JP2007501934A - 光ビームの光子検出装置 - Google Patents

光ビームの光子検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007501934A
JP2007501934A JP2006522876A JP2006522876A JP2007501934A JP 2007501934 A JP2007501934 A JP 2007501934A JP 2006522876 A JP2006522876 A JP 2006522876A JP 2006522876 A JP2006522876 A JP 2006522876A JP 2007501934 A JP2007501934 A JP 2007501934A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light beam
detectors
photons
detector
photon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2006522876A
Other languages
English (en)
Inventor
ビルク、ホルガー
シュトルツ、ラファエル
ザイフリート、フォルカー
Original Assignee
ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=34137317&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2007501934(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority claimed from DE102004003993A external-priority patent/DE102004003993A1/de
Application filed by ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー filed Critical ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー
Publication of JP2007501934A publication Critical patent/JP2007501934A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/26Stages; Adjusting means therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

【課題】簡単な手段によって、検出装置によってより大きい光子流を検出できるように即ち検出装置によって処理可能な最大計数率が増加されるように構成された光ビームの光子を検出するための装置の提供。
【解決手段】とりわけ蛍光顕微鏡に使用するための、空間的に限定された光源(2)から出射する光ビーム(1)の光子(複数)を検出する装置であって、検出装置を含んで構成された装置において、前記検出装置は、少なくとも2つの検出器(7)を有すること、及び前記光ビーム(1)のビーム路に、前記光子(複数)が検出のために前記検出器(複数)(7)に配分されるように前記光ビーム(1)を分解可能に構成された構成要素(3)が配されることを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、とりわけ蛍光顕微鏡に使用するための、空間的に限定された光源から出射する光ビームの光子を検出する装置であって、検出装置を含んで構成された装置に関する。
とりわけ蛍光顕微鏡では、蛍光信号の強度は一般的に比較的小さいので、信号/雑音比(S/N比)は、クリティカルなパラメータである。この信号/雑音比は、検出器に入射する光子の数並びに検出器の検出効率及び雑音によって決定される。検出効率は、検出器の量子効率によって即ち検出器に入射する光子が実際に検出信号を生成する確率によって与えられる。検出器が「光子計数(Photon-Counting)」モードで作動される場合、即ち個々の光子が各自の検出信号を生成する場合、信号/雑音比は、本質的に、ポアソン統計から√nとして与えられる。ここで、nは検出された光子の数を表す。
光子計数モードで検出器を作動する場合、原理的に、検出器の不感時間が問題となる。ここに、不感時間とは、検出器が1つの光子を検出した後、次の光子を検出するために再び使用可能になるまでに経過する時間、即ち検出器が1つのイベント(事象)を処理するために必要とする時間をいう。
