JP2007329252A - 気相成長方法および気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】気相成長装置の負担を軽減して、メンテナンスやパーツの交換頻度を抑えつつ、また、材料消費の無駄を少なくすることで、材料効率を高めながら、原子層成長を行なうことができる、気相成長方法および気相成長装置を提供する。
【解決手段】反応炉1内に保持された基板4に、複数種類の材料ガスを交互に供給し、基板4上に薄膜を形成する気相成長方法において、材料ガスを供給して気相成長させる各々の工程においては、その流量が曲波状に増減するように上記材料ガスを供給する。
【選択図】図1
【解決手段】反応炉1内に保持された基板4に、複数種類の材料ガスを交互に供給し、基板4上に薄膜を形成する気相成長方法において、材料ガスを供給して気相成長させる各々の工程においては、その流量が曲波状に増減するように上記材料ガスを供給する。
【選択図】図1
Description
この発明は、気相成長方法および気相成長装置に関し、より特定的には、二種類以上の材料ガスを交互に供給する気相成長方法および気相成長装置に関する。
LEDや半導体レーザーの製造工程において、トリメチルガリウム(TMG)やトリメチルアルミニウム(TMA)等の有機金属ガスと、アンモニア(NH3)、ホスフィン(PH3)、アルシン(AsH3)等の水素化合物を材料として化合物半導体薄膜を形成するMOCVD法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属化学気相蒸着法)が用いられている。
MOCVD法は、材料ガスを反応炉内に供給して加熱し、基板上で気相化学反応させることにより基板に薄膜を形成するものである。MOCVD法を用いた半導体製造工程においては、成膜品質の向上、運用コストの低減、歩留まりと生産処理能力の最大化が強く求められている。
図6は、従来の一般的なMOCVD装置の概略図である。図6に示すように、従来のMOCVD装置においては、反応炉21を貫通して、ガス供給部22とガス排気部23が設けられている。反応炉21の内部には、基板24を載置するサセプタ25と、該サセプタ25の下部に、基板24を加熱するためのヒータ26が設置されている。
また、ガス供給部22に接続される配管には、その最前段に材料ガス源27が接続されている。材料ガス源27は、気相成長に必要な複数のガス種である材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCのそれぞれのソースが設置されたユニットとなっている。
材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCは、例えば、TMAやTMG等の有機金属ガスやアンモニアや、ホスフィン、アルシン等の水素化合物等のそれぞれ属性の異なるガスである。また、材料ガス源27とガス供給部22の中間部には、ガスの流量を調整するための流量調整手段28が設置されている。その下流側には、供給するガスを反応炉21側、またはパージライン30側へ切り替える切り替えバルブ29が設置されている。
流量調整手段28は、複数のマスフローコントローラからなり、マスフローコントローラは使用する材料ガスの供給量を、プロセスの流量設定条件に応じて、それぞれ一定の流量値に設定するものである。流量調整手段28として、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCのそれぞれに対して、マスフローコントローラMa,Mb,Mcが設置されている。
また、切り替えバルブ29は、使用する複数の材料ガスを、個別に反応炉21側とパージライン30側とに切り替えるものである。切り替えバルブ29は、電磁バルブVa〜Vfを備えている。この電磁バルブVa〜Vfは、反応炉21側の供給配管を開ける電磁バルブVa〜Vcと、パージライン30側の導入配管を開ける電磁バルブVd〜Vfとの組合せとなるよう構成されている。
材料ガスAの切り替え制御は電磁バルブVaと電磁バルブVdとの組合せで行なわれ、材料ガスBの切り替え制御は電磁バルブVbと電磁バルブVeとの組合せで行なわれ、材料ガスCの切り替え制御は電磁バルブVcと電磁バルブVfとの組合せで行なわれる。たとえば、材料ガスAおよび材料ガスCを供給する場合には、電磁バルブVa,Vcを開き、電磁バルブVd,Vfを閉じる。同時に、電磁バルブVbを閉じ、電磁バルブVeを開く。このように動作させることで、材料ガスを反応炉21側へ供給するか、パージライン30側へ排出するかが選択される。
また、ガス排気部23に接続される配管は、パージライン30に接続され、さらに、その最終段には、排ガス処理装置31が設置されている。
基板成膜時においては、材料ガス源27で発生した材料ガスが、流量調整手段28、および切り替えバルブ29を介して、ガス供給部22から反応炉21へ供給される。供給された材料ガスは、サセプタ25の下部に設けられたヒータ26により、サセプタ25および基板24と共に加熱され、基板24の表面上での気相反応が促進される。これにより、基板24の表面上に薄膜が形成される。
