JP2007513460A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007513460A5
JP2007513460A5 JP2006525518A JP2006525518A JP2007513460A5 JP 2007513460 A5 JP2007513460 A5 JP 2007513460A5 JP 2006525518 A JP2006525518 A JP 2006525518A JP 2006525518 A JP2006525518 A JP 2006525518A JP 2007513460 A5 JP2007513460 A5 JP 2007513460A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
beam path
electron beam
field region
primary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006525518A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007513460A (ja
JP4794444B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/US2004/029079 external-priority patent/WO2005024881A2/en
Publication of JP2007513460A publication Critical patent/JP2007513460A/ja
Publication of JP2007513460A5 publication Critical patent/JP2007513460A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4794444B2 publication Critical patent/JP4794444B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2006525518A 2003-09-05 2004-09-07 粒子光学システム及び装置、並びに、かかるシステム及び装置用の粒子光学部品 Expired - Fee Related JP4794444B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US50025603P 2003-09-05 2003-09-05
US60/500,256 2003-09-05
PCT/US2004/029079 WO2005024881A2 (en) 2003-09-05 2004-09-07 Particle-optical systems, components and arrangements

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008099010A Division JP2008218422A (ja) 2003-09-05 2008-04-07 粒子光学装置及び荷電粒子ビーム操作方法
JP2011111070A Division JP5364756B2 (ja) 2003-09-05 2011-05-18 粒子光学装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2007513460A JP2007513460A (ja) 2007-05-24
JP2007513460A5 true JP2007513460A5 (https=) 2007-10-18
JP4794444B2 JP4794444B2 (ja) 2011-10-19

Family

ID=34272938

Family Applications (6)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006525518A Expired - Fee Related JP4794444B2 (ja) 2003-09-05 2004-09-07 粒子光学システム及び装置、並びに、かかるシステム及び装置用の粒子光学部品
JP2008099010A Pending JP2008218422A (ja) 2003-09-05 2008-04-07 粒子光学装置及び荷電粒子ビーム操作方法
JP2011111070A Expired - Lifetime JP5364756B2 (ja) 2003-09-05 2011-05-18 粒子光学装置
JP2012285348A Expired - Fee Related JP5756077B2 (ja) 2003-09-05 2012-12-27 粒子光学装置及び荷電粒子ビーム操作方法
JP2013153718A Expired - Fee Related JP5756150B2 (ja) 2003-09-05 2013-07-24 粒子光学システム及び装置、並びに、かかるシステム及び装置用の粒子光学部品
JP2014250291A Expired - Lifetime JP6208653B2 (ja) 2003-09-05 2014-12-10 粒子光学装置、粒子光学部品、検査システム、検査方法、および、リソグラフィシステム

Family Applications After (5)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008099010A Pending JP2008218422A (ja) 2003-09-05 2008-04-07 粒子光学装置及び荷電粒子ビーム操作方法
JP2011111070A Expired - Lifetime JP5364756B2 (ja) 2003-09-05 2011-05-18 粒子光学装置
JP2012285348A Expired - Fee Related JP5756077B2 (ja) 2003-09-05 2012-12-27 粒子光学装置及び荷電粒子ビーム操作方法
JP2013153718A Expired - Fee Related JP5756150B2 (ja) 2003-09-05 2013-07-24 粒子光学システム及び装置、並びに、かかるシステム及び装置用の粒子光学部品
JP2014250291A Expired - Lifetime JP6208653B2 (ja) 2003-09-05 2014-12-10 粒子光学装置、粒子光学部品、検査システム、検査方法、および、リソグラフィシステム

Country Status (6)

Country Link
US (7) US7244949B2 (https=)
EP (10) EP2579269B8 (https=)
JP (6) JP4794444B2 (https=)
KR (1) KR101051370B1 (https=)
CN (3) CN102709143B (https=)
WO (1) WO2005024881A2 (https=)

Families Citing this family (242)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102709143B (zh) * 2003-09-05 2016-03-09 卡尔蔡司Smt有限责任公司 电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法
EP1619495A1 (en) * 2004-07-23 2006-01-25 Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO Method and Apparatus for inspecting a specimen surface and use of fluorescent materials
GB0425290D0 (en) * 2004-11-17 2004-12-15 Eastham Derek A Focussing masks
US7468507B2 (en) 2005-01-26 2008-12-23 Applied Materials, Israel, Ltd. Optical spot grid array scanning system
US7468506B2 (en) 2005-01-26 2008-12-23 Applied Materials, Israel, Ltd. Spot grid array scanning system
US8304749B2 (en) 2005-02-11 2012-11-06 Ims Nanofabrication Ag Charged-particle exposure apparatus with electrostatic zone plate
JP2007019192A (ja) * 2005-07-06 2007-01-25 Canon Inc 荷電ビームレンズ、及び荷電ビーム露光装置
EP1753010B1 (en) * 2005-08-09 2012-12-05 Carl Zeiss SMS GmbH Particle-optical system
JP5663717B2 (ja) 2005-09-06 2015-02-04 カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーＣａｒｌ Ｚｅｉｓｓ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ Ｇｍｂｈ 荷電粒子システム
JP5159035B2 (ja) * 2005-10-28 2013-03-06 キヤノン株式会社 レンズアレイ及び該レンズアレイを含む荷電粒子線露光装置
CN102103966B (zh) 2005-11-28 2013-02-06 卡尔蔡司Smt有限责任公司 粒子光学组件
TWI432908B (zh) * 2006-03-10 2014-04-01 瑪波微影Ｉｐ公司 微影系統及投射方法
JP2009531855A (ja) * 2006-03-27 2009-09-03 マルチビーム システムズ インコーポレイテッド 高電流密度パターン化荷電粒子ビーム生成のための光学系
JP2007287365A (ja) * 2006-04-13 2007-11-01 Jeol Ltd 多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法
JP4878501B2 (ja) * 2006-05-25 2012-02-15 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線応用装置
EP2044610B1 (en) 2006-07-20 2012-11-28 SPP Process Technology Systems UK Limited Plasma sources
WO2008009898A1 (en) 2006-07-20 2008-01-24 Aviza Technology Limited Ion sources
JP5313893B2 (ja) * 2006-07-20 2013-10-09 エスピーティーエス テクノロジーズ イーティー リミティド イオンデポジション装置
KR101464388B1 (ko) * 2006-07-25 2014-11-21 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. 다중 빔 대전 입자 광학 시스템
US8134135B2 (en) 2006-07-25 2012-03-13 Mapper Lithography Ip B.V. Multiple beam charged particle optical system
JP2008066359A (ja) * 2006-09-05 2008-03-21 Canon Inc 荷電ビームレンズアレイ、露光装置及びデバイス製造方法
US7763851B2 (en) * 2006-12-22 2010-07-27 Ims Nanofabrication Ag Particle-beam apparatus with improved wien-type filter
JP5227512B2 (ja) * 2006-12-27 2013-07-03 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子線応用装置
WO2008131088A1 (en) * 2007-04-17 2008-10-30 The University Of Utah Research Foundation Mems devices and systems actuated by an energy field
EP2019415B1 (en) * 2007-07-24 2016-05-11 IMS Nanofabrication AG Multi-beam source
US8642959B2 (en) * 2007-10-29 2014-02-04 Micron Technology, Inc. Method and system of performing three-dimensional imaging using an electron microscope
NL2003304C2 (en) * 2008-08-07 2010-09-14 Ims Nanofabrication Ag Compensation of dose inhomogeneity and image distortion.
KR100946270B1 (ko) * 2008-08-12 2010-03-09 주식회사 메가젠임플란트 연조직 절단 치과용 공구
JP5484808B2 (ja) * 2008-09-19 2014-05-07 株式会社ニューフレアテクノロジー 描画装置及び描画方法
KR101649106B1 (ko) 2008-10-01 2016-08-19 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. 정전기 렌즈 구조
GB0912332D0 (en) * 2009-07-16 2009-08-26 Vg Systems Ltd Magnetic lens,method for focussing charged particles and charged particle energy analyser
US8546767B2 (en) * 2010-02-22 2013-10-01 Ims Nanofabrication Ag Pattern definition device with multiple multibeam array
US9336981B2 (en) 2010-04-09 2016-05-10 Applied Materials Israel Ltd. Charged particle detection system and multi-beamlet inspection system
WO2011148486A1 (ja) * 2010-05-27 2011-12-01 三菱電機株式会社 粒子線照射システムおよび粒子線照射システムの制御方法
DE102010026169B4 (de) * 2010-07-06 2014-09-04 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Partikelstrahlsystem
CN103069533B (zh) * 2010-08-26 2017-11-17 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 用于电子束产生装置的控制网格设计
WO2012041464A1 (en) 2010-09-28 2012-04-05 Applied Materials Israel Ltd. Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements
WO2012047914A2 (en) 2010-10-05 2012-04-12 Veeco Instruments, Inc. Grid providing beamlet steering
US8294095B2 (en) 2010-12-14 2012-10-23 Hermes Microvision, Inc. Apparatus of plural charged particle beams with multi-axis magnetic lens
CN103688333B (zh) * 2011-02-18 2016-10-19 应用材料以色列公司 聚焦带电粒子成像系统
NL2007604C2 (en) * 2011-10-14 2013-05-01 Mapper Lithography Ip Bv Charged particle system comprising a manipulator device for manipulation of one or more charged particle beams.
WO2012151288A1 (en) 2011-05-03 2012-11-08 Applied Materials Israel, Ltd. Multi-spot collection optics
JP2012238770A (ja) * 2011-05-12 2012-12-06 Canon Inc 静電レンズアレイ、描画装置、及びデバイスの製造方法
US8933425B1 (en) * 2011-11-02 2015-01-13 Kla-Tencor Corporation Apparatus and methods for aberration correction in electron beam based system
JP5886663B2 (ja) * 2012-03-21 2016-03-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子線応用装置およびレンズアレイ
JP6053919B2 (ja) * 2012-05-31 2016-12-27 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトＳｉｅｍｅｎｓ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ 荷電粒子を偏向させる偏向板および偏向装置
NL2009053C2 (en) 2012-06-22 2013-12-24 Univ Delft Tech Apparatus and method for inspecting a surface of a sample.
US10413755B1 (en) 2012-08-01 2019-09-17 Velayudhan Sahadevan Device and methods for adaptive resistance inhibiting proton and carbon ion microbeams and nanobeams radiosurgery
US9001308B2 (en) * 2013-02-01 2015-04-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Pattern generator for a lithography system
WO2014156171A1 (ja) * 2013-03-29 2014-10-02 国立大学法人東北大学 複数の電子ビームを制御する際に確実に動作する回路基板
JP6208451B2 (ja) * 2013-03-29 2017-10-04 国立大学法人東北大学 回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および製造方法
JP2014197652A (ja) * 2013-03-29 2014-10-16 国立大学法人東北大学 回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および製造方法
DE102013006535B4 (de) * 2013-04-15 2025-11-06 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Raster-Partikelstrahlmikroskop mit energiefilterndem Detektorsystem
CN104345331B (zh) * 2013-07-24 2017-04-19 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 图像型电子自旋分析器
DE102013014976A1 (de) 2013-09-09 2015-03-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Teilchenoptisches System
DE102013016113B4 (de) 2013-09-26 2018-11-29 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Detektieren von Elektronen, Elektronendetektor und Inspektionssystem
US9263233B2 (en) 2013-09-29 2016-02-16 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Charged particle multi-beam inspection system and method of operating the same
CN105765691B (zh) 2013-09-30 2018-02-02 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法
DE102014008105B4 (de) 2014-05-30 2021-11-11 Carl Zeiss Multisem Gmbh Mehrstrahl-Teilchenmikroskop
DE102014008083B9 (de) 2014-05-30 2018-03-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Teilchenstrahlsystem
DE102014008383B9 (de) 2014-06-06 2018-03-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben einer Teilchenoptik
NL2013411B1 (en) * 2014-09-04 2016-09-27 Univ Delft Tech Multi electron beam inspection apparatus.
DE102015202172B4 (de) 2015-02-06 2017-01-19 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Teilchenstrahlsystem und Verfahren zur teilchenoptischen Untersuchung eines Objekts
US9691588B2 (en) 2015-03-10 2017-06-27 Hermes Microvision, Inc. Apparatus of plural charged-particle beams
WO2016145458A1 (en) * 2015-03-10 2016-09-15 Hermes Microvision Inc. Apparatus of plural charged-particle beams
US10236156B2 (en) 2015-03-25 2019-03-19 Hermes Microvision Inc. Apparatus of plural charged-particle beams
US9607805B2 (en) 2015-05-12 2017-03-28 Hermes Microvision Inc. Apparatus of plural charged-particle beams
KR102441581B1 (ko) 2015-06-03 2022-09-07 삼성전자주식회사 표면 검사 방법 및 이를 이용한 포토 마스크의 검사 방법
US9922799B2 (en) * 2015-07-21 2018-03-20 Hermes Microvision, Inc. Apparatus of plural charged-particle beams
KR20240042242A (ko) 2015-07-22 2024-04-01 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 복수의 하전 입자 빔을 이용하는 장치
US10192716B2 (en) * 2015-09-21 2019-01-29 Kla-Tencor Corporation Multi-beam dark field imaging
US10460905B2 (en) 2015-09-23 2019-10-29 Kla-Tencor Corporation Backscattered electrons (BSE) imaging using multi-beam tools
JP6132448B2 (ja) * 2015-11-26 2017-05-24 京楽産業．株式会社 遊技機
IL259602B (en) 2015-11-30 2022-07-01 Hermes Microvision Inc Apparatus of plural charged-particle beams
JP2017134927A (ja) * 2016-01-26 2017-08-03 株式会社荏原製作所 検査装置
CN108885187B (zh) 2016-01-27 2021-05-25 Asml 荷兰有限公司 多个带电粒子束的装置
US11302511B2 (en) * 2016-02-04 2022-04-12 Kla Corporation Field curvature correction for multi-beam inspection systems
US10395883B2 (en) * 2016-03-31 2019-08-27 Intel Corporation Aperture size modulation to enhance ebeam patterning resolution
US10418324B2 (en) 2016-10-27 2019-09-17 Asml Netherlands B.V. Fabricating unique chips using a charged particle multi-beamlet lithography system
DE102016120902B4 (de) 2016-11-02 2018-08-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop
US10453645B2 (en) * 2016-12-01 2019-10-22 Applied Materials Israel Ltd. Method for inspecting a specimen and charged particle multi-beam device
US9922796B1 (en) * 2016-12-01 2018-03-20 Applied Materials Israel Ltd. Method for inspecting a specimen and charged particle multi-beam device
WO2018117275A1 (en) * 2016-12-23 2018-06-28 Mapper Lithography Ip B.V. Fabricating unique chips using a charged particle multi-beamlet lithography system
US10840056B2 (en) * 2017-02-03 2020-11-17 Kla Corporation Multi-column scanning electron microscopy system
US10347460B2 (en) 2017-03-01 2019-07-09 Dongfang Jingyuan Electron Limited Patterned substrate imaging using multiple electron beams
KR102520386B1 (ko) * 2017-03-20 2023-04-11 칼 짜이스 마이크로스카피 게엠베하 하전 입자 빔 시스템 및 방법
DE112017006885B4 (de) 2017-03-24 2022-07-14 Hitachi High-Tech Corporation Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Ladungsträgerstrahlvorrichtung
WO2018197169A1 (en) 2017-04-28 2018-11-01 Asml Netherlands B.V. An apparatus using multiple beams of charged particles
