JP4975005B2 - 先端上の触媒粒子 - Google Patents
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- 239000003054 catalyst Substances 0.000 title claims description 130
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 68
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 227
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 227
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 57
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 47
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 42
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims description 26
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 14
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 8
- -1 molybdenum ion Chemical class 0.000 claims description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 7
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 6
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 5
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 5
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 5
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001453 nickel ion Inorganic materials 0.000 claims description 4
- VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N Nickel(2+) Chemical compound [Ni+2] VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001429 cobalt ion Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N cobalt(2+) Chemical compound [Co+2] XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000001294 propane Substances 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 claims 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 18
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 description 2
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/74—Iron group metals
- B01J23/755—Nickel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/16—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of arsenic, antimony, bismuth, vanadium, niobium, tantalum, polonium, chromium, molybdenum, tungsten, manganese, technetium or rhenium
- B01J23/24—Chromium, molybdenum or tungsten
- B01J23/28—Molybdenum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/74—Iron group metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
- B01J23/76—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper combined with metals, oxides or hydroxides provided for in groups B01J23/02 - B01J23/36
- B01J23/84—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper combined with metals, oxides or hydroxides provided for in groups B01J23/02 - B01J23/36 with arsenic, antimony, bismuth, vanadium, niobium, tantalum, polonium, chromium, molybdenum, tungsten, manganese, technetium or rhenium
- B01J23/85—Chromium, molybdenum or tungsten
- B01J23/888—Tungsten
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J37/00—Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
- B01J37/02—Impregnation, coating or precipitation
- B01J37/0215—Coating
- B01J37/0225—Coating of metal substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J37/00—Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
- B01J37/34—Irradiation by, or application of, electric, magnetic or wave energy, e.g. ultrasonic waves ; Ionic sputtering; Flame or plasma spraying; Particle radiation
- B01J37/348—Electrochemical processes, e.g. electrochemical deposition or anodisation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
- B05B5/025—Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
- B05B5/0255—Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns spraying and depositing by electrostatic forces only
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
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- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/16—Preparation
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- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
