JP2006318689A - 表面波励起プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 表面波励起プラズマの均一性と安定性を向上させること。
【解決手段】誘電体部材2は、Oリング14を介して金属製のボルト21により蓋体12に固定されている。ボルト21の側面にはポリイミド製のスリーブ22が、ボルト21の頭頂部にはポリイミド製のキャップ23が配設され、ボルト21の特に頭部21bの周囲がポリイミドの絶縁材料で充填されている。スリーブ22の端面22eとキャップ23の端面23eは誘電体部材2の下面と同一面であり、この面に密着して誘電体板3がアルミナセラミックス製のボルト30により固定されている。このような構造により、ボルト21での局所的な放電発生を阻止でき、均一で安定した表面波励起プラズマPを生成、維持することができる。
【選択図】 図3
【解決手段】誘電体部材2は、Oリング14を介して金属製のボルト21により蓋体12に固定されている。ボルト21の側面にはポリイミド製のスリーブ22が、ボルト21の頭頂部にはポリイミド製のキャップ23が配設され、ボルト21の特に頭部21bの周囲がポリイミドの絶縁材料で充填されている。スリーブ22の端面22eとキャップ23の端面23eは誘電体部材2の下面と同一面であり、この面に密着して誘電体板3がアルミナセラミックス製のボルト30により固定されている。このような構造により、ボルト21での局所的な放電発生を阻止でき、均一で安定した表面波励起プラズマPを生成、維持することができる。
【選択図】 図3
Description
本発明は、表面波励起プラズマを利用してCVDやエッチングなどを行う表面波励起プラズマ処理装置に関する。
表面波励起プラズマ処理装置では、誘電体部材は、マイクロ波導波管のスロットアンテナが形成された底板に接して、処理室のフランジにボルトによって取り付けられている。誘電体部材は処理室内部の真空を保持しなければならないので、誘電体部材をフランジに固定する際には、シール部材(Oリング)に所定の弾性変形を与えて密閉するボルト締めを行う。したがって、誘電体部材を締結するボルトの材料には強度的に信頼性のあるステンレス鋼を使用し、誘電体部材のザグリ穴とボルトとの隙間にテフロン(登録商標)等の誘電材料を介在させて誘電体部材をフランジに固定し、さらにボルトの露出部分を別の誘電体板で覆っている。(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1のプラズマ処理装置では、金属製のボルトを誘電体板で覆っているが、誘電体部材と誘電体板で囲まれた狭小な空間で放電が生じ、ボルトの露出部分ではアーク放電を引き起こす場合がある。このような局所的な放電は、表面波励起プラズマの均一性を乱す要因となる。
(1)本発明の請求項1による表面波励起プラズマ処理装置は、誘電体部材を介して外部からチャンバ内にマイクロ波を導入し、チャンバ内に形成される表面波励起プラズマによりチャンバ内でプラズマ処理を行う表面波励起プラズマ処理装置に適用される。そして、誘電体部材をチャンバに取り付ける固着部材と、固着部材がチャンバ内に露出しないように設けられる誘電体板と、固着部材と誘電体部材との間、および固着部材と誘電体板との間に介在される絶縁性充填部材とを備えることを特徴とする。
(2)請求項2の発明は、請求項1に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、固着部材は頭付きボルトであり、その表面を絶縁性被覆材で被覆することを特徴とする。
(3)請求項3の発明は、請求項2に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、充填部材は、ボルトの頭部側面側に介在される円筒状スリーブと、頭部頂面側に介在される平板状キャップとで構成されることを特徴とする。
(4)請求項4の発明は、請求項3に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、スリーブとキャップは、ポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料で作製され、もしくは、ポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料でその表面が被覆されていることを特徴とする。
(5)請求項5の発明は、請求項2〜4のいずれか一項に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、ボルト、充填部材および誘電体板には、ボルトの周囲空間をチャンバ内空間と連通するための連通孔が設けられていることを特徴とする。
