JP7488410B1 - 窒化物半導体発光素子の光出力予測方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
まず、本実施の形態で光出力の予測対象となる窒化物半導体発光素子100(以下、単に「発光素子100」ともいう)について説明する。図1は、窒化物半導体発光素子100の構成を概略的に示す模式図である。なお、図1において、発光素子100の各層の積層方向の寸法比は、必ずしも実際のものと一致するものではなく、また各層が多層構造となっていてもよい。
図2は、窒化物半導体発光素子の光出力予測装置1(以下、単に「光出力予測装置1」という)の概略構成図である。図2では、光出力予測装置1と併せて、窒化物半導体発光素子の製造装置10(成膜装置)と、管理用端末11とを示している。窒化物半導体発光素子の製造装置10は、有機金属化学気相成長法、分子線エピタキシ法、ハライド気相エピタキシ法等の周知のエピタキシャル成長法を用いて、発光素子100の各層102~106を成膜する装置である。管理用端末11は、窒化物半導体発光素子の製造装置10を管理するための端末装置であり、例えば、パーソナルコンピュータ等から構成される。なお、管理用端末11は省略可能であり、光出力予測装置1に管理用端末11としての機能を搭載してもよい。
学習用データ取得部21は、外部から学習(機械学習)に用いる各種データを取得し、学習用データ31として記憶部3に記憶する処理を行う。各種データは、窒化物半導体発光素子の製造装置10より有線または無線通信により直接取得してもよいし、管理用端末11から有線または無線通信により取得してもよい。また、各種データは、入力装置5から入力されてもよく、例えばUSBメモリ等のメディアを用いて入力されてもよい。このように、学習用データ31の取得方法は特に限定されない。
ここで、機械学習に用いる学習用データ31の一例について説明しておく。図3A及び図3Bは、学習用データ31の一例を示す図である。図3A及び図3Bに示すように、学習用データ31は、各層102~106それぞれの組成パラメータ、物性パラメータ、製造条件パラメータに対応するデータと、光出力のデータとが紐づけられ記憶されている。組成パラメータは、発光素子100を構成する各層102~106の組成を規定するパラメータである。発光素子100を構成する各層102~106の物性(及び物理的な構造等)を規定するパラメータである。製造条件パラメータは、発光素子100の製造条件を規定するパラメータである。
さらに、本発明者らが検討したところ、組成パラメータや物性パラメータが一定の場合であっても、製造条件パラメータが変化すると光出力が変化する場合があることがわかった。以下、具体的に説明する。
モデル作成部22は、学習用データ31を用いて学習済モデル32を作成する処理を行う。モデル作成部22の行う処理は、本発明のモデル作成工程に相当する。本実施の形態では、モデル作成部22は、少なくとも、発光素子100を構成する層102~106の組成パラメータまたは物性パラメータの少なくとも一方と、当該組成パラメータまたは物性パラメータの値を調整する際に変更する製造条件パラメータと、発光素子100の光出力との相関性を学習(機械学習)して学習済モデル32を作成する。本実施の形態では、組成パラメータと物性パラメータの両方を機械学習に用いて学習済モデル32を作成するようにモデル作成部22を構成した。
光出力予測部23は、学習済モデル32を用いて光出力を予測する処理を行う。光出力予測部23の行う処理は、本発明の光出力予測工程に相当する。図7に示すように、光出力予測部23には、モデル作成部22が作成した学習済モデル32と、予測元データ33とが入力される。予測元データ33とは、説明変数に用いた各パラメータの値であり、例えば入力装置5により入力される。光出力予測部23は、学習済モデル32に予測元データ33の各パラメータの値を適用することで、予測元データ33に対応する光出力を予測する。予測した光出力は、予測データ34として記憶部3に記憶される。
予測結果提示部24は、光出力予測部23が予測した予測データ34を提示する処理を行う。予測結果提示部24は、例えば、予測データ34を表示器4に表示することで、予測データ34の提示を行う。提示の際の形式は特に限定されず、数値やグラフ等の適宜な形式で提示を行うとよい。なお、これに限らず、例えば、予測データ34を外部装置に出力すること等で、予測データ34の提示を行ってもよい。
図8は、本実施の形態に係る窒化物半導体発光素子の光出力予測方法の制御フローを示すフロー図である。図8の制御フローは、光出力の予測を行う際に実行される。図8の制御フローに先立って、学習用データ取得部21による学習用データ31の取得、及び取得した学習用データ31の記憶部3への記憶の処理が随時行われる。
・各層102~106のAl組成比
・活性層104以外の各層102,103,105,106の透過率
・バリア層104a、井戸層104b、及びn型半導体層103のドーピング濃度
・n型半導体層103のミックス値
・バッファ層102、バリア層104a、井戸層104b、電子ブロック層105、及びp型半導体層106の膜厚