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- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
- H01J1/3042—Field-emissive cathodes microengineered, e.g. Spindt-type
- H01J1/3044—Point emitters
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2202/00—Structure or properties of carbon nanotubes
- C01B2202/08—Aligned nanotubes
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- Y10S977/00—Nanotechnology
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- Y10S977/701—Integrated with dissimilar structures on a common substrate
- Y10S977/72—On an electrically conducting, semi-conducting, or semi-insulating substrate
- Y10S977/722—On a metal substrate
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- Y10S977/734—Fullerenes, i.e. graphene-based structures, such as nanohorns, nanococoons, nanoscrolls or fullerene-like structures, e.g. WS2 or MoS2 chalcogenide nanotubes, planar C3N4, etc.
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Description
記載される技術は、概してナノ構造に関し、詳細には先端上の触媒粒子に関する。
近年、カーボンナノチューブ(CNT)およびCNTの用途に関して、かなりの研究が実施されている。1つの用途として、CNTは電界放出デバイス(FED)の電子エミッタに適用されている。典型的にFEDは、外部電界を電子エミッタの表面に印加して、表面の電子を量子力学的トンネル効果を用いて外方に放出するものである。CNTは、良好な導電性、良好なフィールドエンハンスメント効果、金属よりも低い仕事関数、および良好な電界放出特性を有している。加えて、CNTは、良好な耐化学薬品性および良好な機械的強度を有しており、それゆえ耐久性のある電子エミッタを製造できる。
一実施形態において、金属触媒粒子を金属先端上に形成する方法は、金属先端を、金属触媒イオンを含有する電解質溶液から間隔をあけて配置する工程を含む。この方法はまた、電解質溶液に電圧を印加して、電解質溶液から金属触媒イオンを放出し、放出された金属触媒イオンを金属先端に付着させる工程も含む。
以下の詳細な説明において、その一部を形成する添付の図面を参照する。図面において、特に断りのない限り、同様の符号は、典型的に、同様の構成要素を示す。詳細な説明に記載された例示の実施形態、図面、請求項は、限定されるものではない。ここに示した主題の趣旨または範囲から逸脱することなく、他の実施形態を用い、その他変更を行うことができる。概して、ここに記載され、図面に例示された本開示の構成要素は、様々な異なる構成でアレンジ、置換、結合および設計することができ、それらはすべて明確に意図されており、この開示の一部をなすことが容易に理解できる。
図1は、金属触媒粒子を金属先端上に形成する方法の例示的な実施形態のフローチャートである。図1を参照すると、ブロック110から始まり、金属先端が、電解質溶液から間隔をあけて配置される。例えば、金属先端は、電解質溶液の上に配置され得る。電解質溶液は金属触媒イオンを含む。ブロック120において、電源、例えば、外部電源、が電解質溶液に電圧を印加すると、電解質溶液が金属触媒イオンを放出する。ブロック130において、放出された金属触媒イオンは、金属先端周囲に形成された電界の結果、金属先端に付着する。その結果、金属触媒粒子が金属先端上に形成される。
図5は、金属先端上にナノ構造を形成する方法の例示的な実施形態のフローチャートである。図5を参照すると、ブロック510から始まり、金属触媒粒子が金属先端上に形成される。金属触媒粒子は、図1〜4を参照して上述したとおり、金属先端上に形成され得る。従って、金属触媒粒子を金属先端上に形成する方法の詳細な説明は、簡略のために省略する。
30Vの電圧を、1.5モル/Lの水酸化カリウム溶液内で、タングステンワイヤに印加して、タングステンワイヤを電気化学的にエッチングすることにより、頂点にタングステン先端を形成した。金属触媒イオンとしてニッケルイオンを含有する電解質溶液を、タングステン先端から50μmだけ間隔をあけて配置した。次に電圧を増大し、10V/秒の電圧速度で、タングステン先端と電解質溶液との間に印加して、ニッケル触媒イオンを、電解質溶液から抽出し、抽出したニッケル触媒イオンを、タングステン先端に付着させて、ニッケル触媒粒子を形成した。40sccmのアセチレン(C2H2)を、ニッケル触媒粒子が形成されるタングステン先端に700℃で10分間供給した。このようにして、カーボンナノチューブがタングステン先端上に形成され、カーボンナノチューブを有する電界放出エミッタが製造された。
カーボンナノチューブを有する電界放出エミッタのI−V特性および電界放出の安定性を評価した。1〜6V/μmの電界を、タングステン先端で形成し、タングステン先端のカーボンナノチューブから放出された電子により生成された電流を測定した。さらに、約5.2V/μmに対応する電界を、約50時間にわたって、タングステン先端に常に印加して、カーボンナノチューブにより生成された電流を、経時で測定した。
図7Aおよび7Bは、本実施例の電界放出エミッタの電界放出の安定性およびI−V特性の評価結果を示すグラフである。図7Aを参照すると、約4V/μm以上の電界を印加すると、カーボンナノチューブから放出された電子による電流が大幅に増大している。図7Bを参照すると、約5.2V/μmの電界をタングステン先端に常に印加すると、約150μAの電流が、約50時間にわたって安定して生成される。従って、本実施例の方法に従って金属先端上に形成されたカーボンナノチューブを有する電界放出エミッタは、安定した電流放出特性を示す。
202 頂点
203 電解質溶液
204 金属触媒イオン
205 電極容器
301 外部電源
401 金属触媒粒子
601 カーボンナノチューブ
603 反応ガス
Claims (20)
- 金属先端を、金属触媒イオンを含有する電解質溶液から間隔をあけて配置する工程、
前記金属触媒イオンを前記電解質溶液から放出するために前記電解質溶液に電圧を印加する工程、及び、
前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程、を含む金属触媒粒子を金属先端上に形成する方法。 - 前記金属先端が、金属水酸化物溶液中で金属ワイヤを電気化学的にエッチングすることにより形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記金属水酸化物溶液が、水酸化カリウムまたは水酸化ナトリウムを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記金属先端が、タングステン、ニッケル、アルミニウム、モリブデン、タンタルおよびニオブからなる群から選択される少なくとも1つの材料で形成されている、請求項1に記載の方法。
- 前記金属触媒イオンが、ニッケルイオン、コバルトイオン、モリブデンイオンおよび鉄イオンからなる群から選択される少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記金属触媒イオンを前記電解質溶液から放出するために前記電解質溶液に電圧を印加する工程が、前記金属触媒イオン間の静電反発力が、前記電解質溶液の表面張力に打ち勝つように前記電解質溶液に電圧を印加する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程が、前記金属触媒の放出されたイオンを前記金属先端に引き付けるように前記金属先端に電圧を印加する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程が、前記放出された金属触媒イオンを、前記金属先端上で金属触媒原子へ還元または酸化する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記電解質溶液が正電位に、かつ前記金属先端が負電位となるように前記電圧が印加される、請求項1に記載の方法。
