JP2007531311A - 超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを生成する方法及び機器であり、これは、超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムを含むことができ、少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムが、主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取り、少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々は、1を少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅して超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成し、発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めすることができる。機器及び方法は、電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されたビーム送出ユニットを更に含むことができる。機器及び方法は、MOPO構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムとすることができる。機器及び方法は、毎秒x回充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドと、少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバと、圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続され、第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含み、少なくとも2つのスイッチの1つだけが、xを少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で第1のバイアス電流を受け取り、一方で少なくとも2つのスイッチの残りが第2のバイアス電流を受け取るようにバイアス電流を第1のバイアス電流から第2のバイアス電流に切り換えるスイッチング回路を含む、少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチとを含むことができる。この機器及び方法は、リソグラフィツールとして又はレーザ生成プラズマEUV光の生成に利用することができる。
【選択図】図2A
Description
このような方法で、それぞれの電極対90B、92B及び90C、92Cを備えたPAチャンバを、所定のMOレーザ出力パルス14Aの代わりにガス放電の生成に対して代替的に選択することができる。
MOビームが例えばPA放電の幅の約半分にされる場合では、本発明の実施形態の態様により、PAチャンバにおける利得を本質的に完全に一掃させるために、PAチャンバ電極90B、92B及び90C、92Cの二重通過を実行することができる。上述のように、これは、例えば8〜10KHzに達する高繰返し数問題を高電力問題から実質的に分離する。
本発明の実施形態の態様は、例えば6KHzでのMO放電及び各々が3KHZで放電する2つのPAを使用する例えば約6KHzのパルス繰返し数、又は例えば4KHzよりも大きいパルス繰返し数に対する別の可能な組合せを達成するために使用することができることも当業者は理解するであろう。
16 ビーム検出器
18A 出力カプラ
20 電力増幅システム
24A 全反射ミラー
Claims (138)
- MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムであって、
超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムと、
前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取る少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムと、
を含み、
前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々は、1を該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい前記超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、前記受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅し、該超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成する、
ことを特徴とするシステム。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧4000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧4000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧5000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧5000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項5に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項6に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項7に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の機器。 - MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム、
を含み、
前記システムは、
超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムと、
前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取る少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムと、
を含み、
前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々は、1を該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい前記超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、前記受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅し、該超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成する、
ことを特徴とするリソグラフィツール。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、2つの電力増幅ガス放電レーザシステムである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧4000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧4000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧5000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧5000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項17に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項18に記載の機器。 - MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム、
を含み、
前記システムは、
超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムと、
前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取る少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムと、
を含み、
前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々は、1を該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい前記超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、前記受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅し、該超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成する、
ことを特徴とするレーザ生成プラズマEUV光源。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、2つの電力増幅ガス放電レーザシステムである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項25に記載の機器。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項25に記載の機器。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項26に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧4000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項27に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧4000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項28に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧5000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項27に記載の機器。 - 前記主発振器ガス放電レーザシステムは、x≧5000Hzのパルス繰返し数で点火され、
各電力増幅ガス放電レーザは、(1/2)xで点火される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項28に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項29に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項30に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項31に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項32に記載の機器。 - MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムであって、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第1のレーザ出力光パルスビームを生成する第1の線狭化ガス放電レーザシステムと、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第2のレーザ出力光パルスビームを生成する第2の線狭化ガス放電レーザシステムと、
前記第1及び第2の出力光パルスビームを≧4000Hzのパルス繰返し数を有する結合レーザ出力光パルスビームに結合するビーム結合器と、
を含むことを特徴とするシステム。 - 前記第1のレーザ出力光パルスビームは、≧4000Hzのパルス繰返し数で生成され、前記第2のレーザ出力光パルスビームは、≧4000の繰返し数で生成される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記第1のレーザ出力光パルスビームは、≧5000Hzのパルス繰返し数で生成され、前記第2のレーザ出力光パルスビームは、≧5000の繰返し数で生成される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項38に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項39に記載の機器。 - MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム、
を含み、
前記システムは、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第1のレーザ出力光パルスビームを生成する第1の線狭化ガス放電レーザシステムと、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第2のレーザ出力光パルスビームを生成する第2の線狭化ガス放電レーザシステムと、
前記第1及び第2の出力光パルスビームを≧4000Hzのパルス繰返し数を有する結合レーザ出力光パルスビームに結合するビーム結合器と、
を含む、
ことを特徴とするリソグラフィツール。 - 前記第1のレーザ出力光パルスビームは、≧4000Hzのパルス繰返し数で生成され、前記第2のレーザ出力光パルスビームは、≧4000の繰返し数で生成される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項43に記載の機器。 - 前記第1のレーザ出力光パルスビームは、≧5000Hzのパルス繰返し数で生成され、前記第2のレーザ出力光パルスビームは、≧5000の繰返し数で生成される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項43に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項43に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項44に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項45に記載の機器。 - MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステム、
を含み、
前記システムは、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第1のレーザ出力光パルスビームを生成する第1の線狭化ガス放電レーザシステムと、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第2のレーザ出力光パルスビームを生成する第2の線狭化ガス放電レーザシステムと、
前記第1及び第2の出力光パルスビームを≧4000Hzのパルス繰返し数を有する結合レーザ出力光パルスビームに結合するビーム結合器と、
を含む、
ことを特徴とするレーザ生成プラズマEUV光源。 - 前記第1のレーザ出力光パルスビームは、≧4000Hzのパルス繰返し数で生成され、前記第2のレーザ出力光パルスビームは、≧4000の繰返し数で生成される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の機器。 - 前記第1のレーザ出力光パルスビームは、≧5000Hzのパルス繰返し数で生成され、前記第2のレーザ出力光パルスビームは、≧5000の繰返し数で生成される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項49に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項50に記載の機器。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニット、
を更に含むことを特徴とする請求項51に記載の機器。 - 毎秒x回で充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドと、
少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバと、
第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含み、かつ、スイッチの1つだけが、xを前記少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で該第1のバイアス電流を受け取る一方、スイッチの残りが該第2のバイアス電流を受け取るようにバイアス電流を該第1のバイアス電流から該第2のバイアス電流に切り換えるスイッチング回路を含む、前記圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と該少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続された少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチと、
を含むことを特徴とする超高繰返し数ガス放電レーザシステム。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
前記少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチは、2つの磁気飽和可能スイッチであり、
前記スイッチング回路は、前記第1のバイアス電流を前記2つの磁気飽和可能スイッチの一方に切り換え、同時に前記第2のバイアス電流を第2の磁気飽和可能スイッチに切り換える、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、前記ガス放電チャンバ内に並列に位置決めされており、
最初に第1の組の電極対間の間隙を取り囲み、次に第2の組の電極対間の間隙を取り囲む流路で前記ガス放電チャンバを通してガスを循環させるガス循環システムと、
前記ガス流路の前記第1及び第2の組のガス放電電極対間のガスコンバータと、
を更に含むことを特徴とする請求項55に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、前記ガス放電チャンバ内に並列に位置決めされており、
最初に第1の組の電極対間の間隙を取り囲み、次に第2の組の電極対間の間隙を取り囲む流路で前記ガス放電チャンバを通してガスを循環させるガス循環システムと、
前記ガス流路の前記第1及び第2の組のガス放電電極対間のガスコンバータと、
を更に含むことを特徴とする請求項56に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項55に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項56に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項57に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項58に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
回折帯域幅選択光学器械と、
第1の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に透過し、第2の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に反射する第1の偏光ビーム分割器を含む第1の組のガス放電電極対に整列した、線狭化パッケージへの第1の光路と、
第1の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第1の偏光方向に偏光させる、前記第1の光路に整列した第1及び第2の空洞窓と、
第2の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第2の偏光方向に偏光させる、前記第2の組の電極対に整列した第1及び第2の空洞窓と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光ビーム分割器内に反射するビーム反射器と、
前記回折帯域幅選択光学器械内に入力される時には前記第2の組の電極対からの前記出力レーザ光パルスを前記第1の偏光に偏光させ、該回折帯域幅選択光学器械から戻る時には該第2の組の電極対からの該出力レーザ光パルスを前記第2の偏光方向に再偏光させる、前記第1の偏光ビーム分割器と該回折帯域幅選択光学器械の間の第1の偏光機構と、
前記第1の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に透過し、前記第2の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に反射する、前記第1の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスの前記出力部上の第2の偏光ビーム分割器と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第2の偏光ビーム分割器に反射するビーム反射器と、
を含む単一線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項55に記載の機器。 - 前記第2の偏光ビーム分割器で反射された前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光方向に偏光させる第2の偏光機構、
