JP2007318053A - 片側エアクリーナヘッドの断面構造 - Google Patents
片側エアクリーナヘッドの断面構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007318053A JP2007318053A JP2006169281A JP2006169281A JP2007318053A JP 2007318053 A JP2007318053 A JP 2007318053A JP 2006169281 A JP2006169281 A JP 2006169281A JP 2006169281 A JP2006169281 A JP 2006169281A JP 2007318053 A JP2007318053 A JP 2007318053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air cleaner
- sided
- cleaner head
- processing
- cleaner device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】半導体製造装置において、プッシュ・プル式片側エアクリーナ装置のエアクリーナヘッドの噴出口の出口側に一段の両側溝加工或いは、片側溝加工、若しくは、片側斜面切欠き加工を設けた構造を有することで、対象製品のチャタリング(異常振動)を無くし、微細ダストの捕集効率も維持出来る特徴を持つ片側エアクリーナ装置。
【解決手段】片側エアクリーナ装置のエアクリーナヘッド1のダスト捕集面9側の、中央の噴出口10部に、一段の両側溝加工17、或いは、片側溝加工18、若しくは、片側斜面切欠き加工の何れか一つを設けた構造を有する。
【選択図】図6
【解決手段】片側エアクリーナ装置のエアクリーナヘッド1のダスト捕集面9側の、中央の噴出口10部に、一段の両側溝加工17、或いは、片側溝加工18、若しくは、片側斜面切欠き加工の何れか一つを設けた構造を有する。
【選択図】図6
Description
本発明は、最近のデジタル電子機器及び半導体部品の小型化、微細化、高度化の開発・発展に伴い、益々空気中の微細ダストの存在やその付着が、製品の品質や保留り、更には、製造ラインの寿命迄にも大きな影響を与える。 その為に、それらデジタル電子機器の中で、ウエハやフィルムや電子部品及び液晶ガラス等の表面上に付着した微細ダストの捕集効率を安定させ、向上させる方法として、片側エアクリーナ装置におけるエアクリーナヘッドの断面構造に関するものである。
従来から利用されている半導体製造装置におけるプッシュ・プル式片側エアクリーナ装置は図1に表示する様な構成で成り立っている。この方式は、クローズドル−プ(閉回路)方式であり、1台のブロワ2に高圧エアの供給と微細ダストを吸引するバキューム機能を有したエア循環方式である為、クリーンルーム等への設置においても室内のエアバランスを崩すことなく、設備コストも安価な利点がある。
ブロワ2の昇圧時には、エアの圧縮熱でエア温度が上昇するので、温度影響を受け易い製品や部品・材料等に対しては、留意する必要がある。
構成は、クリーナヘッド1、プレッシャ及びバキュームエア源であるブロワ2、クリーナヘッドの供給高圧エアを浄化するHEPAフィルタ3、クリーナヘッドから吸引された微細ダストを捕集するプレフィルタ4、風量(圧力)を調整するダンパ5、及びこれらを接続するホース・パイプ6、等でなる。
次にエアクリーナヘッド1、の断面形状を図2に表示する。
その構造は、中央にプレッシャ室7とその噴出口10、両側にバキュウーム室8を有して、その吸込口11があり、平滑平面なダクト捕集面9からなる。
ブロワ2の昇圧時には、エアの圧縮熱でエア温度が上昇するので、温度影響を受け易い製品や部品・材料等に対しては、留意する必要がある。
構成は、クリーナヘッド1、プレッシャ及びバキュームエア源であるブロワ2、クリーナヘッドの供給高圧エアを浄化するHEPAフィルタ3、クリーナヘッドから吸引された微細ダストを捕集するプレフィルタ4、風量(圧力)を調整するダンパ5、及びこれらを接続するホース・パイプ6、等でなる。
次にエアクリーナヘッド1、の断面形状を図2に表示する。
その構造は、中央にプレッシャ室7とその噴出口10、両側にバキュウーム室8を有して、その吸込口11があり、平滑平面なダクト捕集面9からなる。
エアの流れは、図3に表示する様に、搬送ローラ20上を移動中の対象製品16上に、クリーンな高圧エアをプレッシャ室7から噴出口10を経由して噴き付けることで、付着している微細ダスト14を飛散させて、両端部の吸込口11から吸引捕集するシステムでなっている。
