JP6834683B2 - センサ製造システム、および、センサ製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、センサ製造システム100を説明する図である。図1に示すように、センサ製造システム100は、成膜装置110と、レーザー照射装置120とを含んで構成される。成膜装置110は、基板上に、グラファイト層と、複数のカーボンナノウォールを含んで構成されるナノ構造層とを成膜する。
続いて、上記センサ製造システム100を用いたセンサ製造方法を説明する。図4は、センサ製造方法の処理の流れを説明するフローチャートである。図5は、センサ製造方法の各工程を説明する図である。なお、本実施形態の図5では、垂直に交わるX軸、Y軸、Z軸を図示の通り定義している。
第1成膜工程S110は、成膜装置110を用いて、基板S上に、グラファイト層を成膜しつつ、グラファイト層に金属をドープする工程である。
第2成膜工程S120は、成膜装置110を用いて、下地層310上にナノ構造層を成膜する工程である。
レーザー照射工程S130は、レーザー照射装置120を用いて、ナノ構造層320の所定の領域に、パルス幅が10−12秒未満のレーザーを照射して、下地層310を残存させつつ、ナノ構造層320をアブレートさせる工程である。
基板Sとしてシリコン基板を採用し、成膜装置110を用いて、グラファイト層およびナノ構造層320を成膜した。その後、レーザー照射装置120を用いて、ナノ構造層320(カーボンナノウォール322)にレーザーを照射した。レーザーの波長は、800nmとした。レーザーのパルス幅は、40フェムト秒とした。レーザーのエネルギー密度は、1.3×1014W/cm2とした。レーザーの照射雰囲気は大気とし、照射雰囲気の圧力は大気圧とした。
110 成膜装置
120 レーザー照射装置
500 センサ
600 センサ
Claims (5)
- グラファイト層と、複数のカーボンナノウォールを含んで構成されるナノ構造層と、を基板に成膜する成膜装置と、
前記ナノ構造層の所定の領域に、パルス幅が10−12秒未満のレーザーを照射して、前記グラファイト層を残存させつつ、前記ナノ構造層をアブレートさせるレーザー照射装置と、
を備えるセンサ製造システム。 - 前記成膜装置は、前記グラファイト層および前記カーボンナノウォールのいずれか一方、または、両方に金属をドープする請求項1に記載のセンサ製造システム。
- 前記レーザー照射装置は、前記ナノ構造層における互いに離隔した2つの領域に前記レーザーを照射する請求項1または2に記載のセンサ製造システム。
- 前記レーザー照射装置は、ビームホモジナイザを有する請求項1から3のいずれか1項に記載のセンサ製造システム。
- 基板上にグラファイト層を成膜する工程と、
前記グラファイト層上に、複数のカーボンナノウォールを含んで構成されるナノ構造層を成膜する工程と、
前記ナノ構造層の所定の領域に、パルス幅が10−12秒未満のレーザーを照射して、前記グラファイト層を残存させつつ、前記ナノ構造層をアブレートさせる工程と、
を含むセンサ製造方法。
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JP2017065575A JP6834683B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | センサ製造システム、および、センサ製造方法 |
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