウエハ平坦性のパワースペクトル密度が、より高い空間周波数で迅速に低下するため、1mmより小さいサイズにおける変化が、典型的には小さくなる(≦10nm)。図14bでは、ウエハが、その露光のため、元のノッチ角度から−90°回転させられている。
ウエハは(任意に)現像される。最新のイメージを採用する技術の場合には、このステッパが省略されてもよい。例えば上記「フォーカル:製品ウエハステッパに関する最新イメージメトロジィ」参照。また、現像後には、ウエハが、焦点基準の品質を高めるために、エッチングされ、フォトレジストがはぎ取られてもよい。
この点で、焦点基準が測定され、そのデータが、FPD値δZに変換される。例えば、各FFが、上記米国特許第5828455号及び上記米国特許第5978085号に記載されるような大きなピンホール開口プレートを用いて露光されたボックスインボックスアレイであったなら、各ボックスインボックスの測定後に、ゼルニケ係数a4が判定され、それにより、FPDが推測される。
例えば「原位置(In-Situ)干渉計の性能検量」,M.テリー(M.Terry)等参照。ノッチ角度Nの焦点基準(FPD)の値を
として示す。ここで、i=−mx:mx、また、j=−my:myである。図14bでは、FFのA:Yに対応するFPD値が存在する。同様に、第2の露光のFFのそれらに対応するFPD値は、
ここで、i,jが同じインデックスを踏襲する。図14bでは、FFのA’:Y’に対応するFPD値が存在する。δZ(x,y)は、レンズ,スキャン,ウエハからの寄与へ分解され得る。
この分解は、以下で採用されることとなる。
動的レンズフィールド湾曲ZL(x)がFPDの測定結果δZに寄与する一方、それは、スキャナ高さのセンサ/アクチュエータサブシステムの評価から除外される必要がある。極端な例を採用するために、
であることから、平坦なウエハ(ZW=0)及び完璧なスキャンハードウェア(ZS=q=0)は、依然として、0でないFFの測定値δZを示すこととなる。
ここで、SWは、スロット幅又は走査方向(図4)に対して垂直な光学投影フィールドの幅である。そのため、スキャナ動的フィールド湾曲ZL(x)が提供される。提供されたZL(x)を判定する好適な方法は、上記特許出願「動的レンズフィールド湾曲の判定のための装置及びプロセス」に記載される。
この時点で、走査焦点面偏差SFPD(ZSj,θj)及びウエハ高さ偏差ZWijを判定するために、測定されたFPD値δZij,δZ90ij及び提供された動的レンズフィールド湾曲δZLiが組み合わせられる、
としてあらわされる。ここで、
ZS90i,θ90i=90°の回転で行われたスキャンに関するZSj,θiの類似体(analog)
P=レチクル上のFFのピッチ
M=投影ツール縮小倍率(典型的には4)、
そして、他の記号は、先に規定される通りである。
ここで、シングルクォート(’)が付けられた量(ZW’ij,ZS’j,θ’j,...)は独自に判定されるが、定数c,c”,d,d”,e,e”,f,f”が部分的にのみ判定される。残りの知られていない量の間における関係は、
ここで、c1,d1,e1,f1は、Mij,M90ij及びシングルクォート(’)が付けられた量(ZW’ij,...)から判定される。これらの不明確さの解消について説明する。
図13から、cは、SFPDの平均ピストン又は平均オフセットをあらわし、他方、c”(数式13)は、走査フィールドにわたる平均ウエハ高さである。これらの組合せ(数式18)が知られる一方で、数式11及び12は、それらの割当てを特定するものでない。しかしながら、走査フィールドにおける平均ウエハ高さは、スキャナ高さセンサ及びアクチュエータにより補正される若しくは較正されるため、この偏差の全てがスキャナに対して割り当てられる。
図14から、dは、動的スキャンピストンの平均スロープZSjをあらわす一方、数式13におけるd”は、走査方向の平均ウエハスロープである。更に、それらの合計値、数式19のd1が知られるが、数式11及び12は、それ以上の情報を提供するものでない。この場合、平均ウエハスロープd”は、走査高さセンサ及びアクチュエータにより完全に補正可能であるはずである。組合せd+d”は、平均ウエハ高さについて補正する際におけるエラーをあらわす。したがって、この解釈によれば、
となる。
数式13のf”は、露光フィールドにおいて、45°回転させられ、サドル形状をなすウエハ高さ変化である。そのロングレンジの特徴(long range character)のため、このモードは、スキャナ先読みセンサにより高品質で良好に検出される必要がある。
したがって、
この時点で、両方のスキャン((ZSj,θj),(ZS90j,θ90j))について、独自に、SFPDが判定される。
を最小にする定数c”,d”,e”,f”が計算される。
として算出される。ここで、星印(*)の付いた量は、最小ノルムSVDの解であり、ZWij,(ZSj,θj),(ZS90i,θ90i)は、ウエハ平坦性及びSFPDの最終判定をあらわしている。図16及び17は、上記方法の最終結果の例を示している。