(2)請求項2の発明は、請求項1に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、固着部材は頭付きボルトであり、その表面を絶縁性被覆材で被覆することを特徴とする。
(3)請求項3の発明は、請求項2に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、充填部材は、ボルトの頭部側面側に介在される円筒状スリーブと、頭部頂面側に介在される平板状キャップとで構成されることを特徴とする。
(4)請求項4の発明は、請求項3に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、スリーブとキャップは、ポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料で作製され、もしくは、ポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料でその表面が被覆されていることを特徴とする。
(5)請求項5の発明は、請求項2〜4のいずれか一項に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、ボルト、充填部材および誘電体板には、ボルトの周囲空間をチャンバ内空間と連通するための連通孔が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、誘電体部材をチャンバ内に取り付けるための固着部材がチャンバ内に露出しないように誘電体板で覆い、固着部材と誘電体部材との間、および固着部材と誘電体板との間に絶縁性充填部材を介在させるようにしたので、固着部材外表面で発生しやすい局所的な放電を阻止し、表面波励起プラズマの均一性と安定性を向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態による表面波励起プラズマ(SWP:Surface Wave Plasma)を利用する処理装置(以下、SWP処理装置という)について図1〜4を参照しながら説明する。
図1は、本発明の実施の形態によるSWP処理装置を模式的に示す全体構成図である。図1を参照すると、SWP処理装置100は、マイクロ波導波管1、誘電体部材2、誘電体板3およびチャンバ10を備える。チャンバ10は、容器本体11と蓋体12とを有し、いずれもステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金等の非磁性材料で作製されている。容器本体11と蓋体12とはOリング13を介して気密を保持して接合され、内部にプラズマ処理室が形成される。容器本体11には、被処理基板Sを保持する基板ホルダー4と、チャンバ10内に所定のガスを導入するガス導入部5と、不図示の真空ポンプに配管接続され、チャンバ10内から気体を排気する真空排気口6とが設けられている。
図1は、本発明の実施の形態によるSWP処理装置を模式的に示す全体構成図である。図1を参照すると、SWP処理装置100は、マイクロ波導波管1、誘電体部材2、誘電体板3およびチャンバ10を備える。チャンバ10は、容器本体11と蓋体12とを有し、いずれもステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金等の非磁性材料で作製されている。容器本体11と蓋体12とはOリング13を介して気密を保持して接合され、内部にプラズマ処理室が形成される。容器本体11には、被処理基板Sを保持する基板ホルダー4と、チャンバ10内に所定のガスを導入するガス導入部5と、不図示の真空ポンプに配管接続され、チャンバ10内から気体を排気する真空排気口6とが設けられている。
マイクロ波導波管1は、アルミニウム合金や非磁性のステンレス鋼などで作製され、直管状を呈し、蓋体12に取り付けられている。マイクロ波導波管1の底板1aには、管の軸方向(紙面と垂直方向)に沿って複数のスロットアンテナ1bが配設されている。スロットアンテナ1bは、底板1aを貫通して形成される長矩形状の開口である。底板2cの内面は磁界面(H面)と呼ばれる。
誘電体部材2は、石英、アルミナ、ジルコニア等の誘電性材料から平板状に加工され、
その上面がマイクロ波導波管1の底板1aに接して配設されているとともに、チャンバ10内の気密を保持するために、Oリング14を介して蓋体12に取り付けられている。誘電体部材2の蓋体12への取付けにはポリイミド被覆が施された金属製ボルト21が使用される。平板状の誘電体板3は、誘電体部材2と同様、石英、アルミナ、ジルコニア等で作製され、誘電体部材2の下側に誘電体部材2の下面とボルト21の頭頂部を覆って蓋体12に取り付けられている。誘電体部材2の取り付け力に比して誘電体板3の取付け力は小さいから、誘電性材料、例えばアルミナセラミックスで作製されたボルト30を使用できる。したがって、このボルト30はチャンバ内に露出していてもアーク放電は発生しない。
