JP5255750B2 - 検出器 - Google Patents
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Description
2 マイクロレンズ装置
3 光束
4 光束
5 プリズム
7 検出用スリットプレート
6 検出用アパーチャープレート
8 マイクロレンズ
9 CCDピクセル
10 スライドレジスタ
11 検出面
Claims (29)
- 複数の光電面(9)を備えたCCDアレイの形態をした光電性アレイ(1)を備えて構成される検出器であって、光路内にて前記光電性アレイ(1)の前方に、スペクトル分割された光を前記光電性アレイ(1)に合焦させるための合焦手段が配置され、前記合焦手段が複数のマイクロレンズ(8)を備えたマイクロレンズアレイ(2)を有し、各マイクロレンズ(8)に、スライドレジスタ(10)を備えたCCDピクセル(9)が付設されており、スペクトル分割方向におけるマイクロレンズアレイ(2)の個々のマイクロレンズ(8)のレンズサイズが、光のスペクトル分割のための分散要素の、相応する波長でのそれぞれのスペクトル分解能に適合している、検出器において、
CCDピクセル(9)の間隔が、スペクトル分割方向に沿ってマイクロレンズ(8)のレンズサイズが増大するのに対応して、増大し、マイクロレンズ(8)のレンズサイズが非線形分散に適合すべくスペクトル分割方向に沿って増大することを特徴とする検出器。 - マイクロレンズアレイ(2)がスペクトル分割方向とスペクトル分割方向に対し垂直な方向とに合焦させるために形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が2次元のマイクロレンズアレイであることを特徴とする、請求項1または2に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が屈折率分布型レンズ(GRIN)であることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が球面レンズであることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が球面レンズだけから構成されていることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか一項に記載の検出器。
- 1個のマイクロレンズ(8)または複数個のマイクロレンズ(8)が球面アパーチャーを有していることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)が、スペクトル分割方向に合焦させるマイクロシリンドリカルレンズアレイと、スペクトル分割方向に対し垂直な方向に合焦させる少なくとも1つのシリンドリカルレンズとの組み合わせを有していることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一項に記載の検出器。
- 前記少なくとも1つのシリンドリカルレンズが単体のシリンドリカルレンズ、マイクロシリンドリカルレンズ、または棒状レンズであることを特徴とする、請求項8に記載の検出器。
- 複数個のマイクロレンズ(8)が、スペクトル分割方向とスペクトル分割方向に対し垂直な方向の両方向への合焦のため、異なる焦点距離を有していることを特徴とする、請求項2に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が非対称レンズを有していることを特徴とする、請求項1から10までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が交差した2つのレンズアレイまたはシリンドリカルレンズアレイの組み合わせを有していることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか一項に記載の検出器。
- スペクトル分割方向とスペクトル分割方向に対し垂直な方向の両方向のためのレンズアレイまたはシリンドリカルレンズアレイまたはマイクロレンズ(8)が同じ基板に配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の検出器。
- 前記両方向のためのレンズアレイまたはシリンドリカルレンズアレイまたはマイクロレンズ(8)が基板の異なる側に配置されていることを特徴とする、請求項13に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が気密封止用の窓として、低温CCD(9)のために利用されていることを特徴とする、請求項1から14までのいずれか一項に記載の検出器。
- 個々のマイクロレンズ(8)を個別に調節することにより色収差が補正されていることを特徴とする、請求項1から15までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、少なくとも1つのスライドレジスタ(10)を配置するために利用されていることを特徴とする、請求項1から16までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、少なくとも1つのブルーミング防止バリアーを配置するために利用されていることを特徴とする、請求項1から17までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、検出面(11)内部に異なるピクセル(9)を付加するために利用されていることを特徴とする、請求項1から18までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズ(8)により生じる、光電性アレイ(1)の受光ピクセル(9)間の空間が、散乱光を吸収するために利用されていることを特徴とする、請求項1から19までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が透過率を高めるために表面コーティングされていることを特徴とする、請求項1から20までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が散乱光の吸収率または減少率を高めるため、局部的に表面コーティング部を有していることを特徴とする、請求項1から21までのいずれか一項に記載の検出器。
- マイクロレンズアレイ(2)が光電性アレイ(1)上に塗付、蒸着、または型押しされていることを特徴とする、請求項1から22までのいずれか一項に記載の検出器。
- 光電性アレイ(1)がCCDラインアレイ、或いは、2次元のCCDアレイを有していることを特徴とする、請求項1から23までのいずれか一項に記載の検出器。
- 光電性アレイ(1)が並列に配置された複数個のCCDを有していることを特徴とする、請求項1から24までのいずれか一項に記載の検出器。
- 光電性アレイ(1)が前景照射型の複数個のEMCCDを有していることを特徴とする、請求項1から25までのいずれか一項に記載の検出器。
- 請求項1から26までのいずれか一項に記載の検出器を備えた分光器。
- 請求項1から26までのいずれか一項に記載の検出器を備えた顕微鏡。
- 顕微鏡が単体の検出ピンホール(6)またはマルチスポットスキャナーまたはラインスキャナーを有していることを特徴とする、請求項28に記載の顕微鏡。
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