上記第1の主要な実施形態では、走査されたフィールド(FX,FY)(図4)のサイズが、スロット幅SW及び最大スキャン長さSLのより小さい方よりも小さい若しくそれに等しい場合について、本発明の実施が詳細に説明される。本実施形態は、FY(Y方向における問合せ対象の(interrogated)フィールドサイズ)が図4の最小スロット幅SWよりも大きい場合に実施される。図12の焦点基準レチクル上の焦点基準に関して、
である場合に、X又はクロス走査方向NXmaxにおける投影されたフィールドにわたるFFの最大値、及び、Y又は走査方向NYにおけるFFの必要数が求められれば、本実施形態が適用可能である。数式36は、典型的に、スキャナフィールドに関して適用できる。図18は、本発明の実施形態を実行するためのステップを概説するものである。
第2の主要な実施形態(「ウエハの提供」及び「ウエハの装填及び位置調整」として列挙される)に関する第1の2つの動作は、前述した第1の主要な実施形態における対応する動作と同様である。上記第1及び第2の主要な実施形態は、以下の動作について異なる。
上記FFレチクルが提供され、装填され、そして、位置調整される。図19は、図20,21及び22に示される露光を実行するために用いられるこのFFレチクルのセクションを示している。FFは、正方形で支持され、文字A:AIで個々に符号付けされている。
焦点基準のNX×XYのアレイが露光される。前述したように、NXmax<NYである。図20は、A:AIで符号付けされた正方形によってあらわされるFFを伴う、NX=5×NY=7の第1の露光を示している。この露光は、ウエハノッチ角度(N)=270°で実行される。
ウエハは所望の角度で回転させられる。例えば、ウエハは、走査方向に対するウエハの向きが図23に示されるようになるように−90°回転されてもよい。この場合には、ノッチ角度=180°である。
第1の露光から距離Gだけ僅かにオフセットされたNX×NXの露光が実行される。それは、第1の露光の行irow=1:NX及び列icol=1:NXだけ重なる。図21は、重なり露光での結果を示す。A’:Y’は、このステップの間に露光されたFFであり、走査方向は、両端矢印により示される。行irow=6:7は、この露光の間に重ならない。
ウエハは、ウエハの回転に続いて、重ねられない行irow=NX+1:NY(図21のirow=6:7)が、元の露光irowの2つの行で重ねられるように、シフトされ、僅かにオフセットされる。
ウエハは、重ねられない行irow=NX+1:NY(図21のirow=6:7)が、元の露光irow=NX−1:NX(図20のirow=4:5)の2行で重ねられるように露光される。図22では、図19のFFレチクル上の対応位置が、同じ文字例えばA,A’により示され、また、図22のA”が、図19にて、Aで符号付けされたFFを用いて露光されたFFである。2つの重ねられた行(irow=4:5)の目的は、Z方向における第2及び第3スキャンの縫い合わせ(stitch)である。別個のスキャンは、動作可能な本発明に関して重ねられた2つ又はそれ以上の行を有する必要がある。
ウエハは(任意に)現像される。最新イメージを採用する技術(例えば、上記「フォーカル(FOCAL):製品ウエハステッパに関する最新イメージメトロジィ」参照)の場合、このステップは省略されてもよい。また、現像後に、ウエハは、焦点基準の品質を高めるために、エッチングされ、フォトレジストがはぎ取られてもよい。
焦点基準が測定され、FPD値に変換される。第1の露光(図22のFFのA:AI)から、FPD値
が設定される。ここで、NX=2mx+1及びNY=2my+1である。
図22の場合には、mx=2,my=3となる。
動的レンズフィールド湾曲ZL(x)がFPD測定値δXに寄与する一方で、それは、スキャナ高さセンサ/アクチュエータサブシステムの評価から除外される必要がある。
その結果、スキャナ動的フィールド湾曲ZL(x)が与えられる。上記「動的レンズフィールド湾曲」は、ZLを判定するための好適な方法を述べるものである。
この時点で、FFでの第1のスキャンのSFPD(ZSj,θj)及びウエハ高さ偏差ZWijを判定するために、測定されたFPD値δZij,δZ90ij,δZU90ij及び提供された動的レンズフィールド湾曲ZLiが組み合わせられる。
ここで、(ZSj,θj)=第1の露光に関した(総合スキャナピストン/ピッチ,総合スキャナロール)
(ZSL90i,θL90i)=第2の露光に関した同様のもの
(ZSU90i,θU90j)=第3の露光に関した同様のもの
P=レチクル上におけるFFのピッチ
M=投影ツール縮小倍率比
そして、他の符号については先に定義される通りである。
のウエハ高さZWijにおける不明確さ、及び、形式
をとる第1の露光における不明確さに全て関連付けられ得ることが明らかとなる。第2及び第3の露光SFPDは、また、パラメータ(c,c”,d,d”,e,e”,f,f”)の関数である不明確さを示しているが、新しいパラメータを一切含まない。これら不明確さの解決の考察は、上記第1の主要な実施形態における場合と同様であり、SFPDを判定するためのアルゴリズムを用いて実行され得る。