光子検出のために最近使用されることがますます増えている検出器は、雪崩ダイオードとも称されるアバランシフォトダイオード(APD)である。APDは、凡そ200nm〜1050nmの範囲の波長の光に対して最大の検出確率を有するため、とりわけ、蛍光光測定の領域における使用に対しても適する。更に、APDは、大きな量子確率を有する。
APDでは、不感時間は、凡そ50nsであるが、光電子増倍管の場合、不感時間は、多少、より小さい。光子計数モードにおいて、光子が喪失されないようにするために−更に、APDが過度に入射する光線束によって損傷されないようにするために−、検出器の照射が十分に小さくされることが保証されなければならない。これは、例えば、蛍光顕微鏡の作動に関しては、被検試料の励起に使用可能な照明光強度は極めて小さいものに限られ、その結果、高品質の即ち十分な光子統計による画像撮像のためには、比較的長い時間が必要になることを意味する。従って、画像撮像の時間スケールよりも短い時間スケールで進行する試料中の迅速な生化学的プロセスは、従来の蛍光顕微鏡では対処することができない。
それゆえ、本発明の課題は、簡単な手段によって、検出装置によってより大きい光子流を検出できるように即ち検出装置によって処理可能な最大計数率(Zaehlrate)が増加されるように、冒頭に述べた種類の、光ビームの光子を検出するための装置を構成・展開することである。
上記課題は、請求項1の特徴によって解決される。即ち、冒頭に述べた種類の、光ビームの光子(複数)を検出するための装置において、検出装置は、少なくとも2つの検出器を含むこと、及び光ビームのビーム路に、光子(複数)が検出のために検出器(複数)に配分されるように光ビームを分解可能に構成された構成要素が配されることを特徴とする。
本発明者は、(1つの)検出器を光子計数モードで作動する場合、該検出器の不感時間(Totzeit)が、最大照射強度に関し限定をする基準(das begrenzende Kriterium)をなすことを確認した。更に、光子計数モードで検出可能な光ビーム中の最大光子流は、並列化によって、即ち検出されるべき光子(複数)を複数の検出器に配分することによって、増大され得ることを確認した。更に、本発明により、光ビームのビーム路に、光ビームを分割する構成要素が配される。
本発明に係る装置によって、例えば、蛍光顕微鏡において、照射強度及び照射強度に関連した撮像速度を増大することができるため、画像(複数)をより迅速に生成すること、従って例えば試料内で迅速に進行する生物学的又は生化学的反応も可視化することができる。更に、光子統計が大きくされているため、同じ撮像時間でより大きい画像品質を得ることができる。n個の検出器を使用することにより、可能な最大計数速度は、n倍に増大され、それに応じて、信号/雑音比は、√n倍改善される。
光子計数モードはさて置き、本発明に係る装置によって、一般に、検出装置のダイナミックレンジが増大される。検出装置に入射する光子流が、当該光子流を更に増大しても検出装置の出力信号がそれ以上増大しないほどの大きさになっている状態に相当する飽和限界(Saettigungsschwelle)は、同じく、単一(個別)検出器の数に相当するn倍に増大される。
有利な一態様では、単一光子検出に適合化された検出器(複数)、即ち、換言すれば、(それぞれが)光子計数モードで作動可能に構成された検出器(複数)を使用できる。このため、(個々の)検出器はガイガーモードで大きな印加電圧によって作動される。1つの光子が1つの検出器に入射すると、−APDの場合−、電子−正孔対が生成され、検出器出力部は飽和状態となる。このようにして生成された電圧信号は検出器出力部において測定され、イベントとして内部記憶装置に書き込まれるが、この記憶装置はデータ取得の終了後に読み出しが行われる。
アバランシフォトダイオードの他に、光子の検出のための他のタイプの検出器、例えば、光電子増倍管又はEMCCD(電子増倍CCD:Electron Multiplying CCD)を使用することも可能である。
コンパクトに構成するという観点から、複数の検出器から1つのアレーを構成することも可能である。極めて単純な一実施形態では、そのようなアレーは、例えば、一列に並んでいるという意味で一次元アレーとすることができる。光子(複数)を更に幅広く配分するという観点から、複数の検出器を行列状(マトリックス状)に配置した面状アレーを構成することも可能である。
EMCCDを使用する場合は、更に、並置された(前後に並んで配置された)複数の面の各々に複数の部分透光性EMCCDが配された三次元アレーを構成することも可能である。この場合、入射する光子は、ある確率で、1つ又は複数の第1の面を通り抜け、より奥に位置する面において始めてEMCCDによって検出される。