その上面がマイクロ波導波管1の底板1aに接して配設されているとともに、チャンバ10内の気密を保持するために、Oリング14を介して蓋体12に取り付けられている。誘電体部材2の蓋体12への取付けにはポリイミド被覆が施された金属製ボルト21が使用される。平板状の誘電体板3は、誘電体部材2と同様、石英、アルミナ、ジルコニア等で作製され、誘電体部材2の下側に誘電体部材2の下面とボルト21の頭頂部を覆って蓋体12に取り付けられている。誘電体部材2の取り付け力に比して誘電体板3の取付け力は小さいから、誘電性材料、例えばアルミナセラミックスで作製されたボルト30を使用できる。したがって、このボルト30はチャンバ内に露出していてもアーク放電は発生しない。
図2は、誘電体部材2の下面図であり、二点鎖線で示すOリング14の周囲にザグリ穴2aが所定間隔で2列に穿設され、その外周部に貫通穴2bが所定間隔で2列に穿設されている。ザグリ穴2aは、ボルト21を通すためのものであり、貫通穴2bは、ボルト30を通すためのものである。誘電体部材2および誘電体板3の取付け部(図1の領域A)の構造や取付け方法については後に詳述する。
不図示のマイクロ波出力部から発振された周波数2.45GHzのマイクロ波は、マイクロ波導波管1の内部を伝搬し、定在波が形成される。マイクロ波は、スロットアンテナ1bを通過して誘電体部材2に入射し、誘電体部材2から誘電体板3に浸透し、誘電体板3の表面に表面波SWが形成される。表面波SWは誘電体板3の表面全体に拡がる。この表面波SWのエネルギーによりチャンバ10内の誘電体板3の下方に、誘電体板3の面積にほぼ等しい大きさの表面波励起プラズマPが生成される。
プラズマ処理の目的に応じてガス導入部5からO2,H2O2,H2,H2O,N2,Cl2,NH3,SiH4,TEOS,SF6,Ar,He等のガスが導入される。ガスを導入しながら真空排気口6から排気することによって、チャンバ10内の圧力は通常、0.1〜50Pa程度に保持される。このような減圧雰囲気で形成される表面波励起プラズマPを利用してチャンバ10内のガスを電離、解離し、プラズマ中または近傍に被処理基板Sを置くことによって、成膜、エッチング、アッシング等のプラズマ処理が行われる。
図3、図4を参照して、表面波励起プラズマPを生成するための誘電体部材2および誘電体板3の取付け部(図1の領域A)の構造および組立て手順について説明する。
図3に示されるように、誘電体部材2は、Oリング14を介してボルト21により蓋体12に固定されている。ボルト21は、Oリング14に囲まれた面積にかかる大気圧および誘電体部材2の重量を支え、Oリング14を弾性変形させるだけの強度が必要であり、この実施の形態ではアルミニウム合金で作製されている。ボルト21は、その先端部にネジ部21aが形成され、その中心軸上に直径0.5〜1mmの細い貫通孔21dが穿設されている。ボルト21の頭部21bは円柱状であり、頂面に六角孔が穿設されている。ボルト21の側面には、誘電体部材2のザグリ穴2aに嵌合されたポリイミド製のスリーブ22が配設されている。スリーブ22の内周面の開放端側には雌ネジが形成されている。
図3に示されるように、誘電体部材2は、Oリング14を介してボルト21により蓋体12に固定されている。ボルト21は、Oリング14に囲まれた面積にかかる大気圧および誘電体部材2の重量を支え、Oリング14を弾性変形させるだけの強度が必要であり、この実施の形態ではアルミニウム合金で作製されている。ボルト21は、その先端部にネジ部21aが形成され、その中心軸上に直径0.5〜1mmの細い貫通孔21dが穿設されている。ボルト21の頭部21bは円柱状であり、頂面に六角孔が穿設されている。ボルト21の側面には、誘電体部材2のザグリ穴2aに嵌合されたポリイミド製のスリーブ22が配設されている。スリーブ22の内周面の開放端側には雌ネジが形成されている。
ボルト21の頭頂部には、突部23aと蓋部23bとを有するポリイミド製のキャップ23が、その突部23aをボルト21の六角孔に嵌合させて配設されている。キャップ23の中心軸上には直径0.5〜1mmの細い貫通孔23dが穿設され、キャップ23の蓋部23bの側面には雄ネジが形成されている。このようにスリーブ22とキャップ23を配設することにより、ボルト21の外周部、とくに頭部外周部を絶縁性部材で充填し、ボルト周囲に無用な空間が極力形成されないようにしている。スリーブ22の端面22eとキャップ23の端面23eは誘電体部材2の下面2cと同一面である。