第1の走査(ZSj,θj)及びFFの位置におけるウエハ高さに関するSFPDを判定するための技術は、以下の動作から成る。
*数式43,44及び45につき、提供されたレンズ動的フィールド湾曲(ZL)が、測定されたFPD(δZ)から差し引かれる。
*ウエハ高さ(ZWij *),第1のスキャンSFPD(ZSj*,θj*),第2及び第3のスキャンSFPDに関する数値解法に至るべく、最小ノルム特異値分解を用いて、数式43,44及び45が解かれる(上記「数のレシピ,科学計算のアート」,pp.52-64、及び、上記「数のレシピ,科学計算のアート」,pp.509-520、参照)。
この発明の2つの主要な実施形態の複数の変形例について概説する。
第2の主要な実施形態においては、第2及び第3の露光により必要とされる最小のオーバラップ(2行)のケースの詳細について説明され示された。2行を越えて重ね、FFの完全な組を測定し、数式43,44及び45に類似した数式を設定し、そして、アルゴリズムセクションにおけるステップを実行することにより、性能の向上が実現可能である。
として算出されることとなる。ここで、
ZRij=x位置におけるレチクル平坦性の偏差=i及びy位置=j(図12)
M=縮小倍率比(典型的には4)
Claims (32)
- 投影レンズを有するフォトリソグラフィックスキャナに関連した動的スキャンフィールド湾曲を判定する方法において、
適切な記録媒体で被覆された支持基板上に、上記スキャナのレチクルにおける焦点基準のアレイを露光し、
上記支持基板を回転させ、再度位置調整し、
プリントされたオフセット焦点基準のアレイを作成するために、露光済みの第1の焦点基準のアレイから所定位置オフセットされつつ、上記レチクルを介して、第2の焦点基準のアレイを露光し、
上記焦点基準の測定結果、及び、フォトリソグラフィックスキャナに関する動的レンズフィールド湾曲マップに従い、動的スキャンフィールド湾曲を算出する、ステップを有している、ことを特徴とする方法。 - 上記焦点基準のアレイが2mx+1×2my+1のアレイである、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 上記支持基板が90°回転させられる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 上記第1及び第2の露光間におけるオフセットが、シフトされる間隔にわたる支持基板の平坦性が所望の量を超えて変化しないような量だけ行われる、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 上記支持基板が半導体ウエハである、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 上記支持基板がフラットパネルディスプレイである、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 上記支持基板がレチクルである、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 上記支持基板が電子記録媒体である、ことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 投影レンズ、及び、フィールド横断方向と比べてスキャン方向においてより長いスキャナフィールドを有するフォトリソグラフィックスキャナに関連した動的スキャンフィールド湾曲を判定する方法において、
記録媒体で被覆された支持基板上に、上記スキャナのレチクルにおける焦点基準のアレイを露光し、
上記支持基板を回転させ、再度位置調整し、
プリントされた焦点基準のアレイを作成するために、上記レチクルを介して第2の焦点基準のアレイを露光し、
所望方向において所望の量だけ上記支持基板をシフトし、
3レベルのプリントされた焦点基準のアレイを作成するために、上記レチクルを介して、第3の焦点基準のアレイを露光し、
上記焦点基準の測定結果、及び、上記フォトリソグラフィックスキャナに関する動的レンズフィールド湾曲に従って、動的スキャンフィールド湾曲を算出する、ステップを有している、ことを特徴とする方法。 - 上記焦点基準のアレイが2mx+1×2my+1のアレイである、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記支持基板が90°回転させられる、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記支持基板のシフトがx方向におけるシフトである、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記支持基板が、上記焦点基準の間隔ピッチの整数倍に等しい間隔シフトされる、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- シフトされた上記支持基板が所望の量だけオフセットされる、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記オフセットが、上記シフトされた間隔にわたる支持基板の平坦性が所望の量を超えて変化しないように行われる、ことを特徴とする請求項14記載の方法。