AU2018273352B2 (en) 2017-05-22 2023-07-27 Howmedica Osteonics Corp. Device for in-situ fabrication process monitoring and feedback control of an electron beam additive manufacturing process
KR20240042162A (ko) 2017-07-28 2024-04-01 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 단일-빔 또는 멀티-빔 장치에서의 빔 분리기의 분산을 보상하기 위한 시스템들 및 방법들
JP6819509B2 (ja) * 2017-08-10 2021-01-27 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチ荷電粒子ビーム描画装置
US20190066972A1 (en) * 2017-08-29 2019-02-28 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Charged particle beam device, aperture arrangement for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device
JP7043587B2 (ja) 2017-09-07 2022-03-29 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 荷電粒子の複数のビームを用いたサンプル検査の方法
KR102444744B1 (ko) 2017-09-29 2022-09-19 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 하전 입자 빔 검사의 샘플 검사 레시피의 동적 결정
CN111433881B (zh) 2017-09-29 2023-09-15 Asml荷兰有限公司 样品检查中的图像对比度增强
IL273530B2 (en) 2017-09-29 2025-02-01 Asml Netherlands Bv Method for diagnosing samples with multiple beams of charged particles
US20190104606A1 (en) * 2017-10-02 2019-04-04 Rayton Solar Inc. Systems and processes for producing relatively uniform transverse irradiation fields of charged-particle beams
CA3075408C (en) * 2017-10-18 2022-06-28 E Ink Corporation Digital microfluidic devices including dual substrates with thin-film transistors and capacitive sensing
KR102444288B1 (ko) 2017-11-08 2022-09-16 삼성전자주식회사 메타 렌즈를 포함하는 프로젝터
US11373321B2 (en) 2017-11-08 2022-06-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Projector including meta-lens
JP6966319B2 (ja) * 2017-12-22 2021-11-17 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法
DE102018202421B3 (de) 2018-02-16 2019-07-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vielstrahl-Teilchenstrahlsystem
DE102018202428B3 (de) 2018-02-16 2019-05-09 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop
US10504683B2 (en) * 2018-02-22 2019-12-10 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Device and method for forming a plurality of charged particle beamlets
CN112055886A (zh) 2018-02-27 2020-12-08 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 带电粒子多束系统及方法
CN111971776B (zh) 2018-03-29 2023-07-28 株式会社日立高新技术 带电粒子束装置
WO2019211072A1 (en) 2018-05-01 2019-11-07 Asml Netherlands B.V. Multi-beam inspection apparatus
US10811215B2 (en) 2018-05-21 2020-10-20 Carl Zeiss Multisem Gmbh Charged particle beam system
EP3576128A1 (en) * 2018-05-28 2019-12-04 ASML Netherlands B.V. Electron beam apparatus, inspection tool and inspection method
US11087950B2 (en) * 2018-05-29 2021-08-10 Kla-Tencor Corporation Charge control device for a system with multiple electron beams
US10770262B1 (en) * 2018-05-30 2020-09-08 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Apparatus, method and system for imaging and utilization of SEM charged particles
DE102018115012A1 (de) 2018-06-21 2019-12-24 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Teilchenstrahlsystem
US11117195B2 (en) 2018-07-19 2021-09-14 The University Of Liverpool System and process for in-process electron beam profile and location analyses
JP2021532545A (ja) * 2018-08-09 2021-11-25 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 複数の荷電粒子ビームのための装置
EP3624167A1 (en) * 2018-09-14 2020-03-18 FEI Company Multi-electron-beam imaging appartus with improved perormance
DE102018007455B4 (de) 2018-09-21 2020-07-09 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Detektorabgleich bei der Abbildung von Objekten mittels eines Mehrstrahl-Teilchenmikroskops, System sowie Computerprogrammprodukt
DE102018007652B4 (de) 2018-09-27 2021-03-25 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenstrahl-System sowie Verfahren zur Stromregulierung von Einzel-Teilchenstrahlen
DE102018124044B3 (de) * 2018-09-28 2020-02-06 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenstrahlmikroskops und Vielstrahl-Teilchenstrahlsystem
DE102018124219A1 (de) 2018-10-01 2020-04-02 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vielstrahl-Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen
DE102018124401A1 (de) 2018-10-02 2020-04-02 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum Aufnehmen eines Bildes mit einem Teilchenmikroskop
US10784070B2 (en) * 2018-10-19 2020-09-22 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Charged particle beam device, field curvature corrector, and methods of operating a charged particle beam device
US11145485B2 (en) * 2018-12-26 2021-10-12 Nuflare Technology, Inc. Multiple electron beams irradiation apparatus
DE102018133703B4 (de) 2018-12-29 2020-08-06 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Teilchenstrahlen und Vielstrahl-Teilchenstrahlsysteme
CN111477530B (zh) 2019-01-24 2023-05-05 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 利用多束粒子显微镜对3d样本成像的方法
TWI743626B (zh) 2019-01-24 2021-10-21 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 包含多束粒子顯微鏡的系統、對3d樣本逐層成像之方法及電腦程式產品
US10741355B1 (en) 2019-02-04 2020-08-11 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle system
EP3703100A1 (en) * 2019-02-27 2020-09-02 FEI Company Charged particle beam device for inspection of a specimen with a plurality of charged particle beamlets
JP7175798B2 (ja) * 2019-03-01 2022-11-21 株式会社荏原製作所 荷電粒子マルチビーム装置
TWI737117B (zh) 2019-03-05 2021-08-21 日商紐富來科技股份有限公司 多電子束照射裝置
JP7241570B2 (ja) * 2019-03-06 2023-03-17 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法
EP3948920A1 (en) * 2019-03-27 2022-02-09 ASML Netherlands B.V. System and method for alignment of secondary beams in multi-beam inspection apparatus
EP3953959A1 (en) 2019-04-06 2022-02-16 ASML Netherlands B.V. Mems image forming element with built-in voltage generator
EP3977501A1 (en) * 2019-05-28 2022-04-06 ASML Netherlands B.V. Multiple charged-particle beam apparatus
KR20240095476A (ko) 2019-05-31 2024-06-25 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 다중 하전 입자 빔 장치 및 그 작동 방법
DE102019004124B4 (de) * 2019-06-13 2024-03-21 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenstrahl-System zur azimutalen Ablenkung von Einzel-Teilchenstrahlen sowie seine Verwendung und Verfahren zur Azimut-Korrektur bei einem Teilchenstrahl-System
JP7316106B2 (ja) * 2019-06-14 2023-07-27 株式会社ニューフレアテクノロジー 収差補正器及びマルチ電子ビーム照射装置
JP7234052B2 (ja) 2019-06-28 2023-03-07 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法
DE102019005362A1 (de) * 2019-07-31 2021-02-04 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielzahl-Teilchenstrahlsystems unter Veränderung der numerischen Apertur, zugehöriges Computerprogrammprodukt und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem
DE102019005364B3 (de) 2019-07-31 2020-10-08 Carl Zeiss Multisem Gmbh System-Kombination eines Teilchenstrahlsystem und eines lichtoptischen Systems mit kollinearer Strahlführung sowie Verwendung der System-Kombination
JP7008671B2 (ja) 2019-09-13 2022-01-25 日本電子株式会社 荷電粒子線装置および分析方法
JP7360871B2 (ja) * 2019-09-24 2023-10-13 株式会社日立ハイテクサイエンス 荷電粒子ビーム照射装置、及び制御方法
WO2021071357A1 (en) * 2019-10-08 2021-04-15 Technische Universiteit Delft Device for generating a plurality of charged particle beamlets, and an inspection imaging or processing apparatus and method for using the same.