については、光出力への影響が非常に大きいため、一定とみなせない程度のバラつきがデータに生じている場合には、説明変数に含めることが望ましい。その上で、組成パラメータや物性パラメータを用いる層の成膜温度を製造パラメータとして用いるとよい。図4で説明したように、少なくとも、井戸層104bのAl組成比を説明変数として用いる場合には、井戸層104bの成膜温度も説明変数に含めることが望ましい。また、図5で説明したように、少なくとも、バッファ層102の膜厚を説明変数として用いる場合には、バッファ層102の成膜温度も説明変数に含めることが望ましい。なお、図8では図示していないが、ステップS12の前に、どのパラメータを説明変数に用いるかを選択するステップを追加してもよい。
以上説明した実施の形態によれば、以下のような作用及び効果が得られる。
次に、以上説明した実施の形態から把握される技術思想について、実施の形態における符号等を援用して記載する。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。また、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することが可能である。
2…制御部
21…学習用データ取得部
22…モデル作成部
23…光出力予測部
24…予測結果提示部
3…記憶部
31…学習用データ
32…学習済モデル
33…予測元データ
34…予測データ
100…窒化物半導体発光素子(発光素子)
101…基板
102…バッファ層
103…n型半導体層
104…活性層
104a…バリア層
104b…井戸層
105…電子ブロック層
106…p型半導体層
Claims (4)
- 窒化物半導体発光素子の光出力を予測する方法であって、
前記窒化物半導体発光素子は、バッファ層、n型半導体層、バリア層及び井戸層を有する活性層、電子ブロック層、及びp型半導体層を含み、
少なくとも、前記窒化物半導体発光素子を構成する層の組成を規定するパラメータである組成パラメータと、前記窒化物半導体発光素子を構成する層の物性を規定するパラメータである物性パラメータと、前記組成パラメータまたは前記物性パラメータの値を調整する際に変更する前記窒化物半導体発光素子の製造条件である製造条件パラメータと、前記窒化物半導体発光素子の光出力との相関性を学習して学習済モデルを作成するモデル作成工程と、
前記学習済モデルを用いて光出力を予測する光出力予測工程と、を備え、
前記組成パラメータは、Al組成比、及びドーピング濃度を含み、
前記物性パラメータは、膜厚、透過率、及び、結晶の(10-12)面に対するX線回折のωスキャンにより得られるX線ロッキングカーブの半値幅であるミックス値を含み、
前記製造条件パラメータは、成膜温度、成膜時間、及びTMA(トリメチルアルミニウム)、TMG(トリメチルガリウム)及びTMSi(テトラメチルシラン)の流量を含み、
前記モデル作成工程では、前記窒化物半導体発光素子の所定の層の前記組成パラメータまたは前記物性パラメータの少なくとも一方を前記学習に用いると共に、前記所定の層の成膜温度を前記製造条件パラメータとして前記学習に用い、
前記光出力予測工程では、前記学習済モデルに、予測対象の窒化物半導体発光素子の光出力以外の前記各パラメータを入力して光出力を予測し出力する、
窒化物半導体発光素子の光出力予測方法。 - 前記窒化物半導体発光素子は、AlGaNからなるバリア層と井戸層とを交互に積層して構成された活性層を有し、
前記所定の層が、前記井戸層であり、
少なくとも、前記組成パラメータである前記井戸層のAl組成比と、前記製造条件パラメータである前記井戸層の成膜温度と、を前記学習に用いる、
請求項1に記載の窒化物半導体発光素子の光出力予測方法。 - 前記所定の層が、AlNからなるバッファ層であり、
少なくとも、前記物性パラメータである前記バッファ層の膜厚と、前記製造条件パラメータである前記バッファ層の成膜温度と、を前記学習に用いる、
請求項1に記載の窒化物半導体発光素子の光出力予測方法。 - 窒化物半導体発光素子の光出力を予測する装置であって、
前記窒化物半導体発光素子は、バッファ層、n型半導体層、バリア層及び井戸層を有する活性層、電子ブロック層、及びp型半導体層を含み、
少なくとも、前記窒化物半導体発光素子を構成する層の組成を規定するパラメータである組成パラメータと、前記窒化物半導体発光素子を構成する層の物性を規定するパラメータである物性パラメータと、前記組成パラメータまたは前記物性パラメータの値を調整する際に変更する前記窒化物半導体発光素子の製造条件である製造条件パラメータと、前記窒化物半導体発光素子の光出力との相関性を学習して学習済モデルを作成するモデル作成部と、
前記学習済モデルを用いて光出力を予測する光出力予測部と、を備え、
前記組成パラメータは、Al組成比、及びドーピング濃度を含み、
前記物性パラメータは、膜厚、透過率、及び、結晶の(10-12)面に対するX線回折のωスキャンにより得られるX線ロッキングカーブの半値幅であるミックス値を含み、
前記製造条件パラメータは、成膜温度、成膜時間、及びTMA(トリメチルアルミニウム)、TMG(トリメチルガリウム)及びTMSi(テトラメチルシラン)の流量を含み、
前記モデル作成部は、前記窒化物半導体発光素子の所定の層の前記組成パラメータまたは前記物性パラメータの少なくとも一方を前記学習に用いると共に、前記所定の層の成膜温度を前記製造条件パラメータとして前記学習に用い、
前記光出力予測部は、前記学習済モデルに、予測対象の窒化物半導体発光素子の光出力以外の前記各パラメータを入力して光出力を予測し出力する、
窒化物半導体発光素子の光出力予測装置。
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