JP2007327915A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 検査対象フイルムを光学的に検出した光電信号に基づいてフイルムの欠陥を検査するフイルムの欠陥検査装置において、
   検査対象フイルムの一方の面側に配置された第１の偏光板と検査対象フイルムの他方の面側に配置された第２の偏光板とからなり、各偏光板が前記フイルム面と平行とされるとともに、いずれか一方の偏光板の偏光透過軸が検査対象フイルムの遅相軸に対して略平行であり、各偏光板がクロスニコル配置とされた偏光ユニットと、
   検査対象フイルムの一方の面側に配置され、前記第１の偏光板を介して検査対象フイルムに光を照射する光源と、
   検査対象フイルムの他方の面側に配置され、検査対象フイルムから射出され前記第２の偏光板を透過した前記光源からの光を受光する受光手段とを備え、
   前記受光手段は、その光軸とフイルム面の法線とのなすあおり角θ１、及び前記光軸とフイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸に直交する基準線とのなす回転角θ２が、「１５°≦θ１≦３５°」、「２０°≦θ２≦６０°」の条件を満たす位置に配されていることを特徴とするフイルムの欠陥検査装置。
2. 検査対象フイルムを光学的に検出した光電信号に基づいてフイルムの欠陥を検査するフイルムの欠陥検査装置において、
   検査対象フイルムの一方の面側に配置された第１の偏光板と検査対象フイルムの他方の面側に配置された第２の偏光板とからなり、各偏光板が前記フイルム面と平行とされるとともに、いずれか一方の偏光板の偏光透過軸が検査対象フイルムの遅相軸に対して略平行であり、各偏光板がクロスニコル配置とされた偏光ユニットと、
   検査対象フイルムの一方の面側に配置され、前記第１の偏光板を介して検査対象フイルムに光を照射する光源と、
   検査対象フイルムの他方の面側に配置され、検査対象フイルムから射出され前記第２の偏光板を透過した前記光源からの光を受光して光電信号を出力する受光手段とを備え、
   前記受光手段は、光電信号のＳＮ比が２以上となるように、その光軸とフイルム面の法線とのなすあおり角θ１、及び前記光軸とフイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸に直交する基準線とのなす回転角θ２が与えられて配されていることを特徴とするフイルムの欠陥検査装置。
3. 前記検査対象フイルムは、光学軸がフイルム面の法線に対して傾斜した正または負の一軸性複屈折を示すフイルムであることを特徴とする請求項１または２記載のフイルムの欠陥検査装置。
4. 前記検査対象フイルムは、光学軸がフイルム面の法線に対して傾斜した液晶化合物層を積層した正または負の一軸性複屈折を示すフイルムであることを特徴とする請求項１または２記載のフイルムの欠陥検査装置。
5. 前記第１，第２の偏光板は、これら第１，第２の偏光板をクロスニコル配置し、それら間に検査対象フイルムを配した状態で測定される５００〜７５０ｎｍの波長域の光に対する平均直交透過率が０．０２７％以下であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のフイルムの欠陥検査装置。
6. 前記第１，第２の偏光板は、これら第１，第２の偏光板をクロスニコル配置し、それらの間に検査対象フイルムを配した状態で測定される７５０ｎｍの波長の光に対する直交透過率が０．０３０％以下であることを特徴とする請求項５記載のフイルムの欠陥検査装置。
7. 一方の面に偏光子層が形成され、前記偏光子層の偏光透過軸が遅相軸と略平行なフイルムを検査対象フイルムとし、この検査対象フイルムを光学的に検出した光電信号に基づいて検査対象フイルムの欠陥を検査するフイルムの欠陥検査装置において、
   検査対象フイルムの偏光子層と反対の他方の面側に配置され、前記偏光子層とクロスニコル配置となるようにされた偏光板と、
   検査対象フイルムの他方の面側に配置されて前記偏光板を介して検査対象フイルムに光を照射し、または検査対象フイルムの一方の面側に配置されて検査対象フイルムに光を照射する光源と、
   検査対象フイルムを挟んで前記光源と反対側に配置され、前記偏光板を介して検査対象フイルムに入射し前記偏光子層側から射出される光を受光し、または前記偏光子層側から検査対象フイルムに入射し他方の面から射出される光を受光する受光手段とを備え、
   前記受光手段は、その光軸とフイルム面の法線とのなすあおり角θ１、及び前記光軸とフイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸に直交する基準線とのなす回転角θ２が、「１５°≦θ１≦３５°」、「２０°≦θ２≦６０°」の条件を満たす位置に配されていることを特徴とするフイルムの欠陥検査装置。
8. 一方の面に偏光子層が形成され、前記偏光子層の偏光透過軸が遅相軸と略平行なフイルムを検査対象フイルムとし、この検査対象フイルムを光学的に検出した光電信号に基づいて検査対象フイルムの欠陥を検査するフイルムの欠陥検査装置において、
   検査対象フイルムの偏光子層と反対の他方の面側に配置され、前記偏光子層とクロスニコル配置となるようにされた偏光板と、
   検査対象フイルムの他方の面側に配置されて前記偏光板を介して検査対象フイルムに光を照射し、または検査対象フイルムの一方の面側に配置されて検査対象フイルムに光を照射する光源と、