従来の片側エアクリーナ装置において、搬送ローラ20上を移動して来る対象製品16が噴出口10の真下に来ると、図4で表示する様に、噴出した高圧エアが対象製品16の下側に廻り込み、高圧エアのバランスの乱れに因り、チャタリング(異常振動)を発生する。この為、噴出速度が約30%減速を余儀なくさせられ、微細ダストの捕集効率も約30〜40%程度低下してしまう。又、このチャタリング(異常振動)現象は、対象製品16が、噴出口10の真下を通過終了時にも、図5で表示する様に、高圧エアのバランスの乱れに因り、発生する。そこで、対象製品16のチャタリング(異常振動)を無くして、微細ダストの捕集効率を低下させない、安定した製造工程が要望されている。
本発明は、エアクリーナヘッド1の噴出口10の出口側に、図5に表示する様に、一段の両側溝加工17(噴出口幅:W1、溝幅:W2、溝高さ:H1)、或いは、図6に、表示する様に、一段の片側溝加工18(噴出口幅:W1、溝幅:W2、溝高さ:H1)、若しくは、図7に表示する様に、片側斜面切欠き加工19の何れか一つを設ける事で、図9、図10及び図11で表示する様に、高圧エアが噴出口10から噴出した後、新しく設けた加工部分で渦流を吸収して、更に噴出角度が大きく拡がる事で、対象製品16の上側へ素早く廻り込み、上側から押え込むことで、チャタリング(異常振動)が解消される事を見出した。 この為、噴出速度を低下させること無く、又、微細ダストの捕集効率の低下も無い事で、製造工程の安定化に寄与出来る。
片側エアクリーナヘッド1の噴出口10の出口側に一段の片(両)側溝加工17、18、若しくは、片側斜面切欠き加工19、を施す場合は、図5〜7に表示する様に、各寸法(噴出口幅:W1、溝幅:W2、溝高さ:H1)を適切に決定する必要がある。
そこで、適切な諸寸法を決定すべく、実験装置を作成して、実験を行なって、その実験結果を検証する。
そこで、適切な諸寸法を決定すべく、実験装置を作成して、実験を行なって、その実験結果を検証する。
した2種類の実験装置A,Bと従来装置の3種類で、下記2項目の評価実験を実行した。
1、評価項目
(1)チャタリングの有無(目視)
(2)微細ダスト捕集能力(パーティクルカウンター)
2.テスト条件
(1)基 材 : PETフィルム
(2)微 細 ダスト : 環境粉塵(PSL)
(3)噴出エア 圧力 : 15kpa
(4)基材とギャップ : 約1〜2.5mm
(5)ライン 速 度 : 30m/min
3.実験装置の種類
(1)実験装置(A) : 噴出口幅:W1=1.0mm,溝幅:W2=7mm,溝高:H1=3mm
(1)実験装置(B) : 噴出口幅:W1=1.0mm,溝幅:W2=4mm,溝高:H1=3mm
(1)実験装置(C) : 噴出口幅:W1=1.0mm,溝幅:W2=0mm,溝高:H1=0mm
※ 実験装置(C)は、従来装置を示す。
1、評価項目
(1)チャタリングの有無(目視)
(2)微細ダスト捕集能力(パーティクルカウンター)
2.テスト条件
(1)基 材 : PETフィルム
(2)微 細 ダスト : 環境粉塵(PSL)
(3)噴出エア 圧力 : 15kpa
(4)基材とギャップ : 約1〜2.5mm
(5)ライン 速 度 : 30m/min
3.実験装置の種類
(1)実験装置(A) : 噴出口幅:W1=1.0mm,溝幅:W2=7mm,溝高:H1=3mm
(1)実験装置(B) : 噴出口幅:W1=1.0mm,溝幅:W2=4mm,溝高:H1=3mm
(1)実験装置(C) : 噴出口幅:W1=1.0mm,溝幅:W2=0mm,溝高:H1=0mm
※ 実験装置(C)は、従来装置を示す。
実験結果から本発明装置は、従来装置に比べて、チャタリング(異常振動)が解消出来て、更に、微細ダストの捕集効率も変化は無く、当所の目的を達成出来ると判断する。
この効果により、製造工程の安定化と稼動効率の向上に貢献出来る。
この効果により、製造工程の安定化と稼動効率の向上に貢献出来る。
1 エアクリーナヘッド
2 ブロワ
3 HEPA フィルタ
4 プレフィルタ
5 風量調整バルブ
6 配管
7 プレッシャ室
8 バキューム室
9 ダスト捕集面
10 噴出口
11 吸込口
12 エアの流れ
13 渦流
14 付着微細ダスト
15 飛散微細ダスト
16 対象製品
17 一段両側溝加工
18 一段片側溝加工
19 斜面切欠き加工
20 搬送ローラ
2 ブロワ
3 HEPA フィルタ
4 プレフィルタ
5 風量調整バルブ
6 配管
7 プレッシャ室
8 バキューム室
9 ダスト捕集面
10 噴出口
11 吸込口
12 エアの流れ
13 渦流
14 付着微細ダスト
15 飛散微細ダスト
16 対象製品
17 一段両側溝加工
18 一段片側溝加工
19 斜面切欠き加工
20 搬送ローラ
Claims (1)
