JP2007324546A - 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法、及び窒化ガリウム系化合物半導体発光素子、並びにランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】井戸層を傷めることなく、発光波長490nm以上の緑色発光を呈し、且つ高出力の発光素子が得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法、及び窒化ガリウム系化合物半導体発光素子、並びにランプを提供する。
【解決手段】井戸層を成長温度T1で成長させ、障壁層を少なくとも成長温度T2で成長させることによって発光層を形成し、該発光層を形成した後、p型半導体層を成長温度T3で成長させ、成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係としている。
【選択図】図1
【解決手段】井戸層を成長温度T1で成長させ、障壁層を少なくとも成長温度T2で成長させることによって発光層を形成し、該発光層を形成した後、p型半導体層を成長温度T3で成長させ、成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係としている。
【選択図】図1
Description
本発明は窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法に関し、特に、波長が490nm以上の緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法、及び窒化ガリウム系化合物半導体発光素子、並びにランプに関する。
近年、短波長光発光素子として窒化ガリウム(GaN)系化合物半導体発光素子が利用されている。この窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、サファイア単結晶をはじめ、種々の酸化物やIII−V族化合物を基板として、この基板上に、有機金属気相化学反応法(MOCVD法)や分子線エピタキシー法(MBE法)等によって形成される。
このような窒化ガリウム系化合物半導体発光素子として、例えば、近紫外帯、青色帯、或いは緑色帯の発光を呈する発光層を構成するため、インジウムを含有した窒化ガリウムインジウム(組成式GaYInzN:0≦Y,Z≦1、Y+Z=1)を発光層に用いたものがあり、緑色波長帯で発光する発光ダイオード(LED)等に利用されている。
また、発光層としては、窒化ガリウムからなる障壁層(バリア層)及び窒化ガリウムインジウムからなる井戸層(ウェル層)が交互に積層して形成される、多重量子井戸構造(MQW:Malti Quantum Well)が一般的に用いられている。このような発光層は、障壁層及び井戸層を順次、各々の成長温度に調節しながら交互に成長させてゆくことで形成される。
このような窒化ガリウム系化合物半導体発光素子として、例えば、近紫外帯、青色帯、或いは緑色帯の発光を呈する発光層を構成するため、インジウムを含有した窒化ガリウムインジウム(組成式GaYInzN:0≦Y,Z≦1、Y+Z=1)を発光層に用いたものがあり、緑色波長帯で発光する発光ダイオード(LED)等に利用されている。
また、発光層としては、窒化ガリウムからなる障壁層(バリア層)及び窒化ガリウムインジウムからなる井戸層(ウェル層)が交互に積層して形成される、多重量子井戸構造(MQW:Malti Quantum Well)が一般的に用いられている。このような発光層は、障壁層及び井戸層を順次、各々の成長温度に調節しながら交互に成長させてゆくことで形成される。
窒化ガリウム系化合物半導体発光素子においては、発光波長を490nm以上の長い波長とすることによって緑色の発光色を得ることができ、前記井戸層に含有されるインジウムの組成を大きくすることによって上記発光波長が得られる。
発光層に窒化ガリウムインジウムを用いた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法として、例えば、基板上に窒化インジウムガリウムの層を含む複数の半導体層を積層させる際に、発光層に用いる窒化インジウムガリウム層よりも上の層の材料系を特定のものに限定し、また、成長温度を所定の範囲に限定した方法が提案されている(例えば、特許文献1)。
発光層に窒化ガリウムインジウムを用いた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法として、例えば、基板上に窒化インジウムガリウムの層を含む複数の半導体層を積層させる際に、発光層に用いる窒化インジウムガリウム層よりも上の層の材料系を特定のものに限定し、また、成長温度を所定の範囲に限定した方法が提案されている(例えば、特許文献1)。
特許文献1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法によれば、上述の方法で各層を成長させて製造することにより、窒化インジウムガリウム層の熱的劣化や、界面の劣化を抑制して高品質な窒化ガリウム系半導体発光素子を得ることができる。
特開平10−335700号公報
上述のようなMQW構造の発光層を有する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子においては、井戸層に含有されるインジウムの組成が大きくなるのに伴って波長が長くなり、例えば、490nm以上の緑色発光波長が得られる。一方、井戸層中のインジウムの組成が大きくなると、発光層の結晶性や耐高温性が低下するという問題がある。
一般に、窒化ガリウムインジウムからなる井戸層を成長させる際、成長温度が低いほどインジウムの組成が大きくなる。これに対し、窒化ガリウムからなる障壁層は、井戸層の成長温度よりも高い温度で成長させる必要があるとともに、発光層上に形成されるp型半導体層は、前記障壁層の成長温度よりもさらに高い温度で成長させる必要がある。
一般に、窒化ガリウムインジウムからなる井戸層を成長させる際、成長温度が低いほどインジウムの組成が大きくなる。これに対し、窒化ガリウムからなる障壁層は、井戸層の成長温度よりも高い温度で成長させる必要があるとともに、発光層上に形成されるp型半導体層は、前記障壁層の成長温度よりもさらに高い温度で成長させる必要がある。
特許文献1に記載された製造方法によって窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の各層を成長させた場合、井戸層上に、窒化ガリウムからなる障壁層を高温で成長させて積層する際、井戸層に高い温度が加わり、また、発光層上にp型半導体を形成する際には、井戸層がさらに高い温度に曝される。このため、低い成長温度で形成され、耐高温性が低い井戸層が、障壁層やp型半導体層を成長させる際の高温によって破壊されてしまうという問題があった。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、井戸層を傷めることなく、波長が490nm以上の緑色発光を呈し、且つ高出力の発光素子が得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法、及び窒化ガリウム系化合物半導体発光素子、並びにランプを提供することを目的とする。
本発明者は、上記問題を解決するために鋭意検討した結果、本発明を完成した。
即ち、本発明は以下に関する。
即ち、本発明は以下に関する。
[1] 基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層、発光層、及びp型半導体層をこの順序で積層する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、前記発光層を形成する際、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層と、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層とを交互に繰り返して積層し、且つ、前記n型半導体層側及び前記p型半導体層側に前記障壁層を配する順で積層して形成し、前記井戸層を成長温度T1で成長させ、前記障壁層を少なくとも成長温度T2で成長させることによって前記発光層を形成し、該発光層を形成した後、前記p型半導体層を成長温度T3で成長させるとともに、前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係とすることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[2] 前記成長温度T1、T2を、それぞれ650℃<T1<780℃、8000℃<T2<1000℃の範囲とすることを特徴とする[1]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[3] 前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ720℃<T1<750℃、870℃<T2<920℃、950℃<T3<1020℃の範囲とすることを特徴とする[1]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[4] 上記[1]〜[3]の何れかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、前記障壁層を、少なくとも前記成長温度T2で成長させるとともに、前記井戸層を、前記成長温度T1で成長させる前、及び/又は、前記成長温度T1で成長させた後、前記障壁層を成長温度T4で成長させることによって前記発光層を形成し、前記成長温度T4が600℃≦T4≦800℃の範囲であるとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)であり、且つ、T4≦T2で表される関係とされていることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[5] 上記[1]〜[4]の何れかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が、発光波長490nm以上の緑色発光を呈するものであることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[2] 前記成長温度T1、T2を、それぞれ650℃<T1<780℃、8000℃<T2<1000℃の範囲とすることを特徴とする[1]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[3] 前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ720℃<T1<750℃、870℃<T2<920℃、950℃<T3<1020℃の範囲とすることを特徴とする[1]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[4] 上記[1]〜[3]の何れかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、前記障壁層を、少なくとも前記成長温度T2で成長させるとともに、前記井戸層を、前記成長温度T1で成長させる前、及び/又は、前記成長温度T1で成長させた後、前記障壁層を成長温度T4で成長させることによって前記発光層を形成し、前記成長温度T4が600℃≦T4≦800℃の範囲であるとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)であり、且つ、T4≦T2で表される関係とされていることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[5] 上記[1]〜[4]の何れかに記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が、発光波長490nm以上の緑色発光を呈するものであることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
