JP4656398B2 - ブロードエリア型半導体レーザ素子 - Google Patents
ブロードエリア型半導体レーザ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4656398B2 JP4656398B2 JP2005111068A JP2005111068A JP4656398B2 JP 4656398 B2 JP4656398 B2 JP 4656398B2 JP 2005111068 A JP2005111068 A JP 2005111068A JP 2005111068 A JP2005111068 A JP 2005111068A JP 4656398 B2 JP4656398 B2 JP 4656398B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- layer
- semiconductor laser
- index waveguide
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
(A) 基板上に順次形成された少なくとも第1クラッド層,活性層,第2クラッド層およびコンタクト層を含む半導体層
(B) コンタクト層に接して設けられた電極
(C) 半導体層のコンタクト層側から少なくとも第2クラッド層に達するまでの深さを有し、その延在方向に一様の幅の屈折率導波路を形成する突条部
(D) 突条部のうちのコンタクト層とコンタクト層に接する電極とに、屈折率導波路の境界線の少なくとも一部を含む切欠部を設けることにより、屈折率導波路の延在方向の両端部の四つの角のうち少なくとも主出射側端面近傍の二つの角に設けられた電流非注入領域
ここで「幅」とは、突条部の延在方向すなわち共振器方向と、半導体層の積層方向との両方に対して垂直な方向における寸法をいう。
図8は、上記実施の形態の変形例1に係る半導体レーザ素子の構成を表したものである。この変形例は、電流非注入領域53を屈折率導波路50の延在方向の両端部のうち主出射側端面11近傍に設けたことを除いては、他は上記実施の形態と同様の構成,作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。
図9は、上記実施の形態の変形例2に係る半導体レーザ素子の構成を表したものである。この変形例は、電流非注入領域53を屈折率導波路50の延在方向の中間位置に設けたことを除いては、他は上記実施の形態と同様の構成、作用および効果を有しており、同様にして製造することができる。
図10は、上記実施の形態の変形例3に係る半導体レーザ素子の構成を表したものであり、図11は図10に示した半導体レーザ素子の屈折率導波路50の平面形状を表したものである。この変形例は、電流非注入領域53を屈折率導波路50の延在方向の一端から他端に沿って設けたことを除いては、他は上記実施の形態と同様の構成を有している。よって、対応する構成要素には同一の符号を付して説明する。
図12は、上記実施の形態の変形例4に係る半導体レーザ素子の構成を表したものであり、図13は図12に示した半導体レーザ素子の屈折率導波路50の平面形状を表したものである。この変形例は、電流非注入領域53を、屈折率導波路50の片側に設けたことを除いては、上記実施の形態と同一の構成を有している。よって、対応する構成要素には同一の符号を付して説明する。
Claims (6)
- 基板上に順次形成された少なくとも第1クラッド層,活性層,第2クラッド層およびコンタクト層を含む半導体層と、
前記コンタクト層に接して設けられた電極と、
前記半導体層のコンタクト層側から少なくとも前記第2クラッド層に達するまでの深さを有し、その延在方向に一様の幅の屈折率導波路を形成する突条部と、
前記突条部のうちの前記コンタクト層と前記コンタクト層に接する電極とに、前記屈折率導波路の境界線の一部を含む切欠部を設けることにより、前記屈折率導波路の延在方向の両端部の四つの角のうち少なくとも主出射側端面近傍の二つの角に設けられた電流非注入領域と
を備えたブロードエリア型半導体レーザ素子。 - 前記電流非注入領域は、前記屈折率導波路の境界線から2μm以上10μm以下の幅を有する
請求項1記載のブロードエリア型半導体レーザ素子。 - 前記電流非注入領域の前記屈折率導波路の延在方向の長さは10μm以上である
請求項1記載のブロードエリア型半導体レーザ素子。 - 前記電流非注入領域は、前記屈折率導波路の片側に設けられている
請求項1記載のブロードエリア型半導体レーザ素子。 - 前記半導体層は、前記基板にオフ角をつけて形成されたものであり、
前記突条部の一対の側面のうち片方は急斜面、他方は緩斜面となっており、
前記電流非注入領域は、前記屈折率導波路の前記急斜面の側に設けられている
請求項4記載のブロードエリア型半導体レーザ素子。 - 前記屈折率導波路の幅は、10μm以上である
請求項1記載のブロードエリア型半導体レーザ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005111068A JP4656398B2 (ja) | 2005-04-07 | 2005-04-07 | ブロードエリア型半導体レーザ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005111068A JP4656398B2 (ja) | 2005-04-07 | 2005-04-07 | ブロードエリア型半導体レーザ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006294745A JP2006294745A (ja) | 2006-10-26 |
JP4656398B2 true JP4656398B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=37415013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005111068A Expired - Fee Related JP4656398B2 (ja) | 2005-04-07 | 2005-04-07 | ブロードエリア型半導体レーザ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4656398B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105680319A (zh) * | 2016-03-30 | 2016-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于模式增益损耗调控的高亮度半导体激光器 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011055891B9 (de) * | 2011-11-30 | 2017-09-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaserdiode |
EP3258555B1 (en) * | 2015-02-12 | 2022-03-30 | Furukawa Electric Co. Ltd. | Semiconductor laser element and laser light irradiation device |
CN105529615B (zh) * | 2016-02-23 | 2018-10-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种半导体激光器及其制作方法 |
WO2022064626A1 (ja) | 2020-09-25 | 2022-03-31 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
CN112924416B (zh) * | 2021-01-26 | 2022-02-18 | 华中科技大学 | 测量分布反馈激光器纵向光场分布的装置及其测量方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000183458A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Toshiba Corp | 半導体素子及びその製造方法 |
JP2000286505A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Victor Co Of Japan Ltd | リッジ導波路型半導体レ−ザ素子及びその製造方法 |
JP2001036193A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-09 | Sony Corp | 半導体レーザ素子 |
JP2004221384A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Sony Corp | 半導体発光素子およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-04-07 JP JP2005111068A patent/JP4656398B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000183458A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Toshiba Corp | 半導体素子及びその製造方法 |
JP2000286505A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Victor Co Of Japan Ltd | リッジ導波路型半導体レ−ザ素子及びその製造方法 |
JP2001036193A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-09 | Sony Corp | 半導体レーザ素子 |
JP2004221384A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Sony Corp | 半導体発光素子およびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105680319A (zh) * | 2016-03-30 | 2016-06-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于模式增益损耗调控的高亮度半导体激光器 |
CN105680319B (zh) * | 2016-03-30 | 2018-07-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于模式增益损耗调控的高亮度半导体激光器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006294745A (ja) | 2006-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8179941B2 (en) | Laser diode and method of manufacturing the same | |
US7636378B2 (en) | Semiconductor laser diode | |
US20070223549A1 (en) | High-Power Optoelectronic Device with Improved Beam Quality Incorporating A Lateral Mode Filtering Section | |
JP4656398B2 (ja) | ブロードエリア型半導体レーザ素子 | |
JPH1075011A (ja) | 半導体レーザ | |
US9564737B2 (en) | Optical semiconductor device | |
US6195375B1 (en) | Self-pulsation type semiconductor laser | |
US20020034204A1 (en) | Semiconductor laser device and method of manufacturing the same | |
JP2003163417A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
US20120114004A1 (en) | Nitride semiconductor laser device and method of manufacturing the same | |
JP2001015851A (ja) | 半導体レーザ素子及びその作製方法 | |
JP4876428B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
US7092422B2 (en) | Self-pulsation type semiconductor laser | |
JP2006269988A (ja) | 半導体レーザ | |
JP3932466B2 (ja) | 半導体レーザ | |
JP7297875B2 (ja) | 利得導波型半導体レーザおよびその製造方法 | |
KR102103515B1 (ko) | 레이저 다이오드 구조 및 제조 방법 | |
JP4378955B2 (ja) | ブロードエリア型半導体レーザおよびその製造方法 | |
US8605767B2 (en) | Long semiconductor laser cavity in a compact chip | |
JP2516953B2 (ja) | 半導体レ―ザ装置の製造方法 | |
JP2613975B2 (ja) | 周期利得型半導体レーザ素子 | |
JP4395702B2 (ja) | 屈折率導波型ブロードエリア半導体レーザおよびその駆動方法 | |
US20070171950A1 (en) | Semiconductor laser device with small variation of the oscillation wavelength | |
JP3505780B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
CN117581433A (zh) | 半导体光元件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100810 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101215 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |