JP3999775B2 - 自己参照の動的ステップおよび走査フィールド内レンズ歪みのための方法および装置 - Google Patents
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dxf(xf,yf) = Tx + s*xf q*yf + t1*xf2 + t2*xf*yf E*(xf3 + xf*yf2) (式1)
dyf(xf,yf) = Ty + s*yf + q*xf + t2*yf2 + t1*xf*yf E*(yf3 + yf*xf2) (式2)
式中
(xf,yf)=フィールド内座標
(dxf, dyf)(xf, yf)=(xf, yf)の位置におけるフィールド内歪み
(Tx, Ty)=(x,y) フィールド内並進
s=フィールド内全体の尺度または倍率
q=フィールド内回転
(t1, t2)=フィールド内台形誤差
E=フィールド内レンズ歪み
オーバーレイ誤差は、位置合わせ誤差またはパターン配置誤差、あるいは単に誤差と呼ばれることがよくある。オーバーレイ誤差は一般的に、グリッドあるいはフィールド間誤差、およびフィールド内誤差という2つのカテゴリーに分類あるいは分割される。フィールド内誤差は、リソグラフィ投影システムの投影フィールド(または単にフィールド)内での配置におけるオーバーレイ誤差である。フィールド間誤差は、ウェーハ上のフィールドとフィールドの間でのオーバーレイ誤差である。フィールド内誤差の例は図20に、フィールド間誤差の例は図19に示している。フォトリソグラフィスキャナでは、これらの誤差の物理的原因は一般的に明確である。フィールド内誤差は、静的投影レンズ収差および/または走査動力学によるものであるが、これに対してフィールド間誤差はウェーハアライメントシステム、ウェーハステージ、およびレチクルステージが原因である。以下に記載した解釈は、フォトリソグラフィスキャナに関連してレンズまたは結像対物光学によって生じるフィールド内誤差の判断である。
(ΔTx,ΔTy)・(x,y,ys) = (ΔX(ys)+θs(ys)*(y-ys) , ΔY(ys)-θs(ys)*x) 式3)
瞬間オフセットベクトルに対するもう一つの寄与は、投影レンズの静的歪みの寄与から発生する。従って、(ΔXsl,ΔYsl)・(x,y) が静的レンズ歪みである場合、瞬間オフセットベクトル (ΔTx,ΔTy) に対する寄与は以下のようになる:
(ΔTx,ΔTy)・(x,y,ys) = (ΔXsl,ΔYsl)・(x,y-ys) 式3a)
x = (-SW/2:SW/2) y = (-SH/2:SH/2) (式3b)
(ΔTx,ΔTy)・(x,y,ys)=
(ΔXsl,ΔYsl)・(x,y-ys) + (ΔX(ys)+θs(ys)*(y-ys) , ΔY(ys)-θs(ys)*x) 式3c)
ここで、x,yは、以下のフィールド内座標のスパン全体にわたって変化する;
x = (-SW/2:SW/2) y = (-L/2:L/2) 式3d)
ys=(y-SH/2:y+SH/2) 式3e)
これは投影画像が、スロット(正確には照射された部分)がフィールド位置 (x,y) 上にある場合のみ移動で問題が起るからである。
(ΔXF,ΔYF)・(x,y) =
INT{dys * w(y-ys)* (ΔTx,ΔTy)・(x,y,ys) } / INT{dys*w(y-ys)} 式3f)
式中、
x,y=フィールド内座標、x=(-SW/2:SW/2)、y=(-L/2:L/2)
ys=ダイの公称中心から基準を取った特定の瞬間での走査スリットの中心位置
SW=スロット幅
L=スキャナフィールド長さ
dys=スキャナフィールドの微分量
INT{}=スキャナフィールド上の積分、積分レンジはys=( (L+SH)/2 : (L+SH)/2) ) から延長
w(y)=重み関数。248nmのレジストでは、一般的にスロット輝度プロファイル走査スリットに比例する。スリット開口部の外の地点では0である。
(ΔXF,ΔYF)・(x,y)=フィールド内歪み。走査同期誤差およびレンズ収差の効果も含む。
(ΔXF,ΔYF)・(x,y)=(ΔxL,ΔyL)・(x) + (ΔXS(y),ΔYS(y) - x *dΔYS(y)/dx) 式3g)
式中、レンズ収差寄与 (ΔxL, ΔyL)・(x) は以下の式で求める:
(ΔxL,ΔyL)・(x) =
INT{dys * w(y-ys)* (ΔXsl,ΔYsl)・(x,y-ys) } / INT{dys*w(y-ys)} 式3h)
また、走査動力学寄与 (ΔXS(y),ΔYS(y) - x *dΔYS(y)/dx) は以下の式で求める:
(ΔXS(y),ΔYS(y) - x *dΔYS(y)/dx) = INT{dys * w(y-ys)
* (ΔX(ys)+θs(ys)*(y-ys) , ΔY(ys)-θs(ys)*x)} / INT{dys*w(y-ys)} 式3i)
ΔXS(y)=x方向の動的スリップ=INT{dys*w(ys)*ΔX(y-ys)} / INT{dys*w(ys)} 式3j)
ΔYS(y)=y方向の動的スリップ=INT{dys*w(ys)*ΔY(y-ys)} / INT{dys*w(ys)} 式3k)
同期誤差による動的偏揺または回転誤差は以下の式によって求める:
dΔYS(y)/dx = dynamic yaw = INT{dys*w(ys)*θs(ys))} / INT{dys*w(ys)} 式3l)
ΔxL(y)=x方向の動的レンズ歪み=INT{dys*w(ys)*ΔXsl (y-ys)} / INT{dys*w(ys)} 式3m)
ΔyL(y)=y方向の動的レンズ歪み=INT{dys*w(ys)*ΔYsl (y-ys)} / INT{dys*w(ys)} 式3n)
δX(x,y) = ΔXS(y) + ΔxL(x) , 式12)
δY(x,y) = ΔYS(y) + ΔyL(x) - x *dΔYS(y)/dx 式13)
δX(xfn,y) = ΔXS(yfn) + ΔxL(xfn) , 式13a)
δY(xfn,yfn) = ΔYS(yfn) + ΔyL(xfn) - ΔYR(xfn,yfn) 式13b)
式中 (xfn, yfn) は、各個別のアライメント属性の公称フィールド位置として(x,y)と入れ替わる(図1a参照)。また、ΔXS(yfn), ΔYS(yfn) は同期動力学と関連する積分した平均並進誤差を表し、ΔxL(xfn), ΔyL(xfn) はレンズ歪みに関連する並進誤差を表し、ΔYR(xfn,yfn) は積分した走査平均偏揺誤差 (ΔYR(xfn,yfn) = xfn*[dΔYS(yfn)/dxfn] = xfn*[θavg(yfn]) ) を表す。
列1位置、1回目の露光 =
[T1x - θ1*yfn+ΔxL(xfn)+ΔXS(yfn)],
[T1y + θ1*xfn + ΔyL(xfn)+ΔYS(yfn) + xfn*θavg(yfn)] 式14)
列2位置、1回目の露光 =
[T1x - θ1*yfn' + ΔxL(xfn)+ΔXS(yfn')],
[T1y + θ1*xfn + ΔyL(xfn)+ΔYS(yfn') + xfn*θavg(yfn')] 式15)
式中T1xおよびT1yは未知のフィールド並進、θ1は未知のフィールド回転である。
注記:1つの否定記号「'」は、列2の走査誤差が列1のものと違うことを強調している。
列2位置、2回目またはX剪断露光 =
[T2x-θ2*yfn'+ΔxL(xfn-Δ)+ΔXS2(yfn')],
[T2y+θ2*xfn+ΔyL(xfn-Δ)+ΔYS2(yfn') + xfn*θavg2(yfn')] 式16)
式中T2xおよびT2yは未知のフィールド並進、θ2は未知の回転、Δ=(-p") (図28参照)、および動的走査が起こした誤差項 (ΔXS2, ΔYS2, θavg2) は1回目の露光のものと明らかに異なり、これは接尾辞2で示される。
列1位置、3回目または180度回転した露光 =
[T3x - θ3*yfn - ΔxL(-xfn)+ΔXS3(yfn)],
[T3y + θ3*xfn - ΔyL(-xfn)+ΔYS3(yfn) + xfn*θavg3(yfn]] 式17)
式中、T3xおよびT3yは未知のフィールド並進、θ3は未知の回転、また、動的走査で起った誤差項 (ΔXS3, ΔYS3, θavg3) は1回目と2回目の露光のものと明らかに異なり、これは接尾辞3で示される。
BBX(a,2,X) = [(T2x-T1x+ ΔXS2(yfn') -ΔXS(yfn')) (θ2 - θ1)
*yfn' + ΔxL(xfn-Δ) - ΔxL(xfn)] 式18)
BBY(a,2,X) = [(T2y-T1y+ΔYS2(yfn')-ΔYS(yfn')) + (θ2-θ1+θavg2(yfn')-θavg(yfn'))*xfn+ΔyL(xfn-Δ)-ΔyL(xfn)] 式19)
式中にはBBX(a,2,X) およびBBY(a,2,X) を用いて、図28の (a,b=2) または列2にある重複アライメント属性(Box-in-Box structures)、つまりボックスインボックス構造のX剪断オーバーレイ誤差を示している。
BBX(a,1,R) =
[(T3x-T1x+ ΔXS3(yfn) -ΔXS(yfn)) (θ3 - θ1)*yfn - ΔxL(-xfn) - ΔxL(xfn)] 式20)
BBy(a,1,R) = [(T3y-T1y+ ΔYS3(yfn) -ΔYS(yfn)) +
(θ3 - θ1 + (avg3(yfn) - θavg(yfn))*xfn - ΔyL(-xfn) - ΔyL(xfn)] 式21)
式中にはBBx(a,1,R) およびBBy(a,1,R) を用いて、(a,b =1) にある重複アライメント属性(Box-in-Box structures)、つまりボックスインボックス構造のR剪断オーバーレイ誤差を示している(図28参照)。
ΔxL(xfn) = A +B * xfn 式22)
ΔyL(xfn) = C + D*xfn + E*xfn2 式22a)
式中A、B、C、D、およびEは未知の定数である。
これは各重複アライメント属性の一次方程式を求めること、および上述した方程式の過剰決定を解くことからして論理的な結果と言える。R剪断オーバーレイ測定値を含めることにより、(また、追加のデータを含めることより)計算のノイズを排除し、さらにEを決定する。故に、X剪断およびR剪断測定値を組み合わせることにより、以下の中でレンズ歪みを決定することができる:
ΔxL(xfn) = A +B * xfn 式23)
ΔyL(xfn) = C + D*xfn 式23a)
(A,C) = (x,y)、走査投影レンズによるフィールド内並進寄与。また、並進走査誤差寄与があるため、この未知の並進寄与定数を未知の走査誤差 (ΔXS(yfn),ΔYS(yfn)) に含めることができる。これは、分析の目的として無視している。さらに、ウェーハステージもこの誤差の原因となる可能性がある。
実施例のレチクルプレートの一部を図21に示した。マスクプレートの製造に使用するレチクルプレートのサイズ、オーバーレイターゲットパターンの形状、素材の種類について厳格な条件はない。オーバーレイターゲットパターンには様々なものがある。前述の非特許文献15とエム・ファン・デン・ブリンク(M. Van den Brink)等著"Direct-Referencing Automatic Two-Points Reticle-to-Wafer Alignment Using a Projection Column Servo System", SPIE Vol. 633, Optical Microlithography V, 60:71, 1986(先行文献J)を参照されたい。記載した実施例は、どのような種類の光学オーバーレイターゲットを用いるあらゆるフォトリソグラフィ走査システムで利用できる。この測定技術の精度はオーバーレイサンプリング密度に依存せず、これを考慮に入れるべきである。上述の論考では、オーバーレイパターンを作成するレチクルが完全であることを前提とした。実際にはこのようには行かないが、Nikon 5IやLeica LMS 3200シリーズツールなどの絶対測定ツールを用いて、すべてのオーバーレイグループにおける個々の構造の位置を最初に測ることによって、レチクル製造における誤差を考慮することができる。次に、式18〜式21を定式化することにおいて、レチクル誤差(フォトリソグラフィ露光ツールの微小化によって分割)は、方程式の右側に明確に書き出し、次に、生じた左側のオーバーレイ測定値から差し引く(従って右側を無効にする)。その結果は、上記の式18〜式21になるが、左側に現れるオーバーレイ測定値に修正を行っている。
図21に示したレチクルに代わって、別の実施例では図35に示したように、レチクルレイアウトを使用することもできる。図35に示したように、レチクルの各セットは、一定のピッチM*p"上で交互になった内部および外部ボックスコラムのMx X Myアレイからなる。このレチクルは、先ほどの実施例で述べたレチクルと同じ方法で使用される。レチクルのその他の変形としては、図36に示したようなダブルレチクルがある。各レチクルは、一定のピッチM*p"上の内部および外部ボックスターゲットのMx x Myアレイからなる。このレチクルセットを使用するには、まず、レチクル1を露光し、そして最終的なXおよびR剪断露光にレチクル2を使用するようフォトリソグラフィスキャナをプログラムする。
1806 走査ウェーハステージ
Claims (20)
- レチクルを有する投影結像ツールにおいて走査レンズ歪みを判断する方法で、その方法には以下が含まれる:
記録媒体を有する基板上に第1位置でレチクルパターンを露光すること、そこで該レチクルパターンは、アライメント属性からなる少なくとも2つのアレイを含み、アライメント属性の該アレイは相互補間する特徴があり、該アレイは、同じピッチを有すると共に、互いにオフセットとなり、各アレイは少なくとも2行2列を有する;
記録媒体を有する基板上に第2位置でレチクルパターンを露光すること、そこで第2位置のレチクルパターンが第1位置のレチクルパターンと重複し、走査方向に対して垂直の方向に、アレイのオフセットに対応する量だけ移動する;
該基板を180度回転し、該基板上に第3位置でレチクルパターンを露光すること、そこで第3位置のレチクルパターンが第1位置のレチクルパターンと重複する;
該基板上で重複して露光したパターンのアライメント属性の位置的オフセットを測定すること;および
該位置的オフセット測定値から走査レンズ歪みマップを決定すること。 - 請求項1に記載の方法で、走査レンズ歪みを決定することが、該基板と該レチクルの間の動作の相対性力学を決定することを含むもの。
- 請求項1に記載の方法で、該基板が半導体表面であるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該基板がシリコンウェーハであるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該基板がフラットパネルディスプレイであるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該基板がレチクルであるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該基板がフォトリソグラフィマスクであるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該基板が電子的記録媒体であるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該投影結像ツールがフォトリソグラフィステッパシステムで使用されるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該投影結像ツールがフォトリソグラフィ走査システムで使用されるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該投影結像ツールが電子ビーム結像システムで使用されるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該投影結像ツールが極紫外線フォトリソグラフィツールで使用されるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該投影結像ツールがX線結像システムで使用されるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該記録媒体がポジ型レジスト素材であるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該記録媒体がネガ型レジスト素材であるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該記録媒体が電子CCDであるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該記録媒体が液晶素材であるもの。
- 請求項1に記載の方法で、該記録媒体が感光素材であるもの。
- リソグラフィ投影結像の装置で、該装置が以下のものを含むもの:
投影レンズ;および
記録媒体を有する基板を支持するウェーハステージで、該基板上に第1位置でレチクルパターンを露光し、そこで該レチクルパターンは、アライメント属性からなる少なくとも2つのアレイを含み、アライメント属性の該アレイは相互補間する特徴があり、該アレイは、同じピッチを有すると共に、互いにオフセットとなり、各アレイは少なくとも2行2列を有し、該基板上に第2位置でレチクルパターンを露光し、そこで第2位置のレチクルパターンが第1位置のレチクルパターンと重複し、走査方向に対して垂直の方向にアレイのオフセットに対応する量だけ移動し、該基板を180度回転し、該基板上に第3位置でレチクルパターンを露光し、そこで第3位置のレチクルパターンが第1位置のレチクルパターンと重複し、該基板上で重複して露光したパターンのアライメント属性の位置的オフセットを測定し、該位置的オフセット測定値から走査レンズ歪みマップを決定するもの。 - 投影結像システムにおいて走査レンズ歪みを判断する方法で、その方法には以下が含まれる:
記録媒体を有する基板上に任意の位置でレチクルパターンを露光すること、そこで該レチクルパターンは、アライメント属性からなる少なくとも2つのアレイを含み、アライメント属性の該アレイは相互補間する特徴があり、該アレイは、同じピッチを有すると共に、互いにオフセットとなり、そこで該レチクルパターンを第1位置で露光し、該基板は走査方向に対して垂直の方向に任意の量だけ移動し、該レチクルパターンを第2位置で露光し、該基板を180度回転し、さらに該レチクルパターンに3回目の露光を施す;
露光した該レチクルパターンに含まれるアライメント属性の位置的オフセットを測定すること;および
生じた位置的オフセットから走査レンズ歪みを判断すること。
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