光ビームの分解は、種々の態様で実行することができる。例えば、光子の統計学的分布(eine statistische Verteilung)が生成されるように分解することも可能である。このような光子分布は、光ビームの単純なデフォーカシングによって、例えば、円柱状レンズによる光ビームの屈折によって、とりわけ簡単に達成することができる。
更に、光子のスペクトル的分布が生成されるように光ビームを分解することも可能である。具体的には、そのような分解は、例えば、プリズムによって実現できる。スペクトル的分解の場合、とりわけ有利な一態様では、アレーに含まれる複数の検出器の各々がそれぞれ1つの特定のスペクトル範囲に適合化されるように構成することも可能である。スペクトル範囲に依存して、例えば、感度の異なる光電陰極を使用することも可能である。
光ビームを分解するための上述の構成要素に加えて、原理的に、光電素子又は電気機械的スキャナを使用することも可能である。とりわけ、光ビーム(路)に、複数の−互いに異なる−構成要素を順に(前後に)並べて配置することも可能である。このようにして、例えば、まず、1つの方向においてデフォーカシングを行い、次いで、当該1つの方向に直交する方向においてスペクトル分解を行うことにより、極めて目的に適った光子の分布パターンを生成することができる。
光子計数に必要な閾値決定(装置)(Schwellwertbestimmung)並びに検出された光子イベントを計数するための電子カウンタは、有利な一態様では、(1つの)検出器の近傍に配置されることが可能である。とりわけ、EMCCDを使用する場合、更に、カウンタは、チップに直接配置されることも可能である。
検出された光子イベントを計数するための相応の計数ロジックは、有利な一態様では、FPGA(フィールド・プログラマブル・ゲート・アレー:Field Programmable Gate Array)にプログラミングされることも可能である。カウンタには、加算器(複数)を前置することも後置することも可能である。更に、電子装置全体をモノリシックに構成することも可能である。
本発明の教示を有利な態様で構成・展開する可能性は多々存在する。これに関し、一方では、請求項1に従属する各請求項を、他方では、後述する本発明の好ましい実施例を参照されたい。本発明の好ましい実施例の説明に関連して、本発明の教示の好ましい実施形態及び展開形態を一般的に説明する。
図1は、空間的に限定(画定)された光源2から出射する光ビーム1を示す。この場合、光源2は、具体的には、蛍光放射するよう励起された生物学的試料であり得る。光ビーム1は、半円柱状のレンズ4として透明(透光性)材料から構成された光学要素3に入射する。次いで、光ビーム1は、(半)円柱状レンズ4を通過し、該レンズ4から出射する際、屈折によりデフォーカシングされることにより、(レンズ4の)円柱軸がその面法線をなす照射面内に発散(拡開)光ビーム5が生成する。この照射面内では、光子(複数)は、統計学的に分布している。
拡開された光ビームは、次いで、アレー6を構成する複数の検出器7を含む検出装置に入射する。図1には、例として、統合されて1つの一次元アレー6を構成する5つの検出器7のみを示した。光ビーム1の光子(複数)が、1つの検出器において検出されるのではなく、全部で5つの検出器7に一様に(均等に:gleichmaessig)配分(分散)されることによって、可能な最大計数率(Zaehlrate)−従って最大照射強度−が、アレー6の検出器7の数に応じて5倍に増大される。信号/雑音比は、これに応じて、√5倍改善される。即ち、信号/雑音比は、−ピクセル当りの積分(取り込み)時間(Integrationszeit)が一定である場合−明らかに改善される。
図2は、統計学的光子分布の代わりに、スペクトル的光子分布が生成される一実施例を示す。1つの次元におけるスペクトル的に互いに異なる複数のチャンネルへの分解は、光ビーム1のビーム路に配されたプリズム8によって実現される。プリズム8を回転することにより、スペクトル分割(分解)を検出器アレー6の個々の構成要素に最適に適合化することができる。
図3は、光源2から出射する光ビーム1が、まず、図1に示した上記の実施例に応じて円柱状レンズ4によって1つの方向(X方向)において分解される一実施例を示す。この拡開された光ビーム5は、次いで、プリズム8に入射するが、このプリズム8によって、光ビーム5は、X方向に垂直な方向(Y方向)にスペクトル的に分解される。プリズム8には、二次元検出器アレー9から構成された検出装置が後置されている。検出器アレー9に入射する光子(複数)は、X方向においては一様に配分されるのに対し、Y方向においてはスペクトル的な分布が生成する。この場合、低エネルギの光子は図3の紙面上側に位置するピクセル10に入射し、高エネルギの光子は紙面の更に下方に位置するピクセル10に入射する。
