JP2007511454A - カーボンナノチューブを分類する方法 - Google Patents
カーボンナノチューブを分類する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007511454A JP2007511454A JP2006535574A JP2006535574A JP2007511454A JP 2007511454 A JP2007511454 A JP 2007511454A JP 2006535574 A JP2006535574 A JP 2006535574A JP 2006535574 A JP2006535574 A JP 2006535574A JP 2007511454 A JP2007511454 A JP 2007511454A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- nanotubes
- substrate
- metallic
- nanotube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/20—Carbon compounds, e.g. carbon nanotubes or fullerenes
- H10K85/221—Carbon nanotubes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/168—After-treatment
- C01B32/172—Sorting
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2202/00—Structure or properties of carbon nanotubes
- C01B2202/02—Single-walled nanotubes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2202/00—Structure or properties of carbon nanotubes
- C01B2202/20—Nanotubes characterized by their properties
- C01B2202/22—Electronic properties
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/734—Fullerenes, i.e. graphene-based structures, such as nanohorns, nanococoons, nanoscrolls or fullerene-like structures, e.g. WS2 or MoS2 chalcogenide nanotubes, planar C3N4, etc.
Abstract
Description
Claims (26)
- 基板を提供する工程;
前記基板に接触する複数の半導体及び金属的ナノチューブを提供する工程;
前記半導体又は金属的ナノチューブのうちのいずれか一方を選択的に保護し、前記半導体又は金属的ナノチューブのうちの他方を非保護ナノチューブとする工程;及び、
保護されたナノチューブのみを残すため、前記非保護ナノチューブを溶解又は分解する工程;
を有する方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記基板は半導体的基板であることを特徴とする方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記半導体的基板はゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を有することを特徴とする方法。 - 請求項3に記載の方法であって、
半導体ナノチューブを保護する前記工程は半導体ナノチューブのキャリアを空乏化することで実現されることを特徴とする方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記金属的ナノチューブは電流によって除去されることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記金属的ナノチューブを保護する前記工程は強酸溶液中での陰極防食によって実現されることを特徴とする方法。 - 請求項6に記載の方法であって、
前記半導体ナノチューブは前記強酸溶液によって選択的に除去されることを特徴とする方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
電子正孔対を生成する光子エネルギーで半導体ナノチューブを照射する工程を有する方法。 - 基板を提供する工程;
前記基板に接触する複数の半導体及び金属的ナノチューブを提供する工程;
陰極防食によって、前記金属的ナノチューブを酸による分解から選択的に保護する工程;及び、
前記非保護ナノチューブが選択的に除去されるように前記ナノチューブを有する前記基板を酸に侵食する工程;
を有する方法。 - 請求項9に記載の方法であって、
前記基板は層間絶縁膜(ILD)を有することを特徴とする方法。 - 請求項9に記載の方法であって、
前記半導体ナノチューブは前記強酸溶液によって選択的に除去されることを特徴とする方法。 - 請求項9に記載の方法であって、
さらに電子正孔対を生成する光子エネルギーで前記半導体ナノチューブを照射する工程を有する方法。 - 基板を提供する工程;
前記基板に接触する複数の半導体及び金属的ナノチューブを提供する工程;
陰極防食によって、前記半導体ナノチューブを電流から選択的に保護する工程;及び、
非保護ナノチューブが選択的に除去されるように複数のナノチューブに電流を提供する工程;
を有する方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記基板は半導体的基板であることを特徴とする方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
前記半導体的基板はゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を有することを特徴とする方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記半導体ナノチューブを保護する前記工程は前記半導体ナノチューブのキャリアを空乏化することで実現されることを特徴とする方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記金属的ナノチューブは電流によって選択的に除去されることを特徴とする方法。 - 電界効果型トランジスタ(FET)、キャパシタ又はダイオードを作製する方法であって:
基板を提供する工程;
前記基板に接触する複数の半導体及び金属的ナノチューブを提供する工程;
前記半導体ナノチューブを電流から選択的に保護する工程;及び、
非保護ナノチューブが選択的に除去されるように複数のナノチューブに電流を提供する工程;
を有する方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記基板は半導体的基板であることを特徴とする方法。 - 請求項19に記載の方法であって、
前記半導体的基板はゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を有することを特徴とする方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記半導体的ナノチューブを保護する前記工程は前記半導体ナノチューブのキャリアを空乏化することで実現されることを特徴とする方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記金属的ナノチューブは前記電流によって選択的に除去されることを特徴とする方法。 - 相互接続を有する素子を形成する方法であって、
基板を提供する工程;
前記基板に接触する複数の半導体及び金属的ナノチューブを提供する工程;
陰極防食によって、前記金属的ナノチューブを酸による分解から選択的に保護する工程;及び、
前記非保護ナノチューブが選択的に除去されるように前記ナノチューブを有する前記基板を酸に侵食させる工程;
を有する方法。 - 請求項23に記載の方法であって、
前記基板は層間絶縁膜(ILD)を有することを特徴とする方法。 - 請求項23に記載の方法であって、
前記半導体ナノチューブは前記強酸溶液によって選択的に除去されることを特徴とする方法。 - 請求項23に記載の方法であって、
電子正孔対を生成する光子エネルギーで前記半導体ナノチューブを照射する工程を有する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/688,854 US6921684B2 (en) | 2003-10-17 | 2003-10-17 | Method of sorting carbon nanotubes including protecting metallic nanotubes and removing the semiconducting nanotubes |
PCT/US2004/033433 WO2005041227A2 (en) | 2003-10-17 | 2004-10-07 | Method of sorting carbon nanotubes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007511454A true JP2007511454A (ja) | 2007-05-10 |
JP4528302B2 JP4528302B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=34521260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006535574A Expired - Fee Related JP4528302B2 (ja) | 2003-10-17 | 2004-10-07 | カーボンナノチューブを分類する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6921684B2 (ja) |
JP (1) | JP4528302B2 (ja) |
KR (1) | KR100847467B1 (ja) |
CN (1) | CN1886332A (ja) |
DE (1) | DE112004001958T5 (ja) |
TW (1) | TWI256668B (ja) |
WO (1) | WO2005041227A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009200282A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カーボンナノチューブ素子 |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7038299B2 (en) * | 2003-12-11 | 2006-05-02 | International Business Machines Corporation | Selective synthesis of semiconducting carbon nanotubes |
AU2005228383A1 (en) * | 2004-03-26 | 2005-10-13 | Foster-Miller, Inc. | Carbon nanotube-based electronic devices made by electronic deposition and applications thereof |
JP4706056B2 (ja) * | 2005-01-05 | 2011-06-22 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 単層カーボンナノチューブ集合体の特性変換方法 |
WO2006096613A2 (en) | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Northwestern University | Separation of carbon nanotubes in density gradients |
US7250366B2 (en) | 2005-03-15 | 2007-07-31 | Intel Corporation | Carbon nanotubes with controlled diameter, length, and metallic contacts |
JP4899368B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2012-03-21 | ソニー株式会社 | 金属的単層カーボンナノチューブの破壊方法、半導体的単層カーボンナノチューブ集合体の製造方法、半導体的単層カーボンナノチューブ薄膜の製造方法、半導体的単層カーボンナノチューブの破壊方法、金属的単層カーボンナノチューブ集合体の製造方法、金属的単層カーボンナノチューブ薄膜の製造方法、電子素子の製造方法およびカーボンナノチューブfetの製造方法 |
US7821079B2 (en) * | 2005-11-23 | 2010-10-26 | William Marsh Rice University | Preparation of thin film transistors (TFTs) or radio frequency identification (RFID) tags or other printable electronics using ink-jet printer and carbon nanotube inks |
WO2007092770A2 (en) | 2006-02-02 | 2007-08-16 | William Marsh Rice University | Fabrication de dispositifs electriques par façonnage de nanotubes |
KR100707212B1 (ko) | 2006-03-08 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 나노 와이어 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
FI121540B (fi) | 2006-03-08 | 2010-12-31 | Canatu Oy | Menetelmä, jolla siirretään korkean aspektisuhteen omaavia molekyylirakenteita |
US20080217588A1 (en) | 2006-08-30 | 2008-09-11 | Arnold Michael S | Monodisperse single-walled carbon nanotube populations and related methods for providing same |
US20080296562A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | Murduck James M | Methods and apparatus for fabricating carbon nanotubes and carbon nanotube devices |
CN101842446A (zh) | 2007-08-29 | 2010-09-22 | 西北大学 | 由经分选的碳纳米管制备的透明电导体及其制备方法 |
US7875878B2 (en) * | 2007-11-29 | 2011-01-25 | Xerox Corporation | Thin film transistors |
KR100930997B1 (ko) | 2008-01-22 | 2009-12-10 | 한국화학연구원 | 탄소나노튜브 트랜지스터 제조 방법 및 그에 의한탄소나노튜브 트랜지스터 |
KR101596372B1 (ko) | 2008-02-15 | 2016-03-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치용 투명전극, 표시장치 및 표시장치의 제조방법 |
CN101593699B (zh) * | 2008-05-30 | 2010-11-10 | 清华大学 | 薄膜晶体管的制备方法 |
CN101582446B (zh) | 2008-05-14 | 2011-02-02 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 薄膜晶体管 |
CN101582450B (zh) * | 2008-05-16 | 2012-03-28 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
CN101587839B (zh) | 2008-05-23 | 2011-12-21 | 清华大学 | 薄膜晶体管的制备方法 |
CN101582382B (zh) * | 2008-05-14 | 2011-03-23 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 薄膜晶体管的制备方法 |
CN101582444A (zh) | 2008-05-14 | 2009-11-18 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
CN101582445B (zh) * | 2008-05-14 | 2012-05-16 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
CN101582451A (zh) * | 2008-05-16 | 2009-11-18 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
CN101582447B (zh) | 2008-05-14 | 2010-09-29 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
CN101582448B (zh) * | 2008-05-14 | 2012-09-19 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
CN101599495B (zh) * | 2008-06-04 | 2013-01-09 | 清华大学 | 薄膜晶体管面板 |
CN101582449B (zh) * | 2008-05-14 | 2011-12-14 | 清华大学 | 薄膜晶体管 |
TWI476837B (zh) * | 2008-06-13 | 2015-03-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 薄膜電晶體的製備方法 |
US8237155B2 (en) | 2008-07-02 | 2012-08-07 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Selective nanotube formation and related devices |
FR2941938B1 (fr) | 2009-02-06 | 2011-05-06 | Commissariat Energie Atomique | Procede de kit de separation de nanotubes de carbone metalliques et semi-conducteurs. |
KR101603767B1 (ko) * | 2009-11-12 | 2016-03-16 | 삼성전자주식회사 | 광조사를 이용한 반도체성 카본나노튜브의 선택적 성장방법 |
KR101054309B1 (ko) * | 2010-06-07 | 2011-08-08 | 고려대학교 산학협력단 | 탄소 나노 튜브 네트워크 트랜지스터의 금속성 및 반도체성 탄소 나노 튜브 비율 측정 장치, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체 |
CN102642822B (zh) * | 2011-02-21 | 2013-08-07 | 北京大学 | 一种分离金属型和半导体型单壁碳纳米管阵列的方法 |
CN103101898B (zh) * | 2011-11-10 | 2015-05-20 | 中国科学院微电子研究所 | 金属性纳米管去除方法 |
US8664091B2 (en) * | 2011-11-10 | 2014-03-04 | Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences | Method for removing metallic nanotube |
KR101319612B1 (ko) * | 2012-01-16 | 2013-10-23 | 남서울대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브 수평성장방법 및 이를 이용한 전계 효과 트랜지스터 |
US10224413B1 (en) * | 2012-01-30 | 2019-03-05 | Northrop Grumman Systems Corporation | Radio-frequency carbon-nanotube field effect transistor devices with local backgates and methods for making same |
KR101339953B1 (ko) | 2013-01-09 | 2013-12-10 | 한국표준과학연구원 | 탄소나노튜브 반도체 소자 제조방법 |