[6] 請求項1〜5の何れか1項に記載の製造方法で得られ、基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層、発光層、及びp型半導体層がこの順序で積層された窒化ガリウム系化合物半導体発光素子あって、前記発光層は、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層と、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層とが交互に繰り返して積層され、且つ、前記n型半導体層側及び前記p型半導体層側に前記障壁層が配される順で積層して形成されていることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
[7] 上記[6]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子であって、発光波長が490nm以上の緑色発光を呈するものであることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
[7] 上記[6]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子であって、発光波長が490nm以上の緑色発光を呈するものであることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
[8] 上記[6]又は[7]に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が用いられてなるランプ。
本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法によれば、発光層を上記構成とし、該発光層を構成する障壁層及び井戸層の成長温度を上記範囲として形成することにより、障壁層やp型半導体層を形成する際に、井戸層が劣化するのを防止することができるとともに、490nm以上の長い発光波長が得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を効率良く製造することができる。
従って、高出力で安定した発光波長490nm以上の緑色発光を呈し、且つ駆動電圧が低く抑えられた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が得られる。
また、本発明の製造方法で得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を用いてランプを構成した場合には、発光特性に優れた緑色発光ランプが得られる。
従って、高出力で安定した発光波長490nm以上の緑色発光を呈し、且つ駆動電圧が低く抑えられた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が得られる。
また、本発明の製造方法で得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を用いてランプを構成した場合には、発光特性に優れた緑色発光ランプが得られる。
以下に、本発明に係る窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法の一実施形態について、図1〜3を適宜参照しながら説明する。
本実施形態の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法は、図2に示すような基板11上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13、及びp型半導体層14をこの順序で積層する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1の製造方法であって、発光層13を、窒化ガリウム系化合物半導体(GaN)からなる障壁層13aと、インジウム(In)を含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層13bとを交互に繰り返して積層し、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成する。そして、図1のグラフに示す成長温度の例のように、井戸層13bを成長温度T1で成長させ、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させる工程を必要回数繰り返して行なうことによって発光層13を形成し、該発光層13を形成した後、p型半導体層14を成長温度T3で成長させ、前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係とする。
[窒化ガリウム系化合物半導体発光素子]
以下に、本発明に係る製造方法で得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の構成について詳述する。
図2に示す、本実施形態の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1は、基板11上に窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13及びp型半導体層14がこの順序で積層され、発光層13は、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層13aと、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層13bとが交互に繰り返して積層され、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成され、概略構成されている。
また、図2に示す例では、p型半導体層14上に透光性正極15が積層されるとともに該透光性正極15上に正極ボンディングパッド16が設けられ、n型半導体層12の、nコンタクト層12aの露出領域12cには負極ボンディングパッド17が設けられている。
以下に、本発明に係る製造方法で得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の構成について詳述する。
図2に示す、本実施形態の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1は、基板11上に窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13及びp型半導体層14がこの順序で積層され、発光層13は、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層13aと、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層13bとが交互に繰り返して積層され、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成され、概略構成されている。
また、図2に示す例では、p型半導体層14上に透光性正極15が積層されるとともに該透光性正極15上に正極ボンディングパッド16が設けられ、n型半導体層12の、nコンタクト層12aの露出領域12cには負極ボンディングパッド17が設けられている。
「基板」
本実施形態において用いる基板11には、サファイア単結晶(Al2O3;A面、C面、M面、R面)、スピネル単結晶(MgAl2O4)、ZnO単結晶、LiAlO2単結晶、LiGaO2単結晶、MgO単結晶などの酸化物単結晶、Si単結晶、SiC単結晶、GaAs単結晶、AlN単結晶、GaN単結晶およびZrB2などのホウ化物単結晶の公知の基板材料を含め、如何なる基板材料も何ら制限なく用いることができる。これらの中でも、サファイア単結晶およびSiC単結晶の基板材料を用いることが好ましい。
なお、基板の面方位は特に限定されない。また、ジャスト基板でも良いしオフ角を付与した基板であっても良い。
本実施形態において用いる基板11には、サファイア単結晶(Al2O3;A面、C面、M面、R面)、スピネル単結晶(MgAl2O4)、ZnO単結晶、LiAlO2単結晶、LiGaO2単結晶、MgO単結晶などの酸化物単結晶、Si単結晶、SiC単結晶、GaAs単結晶、AlN単結晶、GaN単結晶およびZrB2などのホウ化物単結晶の公知の基板材料を含め、如何なる基板材料も何ら制限なく用いることができる。これらの中でも、サファイア単結晶およびSiC単結晶の基板材料を用いることが好ましい。
なお、基板の面方位は特に限定されない。また、ジャスト基板でも良いしオフ角を付与した基板であっても良い。
「窒化ガリウム系化合物半導体」
基板11上に、通常、図示略のバッファ層を介して、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13およびp型半導体層14が積層される。使用する基板11やエピタキシャル層の成長条件によっては、バッファ層が不要な場合もある。
基板11上に、通常、図示略のバッファ層を介して、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13およびp型半導体層14が積層される。使用する基板11やエピタキシャル層の成長条件によっては、バッファ層が不要な場合もある。
窒化ガリウム系化合物半導体としては、例えば一般式AlXGaYInZN1−AMA(0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦Z≦1で且つ、X+Y+Z=1。記号Mは窒素(N)とは別の第V族元素を表し、0≦A<1である。)で表わされる窒化ガリウム系化合物半導体が多数知られており、本発明においても、それら周知の窒化ガリウム系化合物半導体を含めて一般式AlXGaYInZN1−AMA(0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦Z≦1で且つ、X+Y+Z=1。記号Mは窒素(N)とは別の第V族元素を表し、0≦A<1である。)で表わされる窒化ガリウム系化合物半導体を何ら制限なく用いることができる。
窒化ガリウム系化合物半導体は、Al、GaおよびIn以外に他のIII族元素を含有することができ、必要に応じてGe、Si、Mg、Ca、Zn、Be、P、AsおよびBなどの元素を含有することもできる。さらに、意図的に添加した元素に限らず、成膜条件等に依存して必然的に含まれる不純物、並びに原料、反応管材質に含まれる微量不純物を含む場合もある。
これらの窒化ガリウム系化合物半導体の成長方法は特に限定されず、MOCVD(有機金属化学気相成長法)、HVPE(ハイドライド気相成長法)、MBE(分子線エピタキシー法)等、窒化物半導体を成長させることが知られている全ての方法を適用できる。好ましい成長方法としては、膜厚制御性、量産性の観点からMOCVD法である。MOCVD法では、キャリアガスとして水素(H2)または窒素(N2)、III族原料であるGa源としてトリメチルガリウム(TMG)またはトリエチルガリウム(TEG)、Al源としてトリメチルアルミニウム(TMA)またはトリエチルアルミニウム(TEA)、In源としてトリメチルインジウム(TMI)またはトリエチルインジウム(TEI)、V族原料であるN源としてアンモニア(NH3)、ヒドラジン(N2H4)などが用いられる。また、ドーパントとしては、n型にはSi原料としてモノシラン(SiH4)またはジシラン(Si2H6)を、Ge原料としてゲルマンガス(GeH4)や、テトラメチルゲルマニウム((CH3)4Ge)やテトラエチルゲルマニウム((C2H5)4Ge)等の有機ゲルマニウム化合物を利用できる。MBE法では、元素状のゲルマニウムもドーピング源として利用できる。p型にはMg原料としては例えばビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)またはビスエチルシクロペンタジエニルマグネシウム(EtCp2Mg)を用いる。
(n型半導体層)
n型半導体層12は、通常、図示略の下地層、nコンタクト層12a及びnクラッド層12bから構成される。nコンタクト層は下地層および/またはnクラッド層を兼ねることができる。
下地層はAlXGa1―XN層(0≦x≦1、好ましくは0≦x≦0.5、さらに好ましくは0≦x≦0.1)から構成されることが好ましい。下地層の膜厚は0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.5μm以上であり、1μm以上が最も好ましい。この膜厚以上にした方が結晶性の良好なAlXGa1―XN層が得られやすい。
下地層にはn型不純物を1×1017〜1×1019/cm3の範囲内であればドープしても良いが、アンドープ(<1×1017/cm3)の方が良好な結晶性の維持という点で好ましい。n型不純物としては、特に限定されないが、例えば、Si、GeおよびSn等が挙げられ、好ましくはSiおよびGeである。
n型半導体層12は、通常、図示略の下地層、nコンタクト層12a及びnクラッド層12bから構成される。nコンタクト層は下地層および/またはnクラッド層を兼ねることができる。
下地層はAlXGa1―XN層(0≦x≦1、好ましくは0≦x≦0.5、さらに好ましくは0≦x≦0.1)から構成されることが好ましい。下地層の膜厚は0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.5μm以上であり、1μm以上が最も好ましい。この膜厚以上にした方が結晶性の良好なAlXGa1―XN層が得られやすい。
下地層にはn型不純物を1×1017〜1×1019/cm3の範囲内であればドープしても良いが、アンドープ(<1×1017/cm3)の方が良好な結晶性の維持という点で好ましい。n型不純物としては、特に限定されないが、例えば、Si、GeおよびSn等が挙げられ、好ましくはSiおよびGeである。
下地層を成長させる際の成長温度は、800〜1200℃が好ましく、1000〜1200℃の範囲に調整することがより好ましい。この温度範囲内で成長させれば、結晶性の良い下地層が得られる。また、MOCVD成長炉内の圧力は15〜40kPaに調整することが好ましい。
nコンタクト層12aとしては、下地層と同様にAlXGa1―XN層(0≦x≦1、好ましくは0≦x≦0.5、さらに好ましくは0≦x≦0.1)から構成されることが好ましい。また、n型不純物がドープされていることが好ましく、n型不純物を1×1017〜1×1019/cm3、好ましくは1×1018〜1×1019/cm3の濃度で含有すると、負極との良好なオーミック接触の維持、クラック発生の抑制、良好な結晶性の維持の点で好ましい。n型不純物としては、特に限定されないが、例えば、Si、GeおよびSn等が挙げられ、好ましくはSiおよびGeである。成長温度は下地層と同様である。
下地層及びnコンタクト層12aを構成する窒化ガリウム系化合物半導体は同一組成であることが好ましく、これらの合計の膜厚を1〜20μm、好ましくは2〜15μm、さらに好ましくは3〜12μmの範囲に設定することが好ましい。膜厚がこの範囲であると、半導体の結晶性が良好に維持される。
nコンタクト層12aと発光層13との間には、nクラッド層を設けることが好ましい。nクラッド層12bを設けることにより、nコンタクト層12aの最表面に生じた平坦性の悪化を埋めることできる。nクラッド層12bはAlGaN、GaN、GaInN等によって形成することが可能である。また、これらの構造のヘテロ接合や複数回積層した超格子構造としてもよい。GaInNとする場合には、発光層13のGaInNのバンドギャップよりも大きくすることが望ましいことは言うまでもない。
nクラッド層12bの膜厚は、特に限定されないが、好ましくは0.005〜0.5μmの範囲であり、より好ましくは0.005〜0.1μmの範囲である。
また、nクラッド層12bのn型ドープ濃度は1×1017〜1×1020/cm3の範囲が好ましく、より好ましくは1×1018〜1×1019/cm3の範囲である。ドープ濃度がこの範囲であると、良好な結晶性の維持および発光素子の動作電圧低減の点で好ましい。
また、nクラッド層12bのn型ドープ濃度は1×1017〜1×1020/cm3の範囲が好ましく、より好ましくは1×1018〜1×1019/cm3の範囲である。ドープ濃度がこの範囲であると、良好な結晶性の維持および発光素子の動作電圧低減の点で好ましい。
(p型半導体層)
p型半導体層14は、通常、pクラッド層およびpコンタクト層から構成される。しかし、pコンタクト層がpクラッド層を兼ねてもよい。
pクラッド層としては、発光層のバンドギャップエネルギーより大きくなる組成であり、発光層へのキャリアの閉じ込めができるものであれば特に限定されないが、好ましくは、AldGa1−dN(0<d≦0.4、好ましくは0.1≦d≦0.3)のものが挙げられる。pクラッド層が、このようなAlGaNからなると、発光層へのキャリアの閉じ込めの点で好ましい。pクラッド層の膜厚は、特に限定されないが、好ましくは1〜400nmであり、より好ましくは5〜100nmである。pクラッド層のp型ドープ濃度は、1×1018〜1×1021/cm3が好ましく、より好ましくは1×1019〜1×1020/cm3である。p型ドープ濃度が上記範囲であると、結晶性を低下させることなく良好なp型結晶が得られる。
p型半導体層14は、通常、pクラッド層およびpコンタクト層から構成される。しかし、pコンタクト層がpクラッド層を兼ねてもよい。
pクラッド層としては、発光層のバンドギャップエネルギーより大きくなる組成であり、発光層へのキャリアの閉じ込めができるものであれば特に限定されないが、好ましくは、AldGa1−dN(0<d≦0.4、好ましくは0.1≦d≦0.3)のものが挙げられる。pクラッド層が、このようなAlGaNからなると、発光層へのキャリアの閉じ込めの点で好ましい。pクラッド層の膜厚は、特に限定されないが、好ましくは1〜400nmであり、より好ましくは5〜100nmである。pクラッド層のp型ドープ濃度は、1×1018〜1×1021/cm3が好ましく、より好ましくは1×1019〜1×1020/cm3である。p型ドープ濃度が上記範囲であると、結晶性を低下させることなく良好なp型結晶が得られる。
pコンタクト層としては、少なくともAleGa1−eN(0≦e<0.5、好ましくは0≦e≦0.2、より好ましくは0≦e≦0.1)を含んでなる窒化ガリウム系化合物半導体層である。Al組成が上記範囲であると、良好な結晶性の維持およびpオーミック電極との良好なオーミック接触の点で好ましい。
また、p型ドーパントを1×1018〜1×1021/cm3の範囲の濃度で含有していると、良好なオーミック接触の維持、クラック発生の防止、良好な結晶性の維持の点で好ましく、より好ましくは5×1019〜5×1020/cm3の範囲である。
p型不純物としては、特に限定されないが、例えば、好ましくはMgが挙げられる。
pコンタクト層の膜厚は、特に限定されないが、0.01〜0.5μmが好ましく、より好ましくは0.05〜0.2μmである。膜厚がこの範囲であると、発光出力の点で好ましい。
また、p型ドーパントを1×1018〜1×1021/cm3の範囲の濃度で含有していると、良好なオーミック接触の維持、クラック発生の防止、良好な結晶性の維持の点で好ましく、より好ましくは5×1019〜5×1020/cm3の範囲である。
p型不純物としては、特に限定されないが、例えば、好ましくはMgが挙げられる。
pコンタクト層の膜厚は、特に限定されないが、0.01〜0.5μmが好ましく、より好ましくは0.05〜0.2μmである。膜厚がこの範囲であると、発光出力の点で好ましい。
(発光層)
発光層13は、n型半導体層12上に積層されるとともにp型半導体層14がその上に積層される層であり、図2に示すように、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層13aと、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層13bとが交互に繰り返して積層され、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成される。
また、図2に示す例では、発光層13は、6層の障壁層13aと5層の井戸層13bとが交互に繰り返して積層され、発光層13の最上層及び最下層に障壁層13aが配され、各障壁層13a間に井戸層13bが配される構成とされている。
発光層13は、n型半導体層12上に積層されるとともにp型半導体層14がその上に積層される層であり、図2に示すように、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層13aと、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層13bとが交互に繰り返して積層され、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成される。
また、図2に示す例では、発光層13は、6層の障壁層13aと5層の井戸層13bとが交互に繰り返して積層され、発光層13の最上層及び最下層に障壁層13aが配され、各障壁層13a間に井戸層13bが配される構成とされている。
障壁層13aとしては、例えば、インジウムを含有した窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層13bよりもバンドギャップエネルギーが大きいAlcGa1−cN(0≦c<0.3かつb>c)等の窒化ガリウム系化合物半導体を、好適に用いることができる。
また、井戸層13bには、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体として、例えば、Ga1−sInsN(0<s<0.4)等の窒化ガリウムインジウムを用いることができる。
また、井戸層13bには、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体として、例えば、Ga1−sInsN(0<s<0.4)等の窒化ガリウムインジウムを用いることができる。
本実施形態の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、井戸層13bにインジウムが含有された発光層13が備えられていることにより、発光波長が490nm以上の緑色発光を、高出力で安定して得ることができる。
発光波長が490nm以上の長い波長になると、発光色が緑色系となる。例えば、発光波長が505nm付近であると、信号機等に用いられるような青緑色を呈する。また、発光波長が525nm付近では、例えばディスプレイ等の3原色光源として用いられるような、純緑色が得られる。また、発光波長が560nm付近であると、例えばパイロットランプ等に用いられるような黄緑色が得られ、発光波長が570nmになると発光色が黄色に近い色調となる。
このため、緑色発光を得るためには、発光波長が490nm以上である必要がある。また、発光波長が490〜570nmの範囲であることが、良好な緑色発光が得られる点からより好ましい。
このため、緑色発光を得るためには、発光波長が490nm以上である必要がある。また、発光波長が490〜570nmの範囲であることが、良好な緑色発光が得られる点からより好ましい。
また、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子において、発光波長が490nm以上の緑色発光を得るためには、井戸層13bに含有されるインジウムの濃度を高くする必要があるが、インジウムは、高温によって組成が低下し、結晶性を保つのが難しいという問題がある。
本発明に係る窒化ガリウム系化合物半導体発光素子では、詳細を後述する製造方法により、発光層13を構成する障壁層13a及び井戸層13b、並びに発光層13上に積層されるp型半導体層14の各層の成長温度範囲、及び各温度の関係を規定している。これにより、障壁層13a及びp型半導体層14を成長させる際、井戸層13bに対し、該井戸層13bに含有されるインジウム組成が低下したり、井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。
従って、井戸層13bに含有されるインジウムを高い濃度で維持することができ、発光波長490nm以上の安定した緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が得られる
本発明に係る窒化ガリウム系化合物半導体発光素子では、詳細を後述する製造方法により、発光層13を構成する障壁層13a及び井戸層13b、並びに発光層13上に積層されるp型半導体層14の各層の成長温度範囲、及び各温度の関係を規定している。これにより、障壁層13a及びp型半導体層14を成長させる際、井戸層13bに対し、該井戸層13bに含有されるインジウム組成が低下したり、井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。
従って、井戸層13bに含有されるインジウムを高い濃度で維持することができ、発光波長490nm以上の安定した緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が得られる
なお、本発明のような窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の発光波長は、上記波長よりも高い波長とすることも可能であるが、実際には、構造上及び実用上の面から、580〜600nm程度の波長が上限と考えられる。
また、発光層13において、交互に繰り返して積層される井戸層13b及び障壁層13aの形成数は、井戸層13bの形成数D1が2〜20の範囲とされ、障壁層13aの形成数D2が3〜21(D1+1)の範囲とされていることが好ましい。図2に示す例では、井戸層13bの形成数D1が5とされ、障壁層13aの形成数D2が6とされている。
交互に繰り返して積層される井戸層13b及び障壁層13aの形成数が少なすぎると、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の発光出力が低下し、形成数が多すぎると、駆動電圧が上昇する傾向となる。
交互に繰り返して積層される井戸層13b及び障壁層13aの形成数が少なすぎると、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の発光出力が低下し、形成数が多すぎると、駆動電圧が上昇する傾向となる。
また、発光層13全体の膜厚としては、特に限定されないが、量子効果の得られる程度の膜厚、即ち臨界膜厚が好ましい。例えば、発光層13の膜厚は、1〜500nmの範囲であることが好ましく、100nm前後の膜厚であればより好ましい。膜厚が上記範囲であると、発光出力の向上に寄与する。
「透光性正極」
透光性正極15の材質としては、特に限定されず、ITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−Al2O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)等の材料を、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。また、その構造も、従来公知の構造を含めて如何なる構造のものも何ら制限なく用いることができる。
透光性正極15の材質としては、特に限定されず、ITO(In2O3−SnO2)、AZnO(ZnO−Al2O3)、IZnO(In2O3−ZnO)、GZO(ZnO−GeO2)等の材料を、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。また、その構造も、従来公知の構造を含めて如何なる構造のものも何ら制限なく用いることができる。
透光性正極15は、p型半導体層14上のほぼ全面を覆うように形成しても構わないし、隙間を開けて格子状や樹形状に形成しても良い。透光性正極15を形成した後に、合金化や透明化を目的とした熱アニールを施す場合もあるが、施さなくても構わない。
「正極ボンディングパッド及び負極ボンディングパッド」
正極ボンディングパッド16は、透光性正極15上に設けられる。
正極ボンディングパッド16の材料としては、Au、Al、NiおよびCu等を用いた各種構造が周知であり、これら周知の材料、構造のものを何ら制限無く用いることができる。
正極ボンディングパッド16の厚さは、100〜1000nmの範囲内であることが好ましい。また、ボンディングパッドの特性上、厚さが大きい方が、ボンダビリティーが高くなるため、正極ボンディングパッド16の厚さは300nm以上とすることがより好ましい。さらに、製造コストの観点から500nm以下とすることが好ましい。
正極ボンディングパッド16は、透光性正極15上に設けられる。
正極ボンディングパッド16の材料としては、Au、Al、NiおよびCu等を用いた各種構造が周知であり、これら周知の材料、構造のものを何ら制限無く用いることができる。
正極ボンディングパッド16の厚さは、100〜1000nmの範囲内であることが好ましい。また、ボンディングパッドの特性上、厚さが大きい方が、ボンダビリティーが高くなるため、正極ボンディングパッド16の厚さは300nm以上とすることがより好ましい。さらに、製造コストの観点から500nm以下とすることが好ましい。
負極ボンディングパッド17は、基板11上に、n型半導体層12、発光層13およびp型半導体層14が順次積層された窒化ガリウム系化合物半導体において、n型半導体層12のnコンタクト層12aに接するように形成される。
このため、負極ボンディングパッド17を形成する際は、発光層13、p型半導体層14、及びn型半導体層12のnクラッド層12bの一部を除去してnコンタクト層12aの露出領域12cを形成し、この上に負極ボンディングパッド17を形成する。
負極ボンディングパッド17の材料としては、各種組成および構造の負極が周知であり、これら周知の負極を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。
このため、負極ボンディングパッド17を形成する際は、発光層13、p型半導体層14、及びn型半導体層12のnクラッド層12bの一部を除去してnコンタクト層12aの露出領域12cを形成し、この上に負極ボンディングパッド17を形成する。
負極ボンディングパッド17の材料としては、各種組成および構造の負極が周知であり、これら周知の負極を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。
[窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法]
本実施形態の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法は、上述したように、図2に示すような基板11上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13、及びp型半導体層14をこの順序で積層する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1の製造方法であって、発光層13を、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層13aと、インジウムを含有する窒化ガリウムインジウムからなる井戸層13bとを交互に繰り返して積層し、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成する。そして、図1のグラフに示す成長温度の例のように、井戸層13bを成長温度T1で成長させ、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させる工程を必要回数繰り返して行なうことによって発光層13を形成し、該発光層13を形成した後、p型半導体層14を成長温度T3で成長させ、前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係とする。