- 前記電解質溶液が負電位に、かつ前記金属先端が正電位となるように前記電圧が印加される、請求項1に記載の方法。
- 前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程が、前記金属触媒粒子のサイズを決めるために前記電解質溶液から前記金属先端に向かって移動する前記金属触媒イオンの電荷量を調整する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 金属触媒粒子を金属先端上に形成する工程、及び、
前記金属触媒粒子から前記金属先端上にナノ構造を形成する工程を含み、
前記金属触媒粒子を前記金属先端上に形成する工程が、
金属触媒イオンを電解質溶液から放出するために金属触媒イオンを含有する電解質溶液に電圧を印加する工程、及び、
前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程を含む、
金属先端上にナノ構造を形成する方法。 - 前記金属触媒イオンが、ニッケルイオン、コバルトイオン、モリブデンイオンおよび鉄イオンからなる群から選択される少なくとも1つを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記金属触媒イオンを前記電解質溶液から放出するために電解質溶液に電圧を印加する工程が、前記金属触媒イオン間の静電反発力が、前記電解質溶液の表面張力に打ち勝つように前記電解質溶液に電圧を印加する工程を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程が、前記金属触媒の放出されたイオンを前記金属先端に引き付けるように前記金属先端に電圧を印加する工程を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程が、前記放出された金属触媒イオンを、前記金属先端上で金属触媒原子へ還元または酸化する工程を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記放出された金属触媒イオンを前記金属先端に付着させる工程が、前記金属触媒粒子のサイズを決めるために前記電解質溶液から前記金属先端に向かって移動する前記金属触媒イオンの電荷量を調整する工程を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記ナノ構造がカーボンナノチューブを含み、前記金属触媒粒子から前記金属先端上にナノ構造を形成する工程が、前記カーボンナノチューブを前記金属触媒粒子から形成するために炭化水素を含有する反応ガスを提供する工程を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記炭化水素が、一酸化炭素、アセチレン、エチレン、エタン、メタンおよびプロパンからなる群から選択される少なくとも1つを含む、請求項18に記載の方法。
- 前記金属触媒粒子から前記金属先端上にナノ構造を形成する工程が、熱、プラズマおよびマイクロ波からなる群から選択される少なくとも1つをエネルギー源として用いる化学蒸着法により実施される、請求項18に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/196,092 US8070929B2 (en) | 2008-08-21 | 2008-08-21 | Catalyst particles on a tip |
US12/196,092 | 2008-08-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010046788A JP2010046788A (ja) | 2010-03-04 |
JP4975005B2 true JP4975005B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=41566900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008310600A Active JP4975005B2 (ja) | 2008-08-21 | 2008-12-05 | 先端上の触媒粒子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8070929B2 (ja) |
JP (1) | JP4975005B2 (ja) |
CN (1) | CN101653735B (ja) |
DE (1) | DE102008060290B4 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5696447B2 (ja) * | 2010-11-25 | 2015-04-08 | Jfeスチール株式会社 | 表面処理金属材料の製造方法 |
CN102381676B (zh) * | 2011-10-27 | 2014-10-08 | 无锡英普林纳米科技有限公司 | 石英微针表面纳米金属链及其制备方法 |
KR20150054179A (ko) * | 2013-11-11 | 2015-05-20 | 삼성전자주식회사 | 레이저 유도 초음파 발생장치 및 그 제조방법 |
US10620150B2 (en) * | 2015-12-05 | 2020-04-14 | Mohammad Abdolahad | Electromechanical approach for cancer detection |
CN110073038B (zh) * | 2016-12-09 | 2023-04-18 | 制造系统有限公司 | 用于受控电化学表面改性的装置和方法 |
US10285218B1 (en) * | 2018-05-14 | 2019-05-07 | The Florida International University Board Of Trustees | Direct and selective area synthesis of graphene using microheater elements |
CN111048383B (zh) * | 2018-10-12 | 2021-01-15 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 电子源和电子枪 |
CN114534460A (zh) * | 2020-11-24 | 2022-05-27 | 陕西青朗万城环保科技有限公司 | 一种等离子体废气处理催化剂及其制备方法 |
CN113223912B (zh) * | 2021-03-26 | 2023-12-26 | 国家纳米科学中心 | 低功函数材料修饰的碳纳米材料功能化针尖及其制备方法 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1202607B (de) * | 1961-01-20 | 1965-10-07 | Nyby Bruk Ab | Verfahren zur anodischen Oberflaechenbehandlung von Metallgegenstaenden |
US4326989A (en) * | 1979-09-11 | 1982-04-27 | Union Carbide Corporation | Catalyst of nickel compound and ligand in presence of a reducing metal |
US4498962A (en) * | 1982-07-10 | 1985-02-12 | Agency Of Industrial Science And Technology | Anode for the electrolysis of water |
JPH0713624B2 (ja) * | 1988-10-05 | 1995-02-15 | 株式会社日立製作所 | イオンの抽出および分析装置 |
JP2653575B2 (ja) * | 1991-08-30 | 1997-09-17 | 株式会社東芝 | カンチレバー体及びこれを用いた表面修正装置 |