CN108963078B (zh) * | 2017-05-17 | 2020-03-17 | 清华大学 | 光电转换装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5883071A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-05-18 | スイカ・アクチエンゲゼルシヤフト・ボルム・カスパル・ウインクレル・ウント・コンパニ | 建造物ユニツトに於ける鉄筋、緊張線材などの防蝕法 |
JPH04312739A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-04 | Fujitsu Ltd | 微小冷陰極の製造方法 |
WO2002054505A2 (en) * | 2001-01-03 | 2002-07-11 | International Business Machines Corporation | System and method for electrically induced breakdown of nanostructures |
JP2003081616A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-03-19 | Honda Motor Co Ltd | 単層カーボンナノチューブの精製方法 |
JP2003517604A (ja) * | 1999-12-15 | 2003-05-27 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ レランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティー | カーボンナノチューブデバイス |
US20030098488A1 (en) * | 2001-11-27 | 2003-05-29 | O'keeffe James | Band-structure modulation of nano-structures in an electric field |
US20030148139A1 (en) * | 2000-01-27 | 2003-08-07 | Moser Eva Maria | Protective and/or diffusion barrier layer |
US20030170166A1 (en) * | 2001-07-06 | 2003-09-11 | William Marsh Rice University | Fibers of aligned single-wall carbon nanotubes and process for making the same |
US20030168385A1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-09-11 | Fotios Papadimitrakopoulos | Separation of single wall carbon nanotubes |
US20030183560A1 (en) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Hannah Eric C. | Method and system for optically sorting and/or manipulating carbon nanotubes |
WO2003084869A2 (en) * | 2002-03-04 | 2003-10-16 | William Marsh Rice University | Method for separating single-wall carbon nanotubes and compositions thereof |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6346189B1 (en) * | 1998-08-14 | 2002-02-12 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Carbon nanotube structures made using catalyst islands |
US6325909B1 (en) * | 1999-09-24 | 2001-12-04 | The Governing Council Of The University Of Toronto | Method of growth of branched carbon nanotubes and devices produced from the branched nanotubes |
-
2003
- 2003-10-17 US US10/688,854 patent/US6921684B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-10-07 JP JP2006535574A patent/JP4528302B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-10-07 KR KR1020067007969A patent/KR100847467B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-10-07 WO PCT/US2004/033433 patent/WO2005041227A2/en active Application Filing
- 2004-10-07 DE DE112004001958T patent/DE112004001958T5/de not_active Withdrawn
- 2004-10-07 CN CNA2004800350870A patent/CN1886332A/zh active Pending
- 2004-10-11 TW TW093130779A patent/TWI256668B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5883071A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-05-18 | スイカ・アクチエンゲゼルシヤフト・ボルム・カスパル・ウインクレル・ウント・コンパニ | 建造物ユニツトに於ける鉄筋、緊張線材などの防蝕法 |
JPH04312739A (ja) * | 1991-04-12 | 1992-11-04 | Fujitsu Ltd | 微小冷陰極の製造方法 |
JP2003517604A (ja) * | 1999-12-15 | 2003-05-27 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ レランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティー | カーボンナノチューブデバイス |
US20030148139A1 (en) * | 2000-01-27 | 2003-08-07 | Moser Eva Maria | Protective and/or diffusion barrier layer |
WO2002054505A2 (en) * | 2001-01-03 | 2002-07-11 | International Business Machines Corporation | System and method for electrically induced breakdown of nanostructures |