を更に含むことを特徴とする請求項63に記載の機器。 - 前記第1及び/又は前記第2の偏光機構は、前記第2の組の電極対の間で発生した光の有無に応じて前記回折帯域幅選択光学器械への前記光路内へ及び光路からディザされるディザ式2分の1波長板である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項63に記載の機器。 - 前記第1及び/又は前記第2の偏光機構は、前記第2の組の電極対の間で発生した光の有無に応じて前記回折帯域幅選択光学器械への前記光路内へ及び光路からディザされるディザ式2分の1波長板である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項64に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項63に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項64に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項65に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項66に記載の機器。 - 毎秒x回で充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドと、
少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバと、
第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含み、かつ、スイッチの1つだけが、xを前記少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で該第1のバイアス電流を受け取る一方、スイッチの残りが該第2のバイアス電流を受け取るようにバイアス電流を該第1のバイアス電流から該第2のバイアス電流に切り換えるスイッチング回路を含む、前記圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と該少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続された少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチと、
を含む超高繰返し数ガス放電レーザシステム、
を含むことを特徴とするリソグラフィツール。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
前記少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチは、2つの磁気飽和可能スイッチであり、
前記スイッチング回路は、前記第1のバイアス電流を前記2つの磁気飽和可能スイッチの一方に切り換え、同時に前記第2のバイアス電流を第2の磁気飽和可能スイッチに切り換える、
ことを更に含むことを特徴とする請求項71に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、前記ガス放電チャンバ内に並列に位置決めされており、
最初に第1の組の電極対間の間隙を取り囲み、次に第2の組の電極対間の間隙を取り囲む流路で前記ガス放電チャンバを通してガスを循環させるガス循環システムと、
前記ガス流路の前記第1及び第2の組のガス放電電極対間のガスコンバータと、
を更に含むことを特徴とする請求項71に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、前記ガス放電チャンバ内に並列に位置決めされており、
最初に第1の組の電極対間の間隙を取り囲み、次に第2の組の電極対間の間隙を取り囲む流路で前記ガス放電チャンバを通してガスを循環させるガス循環システムと、
前記ガス流路の前記第1及び第2の組のガス放電電極対間のガスコンバータと、
を更に含むことを特徴とする請求項72に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項71に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項72に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項73に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項74に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
回折帯域幅選択光学器械と、
第1の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に透過し、第2の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に反射する第1の偏光ビーム分割器を含む第1の組のガス放電電極対に整列した、線狭化パッケージへの第1の光路と、
第1の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第1の偏光方向に偏光させる、前記第1の光路に整列した空洞窓と、
第2の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第2の偏光方向に偏光させる、前記第2の組の電極対に整列した空洞窓と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光ビーム分割器内に反射するビーム反射器と、
前記回折帯域幅選択光学器械内に入力される時には前記第2の組の電極対からの前記出力レーザ光パルスを前記第1の偏光に偏光させ、該回折帯域幅選択光学器械から戻る時には該第2の組の電極対からの該出力レーザ光パルスを前記第2の偏光方向に再偏光させる、前記第1の偏光ビーム分割器と該回折帯域幅選択光学器械の間の第1の偏光機構と、
前記第1の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に透過し、前記第2の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に反射する、前記第1の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスの前記出力部上の第2の偏光ビーム分割器と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第2の偏光ビーム分割器に反射するビーム反射器と、
を含む単一線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項71に記載の機器。 - 前記第2の偏光ビーム分割器で反射された前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光方向に偏光させる第2の偏光機構、
を更に含むことを特徴とする請求項79に記載の機器。 - 前記第1及び/又は前記第2の偏光機構は、前記第2の組の電極対の間で発生した光の有無に応じて前記回折帯域幅選択光学器械への前記光路内へ及び光路からディザされるディザ式2分の1波長板である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項79に記載の機器。 - 前記第1及び/又は前記第2の偏光機構は、前記第2の組の電極対の間で発生した光の有無に応じて前記回折帯域幅選択光学器械への前記光路内へ及び光路からディザされるディザ式2分の1波長板である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項80に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項79に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項80に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項81に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項82に記載の機器。 - 毎秒x回で充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドと、
少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバと、
第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含み、かつ、スイッチの1つだけが、xを前記少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で該第1のバイアス電流を受け取る一方、スイッチの残りが該第2のバイアス電流を受け取るようにバイアス電流を該第1のバイアス電流から該第2のバイアス電流に切り換えるスイッチング回路を含む、前記圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と該少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続された少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチと、
を含む超高繰返し数ガス放電レーザシステム、
を含むことを特徴とするレーザ生成プラズマEUV光源。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
前記少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチは、2つの磁気飽和可能スイッチであり、
前記スイッチング回路は、前記第1のバイアス電流を前記2つの磁気飽和可能スイッチの一方に切り換え、同時に前記第2のバイアス電流を第2の磁気飽和可能スイッチに切り換える、
ことを更に含むことを特徴とする請求項87に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、前記ガス放電チャンバ内に並列に位置決めされており、
最初に第1の組の電極対間の間隙を取り囲み、次に第2の組の電極対間の間隙を取り囲む流路で前記ガス放電チャンバを通してガスを循環させるガス循環システムと、
前記ガス流路の前記第1及び第2の組のガス放電電極対間のガスコンバータと、
を更に含むことを特徴とする請求項87に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、前記ガス放電チャンバ内に並列に位置決めされており、
最初に第1の組の電極対間の間隙を取り囲み、次に第2の組の電極対間の間隙を取り囲む流路で前記ガス放電チャンバを通してガスを循環させるガス循環システムと、
前記ガス流路の前記第1及び第2の組のガス放電電極対間のガスコンバータと、
を更に含むことを特徴とする請求項88に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項87に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項88に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項89に記載の機器。 - 各々が前記少なくとも2組のガス放電電極対のそれぞれに光学的に相互接続した少なくとも2つの線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項90に記載の機器。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
回折帯域幅選択光学器械と、
第1の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に透過し、第2の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に反射する第1の偏光ビーム分割器を含む第1の組のガス放電電極対に整列した、線狭化パッケージへの第1の光路と、
第1の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第1の偏光方向に偏光させる、前記第1の光路に整列した空洞窓と、
第2の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第2の偏光方向に偏光させる、前記第2の組の電極対に整列した空洞窓と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光ビーム分割器内に反射するビーム反射器と、
前記回折帯域幅選択光学器械内に入力される時には前記第2の組の電極対からの前記出力レーザ光パルスを前記第1の偏光に偏光させ、該回折帯域幅選択光学器械から戻る時には該第2の組の電極対からの該出力レーザ光パルスを前記第2の偏光方向に再偏光させる、前記第1の偏光ビーム分割器と該回折帯域幅選択光学器械の間の第1の偏光機構と、
前記第1の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に透過し、前記第2の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に反射する、前記第1の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスの前記出力部上の第2の偏光ビーム分割器と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第2の偏光ビーム分割器に反射するビーム反射器と、
を含む単一線狭化パッケージ、
を更に含むことを特徴とする請求項87に記載の機器。 - 前記第2の偏光ビーム分割器で反射された前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光方向に偏光させる第2の偏光機構、
を更に含むことを特徴とする請求項95に記載の機器。 - 前記第1及び/又は前記第2の偏光機構は、前記第2の組の電極対の間で発生した光の有無に応じて前記回折帯域幅選択光学器械への前記光路内へ及び光路からディザされるディザ式2分の1波長板である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項95に記載の機器。 - 前記第1及び/又は前記第2の偏光機構は、前記第2の組の電極対の間で発生した光の有無に応じて前記回折帯域幅選択光学器械への前記光路内へ及び光路からディザされるディザ式2分の1波長板である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項96に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項95に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項96に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項97に記載の機器。 - 前記第1及び/又は第2の偏光機構は、前記出力レーザ光パルスのパルス繰返し数で調節された励起光学要素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項98に記載の機器。 - MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを生成する方法であって、
超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムを利用する段階と、
前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取る少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを利用し、該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々において、1を該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい前記超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、該受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅して、該超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項103に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項103に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項104に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項103に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項104に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項105に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項106に記載の方法。 - 超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムを利用する段階と、
前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取る少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを利用し、該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々において、1を該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい前記超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、該受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅して、該超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成する段階と、
を含むMOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを生成する方法を利用する段階、
を含むことを特徴とする、集積回路リソグラフィを実行する方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項111に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項111に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項112に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項111に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項112に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項113に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項114に記載の方法。 - レーザ生成プラズマを利用してEUV光を生成する方法であって、
超高パルス繰返し数で発振器レーザ出力光パルスのビームを生成する主発振器ガス放電レーザシステムを利用する段階と、
前記主発振器ガス放電レーザシステムからレーザ出力光パルスを受け取る少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを利用し、該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの各々において、1を該少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムの数で割ったものに等しい前記超高パルス繰返し数の分数であるパルスの繰返しで、該受け取ったレーザ出力光パルスの一部を増幅して、該超高パルス繰返し数の増幅出力レーザ光パルスビームを形成する段階と、
を含むMOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを利用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、2つの電力増幅ガス放電レーザシステムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項119に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項120に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの電力増幅ガス放電レーザシステムは、前記発振器レーザ出力光パルスビームに関して直列に位置決めされている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項121に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項119に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項120に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項121に記載の方法。 - 前記電力増幅レーザシステムのレーザ光出力部に接続されて、該電力増幅レーザシステムの出力を光利用ツールの入力部に誘導し、かつ少なくともビーム指向及び方向制御を提供するビーム送出ユニットを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項122に記載の方法。 - 超高繰返し数ガス放電レーザパルスを生成する方法であって、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第1のレーザ出力光パルスビームを生成する第1の線狭化ガス放電レーザシステムと、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第2のレーザ出力光パルスビームを生成する第2の線狭化ガス放電レーザシステムと、