本実施形態の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法は、上述したように、図2に示すような基板11上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層12、発光層13、及びp型半導体層14をこの順序で積層する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1の製造方法であって、発光層13を、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層13aと、インジウムを含有する窒化ガリウムインジウムからなる井戸層13bとを交互に繰り返して積層し、且つ、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で積層して形成する。そして、図1のグラフに示す成長温度の例のように、井戸層13bを成長温度T1で成長させ、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させる工程を必要回数繰り返して行なうことによって発光層13を形成し、該発光層13を形成した後、p型半導体層14を成長温度T3で成長させ、前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係とする。
また、本実施形態では、図3のグラフに示すように、障壁層13aを、少なくとも成長温度T2で成長させるとともに、井戸層13bを、成長温度T1で成長させる前、及び/又は、成長温度T1で成長させた後、障壁層13bを成長温度T4で成長させることによって発光層13を形成し、成長温度T4が600℃≦T4≦800℃の範囲であるとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)であり、且つ、T4≦T2で表される関係とされた方法とすることができる。
本実施形態の製造方法では、発光層を上記条件で形成することにより、発光波長が490nm以上の緑色発光を呈する、発光特性に優れた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造することができる。
以下、本発明に係る製造方法で規定する各成長温度T1、T2、及びT3について詳述する。
成長温度T1は、600℃以上800℃以下の範囲であることが好ましい。
成長温度T1をこの範囲とし、この温度で井戸層13bを成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T1を600℃未満とし、この温度で井戸層13bを成長させると、発光素子の発光強度が低下してしまう。また、成長温度T1が800℃を超えた場合に半導体発光素子に与える影響は明らかでは無いが、本発明者が鋭意研究したところ、井戸層13bのインジウムの組成が低下することから、上述の緑色発光波長が得られにくくなるものと考えられる。
成長温度T1は、600℃以上800℃以下の範囲であることが好ましい。
成長温度T1をこの範囲とし、この温度で井戸層13bを成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T1を600℃未満とし、この温度で井戸層13bを成長させると、発光素子の発光強度が低下してしまう。また、成長温度T1が800℃を超えた場合に半導体発光素子に与える影響は明らかでは無いが、本発明者が鋭意研究したところ、井戸層13bのインジウムの組成が低下することから、上述の緑色発光波長が得られにくくなるものと考えられる。
また、成長温度T1は、650℃以上780℃以下の範囲であることがより好ましく、720℃以上750℃以下の範囲であることが最も好ましい。成長温度T1を650℃以上780℃以下の範囲とすることにより、高い発光出力が得られるとともに、目的とする緑色発光波長を再現性良く得ることができる。さらに、成長温度T1を、本発明者等が見出した最も好ましい温度である720℃以上750℃以下の範囲とすることにより、上述したような発光特性をバランス良く得ることができる。
成長温度T2は、750℃以上1000℃以下の範囲であることが好ましい。
成長温度T2をこの範囲として障壁層13aを成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T2を750℃未満として障壁層13aを成長させると、発光素子の発光強度が低下してしまう。また、成長温度T2を1000℃超として障壁層13aを成長させると、エージングによる劣化が発生するため、好ましくない。
成長温度T2をこの範囲として障壁層13aを成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T2を750℃未満として障壁層13aを成長させると、発光素子の発光強度が低下してしまう。また、成長温度T2を1000℃超として障壁層13aを成長させると、エージングによる劣化が発生するため、好ましくない。
また、成長温度T2は、800℃以上970℃以下の範囲であることがより好ましく、870℃以上920℃以下の範囲であることが最も好ましい。成長温度T2を800℃以上970℃以下の範囲とすることにより、井戸層13bへの熱ダメージが抑制され、高い発光出力が得られるとともに、エージングによる逆方向リーク電流(Ir)の劣化を防止することができる。さらに、成長温度T2を、最も好ましい温度である870℃以上920℃以下の範囲とすることにより、順方向の駆動電圧(Vf)を低く保つことができる。
成長温度T3は、900℃以上1050℃以上の範囲であることが好ましい。
成長温度T3をこの範囲としてp型半導体層14を成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T3を900℃未満としてp型半導体層14を成長させると、半導体発光素子の駆動電圧が上昇してしまう。また、成長温度T3を1050℃超としてp型半導体層14を成長させると、半導体発光素子の発光強度が低下するため、好ましくない。
成長温度T3をこの範囲としてp型半導体層14を成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T3を900℃未満としてp型半導体層14を成長させると、半導体発光素子の駆動電圧が上昇してしまう。また、成長温度T3を1050℃超としてp型半導体層14を成長させると、半導体発光素子の発光強度が低下するため、好ましくない。
また、成長温度T3は、980℃以上1020℃以下の範囲であることがより好ましい。成長温度T3をこの範囲とすることにより、順方向の駆動電圧(Vf)を低く保ちながら、発光層13への熱ダメージが抑制され、高い発光出力を得ることができる。
また、本実施形態の製造方法では、上述したように、各成長温度T1、T2、T3の関係が、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3で表される関係とされている。
成長温度T1、T2、T3の温度を上記範囲としたうえで、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3で表される関係とすることにより、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造する際、井戸層13bを破壊することなく各層を積層することができる。これにより、波長が490nm以上の緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を、高効率で製造することが可能となる。
成長温度T1、T2、T3の温度を上記範囲としたうえで、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3で表される関係とすることにより、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造する際、井戸層13bを破壊することなく各層を積層することができる。これにより、波長が490nm以上の緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を、高効率で製造することが可能となる。
以下に、上記温度条件で、井戸層13b及び障壁層13aを成長させて発光層13を形成し、その上にp型半導体層14を成長させて窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1を製造する手順について、図1〜2を用いて詳述する。
本実施形態の製造方法では、発光層13を、基板11上に積層されたn型半導体層12上に積層して形成した後、発光層13上にp型半導体層14を積層して形成する。この際、図1のグラフに示す例のように、まず、n型半導体層12上に障壁層13aを、少なくとも上記範囲の成長温度T2で成長させて積層する。次いで、この障壁層13a上に井戸層13bを、上記範囲の成長温度T1で成長させて積層する。これら障壁層13aと井戸層13bとを交互に繰り返して積層してゆき、最上層として障壁層13aを積層することによって発光層13が形成される。
本実施形態の製造方法では、発光層13を、基板11上に積層されたn型半導体層12上に積層して形成した後、発光層13上にp型半導体層14を積層して形成する。この際、図1のグラフに示す例のように、まず、n型半導体層12上に障壁層13aを、少なくとも上記範囲の成長温度T2で成長させて積層する。次いで、この障壁層13a上に井戸層13bを、上記範囲の成長温度T1で成長させて積層する。これら障壁層13aと井戸層13bとを交互に繰り返して積層してゆき、最上層として障壁層13aを積層することによって発光層13が形成される。
これにより、発光層13は、n型半導体層12側及びp型半導体層14側に障壁層13aが配される順で形成され、障壁層13aの形成数が、井戸層13bの形成数よりも1層多い構成とされる。図2に示す例では、井戸層13bの形成数が5とされ、障壁層13aの形成数が6とされている。
そして、最上層が障壁層13aとされた発光層13上に、p型半導体層14を上記範囲の成長温度T3で成長させて形成する。
そして、最上層が障壁層13aとされた発光層13上に、p型半導体層14を上記範囲の成長温度T3で成長させて形成する。
p型半導体層14上には、上述したような透光性正極15を形成し、該透光性正極15上に正極ボンディングパッド16を形成する。また、n型半導体層12の、nコンタクト層12aの露出領域12cに、上述した負極ボンディングパッド17を形成し、図2に示すような窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1が得られる。
なお、障壁層13aを成長させる際の温度条件は、上述したような図1のグラフに示す形態には限定されない。
例えば、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させるとともに、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び/又は、成長温度T1で成長させた後、障壁層13bを成長温度T4で成長させることによって発光層13を形成する方法とすることができる。図3のグラフ(図2も参照)に示す例では、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させるとともに、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び成長温度T1で成長させた後に、障壁層13bを、成長温度T1よりも低い成長温度T4で成長させることによって発光層13を形成している。そして、発光層13の形成後、その上に成長温度T3でp型半導体層14を成長させている。
例えば、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させるとともに、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び/又は、成長温度T1で成長させた後、障壁層13bを成長温度T4で成長させることによって発光層13を形成する方法とすることができる。図3のグラフ(図2も参照)に示す例では、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させるとともに、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び成長温度T1で成長させた後に、障壁層13bを、成長温度T1よりも低い成長温度T4で成長させることによって発光層13を形成している。そして、発光層13の形成後、その上に成長温度T3でp型半導体層14を成長させている。
成長温度T4は、成長温度T1と同様、600℃以上800℃以下の範囲であることが好ましい。
成長温度T4をこの範囲とし、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び/又は、成長温度T1で成長させた後、障壁層13bを成長温度T4で成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T4を600℃未満とし、この温度で障壁層13aを成長させると、発光素子の発光強度が低下してしまう。また、成長温度T4を800℃超として障壁層13aを成長させると、成長温度T2を800℃超とした場合と同様、エージングによる劣化が発生するため、好ましくない。
成長温度T4をこの範囲とし、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び/又は、成長温度T1で成長させた後、障壁層13bを成長温度T4で成長させることにより、発光波長490nm以上の緑色発光が、高い発光強度で得られる半導体発光素子を製造することができる。
成長温度T4を600℃未満とし、この温度で障壁層13aを成長させると、発光素子の発光強度が低下してしまう。また、成長温度T4を800℃超として障壁層13aを成長させると、成長温度T2を800℃超とした場合と同様、エージングによる劣化が発生するため、好ましくない。
また、上述したように、前記各成長温度T1、T2、及びT3は、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3で表される関係とされているが、さらに、前記各成長温度T2、T4が、T4≦T2で表される関係とされている。
成長温度T4を上記範囲としたうえで、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3であり、且つ、T4≦T2で表される関係とすることにより、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造する際、井戸層13bが特性劣化することなく各層を積層することができる。これにより、発光波長490nm以上の緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を、高効率で製造することが可能となる。
成長温度T4を上記範囲としたうえで、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3であり、且つ、T4≦T2で表される関係とすることにより、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造する際、井戸層13bが特性劣化することなく各層を積層することができる。これにより、発光波長490nm以上の緑色発光を呈する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を、高効率で製造することが可能となる。
図3のグラフに示す例では、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前、及び後に、成長温度T1よりも低い成長温度T4で障壁層13aを成長させている。このような成長温度の関係とすれば、井戸層13bが高温で加熱され、該井戸層13b中のインジウムの組成が低下するのを防止することができ、発光波長490nm以上の緑色発光が安定して得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造することが可能となる。
また、障壁層13aを少なくとも成長温度T2で成長させるとともに、成長温度T4で成長させる形態としては、図3のグラフに示す例には限定されない。
例えば、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前のみ、又は成長後のみに、障壁層13aを成長温度T4で成長させる方法としても良い。
また、図3のグラフに示す例では、障壁層13aを成長させる成長温度T4を、井戸層13bを成長させる成長温度T1よりも低い温度としているが、成長温度T4は、600℃≦T4≦800℃の範囲であるとともに、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3であり、且つ、T4≦T2で表される関係の範囲内であれば適宜設定することができ、例えば、成長温度T1より高い温度であっても良い。また、成長温度T4は、上述のようにT1と異なる温度であっても良いし、同じ温度であっても良い。
さらに、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前に障壁層13bを成長させる成長温度T4と、井戸層13bを成長温度T1で成長させた後に障壁層13bを成長させる成長温度T4とが異なる温度であっても良い。
例えば、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前のみ、又は成長後のみに、障壁層13aを成長温度T4で成長させる方法としても良い。
また、図3のグラフに示す例では、障壁層13aを成長させる成長温度T4を、井戸層13bを成長させる成長温度T1よりも低い温度としているが、成長温度T4は、600℃≦T4≦800℃の範囲であるとともに、T1≦T2≦T3であって、T1≠T3であり、且つ、T4≦T2で表される関係の範囲内であれば適宜設定することができ、例えば、成長温度T1より高い温度であっても良い。また、成長温度T4は、上述のようにT1と異なる温度であっても良いし、同じ温度であっても良い。
さらに、井戸層13bを成長温度T1で成長させる前に障壁層13bを成長させる成長温度T4と、井戸層13bを成長温度T1で成長させた後に障壁層13bを成長させる成長温度T4とが異なる温度であっても良い。
また、成長温度T4は、上述したように、成長温度T1と同様、600℃以上800℃以下の範囲であることが好ましいが、650℃以上780度以下の範囲であることがより好ましく、720℃以上750℃以下の範囲であることが最も好ましい。成長温度T4をこの範囲とすることにより、高い発光出力が得られるとともに、順方向の駆動電圧(Vf)を低く保つことができる。
成長温度T4を、上記範囲を下回る温度とした場合、井戸層13bへの熱ダメージが抑制され、発光出力を高くすることができるものの、障壁層13aの結晶性が安定しないために抵抗率が下がらず、順方向の駆動電圧(Vf)が高くなってしまう。
また、成長温度T4を、上記範囲を超える温度とした場合、井戸層13bへの熱ダメージが大きくなり、再現性良く高出力を得ることが困難になるとともに、インジウムの分解が生じ、目的とする緑色発光波長を安定して得ることが困難となる。
また、成長温度T4を、上記範囲を超える温度とした場合、井戸層13bへの熱ダメージが大きくなり、再現性良く高出力を得ることが困難になるとともに、インジウムの分解が生じ、目的とする緑色発光波長を安定して得ることが困難となる。
本実施形態の製造方法では、発光層13を形成する際の、交互に繰り返して積層する井戸層13b及び障壁層13aの形成周期数は、井戸層13bの形成周期N1が2〜20の範囲であり、障壁層13aの形成周期N2が3〜21(N1+1)の範囲であることが好ましい。図2に示す半導体発光素子の例では、上述したように、井戸層13bの形成周期N1を5とし、障壁層13aの形成周期N2を6として形成している。
交互に繰り返して積層する井戸層13b及び障壁層13aの形成数が少なすぎると、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の発光出力が低下し、形成数が多すぎると、駆動電圧が上昇してしまう。
交互に繰り返して積層する井戸層13b及び障壁層13aの形成数が少なすぎると、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の発光出力が低下し、形成数が多すぎると、駆動電圧が上昇してしまう。
本発明に係る製造方法で規定された上記成長温度条件で窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造することにより、障壁層と井戸層とを交互に繰り返して形成する際に、井戸層が高温によって特性劣化するのを防止することができるとともに、井戸層中のインジウム組成が低下するのを防止することができる。
例えば、図1、及び図3のグラフ(図2も参照)に示すように、n型半導体層12上の障壁層13aの上に積層して井戸層13bを成長温度T1で成長させて形成した後、この井戸層13b上にさらに障壁層13aを成長させる際、障壁層13aを成長させる成長温度T2、T4を上記成長温度条件とすれば、形成済みの井戸層13bに対し、該井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。また、最上層の障壁層13aを積層して形成が完了した発光層13上に更にp型半導体層14を積層する際にも、p型半導体層14を成長させる成長温度T3を上記成長温度条件とすれば、各井戸層13bに対し、該井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。また、図2に示す例のように、発光層13の最上層及び最下層に障壁層13aが配され、各障壁層13a間に井戸層13bが配される構成とすることにより、発光層13上にp型半導体層14を形成する際、井戸層13bに対し、該井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。
従って、高い発光出力で安定した発光波長490nm以上の緑色発光を呈し、且つ駆動電圧が低く抑えられた、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造することができる。
例えば、図1、及び図3のグラフ(図2も参照)に示すように、n型半導体層12上の障壁層13aの上に積層して井戸層13bを成長温度T1で成長させて形成した後、この井戸層13b上にさらに障壁層13aを成長させる際、障壁層13aを成長させる成長温度T2、T4を上記成長温度条件とすれば、形成済みの井戸層13bに対し、該井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。また、最上層の障壁層13aを積層して形成が完了した発光層13上に更にp型半導体層14を積層する際にも、p型半導体層14を成長させる成長温度T3を上記成長温度条件とすれば、各井戸層13bに対し、該井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。また、図2に示す例のように、発光層13の最上層及び最下層に障壁層13aが配され、各障壁層13a間に井戸層13bが配される構成とすることにより、発光層13上にp型半導体層14を形成する際、井戸層13bに対し、該井戸層13bが特性劣化するような高温が加わることが無い。
従って、高い発光出力で安定した発光波長490nm以上の緑色発光を呈し、且つ駆動電圧が低く抑えられた、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を製造することができる。
[ランプ]
以上、説明したような本発明に係る製造方法によって得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、例えば、当業者周知の手段により、透明カバーを設けて緑色発光を呈するランプを構成することができる。
例えば、図4に示すように、本発明に係る製造方法によって得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、従来公知の方法を用いてなんら制限無くLEDランプとして構成することができる。ランプとしては、一般用途の砲弾型、携帯のバックライト用途のサイドビュー型、表示器に用いられるトップビュー型等、何れの用途にも用いることができる。例えば、フェイスアップ型の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を砲弾型に実装する場合、図示例のように、2本のフレーム21、22の一方に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1を樹脂などで接着し、正極ボンディングパッド16及び負極ボンディングパッド17を金等の材質からなるワイヤー23、24用いて、それぞれフレーム21、22に接合する。その後、透明樹脂で素子周辺をモールドすることにより(図4のモールド25参照)、砲弾型のランプ20を作製することができる。
以上、説明したような本発明に係る製造方法によって得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、例えば、当業者周知の手段により、透明カバーを設けて緑色発光を呈するランプを構成することができる。
例えば、図4に示すように、本発明に係る製造方法によって得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、従来公知の方法を用いてなんら制限無くLEDランプとして構成することができる。ランプとしては、一般用途の砲弾型、携帯のバックライト用途のサイドビュー型、表示器に用いられるトップビュー型等、何れの用途にも用いることができる。例えば、フェイスアップ型の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を砲弾型に実装する場合、図示例のように、2本のフレーム21、22の一方に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子1を樹脂などで接着し、正極ボンディングパッド16及び負極ボンディングパッド17を金等の材質からなるワイヤー23、24用いて、それぞれフレーム21、22に接合する。その後、透明樹脂で素子周辺をモールドすることにより(図4のモールド25参照)、砲弾型のランプ20を作製することができる。
本発明の製造方法で得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を用いてランプを構成した場合には、発光特性に優れた高効率の緑色発光ランプを実現することが可能となる。
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
[実施例1]
図2に、本実験例で作製した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の断面模式図を示す。
図2に、本実験例で作製した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の断面模式図を示す。
(窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の作製)
サファイアからなる基板11上に、AlNからなる図示略のバッファ層を介して、窒化ガリウム系化合物半導体層を積層した。この窒化ガリウム系化合物半導体層は、厚さ8μmのアンドープGaNからなる下地層、厚さ2μmのGeドープn型GaNコンタクト層および厚さ0.02μmのn型In0.1Ga0.9Nクラッド層がこの順序で積層されたn型半導体層12と、厚さ16nmのSiドープGaNからなる障壁層13a及び厚さ2.5nmのIn0.06Ga0.94Nからなる井戸層13bを5回積層し、最後に障壁層13aを設けた多重量子井戸構造の発光層13と、厚さ0.01μmのMgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層と厚さ0.18μmのMgドープp型Al0.02Ga0.98Nコンタクト層がこの順序で積層されたp型半導体層14とからなり、各層をこの順で積層して形成した。なお、光取り出し面は半導体層側とした。
サファイアからなる基板11上に、AlNからなる図示略のバッファ層を介して、窒化ガリウム系化合物半導体層を積層した。この窒化ガリウム系化合物半導体層は、厚さ8μmのアンドープGaNからなる下地層、厚さ2μmのGeドープn型GaNコンタクト層および厚さ0.02μmのn型In0.1Ga0.9Nクラッド層がこの順序で積層されたn型半導体層12と、厚さ16nmのSiドープGaNからなる障壁層13a及び厚さ2.5nmのIn0.06Ga0.94Nからなる井戸層13bを5回積層し、最後に障壁層13aを設けた多重量子井戸構造の発光層13と、厚さ0.01μmのMgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層と厚さ0.18μmのMgドープp型Al0.02Ga0.98Nコンタクト層がこの順序で積層されたp型半導体層14とからなり、各層をこの順で積層して形成した。なお、光取り出し面は半導体層側とした。
また、上記方法にて発光層13を形成する際の成長温度条件は、図3のグラフに示すような条件とし、井戸層13bを成長させる際の成長温度T1及びT4を740℃、障壁層13aを成長させる際の成長温度T2を920℃、p型半導体層14を成長させる際の成長温度T3を990℃とした。
上記窒化ガリウム系化合物半導体層の積層(図2の符号12、13、14)は、MOCVD法により、当該技術分野においてよく知られた通常の条件で行なった。
上記窒化ガリウム系化合物半導体層の積層(図2の符号12、13、14)は、MOCVD法により、当該技術分野においてよく知られた通常の条件で行なった。
そして、この窒化ガリウム系化合物半導体層に、負極を形成する領域のn型GaNコンタクト層を反応性イオンエッチング法により露出させた。この際、まず、レジストをp型半導体層の全面に一様に塗布した後、公知のリソグラフィー技術を用いて、負極形成領域からレジストを除去した。そして、真空蒸着装置内にセットして、圧力4×10−4Pa以下でNiおよびTiをエレクトロンビーム法により膜厚がそれぞれ約50nmおよび300nmとなるように積層した。その後リフトオフ技術により、負極形成領域以外の金属膜をレジストとともに除去した。
次いで、反応性イオンエッチング装置のエッチング室内の電極上に半導体積層基板を載置し、エッチング室を10−4Paに減圧した後、エッチングガスとしてCl2を供給してn型GaNコンタクト層が露出するまでエッチングした。エッチング後、反応性イオンエッチング装置より取り出し、上記エッチングマスクを硝酸およびフッ酸により除去した。
次に、公知のフォトリソグラフィー技術及びリフトオフ技術を用いて、p型AlGaNコンタクト層(p型半導体層14)上の正極を形成する領域にのみ、厚さ1nmのNiコンタクトメタル層、及び厚さ1μmのITOからなる電流拡散層を積層して形成した。電流拡散層は、まず、窒化ガリウム系化合物半導体層を積層した基板を真空スパッタ装置内に入れ、p型AlGaNコンタクト層上にITOを1μm積層することによって形成した。そして、真空室から窒化ガリウム系化合物半導体層を積層した基板を取り出した後、透明化のための熱処理を施すことにより、p型半導体層14上に透光性正極15を形成した。
(ボンディングパッドの形成)
次に、正極ボンディングパッド16および負極ボンディングパッド17を、以下のような手順で形成した。
まず、通常、リフトオフと呼ばれる周知の手順に則って処理し、さらに、同様の積層方法により、ITO膜上の一部にAuからなる第1の層、Tiからなる第2の層、Alからなる第3の層、Tiからなる第4の層、Auからなる第5の層を順に積層し、5層構造の正極ボンディングパッド17を形成した。ここで、Au/Ti/Al/Ti/Auからなる各層の厚さは、それぞれ、50/20/10/100/200nmとした。
次に、正極ボンディングパッド16および負極ボンディングパッド17を、以下のような手順で形成した。
