JP2007334069A - ペリクル収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、且つ該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通されたネジ８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納して保管、搬送するためのペリクル収納容器に関し、特に液晶用大型ペリクルに好適なペリクル収納容器、該ペリクル収納容器からペリクルを移動する方法、該ペリクル収納容器にペリクルを収納する方法、並びにペリクル収納容器の積層方法に関するものである。

従来、半導体回路パターン等の製造においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクルフレームの上縁面に、厚さ１０μm以下のニトロセルロース、セルロース誘導体或いはフッ素系ポリマー等の透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）を展張して接着し、且つ該ペリクルフレームの下縁面にマスク用粘着材を塗着すると共に、このマスク用粘着材上に所定の接着力で離型紙等の保護フィルムを粘着させたものである。

前記マスク用粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該マスク用粘着材がその用に供するまで該マスク用粘着材の接着力を維持するために、該マスク用粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをペリクル載置台と蓋とからなるペリクル収納容器に収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。

ペリクル収納容器は樹脂材料を用いて、射出成形や真空成形にて製造するのが一般である。しかし、５インチ、６インチの半導体用ペリクル収納容器は、射出成形で成形することも多いが、面積が１０００cm^２以上ともなる大型ペリクル用収納容器は、薄肉で大型一体成形品が容易に出来ることから真空成形する場合が多い。

ペリクル収納容器は形状が変化しないことを想定しており、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性と、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持し得る保持性とが要求される。

ペリクル載置台や蓋が反ったりねじれたりすると、マスク用粘着材にその変形が転写してしまう。ペリクル載置台に反りがあるとマスク用粘着材の一部に局所的に重量がかかり、マスク用粘着材が変形する可能性がある。また、蓋に反りやねじれが発生するとペリクルをペリクル載置台に押しつけることになり、更にマスク用粘着材にペリクル載置台の反りを転写させる可能性がある。

また反りやたわみによって蓋がペリクル膜に接触すると、ペリクル膜に傷が付き、ペリクルの機能を果たさなくなることがある。

通常、ペリクルはマスクやレチクルのパターンに貼り付けられ、マスクやレチクルの保護時や露光時にはペリクルがマスクやレチクルの下面側に位置するように配置される。そのため、大型ペリクルでは重量が大きいために小型ペリクルでは問題にならないような小さな貼付不良でも経時的に貼付不良部が広がり、エアーパスと呼ばれるペリクル内外をつなぐ隙間ができ、その箇所からペリクル内に異物が侵入し、ペリクルの機能を果たさなくなることがある。

小型のペリクル収納容器であれば変形が問題となることは殆どないが、１０００cm^２以上ともなる大型ペリクル用収納容器の場合には、両端を持って運ぶ際のたわみやねじれ、重ね置きで保管した際の自重による変形、温度による反り等の変形が生じる場合がある。

特に大型ペリクル収納容器は、５インチや６インチの半導体用ペリクル収納容器に比べ、面積が大きいためにペリクル収納容器の反りやねじれが大きくなる。そのためペリクル収納容器の変形がマスク用粘着材に転写し易く、貼付不良が発生する頻度が高くなる。

そこで、本出願人は特開２００５−４９７６５号公報（特許文献１）に記載したように、ペリクル載置台に補強板を取り付けてペリクル収納容器の変形を防止し、マスク用粘着材やペリクルフレームが変形することを防止する技術を提案している。

また、平坦性を向上させた容器が特開平０８−０６２８２８号公報（特許文献２）に記載されている。

特開２００５−４９７６５号公報（図６） 特開平０８−０６２８２８号公報

しかしながら、前述の特許文献１の技術では、厚みが５mm以下程度の補強板を用いるためハンドリングの際のペリクル収納容器の大きな反りやねじれの改善には効果があるものの、ペリクルフレームを載置する載置面の平坦性が十分に確保される保証がなく、マスク用粘着材の変形防止という観点からでは、補強効果により得られるペリクル収納容器の平坦性では、十分とは言えず、ペリクルフレームを載置する載置面にたわみや凹凸が生じた場合にその変形がマスク用粘着材に転写され、フォトマスクやレティクルへの接着力が不十分になったりエアーパスと呼ばれるペリクル内外を繋ぐ隙間が出来てその箇所からペリクル内に異物が浸入するとペリクルの機能を果たし得ない虞がある。

また、特許文献１の補強板は樹脂材料を充填して接着されるため補強板をペリクル収納容器から分離してリサイクルすることが困難であった。

また、特許文献２の技術では、成型によるものや、ガラス板を容器内に設置することで平坦性を向上させた容器であり、もともと、たわみや凹凸をもつ容器に直接平坦性を付与するというものではない。また、補強材がないため容器の両端を持って運ぶ際の撓みや捩れは解消されない。

本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供せんとするものである。

前記目的を達成するための本発明に係るペリクル収納容器の第１の構成は、ペリクルを収納するための、少なくとも蓋と、該ペリクルを載置するペリクル載置台とから構成されるペリクル収納容器において、前記ペリクル載置台のペリクルの載置面とは反対側の面に構造体を配置し、且つ、該構造体が前記ペリクル載置台に設けられた貫通穴に挿通された固定具により該ペリクル載置台に固定されていることを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第２の構成は、前記第１の構成において、前記構造体は、前記ペリクル載置台を介して前記ペリクルの載置面に対向するように配置したことを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第３の構成は、前記第１、第２の構成において、前記固定具がネジであることを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第４の構成は、前記第１〜第３の構成において、前記構造体の底面と、前記ペリクル載置台の最低面とが面一、或いは、該構造体の底面が該ペリクル載置台の最低面よりも下方に突出していることを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第５の構成は、前記第１〜第４の構成において、前記ペリクル載置台のペリクルの載置面が容器全体に亘って同一平面上で平坦に形成されたことを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第６の構成は、前記第１〜第５の構成において、前記ペリクルの載置面にペリクルフレームを直に載置した時の該載置面とペリクルフレームとの隙間が３００μm以下であることを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第７の構成は、前記第１〜第６の構成において、前記固定具は、前記ペリクル載置台のペリクルの載置面よりも上方に突出する複数の固定具により構成されることを特徴とする。

また、本発明に係るペリクルの移動方法は、前述のペリクル収納容器からペリクルを移動する方法であって、前記固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制することを特徴とする。

また、本発明に係るペリクルの収納方法は、前述のペリクル収納容器にペリクルを収納する方法であって、前記固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制することを特徴とする。

また、本発明に係るペリクル収納容器の積層方法は、前述のペリクル収納容器を複数積み重ねる積層方法であって、下のペリクル収納容器の蓋に、上に積み重ねられるペリクル収納容器の前記構造体が接するように積み重ねることを特徴とする。

本発明に係るペリクル収納容器の第１の構成によれば、ペリクル載置台のペリクルの載置面とは反対側の面に、少なくとも該ペリクルの載置面が該ペリクル載置台を介して対向するように構造体を配置し、且つ、該構造体が前記ペリクル載置台に設けられた貫通穴に挿通された固定具により該ペリクル載置台に固定されたことで、該構造体によりペリクル収納容器の剛性を補強して該ペリクル収納容器の両端を持って運ぶ際の撓みや捩れを防止すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与することが出来、これによりマスク用粘着材の変形を防止することが出来る。また、固定具の固定を解除することにより構造体をペリクル収納容器から容易に分離することが出来、リサイクルも可能である。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第２の構成によれば、固定具がネジであることにより簡単なネジ止めで構造体をペリクル載置台に固定することが出来、締結解除も容易で再利用が容易に出来る。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第３の構成によれば、構造体の底面と、ペリクル載置台の最低面とが面一、或いは、該構造体の底面が該ペリクル載置台の最低面よりも下方に突出していることで、ペリクル収納容器を載置した状態でその載置面に構造体の底面が必ず当接しており、ペリクル収納容器の底面が上方に押し上げられることにより発生するペリクルの載置面のたわみを防止して平坦性を確保することが出来る。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第４の構成によれば、ペリクル載置台のペリクルの載置面が容器全体に亘って同一平面上で平坦に形成されたことにより容器全体に亘ってペリクルの載置面の平坦性が確保出来、これによりマスク用粘着材の変形を防止することが出来る。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第５の構成によれば、ペリクル載置台にペリクルフレームを直に載置した時のペリクル載置面とペリクルフレームとの隙間が３００μm以下であることにより、ペリクル載置面とペリクルフレームとの隙間が略一定に維持出来、その間に存在するマスク用粘着材の局部的な高さ方向の変形を防止することが出来る。

また、本発明に係るペリクル収納容器の第６の構成によれば、固定具がペリクル載置台のペリクルの載置面よりも上方に突出する複数の固定具により構成されるため、該固定具の突出高さを適宜設定することによりペリクルを把持するためのホルダのガイドとして利用することが出来る。

また、本発明に係るペリクルの移動方法によれば、固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制することにより、ペリクル収納容器からペリクルを取り出す際にホルダをそのペリクルの側部に設けられたガイド挿入溝に挿入し易く取り扱いが容易となる。

また、本発明に係るペリクル収納方法によれば、固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制することにより、ペリクルの位置ずれを防止し、ペリクルをペリクル収納容器内に安定して収納することが出来る。

また、本発明に係るペリクル収納容器の積層方法によれば、下のペリクル収納容器の蓋に、上に積み重ねられるペリクル収納容器の構造体が接するように積み重ねることにより、ペリクル収納容器が複数段に重ね置きされる場合であっても上段のペリクル収納容器を下段のペリクル収納容器の蓋上に載置した状態でその蓋面に上段のペリクル収納容器の構造体の底面が必ず当接しており、ペリクル収納容器の底面が上方に押し上げられることにより発生するペリクルの載置面のたわみを防止して平坦性を確保することが出来る。

図により本発明に係るペリクル収納容器、ペリクルの移動方法、ペリクルの収納方法、並びにペリクル収納容器の積層方法の一実施形態を具体的に説明する。図１は本発明に係るペリクル収納容器の構成を示す斜視説明図、図２は本発明に係るペリクル収納容器を積層した様子を示す断面説明図、図３は固定具の各種の固定構造を説明する図、図４はペリクル載置台のペリクルの載置面とペリクルフレームとの隙間についてたわみの場合と凹凸の場合について説明する図、図５はペリクルを把持するためのホルダの構成を示す斜視図、図６は固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制する様子を示す断面説明図、図７は固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制する様子を示す断面説明図、図８は容器全体が平坦な構造で形成された他のペリクル収納容器の構成を示す断面説明図、図９は各種の構造体の構成を示す斜視説明図、図10及び図11は他の各種の構造体の構成を示す図である。

図９〜図11に示す構造体７の材料としては、金属や、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、セラミックス等、構造体７の形状を保つための剛性を持つ素材を使用することが出来る。

構造体７の形状はペリクル載置台３に構造体７を取り付けた際、該ペリクル載置台３のペリクルの載置面３ａを覆うように接触し、且つペリクル載置台３の最低面よりも突出した形状ならば特に限定はしない。例えば、図９（ａ）及び図10（ａ）〜（ｃ）に示すような断面方形状の枠体が単純であるが、構造体７の軽量化を図るため、本発明でいうペリクルの載置面３ａの平坦性を維持する範囲で複数（多数）の穴を開けたり、図９（ｂ）及び図11（ｂ），（ｃ）に示すような断面Ｌ字形状に構成しても良い。

また、構造体７は図10（ａ）〜（ｃ）に示すように中実でも良いし、図11（ａ）に示すように中空でも良い。また、構造体７の上面は、図10（ａ）及び図11（ａ），（ｂ）に示すように、ペリクルの載置面３ａの裏面の幅方向の略全体に亘って形成されていても良いし、図10（ｂ），（ｃ）及び図11（ｃ）に示すように、ペリクルの載置面３ａの裏面の幅方向の一部に形成されていても良い。また、図10（ｃ）に示すように、ペリクルの載置面３ａの裏面側に固定された構造体７とはずれた位置にペリクル２を載置する場合でも良い。

また、構造体７のペリクル載置台３と接触する面の形状は、本発明でいうペリクルの載置面３ａの平坦性を確保出来るならば特に限定しない。例えば、平坦面が理想であるが、ペリクル載置台３のペリクルの載置面３ａの裏面側のみに接触する曲面でも良いし、ペリクルの載置面３ａの裏面側に複数点で接触する凹凸形状でも良い。

構造体７は上記材料を成型または削り出しにより製造出来る。

本発明に係る構造体７の寸法は、ペリクル載置台３と、そこに載置されるペリクルフレーム２ａの大きさにより決まるものである。

固定具の材料としては、金属やエンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、セラミックス等、固定に必要な強度、剛性を持つ素材を使用することが出来る。

固定具の形状は、ペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通出来る形状ならば特に限定しない。例えば、棒形状が単純であり、ピンやネジ８が使用出来る。

尚、固定具がネジ８ならば、構造体７をペリクル載置台３に強固に締結が可能であり、また、締結解除も容易であるため望ましい。

固定具の製法は特に限定はなく、公知の技術で切削や成型等により製作出来る。

本発明における固定具の寸法は、ペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通出来、ペリクル載置台３に構造体７を固定出来る寸法ならば特に限定しない。

図１及び図２において、１はペリクル膜２ｃをペリクルフレーム２ａに貼り付けたペリクル２を収納するためのペリクル収納容器であり、少なくとも蓋４と、ペリクル２を載置するペリクル載置台３とを有して構成される。

ペリクル載置台３の材質は特に限定するものではないが、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることが出来る。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることも出来る。上記の樹脂には、制電性を付与しても良い。また、樹脂強化プラスチックも用いることが出来る。

ペリクル載置台３において、ペリクル２を載置する載置面３ａは、ペリクル載置台３の周辺に沿って形成された断面コ字形状の隆起部６の天片により構成される。

ペリクル載置台３は外周近傍を屈曲させているため、周辺部ではある程度の剛性を有しているが平面部は強度が弱く、またその面積が１０００cm^２以上ともなると、ペリクル収納容器１全体の剛性が十分でなくなり、反りやたわみが生じ易い。そこで、本発明においては、より好ましくは、ペリクル載置台３の外面側で隆起部６の内部に構造体７を取り付けている。これにより、ペリクル収納容器１全体の剛性を飛躍的に向上させることが出来る。

図８に示すように、ペリクル載置台３全体が平坦な構造でもよいが、図２に示すように、ペリクル２の載置面３ａのみを平坦とし、その他の部分は、その載置面３ａ（平面）よりも低く設定すると、輸送中等にペリクル膜２ｃ面が振動した時、ペリクル膜２ｃとペリクル載置台３の内側との接触が防止出来るためより好ましい。

また、ペリクル載置台３の裏面を補強することで平坦性を付与することは、自重によるたわみには効果的だが、下からの突き上げには効果が薄い。そのため、ペリクル２の載置面３ａよりも低く設定する部分は、構造体７の底面７ｂよりも下方に突出しないように設定する。

より好ましくは、ペリクル２の載置面３ａよりも低く設定する部分は、構造体７の底面７ｂと面一になるように設定する。こうすれば、ペリクル２の載置面３ａよりも低く設定した部分が、台等の載置面に置いたときに軽く接触することで、自重によるたわみを防止出来る。

ペリクル載置台３に設けられたペリクル２の載置面３ａは、ペリクル収納容器１全体に亘って同一平面上で平坦に形成されている。ペリクル２を載置する載置面３ａに、真空成型・射出成型等により凹凸形状を設けると、凹凸形状の周辺に局所的な凹凸が残るため載置面３ａの平坦性が悪化する。

このように、ペリクル２を載置する載置面３ａがペリクル収納容器１の容器全体に亘って同一平面上で平坦に形成されたことにより容器全体に亘ってペリクル２を載置する載置面３ａに直接平坦性を付与することが出来、これによりペリクルフレーム２ａの下面に設けられるマスク用粘着材２ｂの変形を防止することが出来る。

ペリクル載置台３は、上述の材質の板を用いて、真空成形或いは射出成形にて製造される。

本発明におけるペリクル載置台３の寸法は、該ペリクル載置台３に載置されるペリクルフレーム２ａの大きさにより決まるものである。

ペリクル収納容器１の蓋４の材質は特に限定するものではないが、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることが出来る。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることも出来る。上記の樹脂には、制電性を付与しても良い。また、樹脂強化プラスチックも用いることが出来る。

ペリクル収納容器１の蓋４は、その上にペリクル収納容器１を積み重ねた際に、下の蓋４からの突き上げによりペリクル載置台３の変形を防止しなければならない。

そのため、ペリクル収納容器１の蓋４の形状は、その上にペリクル収納容器１を積み重ねた際に、蓋４には積み重ねたペリクル収納容器１の内、構造体７のみが接触するような形状にしなければならない。上記用件を満たす形状であれば、特に限定しない。例えば構造体７の底面７ｂ（ペリクル載置台３と構造体７の接触面の対面）全体に蓋４が接触する形状でも良いし、構造体７の底面７ｂの４隅のみに蓋４が接触する形状でも良い。

ペリクル収納容器１の蓋４は、上述の材質の板を用いて、真空成形或いは射出成形により製造される。

本発明におけるペリクル収納容器１の蓋４の寸法はペリクル載置台３の大きさにより決まるものである。

ペリクル２は、ペリクル膜２ｃと、該ペリクル膜２ｃが貼着されたペリクルフレーム２ａ、及びペリクルフレーム２ａをマスクやレティクルに貼着するためのマスク用粘着材２ｂ等を有して構成されており、マスク用粘着材２ｂの表面には離型紙等の保護フィルム等からなる離型材２ｄが貼着されてペリクル載置台３に載置される。

ペリクル２のペリクル載置台３への固定方法としては、離型材２ｄのはみ出し部位を粘着テープによりペリクル載置台３に貼着したり、ペリクルフレーム２ａに形成した係止溝にペリクル載置台３に設けた係止部材を係止したり、ペリクル載置台３と蓋４とでペリクルフレーム２ａを挟持して固定する等、公知の方法ならば何でも良い。

ここで、本実施形態のペリクル収納容器１はペリクル膜２ｃの面積が１０００cm^２を越える大型ペリクル２に特に好適である。

図１に示すように、ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａ上に該ペリクル２を載置した状態で該ペリクル載置台３に蓋４を被せることによってペリクル２を収納する。ペリクル載置台３と蓋４とを合わせた後は、四方の角にクリップ等を差し込んで留めるか、或いは粘着テープを周端辺に張り巡らすことによって密封する等、公知の方法ならば何でも良い。

ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａとは反対側の面に、少なくとも該ペリクル２の載置面３ａが該ペリクル載置台３を介して対向するように構造体７が配置され、該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通された固定具となるネジ８によりペリクル載置台３に固定される。

また好ましくは、ペリクル載置台３の外表面で隆起部６の内部に断面方形状の構造体７が嵌入され、ペリクル２の載置面３ａに設けられた貫通穴３ｂに固定具となるネジ８が挿通されて構造体７に形成されたネジ孔７ａに螺合締結される。

また、貫通穴３ｂからの異物の進入を防ぐ目的で該貫通穴３ｂを完全に塞ぐためや、ネジ８の緩み防止のために、ネジ８の取り付けの際は、貫通穴３ｂをシールすることが、より効果的である。

貫通穴３ｂを封止するシール部材としては、図３（ａ）に示すように、シール性を有する例えばポリアミド、シリコンゴム、ポリプロピレン等の材質で作成されたワッシャ９をネジ８の頭部８ａ下面とペリクル載置台３の載置面３ａとの間に介在させたり、図３（ｂ）に示すように、ネジ８の頭部８ａ下面が貫通穴３ｂの径よりも大きい面積を有する頭部８ａが大きいネジ８をペリクル載置台３の載置面３ａに圧接させて固定したり、図３（ｃ）に示すように、ネジ８の頭部８ａとペリクル載置台３の載置面３ａとの間にコーキング材10を介在させて貫通穴３ｂを封止したり、図３（ｄ）に示すように、貫通穴３ｂを含むネジ８の頭部８ａ全体を覆ってシールテープ11をペリクル載置台３の載置面３ａに貼着して貫通穴３ｂを封止したり、図３（ｅ）に示すように、貫通穴３ｂを含むネジ８の頭部８ａ全体をキャップ部材12により覆って該キャップ部材12をペリクル載置台３の載置面３ａに圧接させて貫通穴３ｂを封止することが出来る。キャップ部材12はネジ８の頭部８ａ及びペリクル載置台３の載置面３ａに圧接して被せる形態でも良いし、接着剤等により接着することでも良い。

図３（ｆ）は構造体７を貫通する貫通穴７ｃの底面７ｂ側から固定具となるネジ８を挿通し、更に該ネジ８をペリクル２の載置面３ａに設けられた貫通穴３ｂに挿通し、固定具を構成するブロック体13のネジ孔13ａに螺合締結する。ブロック体13はナットを使用しても良い。また、貫通穴３ｂを図３（ａ）〜（ｅ）に示して前述したようなシール部材によりシールすることも出来る。

ペリクル収納容器１の補強を効果的に行うためには、ネジ８の取り付け方向は、補強面となるペリクル２の載置面３ａに対して垂直方向であることがより効果的である。またネジ止めの補助として、構造体７と載置面３ａの裏面との間に接着剤や粘着剤を併用しても良い。

このように、ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａに設けられた貫通穴３ｂに固定具となるネジ８が挿通されて構造体７に設けられたネジ孔７ａに締結されたことで、構造体７によりペリクル収納容器１の剛性を補強すると共にペリクル２を載置する載置面３ａに直接平坦性を付与することが出来、これによりペリクル２のマスク用粘着材２ｂの変形を防止することが出来る。

また、固定具となるネジ８の締結を解除することにより構造体７をペリクル収納容器１のペリクル載置台３から容易に分離することが出来、リサイクルも可能である。

但し、リサイクルを容易にするためにはネジ止めのみで固定するのが好ましい。接着剤・粘着剤を使用すると、ペリクル収納容器１と構造体７とを分離するのが困難であり、また、分離する際、大きな力がかかり、構造体７の変形をまねき、構造体７による平坦性向上効果が薄れる可能性がある。

このように、構造体７の底面７ｂが、ペリクル収納容器１のペリクル載置台３の最低面（最も低い位置にある底面）となる周囲面３ｄと面一か、若しくはペリクル収納容器１のペリクル載置台３の最低面となる周囲面３ｄよりも下方に突出するように構成したことで、ペリクル収納容器１を台等に載置した状態でその載置面に構造体７の底面７ｂが必ず当接しており、ペリクル収納容器１のペリクル載置台３の内側面３ｃが上方に押し上げられることにより発生するペリクルの載置面３ａの撓みを防止して平坦性を確保することが出来る。

また、図２に示すように、ペリクル収納容器１を複数積み重ねる積層方法として、下のペリクル収納容器１の蓋４に、上に積み重ねられるペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂが接するように積み重ねることで、上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂが下段のペリクル収納容器１の蓋４上に載置支持されることにより、ペリクル収納容器１が複数段に重ね置きされる場合であっても上段のペリクル収納容器１を下段のペリクル収納容器１の蓋４上に載置した状態でその蓋４面に上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂが必ず当接しており、ペリクル収納容器１のペリクル載置台３の内側面３ｃが上方（図２の上方向）に押し上げられることにより発生するペリクルの載置面３ａの撓みを防止して平坦性を確保することが出来る。

尚、図１及び図２に示すように、蓋４の上面の少なくとも４隅部は突形状で形成されており、上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂのみと接触するように構成されている。

ペリクルフレーム２ａの下面に設けたマスク用粘着材２ｂが変形しないためには、ペリクル２を載置面３ａに載置したとき、図４（ａ）に示すように、ペリクル２の載置面３ａのペリクル接触部分のたわみ形状或いは凹凸形状と、載置面３ａにペリクル２を載置した状態でのペリクルフレーム２ａのたわみ形状或いは凹凸形状が一致していれば、載置面３ａとペリクルフレーム２ａとの間隔が一定に保たれるため、その間に存在するマスク用粘着材２ｂの高さ方向の変形が防止出来る。

そのため、本発明で言うペリクル２を載置する載置面３ａの平坦性とは、マスク用粘着材２ｂのない状態のペリクルフレーム２ａのみをペリクル載置台３の載置面３ａに直に載置した状態でのペリクルフレーム２ａと載置面３ａとの隙間が、３００μｍ以下、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは、５０μｍ以下であることを言う。

即ち、図４（ｂ）に示すように、ペリクル２の載置面３ａのペリクル接触部分のたわみ形状と、載置面３ａにペリクルフレーム２ａを直に載置した状態でのペリクルフレーム２ａのたわみ形状との隙間Ｗが最大箇所で３００μm以下に保たれ、或いは図４（ｃ）に示すように、ペリクル２の載置面３ａのペリクル接触部分の凹凸形状と、載置面３ａにペリクルフレーム２ａを直に載置した状態でのペリクルフレーム２ａの凹凸形状との隙間Ｗが最大箇所で３００μm以下に保たれ、その結果、ペリクルフレーム２ａと載置面３ａとの間に存在するマスク用粘着材２ｂの高さ方向の変形が防止出来る。

ペリクルフレーム２ａは、本発明で言う載置面３ａの平坦性が維持された場所に搭載され、ネジ８は、本発明で言う載置面３ａが平坦となるように、ペリクル載置台３、構造体７の材質、大きさ、形状、構造等によりネジ止め個数、ネジ止め間隔が適宜設定される。

固定具はペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａよりも上方に頭部８ａが突出する複数のネジ８により構成される。このような構成において、固定具となるネジ８の位置や頭部８ａの高さを適宜設定することにより以下のような位置規制手段を兼ねることが出来る。

例えば、ペリクル収納容器１からペリクル２を移動する方法として、固定具となるネジ８の頭部８ａの天面により、図５及び図６に示すようにペリクル２を把持するためのホルダ14の高さ位置を規制することが出来る。

即ち、図６に示すように、構造体７に締結された固定具となるネジ８の頭部８ａの天面は、ペリクル２を把持するためのホルダ14の高さ位置を規制する位置に設定されており、固定具となるネジ８の頭部８ａの天面が、ペリクル２を把持するためのホルダ14の高さ位置を規制することにより、ペリクル収納容器１からペリクル２を取り出す際にホルダ14をそのペリクル２のペリクルフレーム２ａの側部に設けられたガイド挿入溝2a1に挿入し易く取り扱いが容易となる。このように、ネジ８の頭部８ａの高さを調整することにより、ペリクル２を把持するためのホルダ14のガイドとしても利用出来る。

また、ペリクル収納容器１にペリクル２を収納する方法として、固定具となるネジ８の頭部８ａの側面により図７に示すように、ペリクルフレーム２ａの面方向の位置を規制することが出来る。

即ち、構造体７に締結された固定具となるネジ８の頭部８ａは方形状で構成されており、頭部８ａの側面位置がペリクルフレーム２ａの面方向（図７の左右方向）の位置を規制する位置に設定されている。これにより、固定具となるネジ８の頭部８ａの側面が、ペリクルフレーム２ａの側面に当接してペリクルフレーム２ａの面方向の位置を規制することにより、ペリクル２をペリクル収納容器１内に安定して収納することが出来る。

このように、固定具となるネジ８は、ペリクル２の位置ズレ防止のためのストッパとしても利用出来る。

以下に具体的な実施例１〜６及び比較例１を示すと共に、それらの評価について詳細に説明する。

〔実施例１〕
ペリクルの載置面３ａの裏面側に構造体７を固定する固定具として、構造体７にネジ孔７ａの代わりに設けた穴部に市販の開脚ピンを挿入して開脚させて係止した。ペリクル２のサイズは外径寸法が幅４７４mm×７８２mm、高さ５．９mmとし、ペリクル収納容器１は３mm厚のＡＢＳ樹脂板の真空成型品で外径寸法９１０mm×６００mmとし、ペリクルの載置面３ａのサイズは外径寸法５３０mm×８４０mm、内径寸法３５０mm×６７０mm（環状隆起部６の一辺の上面寸法９０mm×８５mm）とし、ペリクルの載置面３ａの高さはペリクル載置台３の周囲面３ｄレベルから２０mmの高さとし、構造体７はアルミニウム板を外径寸法５２０mm×８３０mm、内径寸法３６０mm×６８０mm（環状構造体７の一辺の上面寸法８０mm×７５mm）、高さ１５mmに削り出したものとし、構造体７の固定具となる開脚ピンの固定位置はペリクルの載置面３ａの外径寸法から１０mm内側で且つ構造体７の外径寸法から５mm内側でペリクル載置台３の角４隅と各辺２箇所（均等距離）の計１２箇所とし、ペリクルの載置面３ａ上にはペリクル２のストッパ部材として真空成型によりペリクルの載置面３ａ上の外径寸法から５mm内側に高さ３mm、幅１０mm、長さ５０mmの凸部を各辺の中央に１箇所ずつ計４箇所形成した。また、評価するペリクル収納容器１は単独で平坦面に置いた。

〔実施例２〕
ペリクルの載置面３ａの裏面側に構造体７を固定する固定具を開脚ピンの代わりに構造体７に設けたネジ孔７ａにＭ４×１６（軸部外径直径４mm×軸部長さ１６mm）のネジ８を螺合定着し、ワッシャ９としてポリアミド製ワッシャを使用した他は、前記実施例１と同様に構成した。

〔実施例３〕
構造体７の高さ寸法を２５mmに変更した他は、前記実施例１と同様に構成した。

〔実施例４〕
ペリクルの載置面３ａ上にペリクル２のストッパ部材として形成した凸部を省略した他は、前記実施例１と同様に構成した。

〔実施例５〕
蓋４の形状として、図１に示すように、蓋４の上面の少なくとも４隅部が上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂとのみ接触するような形状のペリクル収納容器１を作成し、評価するペリクル収納容器１は図２に示すように重ね置きした。その他は、前記実施例１と同様に構成した。

〔実施例６〕
前記実施例２と同様に、固定具を開脚ピンの代わりに構造体７に設けたネジ孔７ａにＭ４×１６（軸部外径直径４mm×軸部長さ１６mm）のネジ８を螺合定着し、ワッシャ９としてポリアミド製ワッシャを使用し、前記実施例３と同様に、構造体７の高さ寸法を２５mmとし、前記実施例４と同様に、ペリクルの載置面３ａ上にペリクル２のストッパ部材として形成した凸部を省略し、前記実施例５と同様に、蓋４の形状として、図１に示すように、蓋４の上面の少なくとも４隅部が上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂとのみ接触するような形状のペリクル収納容器１を作成し、評価するペリクル収納容器１は図２に示すように重ね置きした。その他は、前記実施例１と同様に構成した。

〔比較例１〕
構造体７の代わりに５mm厚のアルミニウム板をペリクルの載置面３ａの裏面側にアクリル系接着剤による接着だけで固定し、ペリクルの載置面３ａ上にペリクル２のストッパ部材として形成した凸部を省略した他は、前記実施例１と同様に構成した。

以下の表１に上記実施例１〜６と、比較例１についての評価結果を示す。以下の表１に示すペリクル収納容器１の捩れ評価では、ペリクル収納容器１の両端を持って運ぶ際にペリクル収納容器１に捩れが生じない場合を「○」、ペリクル収納容器１に多少の捩れが生じるもののペリクル膜２ｃがペリクル収納容器１に接触しない場合を「△」で示す。

また、ペリクルの載置面３ａの平坦性評価では、ペリクル２のペリクルフレーム２ａの上面に設けられたペリクル膜２ｃと、下面に設けられたマスク用粘着材２ｂと離型材２ｄを除去した状態で該ペリクルフレーム２ａの下面をペリクルの載置面３ａ上に直接載置し、図４（ｂ），（ｃ）に示すように、ペリクルフレーム２ａの下面とペリクルの載置面３ａとの間に形成される隙間Ｗに隙間ゲージを挿入して該隙間Ｗを測定した値を示す。

本発明の活用例として、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納して保管、搬送するためのペリクル収納容器に適用出来、特に液晶用大型ペリクルの収納容器に好適である。

本発明に係るペリクル収納容器の構成を示す斜視説明図である。 本発明に係るペリクル収納容器を積層した様子を示す断面説明図である。 固定具の各種の固定構造を説明する図である。 ペリクル載置台のペリクルの載置面とペリクルフレームとの隙間についてたわみの場合と凹凸の場合について説明する図である。 ペリクルを把持するためのホルダの構成を示す斜視図である。 固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制する様子を示す断面説明図である。 固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制する様子を示す断面説明図である。 容器全体が平坦な構造で形成された他のペリクル収納容器の構成を示す断面説明図である。 各種の構造体の構成を示す斜視説明図である。 他の各種の構造体の構成を示す図である。 他の各種の構造体の構成を示す図である。

符号の説明

１…ペリクル収納容器
２…ペリクル
２ａ…ペリクルフレーム
2a1…ガイド挿入溝
２ｂ…マスク用粘着材
２ｃ…ペリクル膜
２ｄ…離型材
３…ペリクル載置台
３ａ…ペリクルの載置面
３ｂ…貫通穴
３ｃ…内側面
３ｄ…周囲面
４…蓋
６…隆起部
７…構造体
７ａ…ネジ孔
７ｂ…底面
７ｃ…貫通穴
８…ネジ
８ａ…頭部
９…ワッシャ
10…コーキング材
11…シールテープ
12…キャップ部材
13…ブロック体
13ａ…ネジ孔
14…ホルダ

Claims (10)

1. ペリクルを収納するための、少なくとも蓋と、該ペリクルを載置するペリクル載置台とから構成されるペリクル収納容器において、
   前記ペリクル載置台のペリクルの載置面とは反対側の面に構造体を配置し、且つ、該構造体が前記ペリクル載置台に設けられた貫通穴に挿通された固定具により該ペリクル載置台に固定されていることを特徴とするペリクル収納容器。
2. 前記構造体は、前記ペリクル載置台を介して前記ペリクルの載置面に対向するように配置したことを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
3. 前記固定具がネジであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル収納容器。
4. 前記構造体の底面と、前記ペリクル載置台の最低面とが面一、或いは、該構造体の底面が該ペリクル載置台の最低面よりも下方に突出していることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のペリクル収納容器。
5. 前記ペリクル載置台のペリクルの載置面が容器全体に亘って同一平面上で平坦に形成されたことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のペリクル収納容器。
6. 前記ペリクルの載置面にペリクルフレームを直に載置した時の該載置面とペリクルフレームとの隙間が３００μm以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のペリクル収納容器。
7. 前記固定具は、前記ペリクル載置台のペリクルの載置面よりも上方に突出する複数の固定具により構成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のペリクル収納容器。
8. 請求項１〜７の何れか１項に記載のペリクル収納容器からペリクルを移動する方法であって、
   前記固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制することを特徴とするペリクルの移動方法。
9. 請求項１〜７の何れか１項に記載のペリクル収納容器にペリクルを収納する方法であって、
   前記固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制することを特徴とするペリクルの収納方法。
10. 請求項１〜７の何れか１項に記載のペリクル収納容器を複数積み重ねる積層方法であって、
    下のペリクル収納容器の蓋に、上に積み重ねられるペリクル収納容器の前記構造体が接するように積み重ねることを特徴とするペリクル収納容器の積層方法。

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