JP2007163448A - 検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも1つの光電面(9)を備えた光電性アレイ(1)を備え、光路内において光電性アレイ(1)の前方に、スペクトル分割された光を光電性アレイ(1)に合焦させるための合焦手段が配置されている検出器において、合焦手段が少なくとも1つのマイクロレンズ(8)を備えたマイクロレンズアレイ(2)である。
【選択図】図1
Description
2 マイクロレンズ装置
3 光束
4 光束
5 プリズム
7 検出用スリットプレート
6 検出用アパーチャープレート
8 マイクロレンズ
9 CCDピクセル
10 スライドレジスタ
11 検出面
Claims (31)
- 少なくとも1つの光電面(9)を備えた光電性アレイ(1)を備え、光路内において光電性アレイ(1)の前方に、スペクトル分割された光を光電性アレイ(1)に合焦させるための合焦手段が配置されている検出器において、
合焦手段が少なくとも1つのマイクロレンズ(8)を備えたマイクロレンズアレイ(2)であることを特徴とする検出器。 - 光電性アレイ(1)がCCDアレイまたはAPDアレイであることを特徴とする、請求項1に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)がスペクトル分割方向と好ましくはこれに加えてスペクトル分割方向に対し垂直な方向とに合焦させるために形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が2次元のマイクロレンズアレイであることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が少なくとも1つの屈折率分布型レンズ(GRIN)を有していることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が少なくとも1つの球面レンズを有していることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が球面レンズだけから構成されていることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか一つに記載の検出器。
- 1個のマイクロレンズ(8)または複数個のマイクロレンズ(8)が球面アパーチャーを有していることを特徴とする、請求項1から7までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が、好ましくはスペクトル分割方向に合焦させるマイクロシリンドリカルレンズアレイと、スペクトル分割方向に対し垂直な方向に合焦させる少なくとも1つのシリンドリカルレンズとの組み合わせを有していることを特徴とする、請求項1から8までのいずれか一つに記載の検出器。
- 少なくとも1つのシリンドリカルレンズが単体のシリンドリカルレンズ、マイクロシリンドリカルレンズ、棒状レンズ、またはこの種のレンズから成るアレイであることを特徴とする、請求項9に記載の検出器。
- 複数個のマイクロレンズ(8)が、前記両方向への合焦のため、異なる焦点距離を有していることを特徴とする、請求項3から10までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が非対称レンズを有していることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が交差した2つのレンズアレイまたはシリンドリカルレンズアレイの組み合わせを有していることを特徴とする、請求項1から12までのいずれか一つに記載の検出器。
- 前記両方向のためのレンズアレイまたはシリンドリカルレンズアレイまたはマイクロレンズ(8)が同じ基板に配置されていることを特徴とする、請求項3から13までのいずれか一つに記載の検出器。
- 前記両方向のためのレンズアレイまたはシリンドリカルレンズアレイまたはマイクロレンズ(8)が基板の異なる側に配置されていることを特徴とする、請求項14に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が好ましくは気密封止用の窓として、特に真空封止用の窓として、低温CCD(9)またはAPDのために利用されていることを特徴とする、請求項1から15までのいずれか一つに記載の検出器。
- スペクトル分割方向におけるマイクロレンズアレイ(2)の個々のマイクロレンズ(8)のレンズサイズが適当な波長でのその都度のスペクトル分解能に適合していることを特徴とする、請求項1から16までのいずれか一つに記載の検出器。
- 個々のマイクロレンズ(8)を個別に調節することにより色収差が補正されていることを特徴とする、請求項1から17までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、少なくとも1つのスライドレジスタ(10)を配置するために利用されていることを特徴とする、請求項1から18までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、少なくとも1つのブルーミング防止バリアーを配置するために利用されていることを特徴とする、請求項1から19までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、検出面(11)内部に異なるピクセル(9)を付加するために利用されていることを特徴とする、請求項1から20までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、散乱光を吸収するために利用されていることを特徴とする、請求項1から21までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が透過率を高めるために表面コーティングされていることを特徴とする、請求項1から22までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が散乱光の吸収率または減少率を高めるため好ましくは局部的に表面コーティング部を有していることを特徴とする、請求項1から23までのいずれか一つに記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が光電性アレイ(1)上に塗付、蒸着、または型押しされていることを特徴とする、請求項1から24までのいずれか一つに記載の検出器。
- 光電性アレイ(1)がCCDラインアレイまたはAPDラインアレイ、或いは、2次元のCCDアレイまたはAPDアレイを有していることを特徴とする、請求項1から25までのいずれか一つに記載の検出器。
- 光電性アレイ(1)が並列に配置された複数個のCCDまたはAPDを有していることを特徴とする、請求項1から26までのいずれか一つに記載の検出器。
- 光電性アレイ(1)が好ましくは前景照射型の複数個のEMCCDを有していることを特徴とする、請求項1から27までのいずれか一つに記載の検出器。
- 請求項1から28までのいずれか一つに記載の検出器を備えた分光器。
- 請求項1から28までのいずれか一つに記載の検出器を備えた顕微鏡、特に共焦点型顕微鏡または半共焦点型顕微鏡。
- 顕微鏡が単体の検出ピンホール(6)またはマルチスポットスキャナーまたはラインスキャナーを有していることを特徴とする、請求項30に記載の顕微鏡。
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