JP2007317745A - ガス導入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面波によってプロセスチャンバ内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマを生成し、被処理物を処理するプラズマ処理装置におけるガス導入装置であって、ガス源に接続される第1噴き出し管21は複数のガス導出孔24が軸方向に沿って1列配置される。複数のガス導出孔24は、第1の噴き出し管21の内部の第1空間27と、第1の噴き出し管21と第2の噴き出し管22とによって挟まれる第2空間28とを連通する。第2の噴き出し管22の外側に接して防着管23が設けられ、第2の噴き出し管22に形成された複数のガス導出孔25と防着管23に形成された複数のガス噴き出し孔26とを一致させて配置させる。
【選択図】図4
Description
Claims (13)
- 表面波によって気密室内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマを生成し、被処理物を処理するプラズマ処理装置において気密室内にプロセスガスを導入するガス導入装置であり、
軸方向に複数のガス噴き出し孔を有する少なくとも2本の薄肉管を同軸上に配置して多重構造のガス噴き出し部を構成し、
当該ガス噴き出し部は、最内殻の薄肉管の管内に導入したプロセスガスを、各薄肉管のガス噴き出し孔を通して内殻側の薄肉管から外殻側の薄肉管に順に噴出させ、最外殻の薄肉管から気密室内に導入させることを特徴とする、ガス導入装置。 - 前記複数の薄肉管の少なくとも一方の端部は、カシメ又は溶接により封止されることを特徴とする、請求項1に記載のガス導入装置。
- 前記ガス噴き出し部が備える最外殻の薄肉管は、複数のガス噴き出し孔を軸方向に沿って1列配列することを特徴とする、請求項1又は2に記載のガス導入装置。
- 前記ガス噴き出し部が備える最外殻の薄肉管は、複数のガス噴き出し孔を軸方向に沿って複数列配列し、前記各配列は周方向において任意の角度で配置することを特徴とする、請求項1又は2に記載のガス導入装置。
- 前記ガス噴き出し部を複数備え、
気密室の側壁側に配置するガス噴き出し部の最外殻の薄肉管は、複数のガス噴き出し孔を軸方向に沿って1列配列し、
気密室の内側に配置するガス噴き出し部の最外殻の薄肉管は、複数のガス噴き出し孔を軸方向に沿って複数配列し、前記各配列は周方向において任意の角度で配置することを特徴とする、請求項1又は2に記載のガス導入装置。 - 前記同軸上に配置する複数の薄肉管は、
最外殻に配置する防着管と、当該防着管の内殻側に配置する少なくとも1つのガス噴き出し管とを有し、
前記防着管は、内周面において、前記ガス噴き出し管のうちで最も外側のガス噴き出し管の外周面と接し、このガス噴き出し管を覆うことを特徴とする、請求項1から請求項5のいずれか一つに記載のガス導入装置。 - 前記防着管は、孔の直径が1.0mm〜2.0mmの範囲のガス噴き出し孔を有し、管厚は1.5mm〜3.0mmの範囲であることを特徴とする、請求項1から請求項6のいずれか一つに記載のガス導入装置。
- 前記防着管の内殻側に配置するガス噴き出し管は、互いに向かい合うガス噴き出し管が備えるガス噴き出し孔の位置は互いにずれた位置であることを特徴とする、請求項1から請求項7のいずれか一つに記載のガス導入装置。
- 前記防着管の内殻側に配置するガス噴き出し管は、管厚tと孔径dの比率s=t/dは1.5〜3.4の範囲であり、孔径dは0.3mm以上であることを特徴とする、請求項1から請求項8のいずれか一つに記載のガス導入装置。
- 前記ガス噴き出し部の最内殻の薄肉管の一方の管端からプロセスガスを導入することを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれか一つに記載のガス導入装置。
- 前記ガス噴き出し部の最内殻の薄肉管の両方の管端からプロセスガスを導入することを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれか一つに記載のガス導入装置。
- 前記複数のガス噴き出し部にプロセスガスを導入するガスマニホルドを備えることを特徴とする、請求項5に記載のガス導入装置。
- 前記ガスマニホルドとガス噴き出し管とをメタルガスケットを介して接合することを特徴とする、請求項12に記載のガス導入装置。
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