- 片側エアクリーナヘッドの噴出口の出口側に一段の両側溝加工、或いは、片側溝加工、若しくは、片側斜面切欠き加工を設けた構造を有することを特徴とする片側エアクリーナ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006169281A JP2007318053A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 片側エアクリーナヘッドの断面構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006169281A JP2007318053A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 片側エアクリーナヘッドの断面構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007318053A true JP2007318053A (ja) | 2007-12-06 |
Family
ID=38851620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006169281A Pending JP2007318053A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 片側エアクリーナヘッドの断面構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007318053A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2070646A2 (en) | 2007-12-10 | 2009-06-17 | Jtekt Corporation | Tool spindle device |
-
2006
- 2006-05-24 JP JP2006169281A patent/JP2007318053A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2070646A2 (en) | 2007-12-10 | 2009-06-17 | Jtekt Corporation | Tool spindle device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7931755B2 (en) | Method for removing deposit from substrate and method for drying substrate, as well as apparatus for removing deposit from substrate and apparatus for drying substrate using these methods | |
JP4948787B2 (ja) | 除塵装置 | |
JP2010162445A (ja) | 除塵洗浄方法及び装置 | |
JP2003225625A (ja) | 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 | |
KR102152491B1 (ko) | 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치 | |
JP2008055398A (ja) | エアクリーナヘッドの断面構造 | |
JP2008296069A (ja) | 薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置 | |
JP2007318053A (ja) | 片側エアクリーナヘッドの断面構造 | |
KR20200129331A (ko) | 건식 세정 장치 | |
TWI634937B (zh) | Fog collecting device | |
KR101269891B1 (ko) | 제진 장치 및 제진 시스템 | |
KR102152490B1 (ko) | 에어 나이프 및 이를 포함하는 분진 제거 장치 | |
JP2008036566A (ja) | ノズル及び塵埃物質除去装置 | |
JPH05253550A (ja) | 物品清浄装置 | |
JP2007318054A (ja) | 両面エアクリーナヘッドの断面構造 | |
JP4288367B2 (ja) | エアクリーナヘッドの噴出口の傾斜角度と吸込口の風量調整 | |
JP2008194661A (ja) | エアクリーナヘッドの噴出口の噴出角度と吸込口の吸込角度と配置 | |
JP2004074104A (ja) | 搬送除塵装置 | |
JP4509613B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3180385U (ja) | 基板のエッチング装置 | |
KR200437869Y1 (ko) | 제진노즐 내의 공기토출구 구조 | |
JP2009130346A (ja) | エアクリーナヘッドのチャタリング等の防止方法 | |
JP4684122B2 (ja) | 可動式除塵装置 | |
WO2010024352A1 (ja) | シート状部材清掃装置およびシート状部材製造方法 | |
JP7465036B1 (ja) | 除塵装置 |