JP2003081616A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-03-19 | Honda Motor Co Ltd | 単層カーボンナノチューブの精製方法 |
US20030170166A1 (en) * | 2001-07-06 | 2003-09-11 | William Marsh Rice University | Fibers of aligned single-wall carbon nanotubes and process for making the same |
US20030098488A1 (en) * | 2001-11-27 | 2003-05-29 | O'keeffe James | Band-structure modulation of nano-structures in an electric field |
US20030168385A1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-09-11 | Fotios Papadimitrakopoulos | Separation of single wall carbon nanotubes |
WO2003084869A2 (en) * | 2002-03-04 | 2003-10-16 | William Marsh Rice University | Method for separating single-wall carbon nanotubes and compositions thereof |
US20030183560A1 (en) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Hannah Eric C. | Method and system for optically sorting and/or manipulating carbon nanotubes |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009200282A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カーボンナノチューブ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050106846A1 (en) | 2005-05-19 |
WO2005041227A3 (en) | 2005-08-25 |
TWI256668B (en) | 2006-06-11 |
CN1886332A (zh) | 2006-12-27 |
KR20060080938A (ko) | 2006-07-11 |
WO2005041227A2 (en) | 2005-05-06 |
US6921684B2 (en) | 2005-07-26 |
KR100847467B1 (ko) | 2008-07-21 |
TW200516641A (en) | 2005-05-16 |
JP4528302B2 (ja) | 2010-08-18 |
DE112004001958T5 (de) | 2006-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4528302B2 (ja) | カーボンナノチューブを分類する方法 | |
JP5355059B2 (ja) | 太陽電池上に多層電極構造を形成する方法、金属配線コンタクト構造、層のパターニング方法、機能構造の形成方法 | |
Graham et al. | How do carbon nanotubes fit into the semiconductor roadmap? | |
CN1871378B (zh) | 纳米结构材料的沉积方法 | |
JP4825863B2 (ja) | グラフェンナノデバイスの製造 | |
KR101523929B1 (ko) | 금속계 잉크 | |
Harada et al. | Catalytic amplification of the soft lithographic patterning of Si. Nonelectrochemical orthogonal fabrication of photoluminescent porous Si pixel arrays | |
JP2005519201A (ja) | ナノ構造材料のための堆積方法 | |
Cui et al. | Nanogap electrodes towards solid state single‐molecule transistors | |
JP2966842B1 (ja) | 電界放射型電子源 | |
JP6357951B2 (ja) | グラファイト薄膜構造体の製造方法 | |
US20070252131A1 (en) | Method of interconnect formation using focused beams | |
JP2015504568A5 (ja) | ||
JP5237003B2 (ja) | 細長い金属含有ナノ構造の光誘起形成 | |
JP2005079335A (ja) | ナノギャップ電極の製造方法及び該方法により製造されたナノギャップ電極を有する素子 | |
Cole et al. | Mimicking Electrodeposition in the Gas Phase: A Programmable Concept for Selected‐Area Fabrication of Multimaterial Nanostructures | |
JP5246938B2 (ja) | カーボンナノチューブ成長用基板、トランジスタ及びカーボンナノチューブ成長用基板の製造方法 | |
JP4631004B2 (ja) | ナノギャップ電極の製造方法 | |
WO2015157501A1 (en) | Ultra-long silicon nanostructures, and methods of forming and transferring the same | |
Chen et al. | A self-assembled synthesis of carbon nanotubes for interconnects | |
JP6834683B2 (ja) | センサ製造システム、および、センサ製造方法 | |
US10134594B2 (en) | Method for manufacturing an electrical contact on a structure | |
TW200524826A (en) | Nozzle with nanosized heater, method for manufacturing same, and method for forming fine thin film | |
US20030042431A1 (en) | Fuse and anti-fuse concept using a focused ion beam writing technique | |
JP3228250B2 (ja) | 微細構造素子とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100604 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |