JP2007335451A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】ブロードでありながら安定なパルセーション動作を確立することができる半導体レーザを提供する。
【解決手段】第1領域10には一様な幅のナロウストライプ部11を設け、第2領域20には、ナロウストライプ部11に光学的に接合されると共に主出射側端面Pfに向かって幅が広くなるテーパ部21を設ける。テーパ部21を、ナロウストライプ部11から延長された中央部21Aと、この中央部21Aの幅方向両側の拡幅部21B,21Cとにより構成する。拡幅部21B,21Cと中央部21Aとの境界には、電流が注入されない分離領域21Dを設ける。拡幅部21B,21Cを、分離領域21Dを間にして中央部21Aに光学的に結合し、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおいて誘起されたパルセーション発振を拡幅部21B,21Cへと伝播させ、増幅させる。
【選択図】図1
【解決手段】第1領域10には一様な幅のナロウストライプ部11を設け、第2領域20には、ナロウストライプ部11に光学的に接合されると共に主出射側端面Pfに向かって幅が広くなるテーパ部21を設ける。テーパ部21を、ナロウストライプ部11から延長された中央部21Aと、この中央部21Aの幅方向両側の拡幅部21B,21Cとにより構成する。拡幅部21B,21Cと中央部21Aとの境界には、電流が注入されない分離領域21Dを設ける。拡幅部21B,21Cを、分離領域21Dを間にして中央部21Aに光学的に結合し、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおいて誘起されたパルセーション発振を拡幅部21B,21Cへと伝播させ、増幅させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、特にブロードエリア型のものに好適な半導体レーザに関する。
ブロードエリア型半導体レーザは、ストライプ状の電流注入領域の幅(ストライプ幅)を例えば10μm以上に広くしたものであり、ワット(W)クラスの大出力を得られるレーザとして期待が強くなっている。
R.ディール(Roland Diehl)編,「ハイパワーダイオードレーザ:基礎,テクノロジー,応用(High-PowerDiode Lasers: Fundamentals, Technology, Applications)」,シュプリンガーフェアラーク(Springer-Verlag ),(独国),2000年,p.273 D.ボテ(D. Botez)およびD.R.シフレ(D.R. Scifres)編,「ダイオードレーザアレイ(Diode Laser Arrays)」,ケンブリッジユニバーシティプレス(Cambridge University Press),(英国),1994年,p.110
R.ディール(Roland Diehl)編,「ハイパワーダイオードレーザ:基礎,テクノロジー,応用(High-PowerDiode Lasers: Fundamentals, Technology, Applications)」,シュプリンガーフェアラーク(Springer-Verlag ),(独国),2000年,p.273 D.ボテ(D. Botez)およびD.R.シフレ(D.R. Scifres)編,「ダイオードレーザアレイ(Diode Laser Arrays)」,ケンブリッジユニバーシティプレス(Cambridge University Press),(英国),1994年,p.110
ところが、このタイプのレーザは戻り光によって破壊が生じる可能性があり、応用上その安定性が課題となっていた。
戻り光によるレーザ動作の不安定さを解決する手段として、ストライプ幅が数μmと狭いナロウストライプレーザでは、パルセーションレーザがよく用いられている。パルセーションレーザは、導波路近傍に可飽和吸収層または可飽和吸収領域を設け、その可飽和吸収層または可飽和吸収領域のロスが時間的に変動することを利用してパルセーション発振を起こさせるようにしたものである。このようなパルセーションレーザでは、数100MHz程度の周波数で強度変調が自律的に発生しているため、スペクトル幅が広くなり、コヒーレンスが低下して、戻り光に鈍感になっており、よって安定になっている。
そこで、ブロードエリア型レーザでもパルセーションを起こさせることができれば戻り光に対し安定な動作を期待できる。しかし、ブロードエリア型レーザでは導波路全体に可飽和吸収層または可飽和吸収領域を設けるとロスが強すぎて発振が止まってしまうという問題があった。逆に弱めにつけると、ゲインの強い領域でフィラメント発光をしてしまい、パルセーションを生じさせることができないという問題があった。
なお、従来より、図17および図18に示したようなテーパ型レーザが知られている(例えば、非特許文献1参照。)。テーパ型レーザは、裏側端面に接する長さ500μm程度のナロウストライプ部111と、このナロウストライプ部111に接し主出射側端面まで約6度程度の開き角θをもつ長さ1500μm程度のテーパ部121とを有している。通常、ナロウストライプ部111はインデックスガイドで、テーパ部121はゲインガイドで形成されることが多い。ナロウストライプ部111およびテーパ部121の電極は共通である場合もあるが、両者を分離した電極としてそれぞれの注入電流値を最適化することでキンク特性やFFP(Far Field Pattern )特性を向上させる場合もある。
また、図19に示したように、このようなテーパ型レーザにおいて、ナロウストライプ部111に内部グレーティング111Aを形成してDBR(Distributed Bragg Reflector )レーザとしたものも開示されている(例えば、非特許文献2参照。)。この構造では、ナロウストライプ部111で波長安定なシングルモード発振を実現させ、テーパ部121でそのレーザ光を増幅させながらブロードエリア型レーザとしても縦シングルモード動作を得るようにしている。この従来構造では、ナロウストライプ部111およびテーパ部121の電極は分離され、それぞれ最適電流を注入することで動作させる。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ブロードでありながら安定なパルセーション動作を確立することができる半導体レーザを提供することにある。
本発明による半導体レーザは、第1クラッド層,活性層および第2クラッド層を順に備えると共に共振器方向において対向する主出射側端面および裏側端面を有するものであって、一様な幅の帯状電流注入部を有すると共に裏側端面に接合する第1領域と、帯状電流注入部に光学的に接合されると共に主出射側端面に向かって幅が広くなる傾斜状電流注入部を有し、主出射側端面に接合する第2領域とを備え、第1領域は、帯状電流注入部においてパルセーション発振を誘起させる可飽和吸収層または可飽和吸収領域を有し、帯状電流注入部において誘起されたパルセーション発振を傾斜状電流注入部に伝播させるものである。傾斜状電流注入部は、帯状電流注入部から延長された中央部と、中央部の幅方向両側に設けられた拡幅部とを含むことが好ましい。
ここで、本明細書において「幅」とは第1クラッド層,活性層および第2クラッド層の積層方向(以下、単に積層方向という。)と共振器方向との両方に直交する方向における寸法をいい、「長さ」とは共振器方向における寸法をいい、「厚さ」とは積層方向における寸法をいう。
本発明の半導体レーザでは、帯状電流注入部において誘起されたパルセーション発振が傾斜状電流注入部に伝播し、幅の広い傾斜状電流注入部においてもパルセーション動作が生じる。これによりスペクトルが広がり、コヒーレンスが低下して、戻り光の影響が抑制される。
本発明の半導体レーザによれば、帯状電流注入部に可飽和吸収層または可飽和吸収領域を設けると共に、この帯状電流注入部において誘起されたパルセーション発振を傾斜状電流注入部に伝播させるようにしたので、幅を広くした傾斜状電流注入部においても安定したパルセーション動作を可能とすることができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1は本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1は、例えば加工あるいはディスプレイに用いられるものであり、共振器方向Aにおいて対向する主出射側端面Pfおよび裏側端面Prが一対の共振器端面となっている。これら主出射側端面Pfおよび後方端面Prには反射鏡膜(図示せず)がそれぞれ形成されている。主出射側端面Pfの反射鏡膜は低反射率、例えば5%となるように調整され、後方端面Prの反射鏡膜は高反射率、例えば99%となるように調整されている。これにより、後述する活性層において発生した光は一対の反射鏡膜の間を往復して増幅され、主出射側端面Pf側の反射鏡膜からレーザビームとして射出されるようになっている。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1は、例えば加工あるいはディスプレイに用いられるものであり、共振器方向Aにおいて対向する主出射側端面Pfおよび裏側端面Prが一対の共振器端面となっている。これら主出射側端面Pfおよび後方端面Prには反射鏡膜(図示せず)がそれぞれ形成されている。主出射側端面Pfの反射鏡膜は低反射率、例えば5%となるように調整され、後方端面Prの反射鏡膜は高反射率、例えば99%となるように調整されている。これにより、後述する活性層において発生した光は一対の反射鏡膜の間を往復して増幅され、主出射側端面Pf側の反射鏡膜からレーザビームとして射出されるようになっている。
半導体レーザ1は、裏側端面Prに接合する第1領域10と、主出射側端面Pfに接合する第2領域20とを備えている。第1領域10は、一様な幅のナロウストライプ部11を有している。第1領域10の長さは例えば500μm以下、ナロウストライプ部11の幅W1は例えば5μm以下、具体的には4μmである。第2領域20は、ナロウストライプ部11に光学的に接合されると共に主出射側端面Pfに向かって幅が広くなるテーパ部21を有している。第2領域20の長さは例えば1.5mm以下である。ここで、ナロウストライプ部は本発明における「帯状電流注入部」の一例に対応し、テーパ部は本発明における「傾斜状電流注入部」の一例に対応している。
図2は第1領域10の断面構成の一例を表したものである。第1領域10は、例えば、基板41上に、n型クラッド層42、活性層43、p型クラッド層44およびコンタクト層45が順に積層されたものである。コンタクト層45上にはp側電極51が設けられ、基板41の裏側にはn側電極52が形成されている。ナロウストライプ部11以外の領域のコンタクト層45ないしp型クラッド層44の厚さ方向一部はエッチング除去され、ナロウストライプ部11は帯状の突条部となっている。ナロウストライプ部11の両側には電流ブロック層46が設けられている。
また、第1領域10は、活性層43内部に可飽和吸収域31を設けることによりナロウストライプ部11においてパルセーション発振を誘起させる、いわゆるWI(Weakly Index guide)型の構造を有している。活性層43からナロウストライプ部11の下端までの距離dは例えば300nmである。
基板41は、例えばシリコン(Si)などのn型不純物を添加したn型GaAsにより構成されている。n型クラッド層42は、例えば、厚さが1.5μmであり、シリコンなどのn型不純物を添加したn型Al0.5 Ga0.5 As混晶により構成されている。活性層43は、例えば、厚さが10nm程度であり、不純物を添加しないAlGaAs混晶により構成されている。p型クラッド層44は、例えば、突条部60における厚さが1.5μmであり、亜鉛(Zn)などのp型不純物を添加したp型Al0.5 Ga0.5 As混晶により構成されている。コンタクト層45は、例えば、厚さが0.5μmであり、亜鉛(Zn)などのp型不純物を添加したp型GaAsにより構成されている。電流ブロック層46は、例えばシリコン(Si)などのn型不純物を添加したn型GaAsにより構成されている。
p側電極51は、例えば、チタン(Ti)層,白金(Pt)層および金(Au)層をコンタクト層45の側から順に積層した構造を有しており、コンタクト層45と電気的に接続されている。n側電極52は、例えば、金とゲルマニウム(Ge)との合金層,ニッケル(Ni)層および金(Au)層とを基板41の側から順に積層した構造を有しており、基板41を介してn型クラッド層42と電気的に接続されている。
図1に示したテーパ部21は、ナロウストライプ部11から延長された中央部21Aと、この中央部21Aの幅方向両側の拡幅部21B,21Cとを含んでいる。拡幅部21B,21Cと中央部21Aとの境界には、電流が注入されない分離領域21Dが設けられている。拡幅部21B,21Cは分離領域21Dを間にして中央部21Aに光学的に結合され、ナロウストライプ部11において誘起されたパルセーション発振はテーパ部21の中央部21Aを介して拡幅部21B,21Cへと伝播する。これにより、この半導体レーザ1では、幅の広いテーパ部21において安定したパルセーション動作を確立することができるようになっている。
分離領域21Dの幅W2は例えば1μm以上5μm以下であることが好ましい。中央部21Aと拡幅部21B,21Cとの間で、p側電極51を容易に分離することができるからである。また、幅W2をこの範囲内とすれば、横モードがコヒーレントな相互作用を有するフェーズドアレイ(phased array)効果によりナロウストライプ部11および中央部21Aと、拡幅部21B,21Cとで位相をそろえることができるからである。
なお、p側電極51は、例えば、ナロウストライプ部11および中央部21Aと、拡幅部21Bと、拡幅部21Cとに分離され、3電極構成となっている。また、分離領域21Dは、コンタクト層45のみを除去してもよいし、あるいは、中央部21Aおよび拡幅部21B,21Cの各々に対応して三本の突条部60を設けるようにしてもよい。
この半導体レーザ1は、例えば、次のようにして製造することができる。
まず、例えば、上述した材料よりなる基板41の一面に、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition ;有機金属化学気相成長)法により、上述した厚さおよび材料よりなるn型クラッド層42,活性層43,p型クラッド層44およびコンタクト層45を順次積層する。
次いで、コンタクト層45の上にレジストよりなるマスク層(図示せず)を形成し、このマスク層を用いたドライエッチングにより、コンタクト層45およびp型クラッド層44の厚さ方向一部を選択的に除去し、裏側端面Prの形成位置の近傍に一様な幅の帯状の突条部であるナロウストライプ部11を形成する。また、主出射側端面Pfの形成位置の近傍には、ナロウストライプ部11から延長した一様な幅の中央部21Aを形成すると共に、この中央部21Aの両側に分離領域21Dを間にして拡幅部21B,21Cを形成し、テーパ部21を形成する。
続いて、ナロウストライプ部11およびテーパ部21の両側に電流ブロック層46を形成する。そののち、基板41の裏面側をラッピングして薄膜化し、その面に金とゲルマニウムとの合金層,ニッケル層および金層を順次蒸着することによりn側電極52を形成する。また、ナロウストライプ部11およびテーパ部21の上面に、例えばチタン層,白金層および金層を順次蒸着することによりp側電極51を形成する。
n側電極52およびp側電極51を形成したのち、基板41を所定の大きさに整え、主出射側端面Pfおよび裏側端面Prに反射鏡膜(図示せず)を形成する。これにより、図1に示した半導体レーザ1が形成される。
この半導体レーザ1では、n側電極52とp側電極51との間に所定の電圧が印加されると、活性層43に電流が注入され、電子−正孔再結合により発光が起こる。この光は、一対の反射鏡膜(図示せず)により反射され、その間を往復してレーザ発振を生じ、レーザビームとして外部に射出される。ここでは、第1領域10に可飽和吸収域31が設けられ、かつ拡幅部21B,21Cが分離領域21Dを間にして中央部21Aに光学的に結合されているので、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおいて発生したパルセーション発振は、分離領域21Dから拡幅部21B,21Cにかけて染み出し、この染み出し成分が拡幅部21B,21Cに伝播して増幅される。よって、幅の広いテーパ部21においても、ナロウストライプ部11および中央部21Aで発生したパルセーション発振と同一位相のパルセーション発振が生じる。これにより、スペクトルが広くなり、コヒーレンスが低下して、戻り光の影響が抑制される。
なお、p側電極51は、上述したように、ナロウストライプ部11および中央部21Aと、拡幅部21Bと、拡幅部21Cとの三つに分離されているので、これら三つのp側電極51に対してそれぞれ適正な電流を流すことにより、テーパ部21において十分な光増幅が生じブロードエリア発振を行うことが可能となる。
このように本実施の形態では、第1領域10に可飽和吸収域31を設けると共に、拡幅部21B,21Cを分離領域21Dを間にして中央部21Aに光学的に結合させ、ナロウストライプ部11で発生したパルセーション発振を伝播させるようにしたので、幅を広くしたテーパ部21においてもパルセーション発振を可能とすることができる。
また、パルセーションによりスペクトルが広がりコヒーレンスを低下させることができるので、戻り光の影響を抑えることができる。特に、戻り光による破壊などが生じるのを抑制することができる。
更に、戻り光により波長が不安定化することを抑え、安定つまり戻り光に鈍感にすることができる。
加えて、本実施の形態の半導体レーザ1はコヒーレンスが低下しているので、この半導体レーザ1により、やや中心波長を異ならせたアレイレーザを構成するようにすれば、スペックル(干渉により生じるぎらつき)の少ない光源を実現することができ、この光源は例えばディスプレイに好適に利用可能である。
更にまた、ビーム品質(M2 )を1に近い良好な値に保ったまま、大出力のパルセーション出力を得ることができるので、レーザ加工などの用途に極めて有効である。
加えてまた、通常はアレイ化することでお互いの光の注入が影響を及ぼす場合もあるが、本実施の形態の半導体レーザ1によりアレイを構成すれば、パルセーション動作のためコヒーレンスが低下しているので、相互の悪影響を少なくすることができる。このことはスタック構成にしても有効な効果である。
以下、本発明の変形例および他の実施の形態について説明する。なお、第1の実施の形態の半導体レーザ1と同一の構成要素には同一の符号を付して説明する。
(変形例1)
図3は、本発明の変形例1に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Aは、拡幅部21B,21Cを電気的に接合させることにより実質2電極構成としたことを除いては、上記第1の実施の形態と同様の構成、作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。左右の拡幅部21B,21Cのバランスがこれでも十分とれる場合には、よりシンプルな本変形例の構成が有効である。
図3は、本発明の変形例1に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Aは、拡幅部21B,21Cを電気的に接合させることにより実質2電極構成としたことを除いては、上記第1の実施の形態と同様の構成、作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。左右の拡幅部21B,21Cのバランスがこれでも十分とれる場合には、よりシンプルな本変形例の構成が有効である。
(変形例2)
図4は、本発明の変形例2に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Bは、分離領域21Dを、中央部21Aと拡幅部21B,21Cとの境界の一部に設けたものである。分離領域21Dの長さは、例えば1mm以下とすることができる。このことを除いては、半導体レーザ1Bは、上記第1の実施の形態と同様の構成、作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。
図4は、本発明の変形例2に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Bは、分離領域21Dを、中央部21Aと拡幅部21B,21Cとの境界の一部に設けたものである。分離領域21Dの長さは、例えば1mm以下とすることができる。このことを除いては、半導体レーザ1Bは、上記第1の実施の形態と同様の構成、作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。
(変形例3)
図5は、本発明の変形例3に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Cは、中央部21Aの少なくとも一部を、主出射側端面Pfに向かって幅が狭くなるようにし、中央部21Aの先端部を楔形状としたものである。このように中央部21Aの先端部を楔状に細くすることにより、中央部21A内の光は両側の分離領域21Dのロスの影響を強く受けるようになり、パルセーション発振がより生じやすくなる。中央部21Aの先端部の角度αは例えば1度以上4度以下が好ましい。
図5は、本発明の変形例3に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Cは、中央部21Aの少なくとも一部を、主出射側端面Pfに向かって幅が狭くなるようにし、中央部21Aの先端部を楔形状としたものである。このように中央部21Aの先端部を楔状に細くすることにより、中央部21A内の光は両側の分離領域21Dのロスの影響を強く受けるようになり、パルセーション発振がより生じやすくなる。中央部21Aの先端部の角度αは例えば1度以上4度以下が好ましい。
更に、拡幅部21B,21Cは主出射側端面Pf付近において繋がって広くなっている。これにより、ナロウストライプ部11および中央部21Aから広い拡幅部21B,21Cへの光の染み出しを利用して、パルセーション発振を広範囲に伝播・増幅させ、ブロードエリアでのパルセーション発振をより発生しやすくすることができる。
なお、拡幅部21B,21Cの繋がった部分のうち、中央部21Aの先端に対向する部分は、主出射側端面Pfに平行でもよいし、斜めでもよく、また、中央部21Aと同様な楔状でもよい。
このことを除いては、半導体レーザ1Cは、上記第1の実施の形態と同様の構成、作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。
(変形例4)
図6は、本発明の変形例4に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Dは、中央部21Aの楔状の先端を主出射側端面Pfまで伸ばしたことを除いては変形例3と同様の構成、作用および効果を有し、同様にして製造することができる。
図6は、本発明の変形例4に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ1Dは、中央部21Aの楔状の先端を主出射側端面Pfまで伸ばしたことを除いては変形例3と同様の構成、作用および効果を有し、同様にして製造することができる。
なお、本変形例においても、図示しないが、変形例1と同様に拡幅部21B,21Cを電気的に接合させることにより実質2電極構成とすることが可能である。
(第2の実施の形態)
図7は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ2は、テーパ部21の中央部21Aと拡幅部21B,21Cとが連続していて分離領域21Dが設けられておらず、また、中央部21Aには少なくとも一つの電流非注入域22が設けられている。電流非注入域22は、例えば、コンタクト層45およびp側電極51を除去することにより形成されたものである。これにより、この半導体レーザ2では、共振器方向Aに局所的に可飽和吸収領域としての電流非注入域22が分布または存在し、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおけるパルセーション動作を安定に保つことができるようになっている。
図7は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ2は、テーパ部21の中央部21Aと拡幅部21B,21Cとが連続していて分離領域21Dが設けられておらず、また、中央部21Aには少なくとも一つの電流非注入域22が設けられている。電流非注入域22は、例えば、コンタクト層45およびp側電極51を除去することにより形成されたものである。これにより、この半導体レーザ2では、共振器方向Aに局所的に可飽和吸収領域としての電流非注入域22が分布または存在し、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおけるパルセーション動作を安定に保つことができるようになっている。
なお、p側電極51はナロウストライプ部11とテーパ部21とに共通の一体型電極であってもよいし、図示しないがナロウストライプ部11とテーパ部21との境界線で分離されていてもよい。
この半導体レーザ2では、n側電極52とp側電極51との間に所定の電圧が印加されると、活性層43に電流が注入され、電子−正孔再結合により発光が起こる。この光は、一対の反射鏡膜(図示せず)により反射され、その間を往復してレーザ発振を生じ、レーザビームとして外部に射出される。ここでは、中央部21Aに少なくとも一つの電流非注入域22が設けられているので、共振器方向Aに局所的に可飽和吸収領域としての電流非注入域22が分布または存在し、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおけるパルセーション動作が安定に保たれる。このパルセーション発振が拡幅部21B,21Cに伝播し、幅の広いテーパ部21においてもパルセーション発振が生じる。
このように本実施の形態では、中央部21Aには少なくとも一つの電流非注入域22を設けるようにしたので、共振器方向Aに局所的に可飽和吸収領域としての電流非注入域22が分布または存在し、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおけるパルセーション動作を安定に保つことができる。
(第3の実施の形態)
図8は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものであり、図9は、図8に示した第1領域10の断面構成の一例を表したものである。この半導体レーザ3は、ナロウストライプ部11においてパルセーション発振を誘起させるため可飽和吸収層32が導入されたいわゆるSAL(Saturable Absorbing Layer )型のものである。可飽和吸収層32は、第1p型クラッド層44Aと第2p型クラッド層44Bとの間に設けられ、例えば亜鉛(Zn)などのp型不純物を高濃度に添加したAlGaAs混晶により構成されている。活性層43からナロウストライプ部11の下端までの距離dは例えば200nmである。
図8は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものであり、図9は、図8に示した第1領域10の断面構成の一例を表したものである。この半導体レーザ3は、ナロウストライプ部11においてパルセーション発振を誘起させるため可飽和吸収層32が導入されたいわゆるSAL(Saturable Absorbing Layer )型のものである。可飽和吸収層32は、第1p型クラッド層44Aと第2p型クラッド層44Bとの間に設けられ、例えば亜鉛(Zn)などのp型不純物を高濃度に添加したAlGaAs混晶により構成されている。活性層43からナロウストライプ部11の下端までの距離dは例えば200nmである。
SAL型は比較的安定なパルセーションを実現することができる反面、可飽和吸収層32でのキャリア寿命および光の導波ロスの程度に敏感である。具体的には、可飽和吸収層32の不純物濃度を109 程度以上にしてキャリア寿命はできるだけ短くたもち、常に可飽和吸収層32の吸収能力をなくさないことと同時に、あまり活性層43の光の吸収を強くしすぎて発振停止に至ってしまわないようなバランスが重要となる。よって、可飽和吸収層32は、例えば、第1領域10のみに形成されていることが好ましい。テーパ部21全体に広い可飽和吸収層32を形成してしまうと、発振できなくなってしまうおそれがあるからである。
また、この半導体レーザ3は、第1領域10においてナロウストライプ部11の幅方向両側に帯状の凹溝61が設けられたダブルリッジ(W-Ridge )構造を有しており、これにより容易かつ安定した形成が可能となっている。
第2領域20は、テーパ部21のみにp側電極51が設けられたゲインガイド構造を有している。
この半導体レーザ3は、例えば、次のようにして製造することができる。
図10ないし図12は、この半導体レーザ3の製造方法を工程順に表す平面図である。まず、図10に示したように、例えば、第1の実施の形態と同様にして、基板41の一面に、n型クラッド層42,活性層43,第1p型クラッド層44A,可飽和吸収層32,第2p型クラッド層44Bおよびコンタクト層45を順次積層したのち、例えばエッチングにより、第2領域20のコンタクト層45および第2p型クラッド層44Bを選択的に除去すると共に、第1領域10に凹溝61およびナロウストライプ部11を設けてダブルリッジ構造とする。このとき、第2の実施の形態と同様に、可飽和吸収層32をエッチングストップ層として利用することができる。
次いで、図11に示したように、第1領域10をSiO2等のマスク層71で覆い、第2領域20に第2p型クラッド層44Bおよびコンタクト層45を再び選択成長させる。
続いて、図12に示したように、第1領域10のマスク層71を除去し、ナロウストライプ部11以外の領域のコンタクト層45を除去したのち、ナロウストライプ部11上にp側電極51を形成し、インデクスガイドとする。一方、第2領域20では、同じく図12に示したように、テーパ部21の形状に合わせてp側電極51を形成し、このp側電極51をマスクとしたエッチングにより、テーパ部21以外のコンタクト層45を除去し、ゲインガイドとする。
そののち、第1の実施の形態と同様にしてn側電極52を形成し、基板41を所定の大きさに整え、主出射側端面Pfおよび裏側端面Prに反射鏡膜(図示せず)を形成する。これにより、図8および図9に示した半導体レーザ3が形成される。
このように本実施の形態では、第1領域10に可飽和吸収層32を設けたSAL型においてダブルリッジ構造を有するようにしたので、幅の広いテーパ部21でパルセーション発振可能なSAL型パルセーションレーザを、容易かつ安定して形成することができる。
(第4の実施の形態)
図13は、本発明の第4の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ4は、可飽和吸収層32が第1領域10を超えて中央部21Aの少なくとも一部に延在しており、これによりナロウストライプ部11および中央部21Aにおいてパルセーション発振がより発生しやすくなっていることを除いては、第3の実施の形態と同一の構成を有している。なお、可飽和吸収層32は中央部21Aの一部のみに延在していてもよいし、中央部21A全体に延在していてもよい。
図13は、本発明の第4の実施の形態に係る半導体レーザの平面構成を表したものである。この半導体レーザ4は、可飽和吸収層32が第1領域10を超えて中央部21Aの少なくとも一部に延在しており、これによりナロウストライプ部11および中央部21Aにおいてパルセーション発振がより発生しやすくなっていることを除いては、第3の実施の形態と同一の構成を有している。なお、可飽和吸収層32は中央部21Aの一部のみに延在していてもよいし、中央部21A全体に延在していてもよい。
この半導体レーザ4は、例えば、次のようにして製造することができる。
図14ないし図16は、半導体レーザ4の製造方法を工程順に表す平面図である。まず、図14に示したように、例えば、第1の実施の形態と同様にして、基板41の一面に、n型クラッド層42,活性層43,第1p型クラッド層44A,可飽和吸収層32,第2p型クラッド層44Bおよびコンタクト層45を順次積層したのち、例えばエッチングにより、第2領域20においては中央部21Aの一部を残してコンタクト層45および第2p型クラッド層44Bを選択的に除去すると共に、第1領域10にナロウストライプ部11および凹溝61を設け、ダブルリッジ構造を形成する。このとき、第2の実施の形態と同様に、可飽和吸収層32をエッチングストップ層として利用することができる。
次いで、図15に示したように、第1領域10と、中央部21Aのうちコンタクト層45および第2p型クラッド層44Bを残した部分とをマスク層71で覆い、第2領域20に第2p型クラッド層44Bおよびコンタクト層45を選択成長させる。
続いて、図16に示したように、マスク層71を除去し、第1領域10においては、ナロウストライプ部11以外の領域のコンタクト層45を除去したのち、ナロウストライプ部11上にp側電極51を形成し、インデックスガイドとする。一方、第2領域20では、同じく図16に示したように、テーパ部21の形状に合わせてp側電極51を形成し、このp側電極51をマスクとしたエッチングにより、テーパ部21以外のコンタクト層45を除去し、ゲインガイドとする。
そののち、第1の実施の形態と同様にしてn側電極52を形成し、基板41を所定の大きさに整え、主出射側端面Pfおよび裏側端面Prに反射鏡膜(図示せず)を形成する。これにより、図13に示した半導体レーザ4が形成される。
この半導体レーザ4では、n側電極52とp側電極51との間に所定の電圧が印加されると、活性層43に電流が注入され、電子−正孔再結合により発光が起こる。この光は、一対の反射鏡膜(図示せず)により反射され、その間を往復してレーザ発振を生じ、レーザビームとして外部に射出される。ここでは、可飽和吸収層32が第1領域10を超えて中央部21Aの一部に延在しているので、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおいてパルセーション発振がより発生しやすくなる。このパルセーション発振は拡幅部21B,21Cに伝播し、幅の広いテーパ部21においてもパルセーション発振が生じる。
このように本実施の形態では、可飽和吸収層32を、第1領域10を超えて中央部21Aの一部に延在させるようにしたので、ナロウストライプ部11および中央部21Aにおいてパルセーション発振をより発生しやすくすることができる。
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記第1の実施の形態はWI型だけでなくSAL型にも適用可能である。
また、上記実施の形態において説明した各層の材料および厚さ、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚さとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。例えば、上記実施の形態においては、n型不純物としてシリコンを用いたが、セレン(Se)など他のn型不純物を用いてもよい。
更に、例えば、上記実施の形態では、半導体レーザを構成する材料について具体的に例を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態で説明したAlGaAs系素子以外にも、InGaAsP系,InGaAs系,AlGaInP系,AlGaInN系あるいはGaInNAs系など、半導体レーザを構成できる材料系であればすべて適用可能である。
加えて、例えば、上記実施の形態では、n型クラッド層42ないしコンタクト層45をMOCVD法により形成する場合について説明したが、MBE(Molecular Beam Epitaxy;分子線エピタキシー)法等を用いてもよい。
更にまた、例えば、上記実施の形態においては、n型の基板41上に、n型クラッド層42,活性層43,p型クラッド層44およびコンタクト層45を順に積層した構成を有する半導体レーザについて説明したが、p型の基板を用い、p型の基板上に、p型半導体層、活性層およびn型半導体層を積層した逆導電型の構造としてもよい。
加えてまた、例えば、上記実施の形態では、半導体レーザ素子の構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また他の層を更に備えていてもよい。例えば、テーパ部21の輪郭は直線に限らず、多少湾曲していてもよい。また、活性層43とn型クラッド層42またはp型クラッド層44との間に、光ガイド層が設けられていてもよい。
10…第1領域、11…ナロウストライプ部、20…第2領域、21…テーパ部、21A…中央部、21B,21C…拡幅部、21D…分離領域、31…可飽和吸収領域、32…可飽和吸収層、41…基板、42…n型クラッド層、43…活性層、44…p型クラッド層、44A…第1p型クラッド層、44B…第2p型クラッド層、45…コンタクト層、46…電流ブロック層、51…p側電極、52…n側電極、61…凹溝
Claims (7)
- 第1クラッド層,活性層および第2クラッド層を順に備えると共に共振器方向において対向する主出射側端面および裏側端面を有する半導体レーザであって、
一様な幅の帯状電流注入部を有すると共に前記裏側端面に接合する第1領域と、前記帯状電流注入部に光学的に接合されると共に前記主出射側端面に向かって幅が広くなる傾斜状電流注入部を有し、前記主出射側端面に接合する第2領域とを備え、
前記第1領域は、前記帯状電流注入部においてパルセーション発振を誘起させる可飽和吸収層または可飽和吸収領域を有し、前記帯状電流注入部において誘起されたパルセーション発振を前記傾斜状電流注入部に伝播させる
ことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記傾斜状電流注入部は、前記帯状電流注入部から延長された中央部と、前記中央部の幅方向両側に設けられた拡幅部とを含む
ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ。 - 前記拡幅部と前記中央部との境界の少なくとも一部に、電流が注入されない分離領域が設けられており、前記拡幅部は前記分離領域を間にして前記中央部に光学的に結合されている
ことを特徴とする請求項2記載の半導体レーザ。 - 前記中央部の少なくとも一部は、前記主出射側端面に向かって幅が狭くなっている
ことを特徴とする請求項3記載の半導体レーザ。 - 前記中央部は、少なくとも一つの電流非注入域を有する
ことを特徴とする請求項2記載の半導体レーザ。 - 前記第1領域は前記可飽和吸収層を有し、前記帯状電流注入部の幅方向両側に前記第2クラッド層の厚み方向一部を除去した凹溝が設けられている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ。 - 前記第1領域は前記可飽和吸収層を有し、前記可飽和吸収層は前記第1領域を超えて前記中央部の一部に延在している
ことを特徴とする請求項2記載の半導体レーザ。
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JP2015211171A (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
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JPS6254989A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-10 | Hitachi Ltd | 半導体レ−ザ装置 |
JPH08195525A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Nec Corp | 半導体レーザ |
JP2000277856A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Mitsubishi Chemicals Corp | 自励発振型半導体レーザ装置 |
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2006
- 2006-06-12 JP JP2006162246A patent/JP2007335451A/ja active Pending
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