US10923313B1 (en) * 2019-10-17 2021-02-16 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Charged particle beam device and method of operating a charged particle beam device
NL2024065B1 (en) * 2019-10-21 2021-06-22 Univ Delft Tech Multi-beam charged particle source with alignment means
DE102019218315B3 (de) 2019-11-27 2020-10-01 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Spannungskontrastbildgebung mit einem Korpuskularvielstrahlmikroskop, Korpuskularvielstrahlmikroskop für Spannungskontrastbildgebung und Halbleiterstrukturen zur Spannungskontrastbildgebung mit einem Korpuskularvielstrahlmikroskop
DE102019008249B3 (de) 2019-11-27 2020-11-19 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenstrahl-System mit einer Multistrahl-Ablenkeinrichtung und einem Strahlfänger, Verfahren zum Betreiben des Teilchenstrahl-Systems und zugehöriges Computerprogrammprodukt
WO2021123082A1 (en) 2019-12-20 2021-06-24 Asml Netherlands B.V. Multi-modal operations for multi-beam inspection system
KR102830218B1 (ko) 2020-01-06 2025-07-08 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 하전 입자 평가 툴, 검사 방법
EP4100986A1 (en) 2020-02-04 2022-12-14 Carl Zeiss MultiSEM GmbH Multi-beam digital scan and image acquisition
EP3869536A1 (en) 2020-02-21 2021-08-25 ASML Netherlands B.V. Inspection apparatus
EP3869533A1 (en) 2020-02-21 2021-08-25 ASML Netherlands B.V. Charged particle assessment tool, inspection method
IL295627A (en) 2020-02-21 2022-10-01 Asml Netherlands Bv Inspection apparatus
JP7689139B2 (ja) 2020-03-12 2025-06-05 カール ツァイス マルティセム ゲゼルシヤフト ミット ベシュレンクテル ハフツング マルチビーム発生ユニットおよびマルチビーム偏向ユニットの特定の改善
JP7359050B2 (ja) * 2020-03-18 2023-10-11 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチビーム用のブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置
DE102020107738B3 (de) * 2020-03-20 2021-01-14 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenstrahl-System mit einer Multipol-Linsen-Sequenz zur unabhängigen Fokussierung einer Vielzahl von Einzel-Teilchenstrahlen, seine Verwendung und zugehöriges Verfahren
CN115398592A (zh) 2020-04-03 2022-11-25 Asml荷兰有限公司 基于带电粒子束检查中的电荷累积减少的图像增强
EP3893263A1 (en) * 2020-04-06 2021-10-13 ASML Netherlands B.V. Aperture assembly, beam manipulator unit, method of manipulating charged particle beams, and charged particle projection apparatus
JP7428578B2 (ja) * 2020-04-22 2024-02-06 株式会社ホロン マルチビーム画像生成装置およびマルチビーム画像生成方法
US12525426B2 (en) 2020-05-01 2026-01-13 Asml Netherlands B.V. Enhanced architecture for high-performance detection device
TWI787794B (zh) 2020-05-28 2022-12-21 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 多重射束帶電粒子顯微鏡或系統與其操作方法
US12510988B2 (en) 2020-05-28 2025-12-30 Asml Netherlands B.V. Enhanced architecture for high-performance detection device technical field
DE102020115183B4 (de) 2020-06-08 2026-01-29 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenstrahlsystem mit Multiquellensystem sowie Mehrstrahl-Teilchenmikroskop
EP3937205A1 (en) 2020-07-06 2022-01-12 ASML Netherlands B.V. Charged-particle multi-beam column, charged-particle multi-beam column array, inspection method
DE102020121132B3 (de) 2020-08-11 2021-09-23 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielzahl-Teilchenstrahlsystems mit einem Spiegel-Betriebsmodus und zugehöriges Computerprogrammprodukt
DE102020123567B4 (de) 2020-09-09 2025-02-13 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielzahl-Teilchenstrahl-System mit Kontrast-Korrektur-Linsen-System
DE102021105201B4 (de) 2021-03-04 2024-10-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielzahl-Teilchenstrahlmikroskop und zugehöriges Verfahren mit schnellem Autofokus mit speziellen Ausführungen
DE102020125534B3 (de) 2020-09-30 2021-12-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielzahl-Teilchenstrahlmikroskop und zugehöriges Verfahren mit schnellem Autofokus um einen einstellbaren Arbeitsabstand
TW202220012A (zh) 2020-09-30 2022-05-16 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 在可調工作距離附近具快速自動對焦之多重粒子束顯微鏡及相關方法
IL302654A (en) * 2020-11-12 2023-07-01 Asml Netherlands Bv Assembling an objective lens array, electronic-optical system, electronic-optical system array, focusing method
EP4002421A1 (en) * 2020-11-12 2022-05-25 ASML Netherlands B.V. Objective lens array assembly, electron-optical system, electron-optical system array, method of focusing
JP2024501654A (ja) 2020-12-23 2024-01-15 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． 荷電粒子光学デバイス
DE102021200799B3 (de) 2021-01-29 2022-03-31 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren mit verbesserter Fokuseinstellung unter Berücksichtigung eines Bildebenenkipps in einem Vielzahl-Teilchenstrahlmikroskop
CN116888605B (zh) * 2021-04-30 2025-12-05 华为技术有限公司 神经网络模型的运算方法、训练方法及装置
IL308010A (en) * 2021-05-12 2023-12-01 Asml Netherlands Bv Evaluation system, evaluation method
EP4095881A1 (en) * 2021-05-25 2022-11-30 ASML Netherlands B.V. Charged particle device
TW202312205A (zh) 2021-05-27 2023-03-16 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 多重射束帶電粒子系統與在多重射束帶電粒子系統中控制工作距離的方法
DE102021205394B4 (de) 2021-05-27 2022-12-08 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Vielstrahlmikroskops mit an eine Inspektionsstelle angepassten Einstellungen
EP4352773A1 (en) 2021-06-08 2024-04-17 ASML Netherlands B.V. Charged particle apparatus and method
EP4102535A1 (en) 2021-06-08 2022-12-14 ASML Netherlands B.V. Charged particle apparatus and method
JP7795055B2 (ja) 2021-06-16 2026-01-07 カール ツァイス マルティセム ゲゼルシヤフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 歪み最適化マルチビーム走査システム
DE102021116969B3 (de) 2021-07-01 2022-09-22 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zur bereichsweisen Probeninspektion mittels eines Vielstrahl-Teilchenmikroskopes, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop zur Halbleiterprobeninspektion
DE102021118561B4 (de) 2021-07-19 2023-03-30 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenmikroskopes mit schneller Strahlstromregelung, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop
DE102021118684B4 (de) 2021-07-20 2024-11-28 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zur Analyse von Störeinflüssen bei einem Vielstrahl-Teilchenmikroskop, zugehöriges Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop
DE102021119008A1 (de) 2021-07-30 2023-02-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zur Defekterkennung in einer Halbleiterprobe bei Probenbildern mit Verzeichnung
WO2023016678A1 (en) 2021-08-10 2023-02-16 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam generating unit with increased focusing power
DE102021124099B4 (de) 2021-09-17 2023-09-28 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenmikroskops in einem Kontrast-Betriebsmodus mit defokussierter Strahlführung, Computerprogramprodukt und Vielstrahlteilchenmikroskop
US11651934B2 (en) 2021-09-30 2023-05-16 Kla Corporation Systems and methods of creating multiple electron beams
CN118103941A (zh) 2021-10-25 2024-05-28 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 在多束系统中对成像分辨率进行全局与区域优化的方法
WO2023117277A1 (en) * 2021-12-23 2023-06-29 Asml Netherlands B.V. Electron-optical device, method of compensating for variations in a property of sub-beams
KR102952206B1 (ko) 2022-01-25 2026-04-14 칼 짜이스 멀티셈 게엠베하 미러 작동 모드를 갖는 다중 하전 입자 빔 시스템, 미러 작동 모드를 갖는 다중-빔 하전 입자 현미경 시스템을 작동시키기 위한 방법 및 관련 컴퓨터 프로그램 제품
TW202501535A (zh) * 2022-01-31 2025-01-01 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 多束系統以及具有降低對漂移與損壞的敏感度的多束產生單元與其操作方法
WO2023147941A1 (en) 2022-02-03 2023-08-10 Carl Zeiss Multisem Gmbh Method for determining a distortion-corrected position of a feature in an image imaged with a multi-beam charged particle microscope, corresponding computer program product and multi-beam charged particle microscope
US12423772B2 (en) * 2022-02-17 2025-09-23 Fei Company Systems and methods for hybrid enhancement of scanning electron microscope images
DE102022104535B4 (de) 2022-02-25 2024-03-21 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop zur Reduktion von Teilchenstrahl-induzierten Spuren auf einer Probe
WO2023197125A1 (zh) * 2022-04-12 2023-10-19 华为技术有限公司 用于减小散焦距离defocus的静电透镜
DE102022114098A1 (de) 2022-06-03 2023-12-14 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop mit verbesserter Justage und Verfahren zum Justieren des Vielstrahl-Teilchenmikroskops sowie Computerprogrammprodukt
WO2023237225A1 (en) 2022-06-10 2023-12-14 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle imaging system with improved imaging of secondary electron beamlets on a detector
DE102022114923B4 (de) 2022-06-14 2024-10-17 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenmikroskops, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop
CN119404277A (zh) 2022-06-23 2025-02-07 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 多束系统与具有减小的对二次辐射的敏感度的多束形成单元
CN119497902A (zh) 2022-07-07 2025-02-21 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 具有用于场曲校正的反射镜的多束带电粒子显微镜设计
DE102022120496B4 (de) * 2022-08-12 2025-05-28 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenoptische Anordnung, insbesondere Vielstrahl-Teilchenmikroskop, mit einer Magnetanordnung zum Separieren eines primären und eines sekundären teilchenoptischen Strahlenganges
DE102022124933A1 (de) 2022-09-28 2024-03-28 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop mit verbessertem Strahlrohr
US20240128051A1 (en) 2022-10-14 2024-04-18 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle beam system with anisotropic filtering for improved image contrast
WO2024099587A1 (en) 2022-11-10 2024-05-16 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle imaging system with reduced charging effects
DE102022131862A1 (de) 2022-12-01 2024-06-06 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop umfassend eine Aberrationskorrektureinheit mit Geometrie-basierten Korrekturelektroden und Verfahren zum Einstellen der Aberrationskorrektur sowie Computerprogrammprodukt
WO2024125816A1 (en) 2022-12-16 2024-06-20 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle microscope design with detection system for fast charge compensation
TWI903291B (zh) 2023-01-19 2025-11-01 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 多束帶電粒子系統的快速閉迴路控制以及操作多數帶電粒子成像裝置的電腦實施方法
DE102023101774B4 (de) * 2023-01-25 2025-05-15 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Auslegen eines Vielstrahl-Teilchenstrahlsystems mit monolithischen Bahnverlaufskorrekturplatten, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenstrahlsystem
WO2024156469A1 (en) 2023-01-25 2024-08-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam particle microscope with improved multi-beam generator for field curvature correction and multi-beam generator
CN120693674A (zh) 2023-02-06 2025-09-23 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 具有用于快速补偿充电效应的检测单元的多束带电粒子显微镜
WO2024184398A1 (en) 2023-03-07 2024-09-12 Carl Zeiss Smt Gmbh Sample preparation for charged particle beam imaging
TWI902164B (zh) 2023-03-14 2025-10-21 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 掃描電子顯微鏡的成像參數之監控的方法、程式碼、與控制系統
DE102023202582A1 (de) 2023-03-22 2024-09-26 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verbesserte Vielstrahl-Erzeugungseinrichtung und Methode zum Betrieb einer Vielstrahl-Erzeugungseinrichtung
DE102023107961B3 (de) 2023-03-29 2024-09-26 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielstrahl-Teilchenmikroskop mit schnell austauschbarer Teilchenquelle und Verfahren zum schnellen Austauschen einer Teilchenquelle in dem Vielstrahl-Teilchenmikroskop
WO2024227537A1 (en) 2023-05-02 2024-11-07 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle microscope for inspection with improved image contrast
KR20260012284A (ko) 2023-05-22 2026-01-26 칼 짜이스 멀티셈 게엠베하 증가된 처리량을 갖는 검사를 위한 다중 빔 대전 입자 현미경
DE102023116627B4 (de) 2023-06-23 2025-07-31 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielzahl-Teilchenstrahlsystem, insbesondere Vielstrahl-Teilchenmikroskop, mit einer schnellen Magnetlinse und seine Verwendung