前記第1及び第2の出力光パルスビームを≧4000Hzのパルス繰返し数を有する結合レーザ出力光パルスビームに結合するビーム結合器と、
を含む、MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを利用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 集積回路リソグラフィを実行する方法であって、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第1のレーザ出力光パルスビームを生成する第1の線狭化ガス放電レーザシステムと、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第2のレーザ出力光パルスビームを生成する第2の線狭化ガス放電レーザシステムと、
前記第1及び第2の出力光パルスビームを≧4000Hzのパルス繰返し数を有する結合レーザ出力光パルスビームに結合するビーム結合器と、
を含む、MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを利用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - レーザ生成プラズマEUV光源を生成する方法であって、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第1のレーザ出力光パルスビームを生成する第1の線狭化ガス放電レーザシステムと、
≧2000Hzのパルス繰返し数で第2のレーザ出力光パルスビームを生成する第2の線狭化ガス放電レーザシステムと、
前記第1及び第2の出力光パルスビームを≧4000Hzのパルス繰返し数を有する結合レーザ出力光パルスビームに結合するビーム結合器と、
を含む、MOPA構成における超高繰返し数ガス放電レーザシステムを利用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 超高繰返し数ガス放電レーザパルスを生成する方法であって、
毎秒x回で充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドを利用する段階と、
少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバを利用する段階と、
前記圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と前記少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続されて、第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含む少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチを利用し、該少なくとも2つのスイッチの1つだけが、xを該少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で該第1のバイアス電流を受け取る一方、該少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチの残りが該第2のバイアス電流を受け取るように、バイアス電流を該第1のバイアス電流から該第2のバイアス電流に切り換える段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
前記少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチは、2つの磁気飽和可能スイッチであり、
前記切り換える段階は、前記第1のバイアス電流を前記2つの磁気飽和可能スイッチの一方に切り換え、同時に前記第2のバイアス電流を第2の磁気飽和可能スイッチに切り換える、
ことを更に含むことを特徴とする請求項130に記載の方法。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
回折帯域幅選択光学器械と、
第1の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に透過し、第2の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に反射する第1の偏光ビーム分割器を含む第1の組のガス放電電極対に整列した、線狭化パッケージへの第1の光路を設ける段階と、
第1の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第1の偏光方向に偏光させる、前記第1の光路に整列した空洞窓を設ける段階と、
第2の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第2の偏光方向に偏光させる、前記第2の組の電極対に整列した空洞窓を設ける段階と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光ビーム分割器内に反射するビーム反射器を設ける段階と、
前記回折帯域幅選択光学器械内に入力される時には前記第2の組の電極対からの前記出力レーザ光パルスを前記第1の偏光に偏光させ、該回折帯域幅選択光学器械から戻る時には該第2の組の電極対からの該出力レーザ光パルスを前記第2の偏光方向に再偏光させる、前記第1の偏光ビーム分割器と該回折帯域幅選択光学器械の間の第1の偏光機構を利用する段階と、
前記第1の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に透過し、前記第2の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に反射する、前記第1の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスの前記出力部上の第2の偏光ビーム分割器を設ける段階と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第2の偏光ビーム分割器に反射するビーム反射器を設ける段階と、
を含む単一線狭化パッケージを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項130に記載の方法。 - 集積回路リソグラフィを実行する方法であって、
毎秒x回で充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドを利用する段階と、
少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバを利用する段階と、
前記圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と前記少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続されて、第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含む少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチを利用し、該少なくとも2つのスイッチの1つだけが、xを該少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で該第1のバイアス電流を受け取る一方、該少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチの残りが該第2のバイアス電流を受け取るように、バイアス電流を該第1のバイアス電流から該第2のバイアス電流に切り換える段階と、
を含む超高繰返し数ガス放電レーザパルスを生成する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
前記少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチは、2つの磁気飽和可能スイッチであり、
前記切り換える段階は、前記第1のバイアス電流を前記2つの磁気飽和可能スイッチの一方に切り換え、同時に前記第2のバイアス電流を第2の磁気飽和可能スイッチに切り換える、
ことを更に含むことを特徴とする請求項133に記載の方法。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
回折帯域幅選択光学器械と、
第1の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に透過し、第2の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に反射する第1の偏光ビーム分割器を含む第1の組のガス放電電極対に整列した、線狭化パッケージへの第1の光路を設ける段階と、
第1の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第1の偏光方向に偏光させる、前記第1の光路に整列した空洞窓を設ける段階と、
第2の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第2の偏光方向に偏光させる、前記第2の組の電極対に整列した空洞窓を設ける段階と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光ビーム分割器内に反射するビーム反射器を設ける段階と、
前記回折帯域幅選択光学器械内に入力される時には前記第2の組の電極対からの前記出力レーザ光パルスを前記第1の偏光に偏光させ、該回折帯域幅選択光学器械から戻る時には該第2の組の電極対からの該出力レーザ光パルスを前記第2の偏光方向に再偏光させる、前記第1の偏光ビーム分割器と該回折帯域幅選択光学器械の間の第1の偏光機構を利用する段階と、
前記第1の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に透過し、前記第2の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に反射する、前記第1の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスの前記出力部上の第2の偏光ビーム分割器を設ける段階と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第2の偏光ビーム分割器に反射するビーム反射器を設ける段階と、
