JP2007326770A - 半導体ウェハを処理する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】a)半導体ウェハ5の特性を表すパラメータを位置に依存して測定し、ウェハ5の面全体で位置に依存するパラメータ値を求める。b)酸化レートおよび結果として得られる酸化層の厚さがウェハ5の平面における光強度に依存しており、酸化剤の使用とともにウェハ5の面全体を同時に照射することによる作用によって、ウェハ5の面全体を酸化させる。c)酸化層を除去する。この場合、ステップb)において光強度を位置に依存してまえもって設定し、ステップa)において測定された位置に依存する各パラメータ値における相違を、位置に依存する光強度の結果として生じるステップb)における酸化レートおよびステップc)におけるその後の酸化層除去によって低減する。
【選択図】図1
Description
a)半導体ウェハの特性を表すパラメータを位置に依存して測定し、該半導体ウェハの面全体で位置に依存する該パラメータの値を求めるステップと、
b)酸化レートおよび結果として得られる酸化層の厚さが前記半導体ウェハ平面における光強度に依存しており、酸化剤の使用とともに該半導体ウェハの面全体を同時に照射することによる作用によって、該半導体ウェハの面全体を酸化させるステップと、
c)酸化層を除去するステップが設けられており、
前記ステップb)において光強度を位置に依存してまえもって設定し、前記ステップa)において測定された位置に依存するパラメータの各値における相違を、位置に依存する光強度の結果として生じる前記ステップb)における酸化レートおよび前記ステップc)におけるその後の酸化層除去によって低減することを特徴とする、半導体ウェハの処理方法により解決される。
ここでシンボル | | は絶対値関数を表す。絶対値関数を適用できるようにしている理由は、典型的には照射装置の分解能がオリジナルの厚さデータよりも高いことによる。これとは逆の事例では、単純にオリジナルデータの幾何学的な平均値形成が実行される。
(i-x) * (i-x) + (j-y) * (j-y) ≦ R*R (2)
この新たな値は、上述の条件を満たすすべてのM(x,y)の平均値から計算される:
Msmooth(i,j) = 平均値(M (x1, y1) , M(x2, y2), M(x3, y3), ...M(Xn, yn)) (3)
Rはオリジナルの座標系に関して典型的には0.1cm〜2cmにあり、これはチューニングパラメータとして用いられる。
(Msmooth(i, j) - MinM) * (MaxM-MinM)*100% (4)
画素i,jの黒色割合 =
100% - (Msmooth(i, j) - MinM) * (MaxM - MinM) * 100% (5)
このアルゴリズムによって、半導体ウェハの殊に厚い個所が透明なものとして表され、その結果、それらの個所は高い光強度で照射される。これに対して最も薄い個所は黒色で表され、したがってそれらの個所は照射されないかまたはごく僅かな光強度でしか照射されない。
たとえば単一光源の照射装置を使用することができ、この場合、照射の位置依存性は、位置に依存する透過特性をもつフィルタまたは位置に依存する反射率をもつミラーによって実現される。 計算されたグレースケールマトリックスを、適切な光学系を用いることで照射装置により半導体ウェハ表面にシャープに投影することができ、したがってこれを局所的な光強度の制御に用いることができる。 有利には光学系は、半導体ウェハの被照射面ができるかぎり均一に面全体に照射されるように構成され、つまり有利には、位置に依存する透過特性をもつフィルタないしは位置に依存する反射率をもつミラーが光源と半導体ウェハとの間に介在しないときに、±10%よりも小さい偏差で照射されるように構成される。これに対する代案として、光源または光学系に起因する照射の不均一性を、グレースケール計算アルゴリズムにおいて考慮し、それによって補償することもできる。
半導体ウェハ5の特性を表すパラメータを位置に依存して測定する測定装置11と、
半導体ウェハ5のための保持装置と酸化剤を供給および排出するためのシステム9を備えた半導体ウェハ収容のための酸化室6と、
半導体ウェハ5の面に対し平行に位置する平面に並置された多数の光源2を含む照射装置と、
測定装置11により求められたパラメータの値を照射装置の制御命令に換算してこの命令を照射装置へ転送する制御ユニット10が設けられている。
直径300mmのSOIウェハを扱う場合、これはドナウェハのシリコン層をベースウェハへ移すことにより製造される。ウェハの厚さは735μmであり、酸化シリコン層の厚さは80nm、酸化シリコン層の上に設けられるシリコン層の目標厚は20nmである。
2 光源
3 フィルタ
4 光源から放出される放射
5 半導体ウェハ
6 酸化室
7 ヒータ
8 コントローラ
9 酸化剤供給システム
10 制御ユニット
11 測定装置
12 IR放射
Claims (15)
- 半導体ウェハの処理方法において、
a)半導体ウェハの特性を表すパラメータを位置に依存して測定し、該半導体ウェハの面全体で位置に依存する該パラメータの値を求めるステップと、
b)酸化レートおよび結果として得られる酸化層の厚さが前記半導体ウェハ平面における光強度に依存しており、酸化剤の使用とともに該半導体ウェハの面全体を同時に照射することによる作用によって、該半導体ウェハの面全体を酸化させるステップと、
c)酸化層を除去するステップが設けられており、
前記ステップb)において光強度を位置に依存してまえもって設定し、前記ステップa)において測定された位置に依存するパラメータの各値における相違を、位置に依存する光強度の結果として生じる前記ステップb)における酸化レートおよび前記ステップc)におけるその後の酸化層除去によって低減することを特徴とする、
半導体ウェハの処理方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記半導体ウェハの照射を、光源および該光源と前記半導体ウェハとの間に取り付けられたフィルタにより行い、位置に依存する光透過性を該フィルタにもたせ、該光透過性は位置に依存する前記パラメータの値と一義的な関係にあることを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記ステップa)で測定された位置に依存するパラメータの値から、コンピュータによりグレースケールマップを形成し、前記ステップb)における前記半導体ウェハの照射を投影装置により行い、該投影装置により前記グレースケールマップの画像を前記半導体ウェハの面に投影させることを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記半導体ウェハ(5)の照射を複数の光源(2)によって行い、該光源は前記半導体ウェハ(5)の平面に対し平行に位置する配置されており、前記光源を個別にまたはグループで制御して、前記半導体ウェハ(5)の面上の各個所に作用する光強度と前記位置に依存するパラメータ値とに一義的な関係をもたせることを特徴とする方法。 - 請求項1から4のいずれか1項記載の方法において、
前記酸化剤はガス状であることを特徴とする方法。 - 請求項5記載の方法において、
前記酸化剤は酸素、オゾンまたは窒素酸化物であることを特徴とする方法。 - 請求項1から6のいずれか1項記載の方法において、
前記半導体ウェハは、シリコン−ゲルマニウムおよびシリコンカーバイドのグループから選択された材料から成ることを特徴とする方法。 - 請求項6記載の方法において、
前記半導体ウェハはシリコンから成ることを特徴とする方法。 - 請求項1から8のいずれか1項記載の方法において、
前記パラメータは規定された理想平面からの高さの偏差であることを特徴とする方法。 - 請求項1から6のいずれか1項記載の方法において、
前記半導体ウェハは、電気的に絶縁性の支持体上に設けられた半導体層を含むSOIウェハであることを特徴とする方法。 - 請求項10記載の方法において、
前記半導体層は、シリコン−ゲルマニウムおよびシリコンカーバイドのグループから選択された材料から成ることを特徴とする方法。 - 請求項10記載の方法において、
前記半導体層はシリコンから成ることを特徴とする方法。 - 請求項10または12のいずれか1項記載の方法において、
前記パラメータは半導体層の厚さであることを特徴とする方法。 - 半導体ウェハ(5)の処理装置において、
該半導体ウェハ(5)の特性を表すパラメータを位置に依存して測定する測定装置(11)と、
前記半導体ウェハ(5)用の保持装置と酸化剤を供給および排出するシステム(9)を備えており前記半導体ウェハ(5)を収容する酸化室(6)と、
前記半導体ウェハ(5)の平面に対し平行に位置する平面に並置された複数の光源(2)を含む照射装置が設けられており、該複数の光源(2)は、個別にまたはグループで制御可能であって、前記酸化室(6)内におかれた半導体ウェハ(5)の一方の面を位置に依存する光強度で照射可能に配置されており、
前記測定装置(11)により求められたパラメータの値を前記照射装置の制御命令に換算して該照射装置へ命令を転送する制御ユニット(10)が設けられていることを特徴とする、
半導体ウェハ(5)の処理装置。 - 請求項14記載の装置において、
前記測定装置(11)は、層厚を測定するためのエリプソメータ、干渉計または反射率計であり、または規定された理想平面からの高さの偏差を測定するための形状測定装置であることを特徴とする装置。
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