JP2007531210A - アーク放電識別装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は図1の回路装置のシミュレーションのシミュレーション結果を示す。
2 位置
3 分圧器
4 比較器
5 極値検出装置
6 調整装置
7〜9 抵抗
10、11 抵抗
12 位置
13 位置
14 コンデンサ
15 抵抗
16 非線形構成部材、ダイオード
17 コンデンサ
18 抵抗
19 非線形構成部材、ダイオード
20 遮断装置
21 位置
22 第1の減結合素子、ダイオード
23 位置
24 第2の減結合素子、ダイオード
25 ヒステリシス回路
26 トランジスタ
27 トランジスタ
28、29 抵抗
30 信号
31 信号の最小値
32 基準値
33 位置
34 アーク放電識別信号
35 位置
36 位置
Claims (20)
- プラズマプロセスにおけるアーク放電の識別のための方法であって、該方法では信号(30)の瞬時値が予め設定された期間内に前記信号(30)から求められる値と比較される、プラズマプロセスにおけるアーク放電の識別のための方法において、
予め設定された期間内の前記信号(30)の極値(31)が求められ、比較の結果として前記瞬時値又は前記瞬時値に比例する値の前記極値(31)からの偏差が予め設定可能な偏差を越える場合又は前記瞬時値又は前記瞬時値に比例する値によって前記予め設定可能な偏差から求められる基準値(32)が到達される場合に、アーク放電が検出されることを特徴とする、プラズマプロセスにおけるアーク放電の識別のための方法。 - 予め設定可能な偏差は極値(31)に依存して求められることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 偏差は極値(31)の0.1〜0.5倍、有利には0.2〜0.4倍として選定されることを特徴とする、請求項2記載の方法。
- 信号(30)として直流電圧供給部の出力電圧又は出力電流に比例する信号が使用されることを特徴とする、請求項1〜3のうちの1項記載の方法。
- 信号(30)がフィルタリングされることによって、極値(31)が求められることを特徴とする、請求項1〜4のうちの1項記載の方法。
- 最小値フィルタリングが実施されることを特徴とする、請求項5記載の方法。
- 上昇する信号値及び降下する信号値に対して異なる時定数によってフィルタリングが実施されることを特徴とする、請求項5又は6記載の方法。
- プラズマプロセスのプラズマが点弧されるかどうかが監視されることを特徴とする、請求項1〜7のうちの1項記載の方法。
- プラズマが点弧されることが識別される場合にのみアーク放電識別が実施されることを特徴とする、請求項8記載の方法。
- 第1の時定数による点弧されたプラズマにおける及び第2の時定数による消弧されたプラズマにおける極値フィルタリングが行われることを特徴とする、請求項8又は9記載の方法。
- 一定の閾値(23)が予め設定され、瞬時値がこの一定の閾値(23)に到達する場合にアーク放電が識別されることを特徴とする、請求項1〜10のうちの1項記載の方法。
- アーク放電の識別の際にはアーク放電識別信号の信号レベルが変化されることを特徴とする、請求項1〜11のうちの1項記載の方法。
- アーク放電が消弧される場合には、アーク放電信号の信号レベルが時間遅延されて変化されることを特徴とする、請求項12記載の方法。
- プラズマプロセスにおけるアーク放電の識別のためのアーク放電識別装置(1)であって、このアーク放電識別装置(1)には信号が供給され、このアーク放電識別装置(1)はアーク放電識別信号を送出する比較器(4)を有する、プラズマプロセスにおけるアーク放電の識別のためのアーク放電識別装置(1)において、
信号が予め設定された期間において信号の極値を検出するための極値検出装置(5)に供給され、前記極値から調整装置(6)によって基準信号が発生され、該基準信号は前記比較器(4)に信号の瞬時値又は比例する信号の瞬時値と同様に供給され、前記比較器(4)は該比較器(4)が前記瞬時値が前記基準信号に到達したことを識別する場合に前記アーク放電識別信号の信号レベルを変化させることを特徴とする、プラズマプロセスにおけるアーク放電の識別のためのアーク放電識別装置(1)。 - 極値検出装置(5)はフィルタ装置を含むことを特徴とする、請求項14記載のアーク放電識別装置。
- フィルタ装置はRC素子(11、14;10、17)を有し、該RC素子(11、14;10、17)の抵抗(11;10)に並列に第2の抵抗(15、18)及び該第2の抵抗(15、18)に直列接続された非線形構成部材(16;19)、有利にはダイオードが設けられていることを特徴とする、請求項15記載のアーク放電識別装置。
- フィルタ装置は多段式に構成されていることを特徴とする、請求項15又は16記載のアーク放電識別装置。
- 極値検出装置(5)と比較器(4)との間に第1の減結合構成素子(22)、とりわけダイオードが配置されており、この第1の減結合構成素子(22)と前記比較器(4)との間には第2の減結合素子(24)、とりわけダイオードを介して一定の閾値、とりわけ電圧が入力結合されることを特徴とする、請求項14〜17のうちの1項記載のアーク放電識別装置。
- ヒステリシス回路(25)が比較器(4)に与えられる信号(30)の瞬時値に影響を与えるために設けられていることを特徴とする、請求項14〜18のうちの1項記載のアーク放電識別装置。
- プラズマ識別装置が設けられており、該プラズマ識別装置はアーク放電識別装置(1)の遮断のための遮断装置(20)に接続されていることを特徴とする、請求項14〜19のうちの1項記載のアーク放電識別装置。
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