を含む単一線狭化パッケージを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項134に記載の機器の方法。 - レーザ生成プラズマを利用してEUV光を生成する方法であって、
毎秒x回で充電される圧縮ヘッド電荷貯蔵装置を含む圧縮ヘッドを利用する段階と、
少なくとも2組のガス放電電極対を含むガス放電チャンバを利用する段階と、
前記圧縮ヘッド電荷貯蔵装置と前記少なくとも2組の電極対の1つとの間にそれぞれ接続されて、第1のバイアス巻線のための第1のバイアス電流及び第2のバイアス巻線のための第2のバイアス電流を有する第1及び第2の対向バイアス巻線を含む少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチを利用し、該少なくとも2つのスイッチの1つだけが、xを該少なくとも2組の電極対の数で割算したものに等しい繰返し数で該第1のバイアス電流を受け取る一方、該少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチの残りが該第2のバイアス電流を受け取るように、バイアス電流を該第1のバイアス電流から該第2のバイアス電流に切り換える段階と、
を含む超高繰返し数ガス放電レーザパルスを生成する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
前記少なくとも2つの磁気飽和可能スイッチは、2つの磁気飽和可能スイッチであり、
前記切り換える段階は、前記第1のバイアス電流を前記2つの磁気飽和可能スイッチの一方に切り換え、同時に前記第2のバイアス電流を第2の磁気飽和可能スイッチに切り換える、
ことを更に含むことを特徴とする請求項136に記載の方法。 - 前記少なくとも2組のガス放電電極対は、2組のガス放電電極対であり、
回折帯域幅選択光学器械と、
第1の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に透過し、第2の偏光のレーザ光パルスを実質的に完全に反射する第1の偏光ビーム分割器を含む第1の組のガス放電電極対に整列した、線狭化パッケージへの第1の光路を設ける段階と、
第1の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第1の偏光方向に偏光させる、前記第1の光路に整列した空洞窓を設ける段階と、
第2の組の電極対からのレーザ出力光パルスを第2の偏光方向に偏光させる、前記第2の組の電極対に整列した空洞窓を設ける段階と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第1の偏光ビーム分割器内に反射するビーム反射器を設ける段階と、
前記回折帯域幅選択光学器械内に入力される時には前記第2の組の電極対からの前記出力レーザ光パルスを前記第1の偏光に偏光させ、該回折帯域幅選択光学器械から戻る時には該第2の組の電極対からの該出力レーザ光パルスを前記第2の偏光方向に再偏光させる、前記第1の偏光ビーム分割器と該回折帯域幅選択光学器械の間の第1の偏光機構を利用する段階と、
前記第1の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に透過し、前記第2の偏光のレーザ出力光パルスを実質的に完全に反射する、前記第1の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスの前記出力部上の第2の偏光ビーム分割器を設ける段階と、
前記第2の組の電極対からの前記レーザ出力光パルスを前記第2の偏光ビーム分割器に反射するビーム反射器を設ける段階と、
を含む単一線狭化パッケージを利用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項137に記載の機器の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/815,386 US7006547B2 (en) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | Very high repetition rate narrow band gas discharge laser system |
PCT/US2005/007064 WO2005104312A2 (en) | 2004-03-31 | 2005-03-03 | Very high repetition rate narrow band gas discharge laser system |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014027965A Division JP6040184B2 (ja) | 2004-03-31 | 2014-02-17 | 超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007531311A true JP2007531311A (ja) | 2007-11-01 |
JP2007531311A5 JP2007531311A5 (ja) | 2008-04-10 |
Family
ID=35060496
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007506187A Pending JP2007531311A (ja) | 2004-03-31 | 2005-03-03 | 超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム |
JP2014027965A Expired - Fee Related JP6040184B2 (ja) | 2004-03-31 | 2014-02-17 | 超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014027965A Expired - Fee Related JP6040184B2 (ja) | 2004-03-31 | 2014-02-17 | 超高繰返し数狭帯域ガス放電レーザシステム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7006547B2 (ja) |
EP (1) | EP1741168B1 (ja) |
JP (2) | JP2007531311A (ja) |
KR (1) | KR101189525B1 (ja) |
DE (1) | DE602005027831D1 (ja) |
TW (1) | TWI256184B (ja) |
WO (1) | WO2005104312A2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008311340A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Gigaphoton Inc | 2ステージレーザのパルスエネルギー制御装置 |
JP2010010552A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返し高出力パルスガスレーザ装置 |
JP2010010553A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返し高出力エキシマレーザー装置 |
JP2010010551A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返しパルスガスレーザ装置 |
JP2012506634A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | サイマー インコーポレイテッド | 2チャンバガス放電レーザにおけるレーザ制御の方法及び装置 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101238739B1 (ko) * | 2005-11-01 | 2013-03-04 | 사이머 인코포레이티드 | 레이저 시스템 |
US20090296755A1 (en) * | 2005-11-01 | 2009-12-03 | Cymer, Inc. | Laser system |
US20090296758A1 (en) * | 2005-11-01 | 2009-12-03 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7999915B2 (en) * | 2005-11-01 | 2011-08-16 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7778302B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-08-17 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7630424B2 (en) * | 2005-11-01 | 2009-12-08 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7715459B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-05-11 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7885309B2 (en) * | 2005-11-01 | 2011-02-08 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7746913B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-06-29 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7920616B2 (en) * | 2005-11-01 | 2011-04-05 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7643529B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-01-05 | Cymer, Inc. | Laser system |
JP5179736B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2013-04-10 | 株式会社小松製作所 | 露光装置用レーザ装置 |
US7696493B2 (en) * | 2006-12-13 | 2010-04-13 | Asml Netherlands B.V. | Radiation system and lithographic apparatus |
JP4972427B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2012-07-11 | 株式会社小松製作所 | 高繰返し動作が可能で狭帯域化効率の高いエキシマレーザ装置 |
