JP2007336685A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009254198A (ja) 2008-04-10 2009-10-29 Sharp Corp 超音波モータおよび超音波振動子
JP2013101020A (ja) 2011-11-08 2013-05-23 Seiko Epson Corp センサー素子、力検出装置およびロボット
TWI574439B (zh) * 2011-12-30 2017-03-11 晶緻材料科技私人有限公司 多樁式致動器及其製造方法及使用該多樁式致動器的衍生設備、壓電式馬達、微型馬達
JP6774222B2 (ja) * 2016-05-24 2020-10-21 キヤノン株式会社 振動波モータ及び振動波モータを用いた光学装置
JP6954007B2 (ja) * 2017-10-30 2021-10-27 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3102481B1 (ja) * 1998-06-08 2000-10-23 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JP2001308401A (ja) * 2000-04-19 2001-11-02 Tokin Ceramics Corp 圧電セラミック部品
JP2004320980A (ja) * 2003-04-03 2004-11-11 Seiko Epson Corp 稼働装置および電気機器
JP3988676B2 (ja) * 2003-05-01 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 塗布装置、薄膜の形成方法、薄膜形成装置及び半導体装置の製造方法

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