そして、基板24を通過した材料ガスは、ガス排気部23より、反応炉21の外部に排出された後、パージライン30へ流れる。一方、切り替えバルブ29によって、パージライン30側へ切り替えられた材料ガスも、同様に、パージライン30を通り、それぞれが合流し、最終的に排ガス処理装置31で除害処理される。
このような気相成長装置を用いた気相成長工程においては、原料ガスの切り替え前後でも、材料ガスを安定して供給するため、反応炉21へ供給する必要がない材料ガスも次の供給のタイミングで安定して供給できるように、その材料ガスの大元の流れを止めるという行為は行なわず、一定の流量を維持させていた。反応炉21へ供給しない材料ガスは、パージライン30側に切り替え、廃棄していた。
このため、材料ガス源27で使用される材料が無駄に消費され、気相成長工程におけるコストアップの要因となっていた。また、これが繰り返されることで、材料ガスの交換サイクルが短くなり、材料の交換作業回数が増えて、生産性が著しく低下するという課題があった。
このような課題に対処した気相成長装置が、特許文献1(特開平4−29313号公報)に開示されている。この気相成長装置においては、1台の気相成長装置において、反応管を複数個設けている。気相成長工程の途中に一時的に不要となった材料ガスは、3方バルブ等の切り替えによって、タイミングをずらしながら、順次、他の反応管に供給している。これにより、材料ガスの供給の安定性を維持しつつ、材料の使用効率を向上させることを意図している。
ところで、MOCVD法においては、複数種類の有機金属材料や、ドーピングに使用する不純物材料などの材料ガスを、反応炉21へ同時に連続的に供給するため、反応炉21内では複数種類の材料ガスが混在した状態で気相成長が行われることになる。
そのため、成膜後の基板上の結晶内部においては、複数種類の不純物が無秩序に取込まれ、結晶性が損なわれたり、pnドープのドーピング量が低下することで、活性化率が減少し、半導体の性能が低下するという課題がある。それを解決する手段のひとつとして、複数種類の材料ガスの供給を、交互に切り替えを行いながら、原子層レベルで成膜を制御する原子層成長法(ALE:Atomic Layer Epitaxy)という有効な手法の研究が進められている。
原子層成長法における気相成長工程では、複数の材料ガスを、単独で交互に反応炉21に供給することで、気相成長のセルフリミットがかかり、純粋な原子層の膜が形成される。このサイクルを繰り返してゆくことによって、基板上により高品質な成膜が行われる。
もともと、この概念は1974年に提案されている。手法としてIII-V族化合物半導体に応用され始めた1985年以降、現在に至るまで、急速に、原子レベルで制御できる究極のエピタキシャル成長法として、活発な研究がなされてきている。
本方法は単に超薄膜結晶を成長できる方法というだけでなく、結晶成長機構そのものの解明の有力な手段となりつつある。このような原子層成長法に関連する気相成長装置を開示したものとして、特許文献2(特開2002−75879号公報)がある。
この気相成長装置においては、気相成長工程における不純物原料のドーピング時に複数種類の結晶原料と不純物原料とを、交互に切り替えている。各原料の供給においては、それぞれを近接したタイミングで、パルス状に供給することで、原子層成長を行っている。
特開平4−29313号公報
特開2002−75879号公報
しかしながら、特許文献1に開示されている気相成長装置においては、本来、パージライン30に一時的に捨てようとするガスを、そのまま、他の反応管に供給し、利用するだけものである。そのため、少なくとも2系統以上の反応管において、複数のプロセスをあらかじめ切り替えタイミングを考慮したうえ、成長開始のタイミングをずらしてレシピを実行しなければならない。
また、それぞれの反応管で実施する成長レシピにおいて、同一条件とするか、少なくとも、材料ガスの切り替えタイミングおよび使用するそれぞれの材料ガスの流量が同じ条件でなければ整合が取れない。たとえ設定条件が同一であったとしても、現実の気相成長装置の制御においては、複数の反応管それぞれの内部の固有の環境状態(圧力、温度、流速分布等)に差がある。そのため、複数の反応管で同一の成膜を行なうことは困難であった。
このように材料ガスを有効利用するための条件が限定されるため、生産工程で使用するためのレシピの柔軟性や、信頼性に欠けるという問題があった。
また、特許文献2に開示されている気相成長装置においては、複数種類の材料ガスの切り替えを、パルス状に制御することで原子層成長方法を行なうものである。
これを図6を用いて説明すると、従来の気相成長装置における原子層成長においては、使用する複数種類の材料ガスのうち、まず1つの材料ガスがあるタイミングで切り替えバルブ29により選択され、その選択された材料ガスが、単独で反応炉21に供給される。このステップを、他の使用する材料ガスに対しても同様に行なうことで、原子レイヤーが1層形成される。
