JP2006300674A - 分光光度計 - Google Patents
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Abstract
【課題】
小型でありながら高感度、高分解能且つ高速応答を実現し、さらに測定領域内の試料の空間分布を連続して測定できる全く新しい分光光度計を提供することである。
【解決手段】
測定領域MRに赤外線Lを照射することにより、当該測定領域MRを移動する試料Sに含まれる物質の吸収スペクトルを解析し、前記試料Sを分析する分光光度計1であって、前記測定領域MRの一方から当該測定領域MRに赤外線又は紫外線Lを照射する光源2と、当該光源2から照射された赤外線又は紫外線Lを前記測定領域MRの他方で検出する検出器3とからなる一対の測定要素SEを複数備えていることを特徴とする。
【選択図】図2
小型でありながら高感度、高分解能且つ高速応答を実現し、さらに測定領域内の試料の空間分布を連続して測定できる全く新しい分光光度計を提供することである。
【解決手段】
測定領域MRに赤外線Lを照射することにより、当該測定領域MRを移動する試料Sに含まれる物質の吸収スペクトルを解析し、前記試料Sを分析する分光光度計1であって、前記測定領域MRの一方から当該測定領域MRに赤外線又は紫外線Lを照射する光源2と、当該光源2から照射された赤外線又は紫外線Lを前記測定領域MRの他方で検出する検出器3とからなる一対の測定要素SEを複数備えていることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
この発明は、測定対象である試料に含まれる物質の吸収スペクトルを得ることで、試料を定性分析及び定量分析する分光光度計に関するものである。
この種の分光光度計、特に赤外分光光度計としては、分散型赤外分光光度計(分散型IR)、フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)、非分散型赤外分光光度計(NDIR)などがある。
ところが、これらの赤外分光光度計には以下の問題がある。
フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)においては、特許文献1に示すように、干渉計を光源と測定対象セルとの間に設ける必要があり、光源を密に配置するとなると干渉計が邪魔になり、そのように配置することが困難である。つまり、装置の構造上、それら光源を空間的に配置して測定領域内の試料の空間分布を測定するという発想には至らない。
また、分散型赤外分光光度計(分散型IR)においては、特許文献2に示すように、測定領域を透過した光を回折格子で分散させる必要があり、やはり密に配置することが困難であるため、分散型IRを用いて空間分布を測るという発想には至っていない。
つまり、フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)や分散型赤外分光光度計(分散型IR)においては、光源と検出器の他に、光源又は検出器を空間的に密に配置する妨げとなる外部機構(干渉計、回折格子)が必要であり、これらの赤外分光光度計を用いて測定領域内の試料の空間分布を測定することは難しい。
一方、既知試料を測定する非分散型赤外分光法(NDIR)は、試料の赤外吸収波長の選択性を多層膜のバンドパスフィルタを用いて行っているため、装置の小型化を図ることはできるが、半値幅の狭い高透過率のものを実現することが難しいという問題があり、吸収ピークが隣接する場合の他成分の吸収による干渉影響を排除することが難しい。さらに、バンドパスフィルタを高温で使用する場合には、周囲温度の影響で多層膜の膜厚が変化してしまい、中心波長がシフトしてしまうという問題もある。
さらに、これらの赤外分光光度計は、たとえ空間的に配置できたとしても、応答速度が遅いため、例えばフローセルなどの測定領域内を移動する試料の移動速度が一定以上大きい場合には、試料の空間分布を連続的に測定することができないという問題がある。
特開2003−014543
特開平06−180254
そこで本発明は、上記問題点を全て一挙に解決するためになされたものであり、小型化かつ高速応答を実現し、さらに測定領域内の試料の空間分布を連続して測定できる全く新しい分光光度計を提供することをその所期課題とするものである。
すなわち本発明に係る分光光度計は、測定領域に赤外線又は紫外線を照射することにより、当該測定領域内の試料に含まれる物質の吸収スペクトルを解析し、前記試料を分析する分光光度計であって、前記測定領域の一方から当該測定領域に赤外線又は紫外線を照射する光源と、当該光源から照射された赤外線又は紫外線を前記測定領域の他方で検出する検出器とからなる一対の測定要素を複数備えていることを特徴とする。