JPH09288115A (ja) * | 1996-04-24 | 1997-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 先鋭探針の製造方法およびその装置 |
JPH09306417A (ja) * | 1996-05-21 | 1997-11-28 | Hamamatsu Photonics Kk | イオン化分析装置 |
US6635311B1 (en) * | 1999-01-07 | 2003-10-21 | Northwestern University | Methods utilizing scanning probe microscope tips and products therefor or products thereby |
EP1061041A1 (en) | 1999-06-18 | 2000-12-20 | Iljin Nanotech Co., Ltd. | Low-temperature thermal chemical vapor deposition apparatus and method of synthesizing carbon nanotube using the same |
US20030157254A1 (en) * | 2000-01-05 | 2003-08-21 | Northwestern University | Methods utilizing scanning probe microscope tips and products therefor or produced thereby |
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US7014749B2 (en) * | 2000-12-28 | 2006-03-21 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | Electrolytic deposition of coatings for prosthetic metals and alloys |
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AU2002339597A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Vacuum display device |
US7022541B1 (en) * | 2001-11-19 | 2006-04-04 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Patterned growth of single-walled carbon nanotubes from elevated wafer structures |
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US6872645B2 (en) * | 2002-04-02 | 2005-03-29 | Nanosys, Inc. | Methods of positioning and/or orienting nanostructures |
EP1569733A2 (en) * | 2002-12-09 | 2005-09-07 | The University of North Carolina at Chapel Hill | Methods for assembly and sorting of nanostructure-containing materials and related articles |
JP4238024B2 (ja) | 2002-12-27 | 2009-03-11 | 株式会社カネカ | 複合炭素質基板の製造方法 |
EP1855861A4 (en) * | 2003-07-18 | 2010-12-01 | Univ Northwestern | SURFACE AND LOCAL POLYMERIZATION THROUGH DIRECTORY LITHOGRAPH |
US7410626B2 (en) * | 2003-09-10 | 2008-08-12 | Basf Catalysts Llc | Layered ammonia oxidation catalyst |
US7235159B2 (en) | 2003-09-17 | 2007-06-26 | Molecular Nanosystems, Inc. | Methods for producing and using catalytic substrates for carbon nanotube growth |
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CN100370572C (zh) * | 2004-11-18 | 2008-02-20 | 北京大学 | 电子发射源的制备方法 |
CN100369206C (zh) * | 2004-12-28 | 2008-02-13 | 东南大学 | 制备纳米间隙的外电场诱导取向沉积方法 |
US7431856B2 (en) * | 2005-05-18 | 2008-10-07 | National Research Council Of Canada | Nano-tip fabrication by spatially controlled etching |
JP4817296B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2011-11-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 配向カーボンナノチューブ・バルク集合体ならびにその製造方法および用途 |
US8007871B2 (en) * | 2006-01-26 | 2011-08-30 | Nanoselect, Inc. | Electrospray deposition: devices and methods thereof |
US7572300B2 (en) * | 2006-03-23 | 2009-08-11 | International Business Machines Corporation | Monolithic high aspect ratio nano-size scanning probe microscope (SPM) tip formed by nanowire growth |
US9095639B2 (en) * | 2006-06-30 | 2015-08-04 | The University Of Akron | Aligned carbon nanotube-polymer materials, systems and methods |
-
2008
- 2008-08-21 US US12/196,092 patent/US8070929B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-03 DE DE102008060290A patent/DE102008060290B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-04 CN CN2008101827815A patent/CN101653735B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-05 JP JP2008310600A patent/JP4975005B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102008060290A1 (de) | 2010-02-25 |
CN101653735A (zh) | 2010-02-24 |
US20100048391A1 (en) | 2010-02-25 |
JP2010046788A (ja) | 2010-03-04 |
US8070929B2 (en) | 2011-12-06 |
DE102008060290B4 (de) | 2012-08-16 |
CN101653735B (zh) | 2013-03-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120410 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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