JP2007335831A - 耐久性グラファイトコネクタ及びそれを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本物品のグラファイト部品は、熱分解グラファイト(pG)で被覆されて、機械的強度が非被覆グラファイト部品よりも少なくとも25%高くなるようになる。半導体処理組立体に用いるヒータのようなコネクタ用途では、pG被覆構成要素は、少なくとも電気絶縁材料の保護層でオーバコートされ、その場合、pG被覆グラファイト部品の一部は、組立体との電気接続部を形成するために露出される(保護層で被覆されていない)。
【選択図】 図1
Description
1つの実施形態では、グラファイト部品の少なくとも一部は、熱分解グラファイト(「pG」)皮膜層で被覆されて、グラファイトポストに構造的完全性が付加される。pG皮膜層は、グラファイト部品に非被覆部品よりも少なくとも25%高い引張強度の増加を与えるのに十分な厚さで施される。1つの実施形態では、皮膜層は、被覆グラファイト部品の引張強度が非被覆グラファイト部品よりも少なくとも50%高くなるのに十分な厚さで施される。また別の実施形態では、被覆グラファイト部品は、少なくとも70%の引張強度の増加を示す。1つの実施形態では、pG皮膜層は、0.001インチ〜0.10インチ(0.00254〜0.254cm)の範囲の平均厚さを有する。第2の実施形態では、pG皮膜層は、0.005インチ〜0.05インチ(0.0127〜0.127cm)の範囲の厚さを有する。第3の実施形態では、皮膜層は、少なくとも0.0254インチの厚さを有する。第4の実施形態では、皮膜層は、0.05インチ(0.0254cm)よりも薄い厚さを有する。
熱分解グラファイト(「pG」)は、ガス状炭化水素化合物を熱分解反応させてグラファイトコネクタの表面上に熱分解グラファイトを堆積させるようにすることによってグラファイト部品上に形成することができる。保護皮膜層、例えばpG及び他の皮膜材料は、当技術分野で公知の方法、例えば膨張熱プラズマ(ETP)法、イオンプレーティング法、イオンプラズマ蒸着法(又は、陰極アーク蒸着法)、化学気相蒸着(CVD)法、プラズマ強化化学気相蒸着(PECVD)法、有機金属化学気相蒸着(MOCVD)法(また、有機金属化学気相成長(OMCVD)法とも呼ばれる)、有機金属気相エピタキシ(MOVPE)法、スパッタリングのような物理的気相成長法、反応性電子ビーム(eビーム)堆積法、及びプラズマ溶射法のいずれかによって、グラファイト部品上に堆積させることができる。例示的な処理法は、ETP、CVD及びイオンプレーティングである。
本明細書では、本発明を説明するために実施例を示すが、これら実施例は、本発明の技術的範囲を限定することを意図するものではない。
グラファイトコネクタとして用いる3/8インチの直径を有するグラファイトポストの試験のために、米国特許第5,343,022号に開示されているような熱分解加熱ユニットを用いた。しかしながら、グラファイトポスト全体は、最初に0.005インチの厚さのグラファイト層で被覆した後にヒータ組立体として組み立てた。グラファイトポストの端部は電気接続のために露出させることになっているので、端部(長さ約1/2インチ)は、追加pBN被覆のための次のステップではマスイクした。露出したグラファイト端部は、ポスト全体にpBN被覆を行い、次にpBNをその後に機械的に除去又はエッチングすることによって得ることができたことに留意されたい。
各グラファイトポストに対して、3点曲げ試験を実施した。試験結果は、pG被覆グラファイトポストは、比較実施例のpG皮膜がない状態でのグラファイトポストよりも引張強度が70%増加したことを示した。これは、有効寿命も対応して増大すると解釈される。
実施例1のpG被覆グラファイトポスト(但し、追加pBN皮膜がない状態の)及び非被覆グラファイトポスト(いかなるpGも追加pBN皮膜もない状態の)を、それぞれオーブン及び管状炉内で高温に加熱した。部品の重量における変化を記録して、オーブン又は環状炉内の酸化によって引き起こされた重量の変化を判定した。実験の結果は、図6に示すようなものであり、酸化率は、重量損失から厚さ損失にナノメートル/分として換算した。
2 タブ
3 孔
6 溝
7、8 グラファイトワッシャ
9 保護層
10 グラファイト本体
11 グラファイトコネクタ
12、13 グラファイトポスト
14、15 グラファイトネジ
16、17 ネジ孔
18、19 露出セクション
Claims (15)
- 半導体処理環境用の組立体で用いるためのグラファイト物品であって、
グラファイトコアと、
熱分解グラファイトを含み、0.001インチ〜0.10インチの平均厚さを有する皮膜層と、
前記熱分解グラファイト皮膜層の少なくとも一部分上に配置され、B、Al、Si、Ga、耐熱硬金属、遷移金属及びその組合せからなる群から選択された元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又は酸窒化物の少なくとも1つを含む保護皮膜層と、を含み、
該グラファイト物品が、前記熱分解グラファイト皮膜層及び保護皮膜層がない状態の対応するグラファイト物品よりも少なくとも25%高い引張強度を有する、
グラファイト物品。 - 該グラファイト物品が、前記熱分解グラファイト皮膜層及び保護皮膜層がない状態の対応するグラファイト物品よりも少なくとも50%高い引張強度を有する、請求項1記載のグラファイト物品。
- 前記熱分解グラファイト皮膜層が、0.005インチ〜0.05インチの厚さを有する、請求項1及び請求項2のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 前記熱分解グラファイト皮膜層が、0.0245インチ〜0.05インチの厚さを有し、エレメント支持体、支持バー、固定具、プレート、ナット、ロッド、スペーサ、ボルト、スリーブ、ディスク、チューブ、ワッシャ、スタッド、ギヤ、ローラ、シャフト、摺動プレート、リフトオフアーム、軸受、押込みバー、停止ロッド、コネクタ、電力引込み線及びスラットの1つとして使用するためのものである、請求項1から請求項3のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 前記グラファイトコアが、表面を有する中空体であり、前記中空コアの表面の少なくとも一部分が、少なくとも熱分解グラファイト皮膜層の0.001インチ〜0.10インチの平均厚さを有する層によって被覆される、請求項1から請求項3のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 前記熱分解グラファイト皮膜層が、B、Al、Si、Ga、耐熱硬金属、遷移金属及びその組合せからなる群から選択された元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又は酸窒化物の少なくとも1つを含む保護皮膜層によってさらに被覆される、請求項5記載のグラファイト物品。
- 前記グラファイトコアが中空であり、該グラファイト物品が、前記中空コア内に配置された支持部材をさらに含み、前記支持部材が、金属を含むチューブである、請求項5及び請求項6のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 化学気相蒸着炉内のウェーハ処理装置に用いるためのものであり、該グラファイト物品が、少なくとも600℃の温度において10nm/分よりも小さい酸化率を有する、請求項1から請求項7のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 該物品が、少なくとも600℃の温度において5nm/分よりも小さい酸化率を有する、請求項1から請求項8のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 前記保護皮膜層が、25〜1000℃の温度範囲において2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの範囲にあるCTEを有する熱分解窒化ホウ素及び窒化アルミニウムの1つを含む、請求項1から請求項9のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- 前記熱分解グラファイト皮膜層の少なくとも一部分が、外部電源と電気接続するために露出されかつ前記保護皮膜層で被覆されていない、請求項1から請求項10のいずれか1項記載のグラファイト物品。
- ウェーハ基板を加熱するためのウェーハ処理組立体であって、
前記ウェーハ基板を支持するための平坦面と前記平坦面を支持するための少なくとも支持シャフトとを有するグラファイト基体を含む電気ヒータを含み、
前記支持シャフトが、前記電気ヒータを電源手段に接続するためのグラファイトコネクタを含み、
前記グラファイトコネクタが、0.001インチ〜0.10インチの厚さを有する少なくとも熱分解グラファイトの層で被覆され、
前記グラファイトコネクタが、前記pG皮膜層がない状態での対応するグラファイト物品よりも少なくとも25%高い引張強度を有する、
ウェーハ処理組立体。 - 前記熱分解グラファイト被覆グラファイトコネクタが、前記グラファイト皮膜層の少なくとも一部分上を少なくとも保護皮膜層でさらに被覆され、
前記保護皮膜層が、B、Al、Si、Ga、耐熱硬金属、遷移金属及びその組合せからなる群から選択された元素の窒化物、炭化物、炭窒化物又は酸窒化物の少なくとも1つを含む、
請求項12記載のウェーハ処理組立体。 - 前記支持シャフトが、該シャフト内に配置された支持部材をさらに含み、
前記支持部材が、金属を含むチューブである、
請求項12及び請求項13のいずれか1項記載のウェーハ処理組立体。 - 半導体処理用途に用いるための組立体のグラファイト部品の有効寿命を延ばす方法であって、
前記グラファイト部品を、少なくとも0.001インチ〜0.10インチの厚さを有する熱分解グラファイト(pG)の層で被覆する段階と、
前記pG被覆グラファイトの少なくとも一部を、2〜500μmの厚さを有しかつB、Al、Si、Ga、耐熱硬金属、遷移金属及びその組合せからなる群から選択された元素の少なくとも窒化物、炭化物、炭窒化物又は酸窒化物を含む層で被覆して、前記グラファイト物品が、前記pG皮膜層及び外側保護層がない状態での対応するグラファイト物品よりも少なくとも25%高い引張強度を有するようにする段階と、
を含む方法。
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
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JPH07147127A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-06-06 | Varian Assoc Inc | 異方性の熱分解グラファイトヒーター |
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Patent Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPH06219899A (ja) * | 1992-08-21 | 1994-08-09 | Ube Ind Ltd | 熱分解窒化ホウ素膜及び被覆物品 |
JPH08500932A (ja) * | 1992-09-29 | 1996-01-30 | アドバンスド セラミックス コーポレイション | 熱分解窒化硼素加熱素子 |
JPH07147127A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-06-06 | Varian Assoc Inc | 異方性の熱分解グラファイトヒーター |
JPH0817745A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-19 | Toshiba Mach Co Ltd | ヒータ |
WO2004068541A2 (en) * | 2003-01-17 | 2004-08-12 | General Electric Company | Wafer handling apparatus |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024053395A1 (ja) * | 2022-09-05 | 2024-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置で使用される部品、プラズマ処理装置で使用される部品の製造方法、及びプラズマ処理装置 |
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