図4は、1つの方向において光ビーム1を統計学的に分解する手段と、一次元検出器アレー6とを有する図1に示した本発明の装置の一実施例の模式図を示すが、更に、信号を処理する電子装置も合せて示す。検出器アレー6の個々の検出器7には、それぞれ1つの電気的接続(伝送)要素11を介して、それぞれ1つの光子カウンタ12が配されているため、光子イベントはピクセル毎に読取・計数することができる。光子カウンタ(複数)12の出力部(複数)は、それぞれ1つの電気的接続(伝送)要素13を介して1つの加算器14に供給され、該加算器14において、検出器アレー6全体の検出された光子イベントが加算される。このようにして生成される計数率(値)は、出力信号15として送出される。
最後に、ここに強調すべきことは、偶々選択された上述の個々の実施例は、単に、本発明の教示を説明するためのものに過ぎず、本発明の教示は、上記実施例に限定されるものではないことである。
1つの方向において統計学的光子分布を生成するよう光ビームを分解する手段と、一次元検出器アレーとを有する本発明に係る装置の第1実施例の模式図。 1つの方向においてスペクトル的光子分布を生成するよう光ビームを分解する手段と、一次元検出器アレーとを有する本発明に係る装置の第2実施例の模式図。 2つの方向において光ビームを分解する手段と、二次元検出器アレーとを有する本発明に係る装置の第3実施例の模式図。 付加的に関連電子処理装置を示した図1の第1実施例の模式図。
符号の説明
1 光ビーム
2 光源
3 光学要素
4 円柱状レンズ
5 発散された(分解ないし拡開された)光ビーム
6 検出器アレー
7 (個別)検出器
8 プリズム
9 検出器アレー
10 ピクセル
11 電気的接続(伝送)要素
12 光子カウンタ
13 電気的接続(伝送)要素
14 加算器
15 出力信号
上記課題は、請求項1の特徴によって解決される。即ち、本発明の一視点において、とりわけ蛍光顕微鏡に使用するための、空間的に限定された光源から出射する光ビームの光子(複数)を検出する装置であって、検出装置を有すると共に、該検出装置が少なくとも2つの検出器を有し、及び前記光ビームのビーム路に配され、前記光子(複数)が検出のために前記検出器(複数)に配分されるように前記光ビームを分解可能に構成された構成要素を有する装置が提供される。この装置において、前記検出器(複数)は、三次元アレーを構成すること、及び該三次元アレーは、順に並んで配される複数の部分透光性EMCCDから構成されることを特徴とする(形態1・基本構成)
本発明の教示を有利な態様で構成・展開する可能性は多々存在する。これに関し、一方では、請求項1に従属する各請求項を、他方では、後述する本発明の好ましい実施例を参照されたい。本発明の好ましい実施例の説明に関連して、本発明の教示の好ましい実施形態及び展開形態を一般的に説明する。以下に、まとめとして、本発明の好ましい実施の形態を示す:
(形態1) 上掲。
(形態2) 上記形態1の装置において、前記検出器(複数)は、単一光子検出(single photon counting)に適合化されていることが好ましい。
(形態3) 上記形態1又は2の装置において、前記検出器(複数)は、アバランシフォトダイオード(APD)、光電子増倍管及び/又はEMCCD(電子増倍CCD:Electron Multipliying CCD)であることが好ましい。
(形態4) 上記形態1〜3の装置において、前記構成要素は、好ましくはデフォーカシングによって、前記光ビームを分解して前記光子(複数)の統計学的分布を生成することが好ましい。
(形態5) 上記形態4の装置において、前記構成要素は、円柱状レンズであることが好ましい。
(形態6) 上記形態1〜3の装置において、前記構成要素は、前記光ビームを分解して前記光子(複数)のスペクトル的分布を生成することが好ましい。
(形態7) 上記形態6の装置において、前記構成要素は、プリズムであることが好ましい。
(形態8) 上記形態1〜3の装置において、前記構成要素は、光電素子又は電気機械式スキャナであることが好ましい。
(形態9) 上記形態1〜8の装置において、複数の前記構成要素は、前記光ビームのビーム路に順に並んで配されることが好ましい。
(形態10) 上記形態1〜9の装置において、光子計数のための電子的カウンタは、前記検出器の近傍に、とりわけEMCCDのチップ上に配されることが好ましい。
(形態11) 上記形態1〜10の装置において、光子計数のための計数ロジックは、FPGA(フィールド・プログラマブル・ゲート・アレー:Field Programmable Gate Array)にプログラミングされることが好ましい。
(形態12) 上記形態10又は11の装置において、前記カウンタに前置及び/又は後置される加算器を有することが好ましい。
(形態13) 上記形態1〜12の装置において、関連電子装置がモノリシックに構成されることが好ましい。