DE102023119451B4 (de) 2023-07-24 2025-02-13 Carl Zeiss Multisem Gmbh Vielstrahl-Teilchenstrahlsystem mit elektrostatischer Boosterlinse, Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenstrahlsystems und zugehöriges Computerprogrammprodukt
DE102023120127B4 (de) 2023-07-28 2025-03-27 Carl Zeiss Multisem Gmbh Teilchenoptische Anordnung, insbesondere Vielstrahl-Teilchenmikroskop, mit einer Magnetanordnung zum Separieren eines primären und eines sekundären teilchenoptischen Strahlenganges mit verbesserter Performance
TW202529141A (zh) 2023-09-26 2025-07-16 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 具有增強聚焦功率的多束生成單元
DE102023126251B4 (de) 2023-09-27 2025-04-10 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielzahl-Teilchenstrahlsystems, Computerprogrammprodukt und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem mit gesteigerter Performance
DE102023126510B3 (de) 2023-09-28 2025-02-13 Carl Zeiss Multisem Gmbh Monolithische Multi-Aperturplatte für ein Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem, Verfahren zur Herstellung einer monolithischen Multi-Aperturplatte, und Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem mit einer monolithischen Multi-Aperturplatte
WO2025098639A1 (en) 2023-11-07 2025-05-15 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle microscope for inspection with reduced charging effects
WO2025108569A1 (en) 2023-11-23 2025-05-30 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle microscope design with improved detection system for secondary electron imaging over a large range of landing energies of primary electrons
DE102023133567A1 (de) 2023-11-30 2025-06-05 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Mikrooptik für ein Vielzahl-Teilchenstrahlsystem, Mikrooptik und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem
WO2025131323A1 (en) 2023-12-19 2025-06-26 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi-beam charged particle microscope for inspection with reduced charging effects
WO2025131496A1 (en) 2023-12-20 2025-06-26 Carl Zeiss Multisem Gmbh Frame aggregation for multi-beam raster scanning microscopes
DE102024105793B3 (de) 2024-02-29 2025-07-31 Carl Zeiss Multisem Gmbh Fertigungsverfahren für eine monolithische Multi-Aperturplatte und monolithische Multi-Aperturplatte für ein Vielstrahl-Elektronenstrahlsystem
TW202541082A (zh) 2024-03-21 2025-10-16 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 具有範圍廣的著陸能量的多束粒子顯微鏡
WO2025202056A1 (en) 2024-03-25 2025-10-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multi electron-beam system for inspection with backscattered electrons
US20250316437A1 (en) * 2024-04-05 2025-10-09 Kla Corporation Ultra-high sensitivity hybrid inspection with full wafer coverage capability
WO2025224235A2 (en) 2024-04-25 2025-10-30 Carl Zeiss Multisem Gmbh Improved beam control for a multi-beam scanning particle imaging system
TW202548823A (zh) 2024-05-10 2025-12-16 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司 基於二次帶電粒子束測量的多束掃描帶電粒子顯微鏡的一次帶電粒子束像差
EP4672299A3 (en) 2024-06-03 2026-03-25 Carl Zeiss MultiSEM GmbH Multi-beam charged particle microscope design with adaptive detection system
DE102024118384B4 (de) 2024-06-28 2026-02-05 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielzahl-Teilchenstrahlsystems sowie Vielzahl-Teilchenstrahlsystem mit elektrostatischen Fangelektroden
DE102024119459B3 (de) 2024-07-09 2026-01-15 Carl Zeiss Multisem Gmbh Strahlerzeugungsvorrichtung für ein Vielzahl-Teilchenstrahlsystem und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem
WO2026037730A2 (en) 2024-08-12 2026-02-19 Carl Zeiss Multisem Gmbh Photoemission of charged-particle beams in multi-beam charged-particle microscopes
DE102024127358A1 (de) 2024-09-23 2026-03-26 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Vielzahl-Teilchenstrahlsystems mit Detektion eines Ring-Kollaps-Prozesses und Triggern eines Materialaufbauprozesses, zugehöriges Computerprogrammprodukt sowie Vielzahl-Teilchenstrahlsystem und Vielstrahl-Teilchenmikroskop
WO2026068185A2 (en) 2024-09-26 2026-04-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh High-throughput multi-beam scanning microscope with hexagonal raster of beamlets
DE102024128159B3 (de) 2024-09-27 2026-03-12 Carl Zeiss Multisem Gmbh Multiapertur-Array zum Manipulieren einer Vielzahl von geladenen ersten Einzelteilchenstrahlen sowie Vielzahl-Teilchenstrahlsystem mit dem Multiapertur-Array
DE102024128162B3 (de) 2024-09-27 2026-03-19 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zum Einstellen einer Vielkanal-Detektionseinheit eines Vielstrahl-Teilchenmikroskops bei einer Inspektion aufladbarer Proben, zugehöriges Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop
DE102024128202A1 (de) 2024-09-30 2026-04-02 Carl Zeiss Multisem Gmbh Verfahren zur passiven Justage einer teilchenoptischen Komponente für eine Funktionseinheit eines Teilchenstrahlsystems, insbesondere eines Polschuhs für eine Magnetlinse, Verfahren zum Ausrüsten eines Teilchenstrahlsystems mit der Funktionseinheit, insbesondere einer Magnetlinse, sowie Teilchenstrahlsystem

Family Cites Families (107)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2877369A (en) * 1955-06-02 1959-03-10 Rca Corp Electron beam tube
JPS57118357A (en) 1981-01-14 1982-07-23 Jeol Ltd Objective lens for scan type electron microscope
US4914282A (en) * 1984-07-06 1990-04-03 Canon Kabushiki Kaisha Focus detection system employing multiple area light distribution sensors
JPS6161414A (ja) * 1984-09-03 1986-03-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マルチ荷電ビ−ム露光装置
FR2575597B1 (fr) * 1984-12-28 1987-03-20 Onera (Off Nat Aerospatiale) Appareil pour la micro-analyse ionique a tres haute resolution d'un echantillon solide
JPS61259440A (ja) * 1985-05-10 1986-11-17 Nec Corp インライン型電子銃電極構体
JPS62229643A (ja) * 1986-03-28 1987-10-08 Jeol Ltd 電子線発生装置