このようなものであれば、小型化かつ高速応答を実現し、測定領域内の試料の空間分布を連続して測定することができる。さらに、測定領域内の試料の時間的な変動を測定することもできる。
測定領域内を移動する試料の空間分布及び時間的変動を一層好適に測定するためには、前記測定要素が、前記試料の移動方向に沿って配置されていることが特に望ましい。
また、試料に含まれている特定の物質のみの吸収量を主として検出し、高精度測定を実現するためには、前記複数の光源が、同一波長の赤外線又は紫外線を照射するものであることが望ましい。
さらに、試料に含まれている特定の物質であって、複数波長に吸収スペクトルを持つ試料を測定する場合には、前記複数の光源が、複数の波長の赤外線又は紫外線を照射することにより単一の成分を測定するものであることが好ましい。
このようなものであれば、濃度によっては、ある波長の吸収スペクトルで例えば飽和などを生じているとしても、その他の飽和を生じていない波長の吸収スペクトルを利用することができるので、広いレンジで精度の良い測定が容易に可能となる。
その上、試料に含まれている種々の物質の吸収スペクトルを同時に検出するためには、前記測定要素を、さらに前記移動方向と異なる方向に沿って配置するとともに、前記移動方向と異なる方向に沿って配置した前記光源の照射する赤外線又は紫外線の波長を互いに異ならせていることが望ましい。特に、前記測定要素を、さらに前記移動方向と略直交する方向に沿って配置していることが好ましい。
加えて、具体的な実施の態様としては、前記光源が、半導体レーザであることが考えられる。
このように本発明によれば、小型化且つ高速応答を実現し、さらに測定領域内の試料の空間分布を連続して測定できる全く新しい分光光度計を提供することができる。さらに、測定領域内の試料の時間的な変動を測定することもできる。
以下に本発明の分光光度計を赤外分光光度計に適用した場合の実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態に係る赤外分光光度計1は、図1に示すように、測定領域MRに赤外線Lを照射することにより、当該測定領域MRを移動する試料Sに含まれる物質の吸収スペクトルを解析し、試料Sを分析するものであって、測定領域MRの一方から当該測定領域MRに赤外線Lを照射する光源2と、当該光源2から照射された赤外線Lを前記測定領域MRの他方で検出する検出器3とからなる一対の測定要素SEを複数備え、さらに、検出器3が検出した赤外線Lの強度信号を受信して、所定の演算処理を行う情報処理装置4とからなる。
本実施形態では、試料Sとしては例えば自動車などから排出された排気ガス等(以下、試料ガスSという。)を想定し、その試料ガスS中に含まれる二酸化炭素(CO2)、一酸化炭素(CO)、水(H2O)の濃度を測定することを目的としているが、試料Sが液体或いは固体であってもかまわない。
各部を説明する。
光源2は、半導体レーザを用いるようにしており、図2に示すように光源保持部材5によって、測定領域MRである透明フローセル6の一方から当該透明フローセル6内に赤外線Lを放射できるように一体に保持されている。そして、後述する検出器3と一対の測定要素SEを構成している。この半導体レーザは、室温において、発振波長が4〜20μmのレーザ光を数百mWの高出力で発振できる量子カスケードレーザを用いている。量子カスケードレーザは、半導体の膜厚を制御して作製することにより任意の波長のレーザ光を発振できるものである。
本実施形態では、光源2として、二酸化炭素(CO2)が吸収しやすい波長の赤外線Lを照射するCO2用光源と、一酸化炭素(CO)が吸収しやすい波長の赤外線Lを照射するCO用光源と、水(H2O)が吸収しやすい波長の赤外線Lを照射するH2O用光源と、を用いている。
検出器3は、光源2と一対の測定要素SEを形成するもので、測定領域MRである透明フローセル6の他方で、各光源2から照射された赤外線Lの強度を検出して、その強度信号を情報処理装置4に出力する。この検出器3は、1つの光源2に対して1つの検出器3が対応するように設置されていて、検出器保持部材7によって一体に保持されている。
しかして、複数の測定要素SEは、試料ガスSの移動方向すなわち本実施形態では透明フローセル6の延伸方向に沿って一定間隔で配置されている。具体的には、図3に示すように、試料ガスSの移動方向に沿って測定要素SEが5つ配置されており、試料ガスSの移動方向と略直交する方向に沿って3つ測定要素SEが配置されている。
光源2のみに着目すると、試料ガスSの移動方向に沿って、CO2用光源、CO用光源、H2O用光源のそれぞれが、5個ずつ配置されている。そして、CO2用光源、CO用光源、H2O用光源が試料ガスSの移動方向と略直交する方向に沿って配置されている。図3においては、各種類の光源2を一列に配置しているが、用途に応じて2列以上ずつ配置することも考えられる。