Claims (15)

  1. とりわけ蛍光顕微鏡に使用するための、空間的に限定された光源(2)から出射する光ビーム(1)の光子(複数)を検出する装置であって、検出装置を含んで構成された装置において、
    前記検出装置は、少なくとも2つの検出器(7)を有すること、及び前記光ビーム(1)のビーム路に、前記光子(複数)が検出のために前記検出器(複数)(7)に配分されるように前記光ビーム(1)を分解可能に構成された構成要素(3)が配されること
    を特徴とする装置。
  2. 前記検出器(複数)(7)は、単一光子検出(single photon counting)に適合化されていること
    を特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 前記検出器(複数)(7)は、アバランシフォトダイオード(APD)、光電子増倍管及び/又はEMCCD(電子増倍CCD:Electron Multipliying CCD)であること
    を特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
  4. 前記検出器(複数)(7)は、一次元、二次元又は三次元アレー(6、9)を形成すること
    を特徴とする請求項1〜3の一に記載の装置。
  5. 前記三次元アレーは、順に並んで配される複数の部分透光性EMCCDから構成されること
    を特徴とする請求項4に記載の装置。
  6. 前記構成要素(3)は、好ましくはデフォーカシングによって、前記光ビーム(1)を分解して前記光子(複数)の統計学的分布を生成すること
    を特徴とする請求項1〜5の一に記載の装置。
  7. 前記構成要素(3)は、円柱状レンズ(4)であること
    を特徴とする請求項6に記載の装置。
  8. 前記構成要素(3)は、前記光ビーム(1)を分解して前記光子(複数)のスペクトル的分布を生成すること
    を特徴とする請求項1〜5の一に記載の装置。
  9. 前記構成要素(3)は、プリズム(8)であること
    を特徴とする請求項8に記載の装置。
  10. 前記構成要素(3)は、光電素子又は電気機械式スキャナであること
    を特徴とする請求項1〜5の一に記載の装置。
  11. 複数の前記構成要素(3)は、前記光ビーム(1)のビーム路に順に並んで配されること
    を特徴とする請求項1〜10の一に記載の装置。
  12. 光子計数のための電子的カウンタ(12)は、前記検出器(7)の近傍に、とりわけEMCCDのチップ上に配されること
    を特徴とする請求項1〜11の一に記載の装置。
  13. 光子計数のための計数ロジックは、FPGA(フィールド・プログラマブル・ゲート・アレー:Field Programmable Gate Array)にプログラミングされること
    を特徴とする請求項1〜12の一に記載の装置。
  14. 前記カウンタ(12)に前置及び/又は後置される加算器(14)を有すること
    を特徴とする請求項12又は13に記載の装置。
  15. 関連電子装置がモノリシックに構成されること
    を特徴とする請求項1〜14の一に記載の装置。