まず、通常、リフトオフと呼ばれる周知の手順に則って処理し、さらに、同様の積層方法により、ITO膜上の一部にAuからなる第1の層、Tiからなる第2の層、Alからなる第3の層、Tiからなる第4の層、Auからなる第5の層を順に積層し、5層構造の正極ボンディングパッド17を形成した。ここで、Au/Ti/Al/Ti/Auからなる各層の厚さは、それぞれ、50/20/10/100/200nmとした。
次に、負極ボンディングパッド17を、上述した反応性イオンエッチング法により露出したn型GaNコンタクト層(n型半導体層12)上に、以下の手順により形成した。
まず、レジストを、n型GaNコンタクト層の露出した領域全面に一様に塗布した後、公知のリソグラフィー技術を用いて、露出したn型GaNコンタクト層上の負極形成部分からレジストを除去した。そして、通常用いられる真空蒸着法により、半導体側から順に、Tiが100nm、Auが200nmの厚さとされた負極ボンディングパッド17を形成した。その後、レジストを公知の方法により除去した。
まず、レジストを、n型GaNコンタクト層の露出した領域全面に一様に塗布した後、公知のリソグラフィー技術を用いて、露出したn型GaNコンタクト層上の負極形成部分からレジストを除去した。そして、通常用いられる真空蒸着法により、半導体側から順に、Tiが100nm、Auが200nmの厚さとされた負極ボンディングパッド17を形成した。その後、レジストを公知の方法により除去した。
このようにして、正極および負極を形成したウエーハを、基板11裏面を研削・研磨することにより、基板11の板厚を80μmまで薄くして、レーザスクライバを用いて半導体積層側から罫書き線を入れた後、押し割って350μm角に切断し、実施例1の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子のチップを得た。
(素子特性の評価)
上述のようにして得られたチップを、プローブ針による通電で電流印加値20mAにおける順方向電圧(駆動電圧:Vf)の測定をしたところ3.4Vであった。
また、上記チップをTO−18缶パッケージに実装して、テスターによって発光出力を計測したところ、印加電流20mAにおける発光出力(Po)は7mWを示した。
また、上記チップの発光波長を測定したところ、525nmであり、その発光面が、全面で緑色に発光しているのが確認できた。
上述のようにして得られたチップを、プローブ針による通電で電流印加値20mAにおける順方向電圧(駆動電圧:Vf)の測定をしたところ3.4Vであった。
また、上記チップをTO−18缶パッケージに実装して、テスターによって発光出力を計測したところ、印加電流20mAにおける発光出力(Po)は7mWを示した。
また、上記チップの発光波長を測定したところ、525nmであり、その発光面が、全面で緑色に発光しているのが確認できた。
[実施例2〜11]
成長温度T1、T2、T3、及びT4を下記表1に示す条件とした点を除き、実験例1と同様の方法で実施例2〜11の半導体発光素子のチップを作製し、実施例1と同様の方法で評価した。
成長温度T1、T2、T3、及びT4を下記表1に示す条件とした点を除き、実験例1と同様の方法で実施例2〜11の半導体発光素子のチップを作製し、実施例1と同様の方法で評価した。
[比較例1〜5]
発光層13を形成する際の成長温度条件を図1のグラフに示すような条件とし、各成長温度T1、T2、及びT3を下記表1に示す条件とした点を除き、実験例1と同様の方法で、比較例1〜5の半導体発光素子のチップを作製し、実施例1と同様の方法で評価した。
発光層13を形成する際の成長温度条件を図1のグラフに示すような条件とし、各成長温度T1、T2、及びT3を下記表1に示す条件とした点を除き、実験例1と同様の方法で、比較例1〜5の半導体発光素子のチップを作製し、実施例1と同様の方法で評価した。
各実施例及び比較例の製造条件(成長温度T1、T2、T3、及びT4)、並びに評価結果の一覧を表1に示す。
表1に示すように、本発明で規定された成長温度条件で製造された実施例1〜11の半導体発光素子は、発光出力(Po)が、全て6mW以上(6〜9.5mW)であり、高い発光出力を安定して得ることができた。また、駆動電圧(Vf)は、全て3.5V以下(3.3〜3.5V)であり、低い電圧で駆動することが可能であるとともに、全てのサンプルにおいて緑色系の発光(波長:505〜550mW)が得られた。
これに対し、比較例1の半導体発光素子は、井戸層を成長させる際の成長温度T1が580℃と本発明で規定する範囲を下回っており、発光出力が1mWと非常に低く、また、井戸層が破壊されているのが確認された。
また、比較例2の半導体発光素子では、障壁層を成長させる際の成長温度T2が1020℃と本発明で規定する範囲を超えており、また、p型半導体層を成長させる際の成長温度T3が1000℃であるため、本発明で規定するT1≦T2≦T3の関係式から外れている。比較例2の半導体発光素子は、成長温度T2が高いため、エージングによって逆方向電圧(Vr)が劣化していることが確認された。
また、比較例3の半導体発光素子では、障壁層を成長させる際の成長温度T2が920℃であり、また、p型半導体層を成長させる際の成長温度T3が同じく920℃であり、何れも本発明で規定する温度範囲内となっているものの、本発明で規定するT1≦T2≦T3の関係式から外れており、駆動電圧が4.0Vと高くなっている。
また、比較例4の半導体発光素子では、発光層上にp型半導体層を成長させる際の成長温度T3が1100℃と本発明で規定する範囲を超えており、発光出力が2mWと低く、また、井戸層が破壊しているのが確認された。
また、比較例5の半導体発光素子では、障壁層を成長させる際の成長温度T2が740℃と本発明で規定する範囲を下回っており、また、井戸層を成長させる際の成長温度T1が740℃であるため、本発明で規定するT1≦T2≦T3の関係式から外れている。比較例5の半導体発光素子は、発光出力が2mWと低くなっており、また、駆動電圧が4.2Vと非常に高くなっている。
以上の結果により、本発明の製造方法で得られる窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が、波長が490nm以上の緑色発光を呈し、発光出力が高く、且つ駆動電圧が低く抑えられ、高い素子特性を有していることが明らかである。
1…窒化ガリウム系化合物半導体発光素子、11…基板、12…n型半導体層、13…発光層、14…p型半導体層、15…透光性正極、15a…障壁層、15b…井戸層、16…正極ボンディングパッド、17…負極ボンディングパッド、20…ランプ、T1、T2、T3、T4…成長温度
Claims (8)
- 基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層、発光層、及びp型半導体層をこの順序で積層する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、
前記発光層を形成する際、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層と、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層とを交互に繰り返して積層し、且つ、前記n型半導体層側及び前記p型半導体層側に前記障壁層を配する順で積層して形成し、
前記井戸層を成長温度T1で成長させ、前記障壁層を少なくとも成長温度T2で成長させることによって前記発光層を形成し、該発光層を形成した後、前記p型半導体層を成長温度T3で成長させるとともに、
前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ600℃<T1<800℃、750℃<T2<1000℃、900℃<T3<1050℃の範囲とするとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)で表される関係とすることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。 - 前記成長温度T1、T2を、それぞれ650℃<T1<780℃、800℃<T2<1000℃の範囲とすることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記成長温度T1、T2、及びT3を、それぞれ720℃<T1<750℃、870℃<T2<920℃、950℃<T3<1020℃の範囲とすることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。
- 請求項1〜3の何れか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、
前記障壁層を、少なくとも前記成長温度T2で成長させるとともに、
前記井戸層を、前記成長温度T1で成長させる前、及び/又は、前記成長温度T1で成長させた後、前記障壁層を成長温度T4で成長させることによって前記発光層を形成し、
前記成長温度T4が600℃≦T4≦800℃の範囲であるとともに、T1≦T2≦T3(但し、T1≠T3)であり、且つ、T4≦T2で表される関係とされていることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法であって、
前記窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が、発光波長490nm以上の緑色発光を呈するものであることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載の製造方法で得られ、基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなるn型半導体層、発光層、及びp型半導体層がこの順序で積層された窒化ガリウム系化合物半導体発光素子あって、
前記発光層は、窒化ガリウム系化合物半導体からなる障壁層と、インジウムを含有する窒化ガリウム系化合物半導体からなる井戸層とが交互に繰り返して積層され、且つ、前記n型半導体層側及び前記p型半導体層側に前記障壁層が配される順で積層して形成されていることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。 - 請求項6に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子であって、発光波長が490nm以上の緑色発光を呈するものであることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体発光素子。
- 請求項6又は7に記載の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が用いられてなるランプ。
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