- 上記支持基板が半導体ウエハである、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記支持基板がフラットパネルディスプレイである、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記支持基板がレチクルである、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 上記支持基板が電子記録媒体である、ことを特徴とする請求項9記載の方法。
- フォトリソグラフィックスキャナの動的スキャンフィールド湾曲を判定するための装置において、
現像された支持基板から得られるデータを受けるデータインターフェースと、
露光済みの焦点基準及び動的レンズフィールド湾曲を備えた支持基板を測定することにより得られるメトロロジィのデータを上記データインターフェースから受けるように、また、上記支持基板上における焦点基準の測定結果に基づく焦点面偏差値に関連した動的スキャンフィールド湾曲を出力するように構成されたプロセッサと、を有している装置。 - 上記支持基板が半導体ウエハである、ことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 上記支持基板がフラットパネルディスプレイである、ことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 上記支持基板がレチクルである、ことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 上記支持基板が電子記録媒体である、ことを特徴とする請求項20記載の方法。
- 投影レンズと、
互いに関連して位置決めされ得るレチクルステージ及び支持基板キャリヤと、
上記スキャナの動的レンズフィールド湾曲を最小化するために、露光シーケンスに従い、上記レチクルステージ及び支持基板キャリヤを位置設定すべく投影スキャナを制御し、上記支持基板上に露光された焦点基準の測定結果及び動的レンズフィールド湾曲マップに従い、上記スキャナを調整し得るプロセッサと、を有している、ことを特徴とするフォトリソグラフィック投影スキャナ。 - 上記焦点基準の測定結果が、上記スキャナの測定サブシステム上でもたらされる、ことを特徴とする請求項25記載のスキャナ。
- 上記支持基板キャリヤが、半導体ウエハキャリヤである、ことを特徴とする請求項25記載のスキャナ。
- フォトグラフィック投影スキャナを制御する方法において、
適切な記録媒体で被覆された支持基板上にスキャナのレチクルにおける焦点基準のアレイを露光し、
上記支持基板を回転させ、再度位置調整し、
プリントされたオフセット焦点基準のアレイを作成するために、露光済みの第1の焦点基準のアレイから所定位置オフセットされつつ、上記レチクルを介して、第2の焦点基準のアレイを露光し、
上記焦点基準の測定結果、及び、フォトリソグラフィックスキャナに関する動的レンズフィールド湾曲マップに従い、動的スキャンフィールド湾曲を判定し、
上記スキャナの動的スキャンフィールド湾曲を最小化するために、判定された投影レンズの上記動的スキャンフィールド湾曲に従い、上記スキャナを調整する、ステップを有している、ことを特徴とする方法。 - 上記支持基板が半導体ウエハを有する、ことを特徴とする請求項28記載の方法。
- 半導体チップを製造する方法において、
スキャナに用いられる投影レンズの動的スキャンフィールド湾曲を受け、
半導体支持基板を露光しつつ、上記スキャナの動的スキャンフィールド湾曲の影響を最小化するために、受けられた上記投影レンズの動的スキャンフィールド湾曲に従い、上記スキャナを調整する、ステップを有している、ことを特徴とする方法。 - 上記受けられた動的スキャナフィールド湾曲が、現像された支持基板上における焦点基準の測定結果、及び、動的レンズフィールド湾曲マップに従い判定される、ことを特徴とする請求項30記載の方法。
- 上記動的スキャンフィールド湾曲を判定するステップが、更に、
適切な記録媒体で被覆された支持基板上に、スキャナのレチクルにおける焦点基準のアレイを露光し、
上記支持基板を回転させ、再度位置調整し、
プリントされたオフセット焦点基準のアレイを作成するために、露光済みの第1の焦点基準のアレイから所定位置オフセットされつつ、上記レチクルを介して、第2の焦点基準のアレイを露光し、
上記焦点基準の測定結果、及び、リソグラフィックスキャナに関する動的フィールド湾曲マップに従い、動的スキャンフィールド湾曲を算出する、ステップを有している、ことを特徴とする請求項31記載の方法。
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