JP2006522876A 2003-08-12 2004-04-02 光ビームの光子検出装置 Withdrawn JP2007501934A (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10337344 2003-08-12
DE10337344.6 2003-08-12
DE102004003993.3 2004-01-26
DE102004003993A DE102004003993A1 (de) 2003-08-12 2004-01-26 Vorrichtung zum Nachweis von Photonen eines Lichtstrahls
PCT/DE2004/000718 WO2005015284A1 (de) 2003-08-12 2004-04-02 Vorrichtung zum nachweis von photonen eines lichtstrahls

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007501934A true JP2007501934A (ja) 2007-02-01

Family

ID=34137317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006522876A Withdrawn JP2007501934A (ja) 2003-08-12 2004-04-02 光ビームの光子検出装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7259366B2 (ja)
EP (1) EP1664889B1 (ja)
JP (1) JP2007501934A (ja)
WO (1) WO2005015284A1 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010143367A1 (ja) * 2009-06-12 2010-12-16 三井造船株式会社 蛍光検出装置および蛍光検出方法
WO2012060057A1 (ja) * 2010-11-01 2012-05-10 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法、微弱光検出方法および微弱光検出器
KR101318951B1 (ko) * 2011-02-28 2013-10-17 한국과학기술원 듀얼 가이거 모드 어밸런치 광다이오드를 운용하는 스캐닝 3차원 영상화 펄스 레이저 레이더 시스템 및 방법
WO2013161912A1 (ja) * 2012-04-27 2013-10-31 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP2014186035A (ja) * 2014-06-13 2014-10-02 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP2016035466A (ja) * 2015-09-24 2016-03-17 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法、微弱光検出方法および微弱光検出器
JP2018512573A (ja) * 2015-02-24 2018-05-17 ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH 光を検出するための装置のダイナミックレンジを改善するための方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7391000B2 (en) * 2004-10-20 2008-06-24 Leica Microsystems Cms Gmbh EMCCD detector, as well as a spectrometer and a microscope having an EMCCD detector
GB2429521A (en) * 2005-08-18 2007-02-28 E2V Tech CCD device for time resolved spectroscopy
DE102006034905B4 (de) * 2006-07-28 2015-07-30 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Anordnung zur Signalverarbeitung am Ausgang eines Mehrkanaldetektors
DE102007024074B4 (de) * 2007-05-22 2022-09-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Mikroskop
US8560255B2 (en) * 2008-12-12 2013-10-15 Schneider Electric USA, Inc. Power metering and merging unit capabilities in a single IED
WO2010073136A2 (en) * 2008-12-22 2010-07-01 Koninklijke Philips Electronics N.V. High dynamic range light sensor
DE102011104379B4 (de) 2011-06-18 2021-11-25 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Konfokales Rastermikroskop und Verwendung, Steuerverfahren sowie programmierbare Steuereinheit für ein solches Mikroskop
US8989596B2 (en) * 2012-03-06 2015-03-24 Northrop Grumman Systems Corporation Multiple sensor optical communication systems and methods
US9029748B2 (en) * 2013-03-15 2015-05-12 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Method and apparatus for photon counting with optical space spreading

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0575088A (ja) * 1991-09-18 1993-03-26 Mitsubishi Electric Corp 固体撮像装置
JPH05133796A (ja) * 1991-11-15 1993-05-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 複数波長検知電荷結合素子装置
JPH0783829A (ja) * 1993-09-17 1995-03-31 Hamamatsu Photonics Kk 微弱発光測定装置
JPH07167709A (ja) * 1993-12-16 1995-07-04 Nec Corp 単一光子計測装置
JPH08223491A (ja) * 1995-02-10 1996-08-30 Hitachi Ltd イメージセンサ
JPH10227694A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Bunshi Bio Photonics Kenkyusho:Kk 発光現象識別装置
JP2002345733A (ja) * 2001-05-29 2002-12-03 Fuji Photo Film Co Ltd 撮像装置
JP2003159081A (ja) * 2002-07-26 2003-06-03 Univ Leland Stanford Jr 哺乳動物中の発光複合体の非侵襲的局在化

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU5884394A (en) 1993-01-18 1994-08-15 Evotec Biosystems Gmbh Method and device for assessing the suitability of biopolymers
US5886784A (en) 1993-09-08 1999-03-23 Leica Lasertechink Gmbh Device for the selection and detection of at least two spectral regions in a beam of light
JP3568626B2 (ja) * 1994-05-24 2004-09-22 オリンパス株式会社 走査型光学顕微鏡
US5834782A (en) * 1996-11-20 1998-11-10 Schick Technologies, Inc. Large area image detector
US6097485A (en) 1999-03-08 2000-08-01 Integrated Waveguides, Inc. Microchip optical transport technology for use in a personal flow cytometer
WO2001009592A1 (en) 1999-07-30 2001-02-08 California Institute Of Technology System and method for monitoring cellular activity
US6423960B1 (en) * 1999-12-31 2002-07-23 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and system for processing scan-data from a confocal microscope

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0575088A (ja) * 1991-09-18 1993-03-26 Mitsubishi Electric Corp 固体撮像装置
JPH05133796A (ja) * 1991-11-15 1993-05-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 複数波長検知電荷結合素子装置
JPH0783829A (ja) * 1993-09-17 1995-03-31 Hamamatsu Photonics Kk 微弱発光測定装置
JPH07167709A (ja) * 1993-12-16 1995-07-04 Nec Corp 単一光子計測装置
JPH08223491A (ja) * 1995-02-10 1996-08-30 Hitachi Ltd イメージセンサ
JPH10227694A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Bunshi Bio Photonics Kenkyusho:Kk 発光現象識別装置
JP2002345733A (ja) * 2001-05-29 2002-12-03 Fuji Photo Film Co Ltd 撮像装置
JP2003159081A (ja) * 2002-07-26 2003-06-03 Univ Leland Stanford Jr 哺乳動物中の発光複合体の非侵襲的局在化