JPS6319746A (ja) * 1986-07-12 1988-01-27 Nissin Electric Co Ltd 表面解析装置
JPS63129752A (ja) 1986-11-19 1988-06-02 Nec Corp 遅延検波器
US4737682A (en) * 1987-07-20 1988-04-12 Rca Corporation Color picture tube having an inline electron gun with an einzel lens
JPH01195581A (ja) 1988-01-30 1989-08-07 Pfu Ltd イメージ・データ処理システム
US5012105A (en) * 1989-02-02 1991-04-30 Nippon Seiko Kabushiki Kaisha Multiple-imaging charged particle-beam exposure system
US4990822A (en) * 1989-12-29 1991-02-05 Zenith Electronics Corporation Focusing electrode assembly for a color cathode ray tube electron gun
US5485209A (en) * 1992-04-03 1996-01-16 Canon Kabushiki Kaisha Pupil divisional type focusing position detection apparatus for electronic cameras
US5604394A (en) * 1992-11-06 1997-02-18 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Image display apparatus
JP3123850B2 (ja) 1993-01-29 2001-01-15 日本電子株式会社 直接写像型反射電子顕微鏡
JP3325982B2 (ja) 1993-12-27 2002-09-17 株式会社東芝 磁界界浸型電子銃
EP0767482B1 (en) 1994-04-12 1999-09-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Particle-optical apparatus comprising a detector for secondary electrons
TW378334B (en) * 1994-10-14 2000-01-01 Thomson Consumer Electronics Method of forming an enhanced resolution shadow mask
US5483074A (en) * 1995-01-11 1996-01-09 Litton Systems, Inc. Flood beam electron gun
JP2914264B2 (ja) * 1996-01-16 1999-06-28 日本電気株式会社 電子ビーム描画方法
US5825038A (en) * 1996-11-26 1998-10-20 Eaton Corporation Large area uniform ion beam formation
EP1369896A3 (en) * 1996-03-04 2004-12-22 Canon Kabushiki Kaisha Electron beam exposure apparatus and method and device manufacturing method
JP3647136B2 (ja) * 1996-04-23 2005-05-11 キヤノン株式会社 電子ビーム露光装置
JP3647128B2 (ja) * 1996-03-04 2005-05-11 キヤノン株式会社 電子ビーム露光装置とその露光方法
JPH09275068A (ja) * 1996-04-04 1997-10-21 Nikon Corp 電子線露光装置
JPH09311112A (ja) * 1996-05-22 1997-12-02 Nikon Corp 欠陥検査装置
US5892224A (en) 1996-05-13 1999-04-06 Nikon Corporation Apparatus and methods for inspecting wafers and masks using multiple charged-particle beams
US5981954A (en) * 1997-01-16 1999-11-09 Canon Kabushiki Kaisha Electron beam exposure apparatus
DE19738070A1 (de) 1997-09-01 1999-03-04 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Energiefilter, insbesondere für ein Elektronenmikroskop
JP3441955B2 (ja) 1998-02-23 2003-09-02 株式会社日立製作所 投射方式の荷電粒子顕微鏡および基板検査システム
US6014200A (en) * 1998-02-24 2000-01-11 Nikon Corporation High throughput electron beam lithography system
US6486480B1 (en) * 1998-04-10 2002-11-26 The Regents Of The University Of California Plasma formed ion beam projection lithography system
US6153970A (en) * 1998-04-20 2000-11-28 Chunghwa Picture Tubes, Ltd. Color CRT electron gun with asymmetric auxiliary beam passing aperture
US6157039A (en) * 1998-05-07 2000-12-05 Etec Systems, Inc. Charged particle beam illumination of blanking aperture array
JP2000064100A (ja) * 1998-08-24 2000-02-29 Hitachi Ltd 鋼帯の脱スケ−ル装置及び鋼帯の製造装置
JP2000090866A (ja) * 1998-09-17 2000-03-31 Toshiba Corp 電子銃、電子銃による電子ビーム発生方法及び電子銃を用いた露光装置
JP4527289B2 (ja) * 1998-12-17 2010-08-18 エフ イー アイ カンパニ オージェ電子の検出を含む粒子光学装置
US6252412B1 (en) 1999-01-08 2001-06-26 Schlumberger Technologies, Inc. Method of detecting defects in patterned substrates
JP4410871B2 (ja) * 1999-03-25 2010-02-03 キヤノン株式会社 荷電粒子線露光装置及び該装置を用いたデバイス製造方法
JP3658235B2 (ja) 1999-03-30 2005-06-08 キヤノン株式会社 電子銃および電子銃を用いた描画装置および電子線応用装置
JP2001052998A (ja) * 1999-06-03 2001-02-23 Advantest Corp 荷電粒子ビーム結像方法、荷電粒子ビーム結像装置及び荷電粒子ビーム露光装置
JP2001133234A (ja) * 1999-11-05 2001-05-18 Nikon Corp 欠陥検査方法、欠陥検査装置及びそれらを用いた半導体デバイスの製造方法
US6465783B1 (en) * 1999-06-24 2002-10-15 Nikon Corporation High-throughput specimen-inspection apparatus and methods utilizing multiple parallel charged particle beams and an array of multiple secondary-electron-detectors
US6868175B1 (en) 1999-08-26 2005-03-15 Nanogeometry Research Pattern inspection apparatus, pattern inspection method, and recording medium
US7817844B2 (en) 1999-08-26 2010-10-19 Nanogeometry Research Inc. Pattern inspection apparatus and method
US7796801B2 (en) 1999-08-26 2010-09-14 Nanogeometry Research Inc. Pattern inspection apparatus and method
JP3763446B2 (ja) * 1999-10-18 2006-04-05 キヤノン株式会社 静電レンズ、電子ビーム描画装置、荷電ビーム応用装置、および、デバイス製造方法
EP1120809B1 (en) * 2000-01-27 2012-02-22 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Objective lens for a charged particle beam device
US6559586B1 (en) * 2000-02-08 2003-05-06 Sarnoff Corporation Color picture tube including an electron gun in a coated tube neck
WO2001059805A1 (en) * 2000-02-09 2001-08-16 Fei Company Multi-column fib for nanofabrication applications
US6566664B2 (en) * 2000-03-17 2003-05-20 Canon Kabushiki Kaisha Charged-particle beam exposure apparatus and device manufacturing method
JP4585661B2 (ja) 2000-03-31 2010-11-24 キヤノン株式会社 電子光学系アレイ、荷電粒子線露光装置およびデバイス製造方法
JP4947842B2 (ja) * 2000-03-31 2012-06-06 キヤノン株式会社 荷電粒子線露光装置
JP2001283756A (ja) * 2000-03-31 2001-10-12 Canon Inc 電子光学系アレイ、これを用いた荷電粒子線露光装置ならびにデバイス製造方法
JP4947841B2 (ja) 2000-03-31 2012-06-06 キヤノン株式会社 荷電粒子線露光装置
JP2001284230A (ja) * 2000-03-31 2001-10-12 Canon Inc 電子光学系アレイ、これを用いた荷電粒子線露光装置ならびにデバイス製造方法
JP4401614B2 (ja) * 2000-04-04 2010-01-20 株式会社アドバンテスト 多軸電子レンズを用いたマルチビーム露光装置、複数の電子ビームを集束する多軸電子レンズ、半導体素子製造方法
US6744041B2 (en) * 2000-06-09 2004-06-01 Edward W Sheehan Apparatus and method for focusing ions and charged particles at atmospheric pressure
EP2587515A1 (en) * 2000-06-27 2013-05-01 Ebara Corporation Inspection system by charged particle beam and method of manufacturing devices using the system
TWI297167B (en) * 2000-06-27 2008-05-21 Ebara Corp Inspection apparatus and inspection method
JP2002031525A (ja) 2000-07-14 2002-01-31 Seiko Instruments Inc 半導体ウエハのパターン形状評価方法及び装置
WO2002013227A1 (en) * 2000-07-27 2002-02-14 Ebara Corporation Sheet beam test apparatus
JP2002050697A (ja) * 2000-08-07 2002-02-15 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の製造方法、及び半導体装置
JP4601146B2 (ja) 2000-10-03 2010-12-22 株式会社アドバンテスト 電子ビーム露光装置
US7244932B2 (en) 2000-11-02 2007-07-17 Ebara Corporation Electron beam apparatus and device fabrication method using the electron beam apparatus
WO2002037526A1 (en) 2000-11-02 2002-05-10 Ebara Corporation Electron beam apparatus and method for manufacturing semiconductor device comprising the apparatus
US7109483B2 (en) * 2000-11-17 2006-09-19 Ebara Corporation Method for inspecting substrate, substrate inspecting system and electron beam apparatus
US6855929B2 (en) * 2000-12-01 2005-02-15 Ebara Corporation Apparatus for inspection with electron beam, method for operating same, and method for manufacturing semiconductor device using former
JP2002184338A (ja) * 2000-12-12 2002-06-28 Nikon Corp 電子線装置及びその電子線装置を用いたデバイス製造方法
US7095022B2 (en) 2000-12-12 2006-08-22 Ebara Corporation Electron beam apparatus and method of manufacturing semiconductor device using the apparatus
JP3914386B2 (ja) * 2000-12-28 2007-05-16 株式会社ルネサステクノロジ フォトマスク、その製造方法、パターン形成方法および半導体装置の製造方法
JP4246401B2 (ja) * 2001-01-18 2009-04-02 株式会社アドバンテスト 電子ビーム露光装置及び電子ビーム偏向装置
DE10235981B9 (de) * 2002-08-06 2009-01-22 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Teilchenoptische Vorrichtung und Elektronenmikroskop
DE10107910A1 (de) * 2001-02-20 2002-08-22 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Teilchenstrahlsystem mit einem Spiegelkorrektor
US7022987B2 (en) * 2001-02-20 2006-04-04 Carl Zeiss Nis Gmbh Particle-optical arrangements and particle-optical systems
JP4647820B2 (ja) * 2001-04-23 2011-03-09 キヤノン株式会社 荷電粒子線描画装置、および、デバイスの製造方法
US6764743B2 (en) 2001-05-01 2004-07-20 Ngk Insulators, Ltd. Porous honeycomb structure and process for production thereof
WO2002091421A1 (fr) * 2001-05-01 2002-11-14 Nikon Corporation Appareil a faisceau d'electrons et son utilisation pour la fabrication
JP4756776B2 (ja) * 2001-05-25 2011-08-24 キヤノン株式会社 荷電粒子線露光装置、荷電粒子線露光方法およびデバイス製造方法
TW579536B (en) 2001-07-02 2004-03-11 Zeiss Carl Semiconductor Mfg Examining system for the particle-optical imaging of an object, deflector for charged particles as well as method for the operation of the same
US6750455B2 (en) * 2001-07-02 2004-06-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for multiple charged particle beams
JP2003031171A (ja) * 2001-07-18 2003-01-31 Nikon Corp 電子線装置及び該電子線装置を用いたデバイス製造方法
JP2003045789A (ja) * 2001-08-02 2003-02-14 Canon Inc 描画装置及び描画方法
JP3876668B2 (ja) * 2001-09-13 2007-02-07 株式会社日立製作所 電子線を用いた外観検査装置
JP2003100246A (ja) * 2001-09-25 2003-04-04 Toshiba Corp 荷電ビーム装置並びにパターン測定方法およびパターン描画方法
JP2003203836A (ja) * 2001-12-28 2003-07-18 Canon Inc 露光装置及びその制御方法並びにデバイス製造方法
US6853143B2 (en) * 2002-01-09 2005-02-08 Ebara Corporation Electron beam system and method of manufacturing devices using the system
US6768125B2 (en) * 2002-01-17 2004-07-27 Ims Nanofabrication, Gmbh Maskless particle-beam system for exposing a pattern on a substrate
JP3940310B2 (ja) * 2002-04-04 2007-07-04 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子ビーム描画方法及び描画装置、並びにこれを用いた半導体製造方法
DE10230929A1 (de) * 2002-07-09 2004-01-29 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Verfahren zum elektronenmikroskopischen Beobachten einer Halbleiteranordnung und Vorrichtung hierfür
DE10235456B4 (de) * 2002-08-02 2008-07-10 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Elektronenmikroskopiesystem
DE10237135A1 (de) * 2002-08-13 2004-02-26 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Teilchenoptische Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb derselben
JP4167050B2 (ja) * 2002-12-13 2008-10-15 キヤノン株式会社 荷電粒子線露光装置及びその制御方法、並びにデバイス製造方法
KR101068607B1 (ko) * 2003-03-10 2011-09-30 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. 복수 개의 빔렛 발생 장치
EP1463087B1 (en) * 2003-03-24 2010-06-02 ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh Charged particle beam device
JP4459568B2 (ja) * 2003-08-06 2010-04-28 キヤノン株式会社 マルチ荷電ビームレンズおよびそれを用いた荷電ビーム露光装置
CN102709143B (zh) 2003-09-05 2016-03-09 卡尔蔡司Smt有限责任公司 电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法
GB2413694A (en) * 2004-04-30 2005-11-02 Ims Nanofabrication Gmbh Particle-beam exposure apparatus
EP1657736B1 (en) * 2004-11-15 2016-12-14 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH High current density particle beam system
EP1703538B1 (en) * 2005-03-17 2008-11-12 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Charged particle beam device for high spatial resolution and multiple perspective imaging
JP5663717B2 (ja) * 2005-09-06 2015-02-04 カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーＣａｒｌ Ｚｅｉｓｓ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ Ｇｍｂｈ 荷電粒子システム
US8026495B2 (en) * 2005-10-28 2011-09-27 Carl Zeiss Sms Gmbh Charged particle beam exposure system
TWI485742B (zh) * 2006-09-12 2015-05-21 荏原製作所股份有限公司 荷電粒子束裝置及使用該裝置之半導體元件製造方法
US7825386B2 (en) * 2006-10-25 2010-11-02 Hermes-Microvision, Inc. System and method for a charged particle beam
JP2009011478A (ja) * 2007-07-03 2009-01-22 Brother Ind Ltd ミシン及びミシンモータ制御プログラム
JP5886663B2 (ja) * 2012-03-21 2016-03-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子線応用装置およびレンズアレイ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007513460A5 (https=)
TWI709992B (zh) 用於檢查試樣之方法以及帶電粒子多束裝置
KR102295389B1 (ko) 1차 하전 입자 빔렛들의 어레이를 이용하여 시료를 검사하기 위한 방법, 1차 하전 입자 빔렛들의 어레이를 이용한 시료의 검사를 위한 하전 입자 빔 디바이스, 및 시료의 검사를 위한 다중-컬럼 현미경
TWI751556B (zh) 用於以初級帶電粒子小束陣列檢查樣本的帶電粒子束裝置
KR102566320B1 (ko) 하전 입자 빔 디바이스, 필드 곡률 보정기, 및 하전 입자 빔 디바이스를 동작시키는 방법들
TWI650550B (zh) 用於高產量電子束檢測（ｅｂｉ）的多射束裝置
TW200830058A (en) Charged particle beam lithography system and charged particle beam drawing method
TWI737146B (zh) 用於操作具有多個細束的帶電粒子裝置的裝置和方法
KR102147728B1 (ko) 고성능 검사용 주사 전자 현미경 디바이스, 및 그것을 동작시키는 방법
US8049189B2 (en) Charged particle system
KR102650480B1 (ko) 하전 입자 디바이스를 위한 빔 분할기
TWI539481B (zh) 電子束光學系統、聚光透鏡配置及聚光透鏡的移動方法
JP2013254673A (ja) 荷電粒子線装置および荷電粒子線の偏向制御装置
TWI889079B (zh) 用於帶電粒子束裝置的透鏡、帶電粒子束裝置以及聚焦帶電粒子束的方法
TW202529140A (zh) 電子束裝置、箔或柵格透鏡，以及操作電子束裝置的方法
KR20250141065A (ko) 복수의 1차 빔렛을 위한 광학 시스템, 대전 입자 멀티-빔 장치, 및 복수의 1차 빔렛을 포커싱하는 방법
KR20130087278A (ko) 편심 어퍼쳐를 가진 전극층을 포함하는 멀티 입자 빔 칼럼