このサイクルを繰り返すことで、基板上に原子層レベルで結晶性の揃った薄膜が形成されていくことになる。成膜時においては、図6のように、ガス供給部22に配管接続された材料ガス源27より、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCのそれぞれが、ある定められたタイミングにおいて、切り替えバルブ29の開閉動作によって選択され、反応炉21内へ供給される。
材料ガスの供給をパルス状に制御するためには、材料ガスそのものの発生を停止することは現実的でない。したがって、特許文献2には記載されていないが、図6に示すように、それぞれの材料ガスの配管には、材料ガスを反応炉21側に供給する電磁バルブVa〜Vcと、パージライン30側に導入する電磁バルブVd〜Vfとを対となるように設置し、材料ガスの源の流量は、一定で固定したまま、対になった切り替えバルブの瞬間的な切替えによって、材料ガスの供給がパルス状にON、OFFするように制御する必要がある。
図7は、特許文献2の気相成長装置における原子層成長成膜時において、使用する複数の材料ガスの供給量変化の様子を示す概略図である。図7の横軸は、ガスを供給する時間あるいはタイミングを表し、縦軸は、材料ガスの供給量を示している。図7は、それぞれの材料ガスの供給が、一定のタイミングでパルス状に制御される様子を示す。また、図中の区間Aは、特許文献2の気相成長装置における原子層成長の1サイクルの時間を示す。
また、図8は、図7における区間AをT0〜T10にさらに細分し、各材料ガスの反応炉への供給のタイミングと、各電磁バルブVa〜Vfの開閉状態を示す図である。この区間Aに行なう動作においては、まず材料ガスAが、T1〜T3のタイミングにおいて、最初に反応炉21に供給され、同時に、材料ガスBおよび材料ガスCは、パージライン30に導入されるよう、それぞれのバルブが瞬時に切り替えられる。この切り替えタイミングにおけるバルブの動作状態は、電磁バルブVaが開、電磁バルブVb,Vcは閉、電磁バルブVdが閉、電磁バルブVe,Vfは開となる。
そして、材料ガスAが、反応炉21に一定時間供給された後、次にT4〜T6のタイミングにおいて、材料ガスBが反応炉21に供給される。同時に、材料ガスA、および材料ガスCは、パージライン30に導入されるよう、それぞれの電磁バルブが瞬時に切り替えられる。
この切り替えタイミングにおける切り替えバルブの動作状態は、電磁バルブVbが開、電磁バルブVa,Vcは閉、電磁バルブVeが閉、電磁バルブVd,Vfは開となる。
そして、材料ガスBが、反応炉21に一定時間供給された後、今度はT7〜T9のタイミングにおいて、材料ガスCが最初に反応炉21に供給され、同時に材料ガスAおよび材料ガスBはパージライン30に導入されるよう、それぞれの電磁バルブが瞬時に切り替えられる。
この切り替えタイミングにおける電磁バルブの動作状態は、電磁バルブVcが開、電磁バルブVa,Vbは閉、電磁バルブVfが閉、電磁バルブVd,Veは開となる。このように、複数の材料ガスの内ひとつが、反応炉21へ供給されるとき、その他の材料ガスは、同時にパージライン30へ導入されるよう、電磁バルブの瞬間的な開閉動作で制御される。
これにより、材料ガスが、それぞれ固有の供給タイミングにおいて、単独で反応炉21に供給されることになる。このステップを、それぞれの材料ガスに対して同様に行い、これを1サイクルとして複数回繰り返すことで、基板上に、原子層レベルで結晶性の揃った薄膜が形成される。
しかしながら、この方法では、上述のように、材料ガスの切り替え時において、1サイクル中で、材料ガスAの供給が終了し、他の材料ガスB、材料ガスCが供給されている間、材料ガスAは、次の供給タイミングで安定するよう、流量を一定に維持しておく必要がある。そのため、プロセス時に一時的に使用しない材料ガスであっても、一定の流量を保ったまま、パージライン30側へ流し続ける必要があり、材料ガスを無駄に廃棄することになっていた。
また、材料ガスの切り替えは、複数の電磁バルブの開閉によって、瞬間的に行われるため、切り替え時のガス流量のオーバーシュートが発生しやすい。このとき、切り替える材料ガスが互いに干渉し合うことにより、反応炉21内部での材料ガスの流速や濃度が不安定となるため、基板24への成膜に悪影響を及ぼすという問題があった。
また、現在の原子層成長分野の研究課題でもあるが、原子層成長における1サイクル当たりの基板上の結晶成長は、現状、僅か数Å程度であるため、膜厚が数ミクロン以上必要となる半導体素子の成膜においては、少なくとも5000〜10000サイクル以上、成長時間に換算すると5〜10時間程度必要となる。
