JP2007333535A - ピーク位置変動量測定装置、その測定方法及びプログラム - Google Patents
ピーク位置変動量測定装置、その測定方法及びプログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】平行移動部104は参照スペクトルS1のデータを任意のピクセル分だけ隣のピクセルに移動させた参照スペクトルS1′を生成る(S202)。代表位置演算部103Aは平行移動された参照スペクトルS1′のピークの代表位置を算出する(S203)。配列生成部105は、参照スペクトルS1'のピークの代表位置とそれに対応する平行移動量との対からなる配列Aを生成する(S205)。代表位置演算部103Bは検査スペクトルS2のピークの代表位置を算出する(S208)。変換部106は記憶装置108に格納されている配列Aから検査スペクトルS2のピークの代表位置に対応する平行移動量を算出する(S209)。所定の検査スペクトルS2の平行移動量を基準として各検査スペクトルS2の平行移動量の差分をとり、時系列に並べてPC等に出力する(S210)。
【選択図】図2
Description
(実施形態1)
図1に、本発明の一実施形態に係るピーク位置変動量測定装置の構成を示す。ピーク位置変動量測定装置100は、シリアルインターフェースで接続されたスペクトル入力装置101と処理装置102から成る。
Claims (7)
- 所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するスペクトル生成手段と、
前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを記録しておく第1の記憶手段と、
前記第1の記憶手段から前記第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動手段と、
前記第1の離散的系列データ及び平行移動された前記第2の離散的系列データのピークの代表位置を求める代表位置演算手段と、
前記第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列生成手段と、
前記配列を記録しておく第2の記憶手段と、
前記第2の記憶手段から前記配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から離散間隔よりも狭い間隔で前記第1の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換する変換手段と、
前記第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での前記平行移動量の差分をとって出力する差分演算手段と
を備えたことを特徴とするピーク位置変動量測定装置。 - 前記代表位置演算手段が、前記第1及び第2の離散的系列データにフーリエ変換及びウエーブレット変換のいずれかを行い、最長周期である周波数成分の位相を計算することにより前記第1及び第2の離散的系列データを表す関数を解析的に求めることを特徴とする請求項1に記載のピーク位置変動量測定装置。
- 前記スペクトルは、1次元に配列されたピクセル毎の入射角度に対する反射強度を表すことを特徴とする請求項1に記載のピーク位置変動量測定装置。
- 前記スペクトルは、表面プラズモン共鳴効果による光吸収のピークが現れるスペクトルであることを特徴とする請求項3に記載のピーク位置変動量測定装置。
- 所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するステップと、
前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを第1の記憶手段に記録するステップと、
前記第1の記憶手段から前記第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動させるステップと、
前記第1の離散的系列データ及び平行移動された前記第2の離散的系列データのピークの代表位置を求めるステップと、
前記第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列を生成するステップと、
前記配列を第2の記録手段に記憶するステップと、
前記第2の記憶手段から前記配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から離散間隔よりも狭い間隔で前記第2の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換するステップと、
前記第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での前記平行移動量の差分をとって出力するステップと
を有することを特徴とするピーク位置変動量測定方法。 - 前記代表位置を演算するステップが、前記第1及び第2の離散的系列データにフーリエ変換及びウエーブレット変換のいずれかを行い、最長周期である周波数成分の位相を計算することにより前記第1及び第2の離散的系列データを表す関数を解析的に求めるステップであることを特徴とする請求項5に記載のピーク位置変動量測定方法。
- 所定の光学系において第1のサンプルを所定の時間間隔で測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第1の離散的系列データを時系列に生成するステップと、
前記光学系において第2のサンプルを測定して得られたスペクトルを表す1次元のピクセル列データである第2の離散的系列データを第1の記憶手段に記録するステップと、
前記第1の記憶手段から前記第2の離散的系列データを読み出して所定の平行移動量だけ列指標方向に平行移動させる平行移動させるステップと、
前記第1の離散的系列データ及び平行移動された前記第2の離散的系列データのピークの代表位置を求めるステップと、
前記第2の離散的系列データの平行移動量と代表位置との対からなる配列を生成する配列を生成するステップと、
前記配列を第2の記録手段に記憶するステップと、
前記第2の記憶手段から前記配列を読み出して平行移動量と代表位置との関係式を求め、該関係式から離散間隔よりも狭い間隔で前記第2の離散的系列データの代表位置を対応する平行移動量に変換するステップと、
前記第1の離散的系列データの平行移動量を時系列に並べ、特定の期間での前記平行移動量の差分をとって出力するステップと
を実行させることを特徴とするピーク位置変動量測定プログラム。
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