情報処理装置4は、各検出器3からの強度信号に基づいて、赤外線Lが試料ガスSを通過するときに吸収されるエネルギを各波数(波長)について観測し、その吸収スペクトルの位置により試料ガスSに含まれる物質を定性し、その強度から定量を行うものである。その機器構成は、図4に示すように、CPU401、メモリ402、入出力インターフェイス403等を備えた汎用乃至専用のコンピュータであり、前記メモリ402の所定領域に記憶させた所定プログラムにしたがってCPU401、周辺機器等を協働させることにより、図5に示すように、受付部41、吸収スペクトル算出部42、濃度算出部43等としての機能を発揮する。
受付部41は、各検出器3からの強度信号をそれぞれ受信して、それら強度信号を吸収スペクトル算出部42に出力するものである。
吸収スペクトル算出部42は、各検出器3からの各強度信号に基づいて、吸収スペクトルを算出し、その吸収スペクトルデータを濃度算出部43に出力するとともに、例えばディスプレイ等の表示手段(図示しない)に出力するものである。
濃度算出部43は、吸収スペクトル算出部42からの吸収スペクトルデータに基づいて、測定領域MR内を移動する試料ガスSに含まれる物質の空間分布及びその物質の濃度を算出するものである。さらに、その濃度算出データを例えばディスプレイ等の表示手段(図示しない)に連続的に出力するものである。
このように本実施形態によれば、小型でありながら高感度、高分解能且つ高速応答を実現することができ、さらに測定領域MR内の試料ガスSに含まれる物質の空間分布を連続して測定することができる。これにより、試料ガスSに含まれる物質の濃度を空間的、時間的にトレースすることができる。
さらに、各物質の吸収スペクトルの干渉など他成分ガスによる相互影響評価や、セル6の大きさ、形状等、光学系、測定条件(温度/湿度)などの評価をすることも可能となる。その上、測定対象である試料ガスSをトレースガスとして用いることにより、流速分布を測定することもできる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、移動方向に沿って各物質用の光源を配置するようにしたがこれに限られることはなく、例えば図6に示すように、CO2用光源、CO用光源、H2O用光源をそれぞれ移動方向と略直交する方向に配置し(図6では3個)、各物質用光源を移動方向に順番に配置するようにしても良い。この場合には、移動方向と略直交する方向に配置された各物質用光源の波長をそれぞれ互いに異なるようにしている。
このようなものであれば、試料に含まれる物質の空間分布を連続して測定できるだけでなく、複数波長で1成分を測定するようにしているので、ある波長で他成分と吸収スペクトルが干渉していたとしても、その他の波長の干渉していない吸収スペクトルを用いることができ、高精度に測定することもできる。
また、複数波長に吸収スペクトルを持つ成分を測定する場合、濃度によっては、ある波長の吸収スペクトルで例えば飽和などを生じているとしても、その他の飽和を生じていない波長の吸収スペクトルを利用して測定を行うことができるので、広いレンジで精度の良い測定が容易に可能となる。
前記実施形態では、本発明を赤外分光光度計に適用しているがこれに限られることはなく、紫外線を照射する光源を用い、試料中の物質の紫外線吸収スペクトルを解析して、試料を分析するようにしても良い。
また、前記実施形態では、光源を光源保持部材により、検出器を検出器保持部材によりそれぞれ一体に保持するようにしているが、光源及び検出器をそれぞれ別個に保持するようにしても良い。
さらに、前記実施形態では、光源からの赤外線を測定領域に直接照射するように構成しているが、空間分布の測定に影響を与えない程度において、レンズなどの集光光学系を含めるようにしても良い。
その上、その集光光学系にプリズムなどを用いてATR測定を行うようにしても良い。そしてそのプリズム底面に金属膜を堆積し、表面プラズモン共鳴を利用するようにしても良い。
あるいは、CVD成膜装置に用いることにより、成膜室内に供給されるソースガスの濃度を測定することにより、成膜処理前又は成膜時のソースガスの濃度を制御することも考えられる。
このようなものであれば、高品質な膜を生成することができる。
上記に加えて、1素子で多波長発振可能な複数の光源とそれぞれの光源に対応した検出器(例えばMCTアレイセンサ)を用いる構成として、被測定物の2次元イメージング情報を得るようにすることも考えられる。
前記実施形態では、透明フローセルを用いて、その透明フローセル内を通過する試料を分析するようにしているが、固定セルを用いて固定セル内の試料を分析するようにしても良い。
その他、前述した各実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてもよいし、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
1・・・分光光度計(赤外分光光度計)
S・・・試料(試料ガス)