   検査対象フイルムを挟んで前記光源と反対側に配置され、前記偏光板を介して検査対象フイルムに入射し前記偏光子層側から射出される光を受光し、または前記偏光子層側から検査対象フイルムに入射し他方の面から射出される光を受光して光電信号を出力する受光手段とを備え、
   前記受光手段は、光電信号のＳＮ比が２以上となるように、その光軸とフイルム面の法線とのなすあおり角θ１、及び前記光軸とフイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸に直交する基準線とのなす回転角θ２が与えられて配されていることを特徴とするフイルムの欠陥検査装置。
9. 前記検査対象フイルムは、光学軸がフイルム面の法線に対して傾斜した正または負の一軸性複屈折を示すフイルムであることを特徴とする請求項７または８記載のフイルムの欠陥検査装置。
10. 前記検査対象フイルムは、光学軸がフイルム面の法線に対して傾斜した液晶化合物層を他方の面に積層した正または負の一軸性複屈折を示すフイルムであることを特徴とする請求項７または８記載のフイルムの欠陥検査装置。
11. 前記偏光子層と前記偏光板は、前記偏光子層とクロスニコル配置となるように前記検査対象フイルムの他方の面側に前記偏光板を配した状態で測定される５００〜７５０ｎｍの波長域の光に対する平均直交透過率が０．０２７％以下であることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれか１項に記載のフイルムの欠陥検査装置。
12. 前記偏光子層と前記偏光板は、前記偏光子層とクロスニコル配置となるように前記検査対象フイルムの他方の面側に前記偏光板を配した状態で測定される７５０ｎｍの波長の光に対する直交透過率が０．０３０％以下であることを特徴とする請求項１１記載のフイルムの欠陥検査装置。
13. 前記検査対象フイルムは、負の一軸性複屈折を示すフイルムであり、前記受光手段は、その光軸と交差する検査対象フイルムの遅相軸を境界にして、受光手段が配されたフイルム面側から外に向かって伸びる検査対象フイルムの光学軸が正射影される側の範囲で回転角θ２を与えるように配置されていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載のフイルムの欠陥検査装置。
14. 前記検査対象フイルムは、正の一軸性複屈折を示すフイルムであり、前記受光手段は、その光軸と交差する検査対象フイルムの遅相軸を境界にして、受光手段が配されたフイルム面側から外に向かって伸びる検査対象フイルムの光学軸が正射影されない側の範囲で回転角θ２を与えるように配置されていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載のフイルムの欠陥検査装置。
15. 前記受光手段は、撮影レンズと、ライン状に並べた多数の受光素子からなるラインセンサとから構成され、ライン状の受光エリアが検査対象フイルムの遅相軸に対して回転角θ２で傾けられていることを特徴とする請求項１ないし１４のいずれか１項に記載のフイルムの欠陥検査装置。
16. 前記受光手段による検査対象フイルム上の前記検査エリア内から前記受光手段を向く方向と、受光手段の光軸とのなす最大角が３〜５°の範囲内であることを特徴とする請求項１ないし１５のいずれか１項に記載のフイルムの欠陥検査装置。
17. 検査対象となるフイルムを形成する形成工程と、
    検査対象のフイルムを挟んで平行に配置された一対の偏光手段のうちの一方を介してフイルムに照明光を照射し、このフイルムから射出される光を他方の偏光手段を介して受光手段が受光することによって得られる光電信号に基づいて、フイルムの光学軸のズレに起因した欠陥を検査する検査工程とを有し、
    前記検査工程では、前記一対の偏光手段がクロスニコル配置とされるとともに、いずれか一方の偏光手段の偏光透過軸が検査対象のフイルムの遅相軸に対して略平行とされ、前記受光手段の光軸とフイルム面の法線とのなすあおり角θ１、及び前記光軸とフイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸に直交する基準線とのなす回転角θ２が、「１５°≦θ１≦３５°」、「２０°≦θ２≦６０°」の条件を満たす位置に配した前記受光手段によってフイルムから射出される光を受光することを特徴とするフイルムの製造方法。
18. 検査対象となるフイルムを形成する形成工程と、
    検査対象のフィルムを挟んで平行に配された一対の偏光手段のうちの一方を介してフィルムに照明光を照射し、このフイルムから射出される光を他方の偏光手段を介して受光手段で受光することによって得られる光電信号に基づいて、フイルムの光学軸のズレに起因した欠陥を検査する検査工程とを有し、
    前記検査工程では、一対の偏光手段がクロスニコル配置とされるとともに、いずれか一方の偏光手段の偏光透過軸が検査対象のフイルムの遅相軸に対して略平行とされ、前記受光手段からの光電信号のＳＮ比が２以上となるように、前記受光手段の光軸とフイルム面の法線とのなすあおり角θ１，及び前記光軸とフイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸に直交する基準線とのなす回転角θ２が与えられた位置に配した前記受光手段でフイルムから射出される光を受光することを特徴とするフイルムの製造方法。