特許文献2に記載の気相成長装置のように、パルス状に材料ガスの供給を制御するために、材料ガスの切り替え制御を行なう電磁バルブは、長時間に亙って連続的に、瞬間的な開閉動作を繰り返し続けることになる。通常の気相成長に比べ、電磁バルブなどのパーツに過剰なストレスが加わることとなり、気相成長装置の機能劣化や故障が発生し易くなるという問題があった。
さらには、気相成長装置に使用される電磁バルブの開閉動作の耐久回数は、一般的に高性能なものでも50万〜100万回程度といわれている。そのため、原子層成長の実使用時間においては、成長条件や使用環境にも左右されるが、僅か50回〜100回程度の成長回数で、パーツが消耗し、メンテナンス交換の必要性が発生することも考えられる。
このように、特許文献2のパルス状に材料ガスの供給を制御する気相成長装置においては、原子層成長が行なえるという利点の反面、ガスの消費量、およびメンテナンスやパーツ交換の頻度が高くなることで、装置の運用コストの増大や、生産性を大幅に悪化させるという問題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、気相成長装置の負担を軽減して、メンテナンスやパーツの交換頻度を抑えつつ、また、材料消費の無駄を少なくすることで、材料効率を良く、原子層成長を行なうことができる、気相成長方法および気相成長装置を提供することを目的とする。
この発明に基づいた気相成長方法に従えば、反応炉内に保持された基板に、複数種類の材料ガスを交互に供給し、上記基板上に薄膜を形成する気相成長方法であって、上記材料ガスを供給して気相成長させる各々の工程においては、その流量が曲波状に増減するように上記材料ガスが供給される。
この発明に基づいた気相成長装置に従えば、基板に、複数種類の材料ガスを交互に供給し、上記基板上に薄膜を形成する気相成長装置であって、反応炉と、該反応炉内に基板を保持する保持台と、上記基板上に材料ガスを供給するガス供給部と、上記ガス供給部から上記基板に供給する複数種類の材料ガスを発生させる材料ガス発生源と、上記材料ガス発生源と上記ガス供給部との間に配置され、上記材料ガス発生源から上記ガス供給部に供給されるそれぞれの材料ガスの流量を調節する流量調整装置とを備えている。上記流量調整装置は、上記材料ガス発生源から供給される複数種類の材料ガスを順次切り替えると共に、各工程において供給される上記材料ガスの流量が曲波状に増減するように調整する。
上記気相成長装置において、上記材料ガス発生源と上記流量調整装置との間には、上記ガス供給部から上記流量調整装置に供給されるそれぞれの材料ガスの流量を制限する第2の流量調整装置が設けられてもよい。
上記気相成長装置において、上記流量調整装置と上記第2の流量調整装置との間には、当該箇所の圧力が所定の圧力を超えないように調整する圧力調整装置が設けられていてもよい。
本発明に係る気相成長方法および気相成長装置によると、気相成長装置の負担を軽減して、メンテナンスやパーツの交換頻度を抑えつつ、また、材料消費の無駄を少なくすることで、材料効率を高めながら、原子層成長を行なうことができる。
以下、この発明に基づいた各実施の形態における気相成長方法および気相成長装置について、図を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本実施の形態における気相成長装置の構造を示す概略図である。図1に示すように、本実施の形態の気相成長装置は、概略、材料ガスを発生させる材料ガス源7と、流量調整手段8と、反応炉1とを備えている。
図1は、本実施の形態における気相成長装置の構造を示す概略図である。図1に示すように、本実施の形態の気相成長装置は、概略、材料ガスを発生させる材料ガス源7と、流量調整手段8と、反応炉1とを備えている。
反応炉1には、材料ガスを基板4に供給するガス供給部2と、反応後のガスを排出するガス排気部3が設けられている。反応炉1の内部には、被処理基板4を載置するサセプタ5が設けられ、該サセプタ5の下部には基板4を加熱するためのヒータ6が設置されている。
またガス供給部2に接続される配管の最前段には、材料ガス源7が接続されている。材料ガス源7は、原子層成長に必要な複数のガス種である材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCのソースが設置されたユニットである。
材料ガスA、材料ガスBおよび材料ガスCは、例えば、TMAやTMG等の有機金属ガスやアンモニアや、ホスフィン、アルシン等の水素化合物等のそれぞれ属性の異なるガスである。該材料ガス源7とガス供給部2との中間部には、ガスの流量を調整するための流量調整手段8が設置されている。
ガス排気部3に接続される配管はパージライン10に接続され、パージラインの最終段には排ガス処理装置11が設置されている。基板に成膜する工程においては、材料ガス源7から発生した材料ガスが、流量調整手段8を介して、ガス供給部2から反応炉1へ供給される。
材料ガスは、サセプタ5の下部に設けられたヒータ6により、サセプタ5および基板4と共に加熱され、基板4の表面上で、気相反応が促進され、基板4の表面上に薄膜が形成される。そして、基板4を通過した材料ガスはガス排気部3より、反応炉1の外部に排出され、パージライン10を通り、排ガス処理装置11で除害処理される。
図1では、反応炉1として、基板4の表面に対し、垂直方向に材料ガスを供給するものを用いているが、反応炉1の構造はこれに限定されるものではない。たとえば、反応炉を横方向に延びる筒状に構成し、その天井部または底部に基板を配置し、原料ガスを横向き(基板の表面と平行)に流すようなものであってもよい。
図1では、基板4をひとつのみ静止して配置した場合を示しているが、複数の基板4を配置するタイプの反応炉や、基板4を回転させながら反応させるものであってもよい。
図2は、本実施の形態の気相成長装置における原子層成長の成膜時において、使用する複数の材料ガスの供給量変化を示す概略図である。図2の横軸は、材料ガスを供給する時間またはタイミングを表し、縦軸は、材料ガスの供給量を示している。図2は、それぞれの材料ガスの供給が一定のタイミングで曲波状に制御される様子を示す。
ここで曲波状に制御するとは、図2に示すように、材料ガスの流量の増減を、少なくとも増加時および減少時において曲線の波状に変化させることを意味する。言い換えると、材料ガスの供給開始時は、曲線を描いて徐々に流量が増加し、材料ガスの供給終了時は、曲線を描いて徐々に流量が減少する状態を意味する。図2においては、材料ガスの流量が山状に増減する場合を示しているが、曲波状にはその頂点部分が平らな場合も含む。
また、図中の区間Aは、本実施の形態の気相成長装置における原子層成長の1サイクルの時間を示す。図2に示すように、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCが、それぞれ異なるタイミングで、且つ、流量が曲波状に変化しながら反応炉1へ供給されるよう、流量調整手段8によって制御されている。
流量調整手段8は、使用する複数の材料ガスの流量を、それぞれ個別に調整する手段を一括したユニットとなっており、たとえば、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCの流量調整を直接担う、マスフローコントローラPa,Pb,Pcがそれぞれ設置されている。それぞれのマスフローコントローラPa,Pb,Pcは、図示しない制御器に接続され、制御器に制御されて後述する所定のタイミングで開閉し、原料ガスの流量を調整することができる。
制御器には、各マスフローコントローラの開閉を制御する制御信号を入力する手段およびそれを記憶する手段が接続されており、これらから制御器にマスフローコントローラの開閉を制御する情報が供給される。
また、図3は、図2における区間AをT0〜T10にさらに細分した時の各材料ガスの反応炉1への供給のタイミングと、各マスフローコントローラPa,Pb,Pcの設定流量の状態を示す図である。
このサイクル内における動作としては、まず、T0のタイミングにおいては、マスフローコントローラPa,Pb,Pcの流量の設定値は0であり、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCの供給量も0となっている。T1〜T3のタイミングにおいては、マスフローコントローラPaの流量値が、0から次第に目標値に達し、そして、再び次第に0になるよう調整されることによって、材料ガスAの流量が、曲波状に変化するように反応炉1に供給される。
このマスフローコントローラPaが開である、すなわち設定値が0以上の状態においては、他の材料ガスB、材料ガスCのそれぞれの流量調整手段であるマスフローコントローラPb,Pcの設定値は0となるようになっている。
その後、マスフローコントローラPaの設定値が0となると、今度は、T4〜T6のタイミングにおいて、次に反応炉1に供給される材料ガスBの流量が、曲波状に変化するように、マスフローコントローラPbの設定値が0から次第に目標値に達し、そして、再び次第に0になるよう調整される。
マスフローコントローラPbが開、すなわち設定値が0以上の状態においては、他の材料ガスA、材料ガスCのそれぞれの流量調整手段であるマスフローコントローラPa,Pcの設定値は0となるようになっている。
そして、マスフローコントローラPbの設定値が0となると、T7〜T9のタイミングにおいて、次に、反応炉1に供給される材料ガスCの流量が、曲波状に変化するように、マスフローコントローラPcの設定値が同様に調整される。
マスフローコントローラPcが開、すなわち設定値が0以上の状態においては、他の材料ガスA、材料ガスBのそれぞれの流量調整手段であるマスフローコントローラPa,Pbの設定値は0となるようになっている。
このように、反応炉1へ供給する材料ガスの流量を調整するマスフローコントローラの設定値が0以上であるとき、その他の材料ガスの流量を、調整するマスフローコントローラの設定値は0となるよう制御されることで、使用する複数の材料ガスが、それぞれ固有の供給タイミングにおいて、単独で、反応炉1に供給されることになる。このステップを、それぞれの材料ガスに対して同様に行い、これを1サイクルとし、複数回繰り返すことで、基板上に、原子層レベルで結晶性の揃った薄膜が形成される。
なお、原子層成長においては、選択した材料ガスが反応炉1内で、できるだけ単独で存在することが望ましいが、実際には反応炉1に供給される材料ガスは、個々のマスフローコントローラの固体性能や配管長等によって、その切り替え時において多少重複する(複数種類の材料ガスが反応炉1内で重複して存在する)場合があってもかまわない。
また、本発明の装置において、窒素等の不活性ガスを反応炉1へ導入する配管を設け、材料ガスを交互に供給する間、不活性ガスを(少量)連続的に流し続けてもかまわない。これにより、反応炉1内部に堆積する付着物の発生を軽減させることが可能となる。
本実施の形態では、供給する材料ガスの供給を、電磁バルブの開閉によって、パルス状に変化させるのではなく、マスフローコントローラ等のような流量調整手段によって、曲波状に制御し反応炉1へ供給している。これにより、流量調整手段の各パーツへの負荷やストレスが少なくなる。これにより、各パーツの寿命を飛躍的に長くすることができ、パーツ交換のサイクルも延長することができる。
また、反応炉1内の材料ガスが、緩やかに交互に入れ替わることによって、オーバーシュートの影響が発生しにくくなり、切り替える材料ガスの相互の干渉が抑えられる。
また、本実施の形態においては、材料ガスの流量の増減を曲波状に制御することとしたので、各材料ガスの流量は緩やかに調整されながら入れ替わればよい。そのため、従来の気相成長装置のように、1サイクル中で、ある材料ガスの供給が終了し、他の材料ガスが供給されている間においても、次の供給サイクルに備えて、材料ガスの一定量を維持しておく必要がない。
これにより、パージライン10に材料ガスを廃棄することなく、材料ガス源7で発生した材料ガスを全て反応炉1に供給することが可能となるため、材料ガスを無駄に消費することがなくなる。
なお、従来の気相成長装置における材料ガスの流量をパルス制御したものと、本実施の形態の曲波状に制御したものとは、原子層成長の本質としては、変わらないものである。本実施の形態の気相成長装置を用いた原子層成長の確認実験においても、従来の気相成長装置におけるパルス制御を用いたものと、何ら相違なく成長が行なえる事が成膜評価結果により確認できている。
上述したように、本実施の形態の気相成長方法および気相成長装置によると、パーツの消耗を抑え、装置に負担をかけずに、メンテナンスやパーツの交換頻度を抑えるだけでなく、材料消費の無駄をなくすことで、材料の利用効率を落とさずに原子層成長を行なうことができる。
(実施の形態2)
図4は、本実施の形態の気相成長装置の構造を示す概略図である。図4に示すように、本実施の形態の気相成長装置は、概略、材料ガスを発生させる材料ガス源7と、ガスの増減を制御する第2の流量調整手段12と、圧力調整手段14と、第1の流量調整手段13と、反応炉1とを備えている。
図4は、本実施の形態の気相成長装置の構造を示す概略図である。図4に示すように、本実施の形態の気相成長装置は、概略、材料ガスを発生させる材料ガス源7と、ガスの増減を制御する第2の流量調整手段12と、圧力調整手段14と、第1の流量調整手段13と、反応炉1とを備えている。
反応炉1には、材料ガスを基板4に供給するガス供給部2と、反応後のガスを排出するガス排気部3が設けられている。反応炉1の内部には、被処理基板4を載置するサセプタ5が設けられ、該サセプタ5の下部には基板4を加熱するためのヒータ6が設置されている。
また、ガス供給部2に接続される配管においては、材料ガス源7と第2の流量調整手段12との間には、材料ガス源7から第2の流量調整手段12に供給されるそれぞれのガスを一定(固定)の流量に制限する第1の流量調整手段13とが設置されている。
また、第2の流量調整手段12と第1の流量調整手段13との間には、第2の流量調整手段12の配管前後の圧力差および第1の流量調整手段13の配管前後の圧力差を調整する圧力調整手段14が設置されている。
また、第2の流量調整手段12に供給されるそれぞれのガスを一定(固定)の流量に制限する第1の流量調整手段13はガス供給部2の近傍に設置されている。また、ガス供給部2に接続される配管の最前段には、材料ガス源7が接続されている。材料ガス源7は、原子層成長に必要な複数のガス種である材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCのソースが設置されたユニットとなっている。
そして、ガス排気部3に接続される配管は、パージライン10に接続され、さらにその最終段には、排ガス処理装置11が設置されている。
第2の流量調整手段12は、使用する複数の材料ガスの流量を、個別に調整する手段を一括したユニットとなっており、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCの流量調整を直接担うマスフローコントローラPd,Pe,Pfがそれぞれ設置されている。第2の流量調整手段12に供給されるそれぞれのガスを一定(固定)の流量に制限する第1の流量調整手段13は、第2の流量調整手段12の後段に直列に設置され、材料ガスの流量を、個別に調整する手段を一括したユニットとなっている。
また、第2の流量調整手段12に供給されるそれぞれのガスを一定(固定)の流量に制限する第1の流量調整手段13には、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCの流量調整を直接担うマスフローコントローラPg,Ph,Piがそれぞれ設置されている。
ここで、第2の流量調整手段12は、反応炉1へ供給する各材料ガスの流量の最大量を固定するためのものである。第1の流量調整手段13は、第2の流量調整手段12によって最大量が固定された範囲内で開度を調整することによって、反応炉1へ供給するガスの流量を曲波状に制御するものである。
これによって、第2の流量調整手段12および第1の流量調整手段13のそれぞれの役割機能を固定化することができるので、流量設定値に対する追従性と供給タイミングに対する追従性をより一層高められる。その結果、反応炉1へ供給する材料ガスの設定流量や供給タイミングに大きな変更があっても、不具合なく制御することができる。
図5は、図2における区間AをT0〜T10に細分した時の各材料ガスの反応炉への供給のタイミングと、各マスフローコントローラの設定流量および開度の状態を示す図である。
ここで、第2の流量調整手段12は、前述のように、反応炉1へ供給する各材料ガスの流量の最大量を固定するためのものであるため、マスフローコントローラPd〜Pfの設定流量は、固定値となっている。また、第1の流量調整手段13は、第2の流量調整手段12によって、最大量が固定された範囲内で、開度を調整することによって、反応炉1へ供給するガスの流量を、曲波状に制御するものであるため、マスフローコントローラPg〜Piの開度は、随時変更されることになる。
このサイクル内における動作としては、まず、T0のタイミングにおいては、マスフローコントローラPg,Ph,Piの開度の設定値が0%であり、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCの供給量は0となっている。T1〜T3のタイミングにおいては、Pgの開度が、0%から次第に100%に達し、そして、再び次第に0%になるよう調整されることによって、材料ガスAの流量が、曲波状に変化するように反応炉1に供給される。
このマスフローコントローラPgが開である、すなわち開度が0%以上の状態においては、他の材料ガスB、材料ガスCのそれぞれの流量調整手段であるマスフローコントローラPh,Piの開度は0%となるようになっている。
その後、マスフローコントローラPgが徐々に閉じられ、その開度が0%となると、今度は、T4〜T6のタイミングにおいて、次に反応炉1に供給される材料ガスBの流量が、曲波状に変化するように、マスフローコントローラPhの開度が0%から次第に100%に達し、そして、再び次第に0%になるよう調整される。
マスフローコントローラPhが開、すなわち開度が0%以上の状態においては、他の材料ガスA、材料ガスCのそれぞれの流量調整手段であるマスフローコントローラPg,Piの開度は0%となるようになっている。そして、マスフローコントローラPhの開度が0となると、T7〜T9のタイミングにおいて、次に、反応炉1に供給される材料ガスCの流量が、曲波状に変化するように、マスフローコントローラPiの開度が同様に調整される。
マスフローコントローラPiが開、すなわち開度が0%以上の状態においては、他の材料ガスA、材料ガスBのそれぞれの流量調整手段であるマスフローコントローラPg,Phの開度は0%となるようになっている。
このように、反応炉1へ供給する材料ガスの流量を調整するマスフローコントローラの開度が0%以上であるとき、その他の材料ガスの流量を、調整するマスフローコントローラの開度は0%となるよう制御されることで、使用する複数の材料ガスが、それぞれ固有の供給タイミングにおいて、単独で、反応炉1に供給されることになる。
このステップを、それぞれの材料ガスに対して同様に行い、これを1サイクルとし、複数回繰り返すことで、基板上に、原子層レベルで結晶性の揃った薄膜が形成される。
また、圧力調整手段14は、第2の流量調整手段12の配管前後の圧力差および第1の流量調整手段13ガスの配管前後の圧力差が、ある一定の限界値を超えないよう調整するものであり、材料ガスA、材料ガスB、材料ガスCの配管部に、それぞれ圧力調整器Pj,Pk,Pmが設置されたユニットから成る。
圧力調整器Pj、Pk、Pmは、各材料ガス配管部の圧力調整を直接担うパーツであり、プレッシャーコントローラ、あるいは背圧弁等が用いられる。成膜時においては、材料ガス源7から発生した材料ガスが、第2の流量調整手段12を通り、第1の流量調整手段13を介して、材料ガス供給部2から反応炉1へ供給され、成膜が実行される。