2・・・光源
3・・・検出器
SE・・・測定要素
MR・・・測定領域
L・・・赤外線
4・・・情報処理装置
S・・・試料(試料ガス)
2・・・光源
3・・・検出器
SE・・・測定要素
MR・・・測定領域
L・・・赤外線
4・・・情報処理装置
Claims (7)
- 測定領域に赤外線又は紫外線を照射することにより、当該測定領域内の試料に含まれる物質の吸収スペクトルを解析し、前記試料を分析する分光光度計であって、
前記測定領域の一方から当該測定領域に赤外線又は紫外線を照射する光源と、当該光源から照射された赤外線又は紫外線を前記測定領域の他方で検出する検出器とからなる一対の測定要素を複数備えていることを特徴とする分光光度計。 - 前記測定要素が、前記試料の移動方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項1記載の分光光度計。
- 前記複数の光源が、同一波長の赤外線又は紫外線を照射するものであることを特徴とする請求項1又は2記載の分光光度計。
- 前記複数の光源が、複数の波長の赤外線又は紫外線を照射することにより単一の成分を測定するものである請求項1又は2記載の分光光度計。
- 前記測定要素を、さらに前記移動方向と異なる方向に沿って配置するとともに、
前記移動方向と異なる方向に沿って配置した前記光源の照射する赤外線又は紫外線の波長を互いに異ならせていることを特徴とする請求項3又は4記載の分光光度計。 - 前記測定要素を、さらに前記移動方向と略直交する方向に沿って配置するとともに、
前記移動方向と略直交する方向に沿って配置した前記光源の照射する赤外線又は紫外線の波長を互いに異ならせていることを特徴とする請求項3又は4記載の分光光度計。 - 前記光源が、半導体レーザであることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の分光光度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005121503A JP2006300674A (ja) | 2005-04-19 | 2005-04-19 | 分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2005121503A JP2006300674A (ja) | 2005-04-19 | 2005-04-19 | 分光光度計 |
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008232848A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Toyota Motor Corp | 排ガス分析装置 |
JP2011512532A (ja) * | 2008-02-15 | 2011-04-21 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 赤外分光計 |
JP2017220553A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 株式会社島津製作所 | レーザダイオードモジュール |
WO2019008925A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | Phcホールディングス株式会社 | ガスセンサ及び恒温装置 |
KR20230055181A (ko) * | 2021-10-18 | 2023-04-25 | 주식회사 그린시티솔루션 | 총유기탄소 분석시스템용 이산화탄소 검출장치와 이것이 구비된 총유기탄소 분석시스템 그리고 다공성 지지체의 제조방법 |
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2005
- 2005-04-19 JP JP2005121503A patent/JP2006300674A/ja active Pending
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KR20230055181A (ko) * | 2021-10-18 | 2023-04-25 | 주식회사 그린시티솔루션 | 총유기탄소 분석시스템용 이산화탄소 검출장치와 이것이 구비된 총유기탄소 분석시스템 그리고 다공성 지지체의 제조방법 |
KR102564937B1 (ko) * | 2021-10-18 | 2023-08-08 | 주식회사 그린시티솔루션 | 총유기탄소 분석시스템용 이산화탄소 검출장치와 이것이 구비된 총유기탄소 분석시스템 그리고 다공성 지지체의 제조방법 |
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