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2010143367A1 (ja) * 2009-06-12 2012-11-22 三井造船株式会社 蛍光検出装置および蛍光検出方法
WO2010143367A1 (ja) * 2009-06-12 2010-12-16 三井造船株式会社 蛍光検出装置および蛍光検出方法
US9588054B2 (en) 2010-11-01 2017-03-07 Hitachi High-Technologies Corporation Defect inspection method, low light detecting method and low light detector
KR101478476B1 (ko) * 2010-11-01 2014-12-31 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 결함 검사 방법, 미약광 검출 방법 및 미약광 검출기
US10261026B2 (en) 2010-11-01 2019-04-16 Hitachi High-Technologies Corporation Defect inspection method, low light detecting method, and low light detector
JP2012098103A (ja) * 2010-11-01 2012-05-24 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査方法、微弱光検出方法および微弱光検出器
WO2012060057A1 (ja) * 2010-11-01 2012-05-10 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法、微弱光検出方法および微弱光検出器
KR101318951B1 (ko) * 2011-02-28 2013-10-17 한국과학기술원 듀얼 가이거 모드 어밸런치 광다이오드를 운용하는 스캐닝 3차원 영상화 펄스 레이저 레이더 시스템 및 방법
JP2013231631A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査装置および欠陥検査方法
US9329136B2 (en) 2012-04-27 2016-05-03 Hitachi High-Technologies Corporation Defect inspection device and defect inspection method
US9568439B2 (en) 2012-04-27 2017-02-14 Hitachi High-Technologies Corporation Defect inspection device and defect inspection method
US9645094B2 (en) 2012-04-27 2017-05-09 Hitachi High-Technologies Corporation Defect inspection device and defect inspection method
WO2013161912A1 (ja) * 2012-04-27 2013-10-31 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP2014186035A (ja) * 2014-06-13 2014-10-02 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP2018512573A (ja) * 2015-02-24 2018-05-17 ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH 光を検出するための装置のダイナミックレンジを改善するための方法
JP2016035466A (ja) * 2015-09-24 2016-03-17 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法、微弱光検出方法および微弱光検出器

Also Published As

Publication number Publication date
EP1664889B1 (de) 2010-10-06
WO2005015284A1 (de) 2005-02-17
US7259366B2 (en) 2007-08-21
US20060215264A1 (en) 2006-09-28
EP1664889A1 (de) 2006-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007501934A (ja) 光ビームの光子検出装置
US12094683B2 (en) Method for operating a multi-beam particle beam microscope
CN102879088B (zh) 用于探测光的装置和方法
US8503076B2 (en) Apparatus for the detection of light in a scanning microscope
JP5179176B2 (ja) 試料表面を検査する方法、装置、及び蛍光材料の使用
US7649618B2 (en) System and method to perform raman imaging without luminescence
US6642535B2 (en) Apparatus for reading information stored in a memory layer and an X-ray cassette for use with the apparatus
CN1910440A (zh) 用于动态范围扩展的方法和系统
KR20060096982A (ko) 입자 분류 시스템용 광학 검출기
JP2011513740A (ja) 光子混合検出器を用いた時間分解分光分析方法およびシステム
CN100437196C (zh) 用于探测光束的光子的设备
KR102166395B1 (ko) 다중 채널 광전자 증배관 어셈블리
US20220247962A1 (en) Optical measurement device and optical measurement system
JP2008015492A (ja) 光信号の検出のための方法および装置
CN108051413A (zh) 一种脉冲光激发的光致发光光谱测量系统
JP2007163448A (ja) 検出器
WO2012069220A1 (de) Vorrichtung zum messen einer ladungsträgerlebensdauer in einem halbleitersubstrat
JP4554112B2 (ja) 二次元微弱放射検出装置
Ohnuki et al. Development of an ultrafast single photon counting imager for single molecule imaging
Berthold et al. Instrumentation for chemiluminescence and bioluminescence
KR101775615B1 (ko) 고감도 영상 획득방법
US7211807B2 (en) Readout method performed by stripe scanning planar objects with substances emitting fluorescence radiation
JP2005077309A (ja) 時間分解二次元微弱光検出方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070402

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070717

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070829

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100401

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100511

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100809

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110617

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20120106