このとき、材料ガスは、第2の流量調整手段12によって、反応炉1へ供給する流量の最大量が設定されており、この流量範囲内で、第1の流量調整手段13によって、バルブ開度を調整するので材料ガスの流量をより一層精度よく制御することができる。
また、マスフローコントローラ等の流量調整を行なうパーツにおいては、パーツの直前直後の圧力差を検知して、材料ガスの流量を調整する。そのため、バルブの開閉制御が可能な圧力範囲が、仕様で決められており、使用環境が、その範囲から外れる場合には制御が不安定になる。
このような流量調整を行なうパーツを、直列に接続する場合においては、反応炉1に供給しようとする材料ガスの供給量、あるいはバルブの開閉制御の速度が大きく変更されると、管内の圧力が変動し、マスフローコントローラの制御範囲を外れ、不具合が生じる可能性がある。
本実施の形態では、あらかじめ、圧力調整手段14において、その圧力リミット値を、流量調整パーツの制御圧力範囲内で、望ましくは、余裕度を持たせて設定している。これにより、第1の流量調整手段13の前後の圧力差が一定以上を超えると、配管内で加圧され始めた材料ガスを、圧力調整手段14によりパージラインにバイパスすることで、管内の圧力が、マスフローコントローラの制御圧力範囲を外れることを、事前に防ぐことができる。
これによって、材料ガスの設定流量の大きな変更や供給タイミングの変更に左右されることなく、材料ガスの供給量を、より精度よく曲波状に制御することができるため、さらに高品質な成膜を行なうことが可能となる。
また、本実施の形態では、流量調整手段に用いるパーツとして、マスフローコントローラPa〜Piを用いているが、流量を調整できるものであれば、特に限定するものではない。さらに、第2の流量調整手段12に用いるパーツ(マスフローコントローラPd〜Pfに相当)としては、ニードルバルブ等手動操作のものであってもよい。
図4において、第1の流量調整手段13の下流側には交互切換えのために使用するバルブや分岐は設けていないが、メンテナンスや緊急排気用などの交互供給の目的外で使用するバルブや分岐を設けてもよい。
さらには、上記二つの実施の形態で用いる流量調整手段として、マスフローコントローラに代えて複数の開閉バルブを並列に設けたものを用いてもよい。この開閉バルブとしては、全開または全閉の二状態のみを取ることができ、また、全開時においてある所定の流量の原料ガスを通過させることができるものを用いる。
たとえば、図示しない10個の開閉バルブA1〜A10を並列に設け、開閉バルブA1から順に開放していき、最終的には開閉バルブA1〜A10を全て開放する。この開閉バルブを開放するタイミングを制御することにより、供給される材料ガスの流量を実質的に曲波状に制御することができる。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
1 反応炉、2 ガス供給部、3 ガス排気部、4 基板、5 サセプタ、6 ヒータ、7 材料ガス源、8 流量調整手段、10 パージライン、11 排ガス処理装置、12 第2の流量調整手段、13 第1の流量調整手段、14 圧力調整手段、21 反応炉、Pa〜Pi マスフローコントローラ、Pj,Pk,Pm 圧力調整器、Va〜Vf 電磁バルブ。
Claims (4)
- 反応炉内に保持された基板に、複数種類の材料ガスを交互に供給し、前記基板上に薄膜を形成する気相成長方法であって、
前記材料ガスを供給して気相成長させる各々の工程においては、その流量が曲波状に増減するように前記材料ガスが供給される、気相成長方法。 - 基板に、複数種類の材料ガスを交互に供給し、前記基板上に薄膜を形成する気相成長装置であって、
反応炉と、該反応炉内に基板を保持する保持台と、前記基板上に材料ガスを供給するガス供給部と、前記ガス供給部から前記基板に供給する複数種類の材料ガスを発生させる材料ガス発生源と、前記材料ガス発生源と前記ガス供給部との間に配置され、前記材料ガス発生源から前記ガス供給部に供給されるそれぞれの材料ガスの流量を調節する流量調整装置とを備え、
前記流量調整装置は、前記材料ガス発生源から供給される複数種類の材料ガスを順次切り替えると共に、各工程において供給される前記材料ガスの流量が曲波状に増減するように調整する、気相成長装置。 - 前記材料ガス発生源と前記流量調整装置との間には、前記材料ガス発生源から前記流量調整装置に供給されるそれぞれの材料ガスの流量を制限する第2の流量調整装置が設けられている、請求項2に記載の気相成長装置。
- 前記流量調整装置と前記第2の流量調整装置との間には、当該箇所の圧力が所定の圧力を超えないように調整する圧力調整装置が設けられている、請求項3に記載の気相成長装置。
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