JP5461519B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2014-04-02 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 複数のビームを結合し、繰り返し率と平均パワーが高い偏光レーザビームを形成する方法 |
JP2012216768A (ja) | 2011-03-30 | 2012-11-08 | Gigaphoton Inc | レーザシステム、極端紫外光生成システム、およびレーザ光生成方法 |
CN103682953B (zh) * | 2012-09-10 | 2016-09-21 | 中国科学院光电研究院 | 一种气体放电激光光源 |
US9762023B2 (en) * | 2015-12-21 | 2017-09-12 | Cymer, Llc | Online calibration for repetition rate dependent performance variables |
RU2679453C1 (ru) * | 2018-04-05 | 2019-02-11 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФИАН) | Способ создания импульсного повторяющегося разряда в газе и устройство для его осуществления |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6114785A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | アマダ エンジニアリング アンド サ−ビス カンパニ− インコ−ポレ−テツド | レーザ発振器 |
JPS6392073A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-22 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
JPS6398172A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | Toshiba Corp | 高速繰返しパルスガスレ−ザ装置 |
JPH08125253A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-05-17 | Nec Corp | エキシマレーザ装置 |
US20030219094A1 (en) * | 2002-05-21 | 2003-11-27 | Basting Dirk L. | Excimer or molecular fluorine laser system with multiple discharge units |
Family Cites Families (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4599726A (en) * | 1984-05-01 | 1986-07-08 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Apparatus and method for generating continuous wave 16 μm laser radiation using gaseous CF4 |
US5189678A (en) | 1986-09-29 | 1993-02-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Coupling apparatus for a metal vapor laser |
US5315611A (en) | 1986-09-25 | 1994-05-24 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High average power magnetic modulator for metal vapor lasers |
US5023884A (en) | 1988-01-15 | 1991-06-11 | Cymer Laser Technologies | Compact excimer laser |
US5025446A (en) | 1988-04-01 | 1991-06-18 | Laserscope | Intra-cavity beam relay for optical harmonic generation |
IL96186A (en) * | 1989-11-20 | 1994-08-26 | Hughes Aircraft Co | Master oscillator power amplifier with interference isolated oscillator |
US5025445A (en) | 1989-11-22 | 1991-06-18 | Cymer Laser Technologies | System for, and method of, regulating the wavelength of a light beam |
US5471965A (en) | 1990-12-24 | 1995-12-05 | Kapich; Davorin D. | Very high speed radial inflow hydraulic turbine |
US5359620A (en) | 1992-11-12 | 1994-10-25 | Cymer Laser Technologies | Apparatus for, and method of, maintaining a clean window in a laser |
US5418371A (en) * | 1993-02-01 | 1995-05-23 | Aslund; Nils R. D. | Apparatus for quantitative imaging of multiple fluorophores using dual detectors |
US5313481A (en) | 1993-09-29 | 1994-05-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Copper laser modulator driving assembly including a magnetic compression laser |
US5448580A (en) | 1994-07-05 | 1995-09-05 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Air and water cooled modulator |
US5863017A (en) | 1996-01-05 | 1999-01-26 | Cymer, Inc. | Stabilized laser platform and module interface |
US5982800A (en) | 1997-04-23 | 1999-11-09 | Cymer, Inc. | Narrow band excimer laser |
US6128323A (en) | 1997-04-23 | 2000-10-03 | Cymer, Inc. | Reliable modular production quality narrow-band high REP rate excimer laser |
US5991324A (en) | 1998-03-11 | 1999-11-23 | Cymer, Inc. | Reliable. modular, production quality narrow-band KRF excimer laser |
US6094448A (en) | 1997-07-01 | 2000-07-25 | Cymer, Inc. | Grating assembly with bi-directional bandwidth control |
US6192064B1 (en) | 1997-07-01 | 2001-02-20 | Cymer, Inc. | Narrow band laser with fine wavelength control |
US6018537A (en) | 1997-07-18 | 2000-01-25 | Cymer, Inc. | Reliable, modular, production quality narrow-band high rep rate F2 laser |
US6330261B1 (en) | 1997-07-18 | 2001-12-11 | Cymer, Inc. | Reliable, modular, production quality narrow-band high rep rate ArF excimer laser |
US5852621A (en) | 1997-07-21 | 1998-12-22 | Cymer, Inc. | Pulse laser with pulse energy trimmer |
US6757316B2 (en) * | 1999-12-27 | 2004-06-29 | Cymer, Inc. | Four KHz gas discharge laser |
US6317447B1 (en) | 2000-01-25 | 2001-11-13 | Cymer, Inc. | Electric discharge laser with acoustic chirp correction |
US5953360A (en) | 1997-10-24 | 1999-09-14 | Synrad, Inc. | All metal electrode sealed gas laser |
US6240117B1 (en) | 1998-01-30 | 2001-05-29 | Cymer, Inc. | Fluorine control system with fluorine monitor |
US5978406A (en) | 1998-01-30 | 1999-11-02 | Cymer, Inc. | Fluorine control system for excimer lasers |
US6151349A (en) | 1998-03-04 | 2000-11-21 | Cymer, Inc. | Automatic fluorine control system |
US6016325A (en) | 1998-04-27 | 2000-01-18 | Cymer, Inc. | Magnetic modulator voltage and temperature timing compensation circuit |
JP2000058944A (ja) * | 1998-05-20 | 2000-02-25 | Cymer Inc | 高信頼性・モジュラ製造高品質狭帯域高繰り返しレ―トf2レ―ザ |
US6442181B1 (en) * | 1998-07-18 | 2002-08-27 | Cymer, Inc. | Extreme repetition rate gas discharge laser |
US6477193B2 (en) | 1998-07-18 | 2002-11-05 | Cymer, Inc. | Extreme repetition rate gas discharge laser with improved blower motor |
US6208675B1 (en) | 1998-08-27 | 2001-03-27 | Cymer, Inc. | Blower assembly for a pulsed laser system incorporating ceramic bearings |
US6067311A (en) | 1998-09-04 | 2000-05-23 | Cymer, Inc. | Excimer laser with pulse multiplier |
US6567450B2 (en) | 1999-12-10 | 2003-05-20 | Cymer, Inc. | Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system |
US6208674B1 (en) | 1998-09-18 | 2001-03-27 | Cymer, Inc. | Laser chamber with fully integrated electrode feedthrough main insulator |
US6212211B1 (en) | 1998-10-09 | 2001-04-03 | Cymer, Inc. | Shock wave dissipating laser chamber |
US6219368B1 (en) | 1999-02-12 | 2001-04-17 | Lambda Physik Gmbh | Beam delivery system for molecular fluorine (F2) laser |
US6104735A (en) | 1999-04-13 | 2000-08-15 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with magnetic bearings and magnetic reluctance centering for fan drive assembly |
US6164116A (en) | 1999-05-06 | 2000-12-26 | Cymer, Inc. | Gas module valve automated test fixture |
US6414979B2 (en) | 2000-06-09 | 2002-07-02 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with blade-dielectric electrode |
US6625191B2 (en) | 1999-12-10 | 2003-09-23 | Cymer, Inc. | Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system |
US6556600B2 (en) | 1999-09-27 | 2003-04-29 | Cymer, Inc. | Injection seeded F2 laser with centerline wavelength control |
US6535531B1 (en) | 2001-11-29 | 2003-03-18 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with pulse multiplier |
US6549551B2 (en) * | 1999-09-27 | 2003-04-15 | Cymer, Inc. | Injection seeded laser with precise timing control |
US6693939B2 (en) | 2001-01-29 | 2004-02-17 | Cymer, Inc. | Laser lithography light source with beam delivery |
US6704340B2 (en) | 2001-01-29 | 2004-03-09 | Cymer, Inc. | Lithography laser system with in-place alignment tool |
US6704339B2 (en) | 2001-01-29 | 2004-03-09 | Cymer, Inc. | Lithography laser with beam delivery and beam pointing control |
US6690704B2 (en) | 2001-04-09 | 2004-02-10 | Cymer, Inc. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
CN112888684B (zh) * | 2018-10-17 | 2023-10-10 | 勃林格殷格翰国际有限公司 | 4-嘧啶-5-基甲基-吗啉衍生物及其作为药物的用途 |
-
2004
- 2004-03-31 US US10/815,386 patent/US7006547B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-03 EP EP05724578A patent/EP1741168B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-03 WO PCT/US2005/007064 patent/WO2005104312A2/en active Application Filing
- 2005-03-03 JP JP2007506187A patent/JP2007531311A/ja active Pending
- 2005-03-03 DE DE602005027831T patent/DE602005027831D1/de active Active
- 2005-03-03 KR KR1020067020183A patent/KR101189525B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-03-14 TW TW094107693A patent/TWI256184B/zh not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-02-27 US US11/363,116 patent/US20060209916A1/en not_active Abandoned
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6114785A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | アマダ エンジニアリング アンド サ−ビス カンパニ− インコ−ポレ−テツド | レーザ発振器 |
JPS6392073A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-22 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
JPS6398172A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | Toshiba Corp | 高速繰返しパルスガスレ−ザ装置 |
JPH08125253A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-05-17 | Nec Corp | エキシマレーザ装置 |
US20030219094A1 (en) * | 2002-05-21 | 2003-11-27 | Basting Dirk L. | Excimer or molecular fluorine laser system with multiple discharge units |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008311340A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Gigaphoton Inc | 2ステージレーザのパルスエネルギー制御装置 |
JP2010010552A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返し高出力パルスガスレーザ装置 |
JP2010010553A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返し高出力エキシマレーザー装置 |
JP2010010551A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返しパルスガスレーザ装置 |
JP2012506634A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | サイマー インコーポレイテッド | 2チャンバガス放電レーザにおけるレーザ制御の方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101189525B1 (ko) | 2012-10-16 |
JP6040184B2 (ja) | 2016-12-07 |
TW200541185A (en) | 2005-12-16 |
DE602005027831D1 (de) | 2011-06-16 |
EP1741168A4 (en) | 2008-05-28 |
KR20060130232A (ko) | 2006-12-18 |
EP1741168B1 (en) | 2011-05-04 |
WO2005104312A3 (en) | 2007-03-29 |
JP2014096610A (ja) | 2014-05-22 |
EP1741168A2 (en) | 2007-01-10 |
US7006547B2 (en) | 2006-02-28 |
WO2005104312A2 (en) | 2005-11-03 |
US20060209916A1 (en) | 2006-09-21 |
TWI256184B (en) | 2006-06-01 |
US20050226300A1 (en) | 2005-10-13 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
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A521 | Written amendment |
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