誘電体板3は、ネジ部30aと頭部30bとを有するボルト30により、スリーブ22の端面22e、キャップ23の端面23eおよび誘電体部材2の下面2cに密着して固定されている。誘電体板3には、直径0.5〜1mmの細い貫通孔3aと貫通孔3bが穿設されている。ボルト21の貫通孔21d、キャップ23の貫通孔23dおよび誘電体板3の貫通孔3aは、孔の位置がほぼ合致しており一直線上に配列されている。これらの貫通孔21d,23d,3aの直径0.5〜1mmは、プラズマの進入による局所放電防止と穴あけ加工性を考慮して決定された寸法範囲である。
図4を参照しながら組立て手順を説明する。
(1)誘電体部材2のザグリ穴2aにスリーブ22を嵌め込む。すなわち、スリーブ22の外周面22aおよび端面22dをザグリ穴2aの内面に密着させる。
(2)誘電体部材2を蓋体12に密着させ、スリーブ22を介してボルト21のネジ部21aをザグリ穴2aに通し、六角レンチを使用してボルト21のネジ部21aを蓋体12のネジ部12aに螺合させる。
(3)キャップ23の雄ネジ23cとスリーブ22の雌ネジ22cとを螺合させ、同時にキャップ23の突部23aをボルト21の六角孔21cに嵌合させる。なお、キャップ23の表面にはマイナスドライバ用溝が設けられている。この状態で、ボルト21の貫通孔21dとキャップ23の貫通孔23dとが一直線上に配列し、ボルト21の頭部21b全体がスリーブ22とキャップ23でカバーされた構造となる。
(1)誘電体部材2のザグリ穴2aにスリーブ22を嵌め込む。すなわち、スリーブ22の外周面22aおよび端面22dをザグリ穴2aの内面に密着させる。
(2)誘電体部材2を蓋体12に密着させ、スリーブ22を介してボルト21のネジ部21aをザグリ穴2aに通し、六角レンチを使用してボルト21のネジ部21aを蓋体12のネジ部12aに螺合させる。
(3)キャップ23の雄ネジ23cとスリーブ22の雌ネジ22cとを螺合させ、同時にキャップ23の突部23aをボルト21の六角孔21cに嵌合させる。なお、キャップ23の表面にはマイナスドライバ用溝が設けられている。この状態で、ボルト21の貫通孔21dとキャップ23の貫通孔23dとが一直線上に配列し、ボルト21の頭部21b全体がスリーブ22とキャップ23でカバーされた構造となる。
(4)誘電体板3をスリーブ22の端面22e、キャップ23の端面23eおよび誘電体部材2の下面2cに密着させ、ボルト30のネジ部30aを誘電体板3の貫通孔3b、誘電体部材2の貫通孔2bを順次通して蓋体12のネジ部12bに螺合させる。この状態で、誘電体部材2の下面2cとザグリ穴2a内のスリーブ22およびキャップ23は誘電体板3によりカバーされ、誘電体部材2と誘電体板3とが一体化される。
このように、誘電体部材2および誘電体板3の一体化構造を有する表面波励起プラズマ処理装置100は、次のような作用効果を奏する。
(1)絶縁性のポリイミド製でボルト21を被覆し、さらにポリイミド製スリーブ22およびポリイミド製キャップ23でボルト21の周面の隙間を隈無く埋めるようにした。これにより、ボルト周囲で発生しがちな局所放電を阻止でき、均一で安定した表面波励起プラズマを生成、維持することができる。また、局所的な放電、例えばボルト21の角部のアーク放電が発生しなくなるので、プラズマの金属コンタミネーションや、金属粒子が被処理基板表面や被処理基板上の薄膜などに不純物として混入することを防止することができる。
(1)絶縁性のポリイミド製でボルト21を被覆し、さらにポリイミド製スリーブ22およびポリイミド製キャップ23でボルト21の周面の隙間を隈無く埋めるようにした。これにより、ボルト周囲で発生しがちな局所放電を阻止でき、均一で安定した表面波励起プラズマを生成、維持することができる。また、局所的な放電、例えばボルト21の角部のアーク放電が発生しなくなるので、プラズマの金属コンタミネーションや、金属粒子が被処理基板表面や被処理基板上の薄膜などに不純物として混入することを防止することができる。
(2)ポリイミド製のスリーブ22およびキャップ23を誘電体板3でカバーすることにより、表面波励起プラズマからの高速電子がスリーブ22やキャップ23に衝突するのを阻止でき、温度上昇による劣化、変質を招くことがなくなる。つまり、ポリイミドの耐熱限度内での使用が可能となる。
(3)誘電体部材2を誘電体板3でカバーすることにより、誘電体板3は誘電体部材2の防着シールドとして機能し、蒸着やエッチングなどの作用を受けた場合には誘電体板3のみを交換するだけで済み、メンテナンス性が向上する。
(4)一直線上に配設された直径0.5〜1mmの細い貫通孔21d,23d,3aは、ガス抜き孔として機能するので、ボルト21の周囲でザグリ穴2a内に残存するガスを容易に排気でき、ザグリ穴2a内のガス圧上昇を防止することができる。
(3)誘電体部材2を誘電体板3でカバーすることにより、誘電体板3は誘電体部材2の防着シールドとして機能し、蒸着やエッチングなどの作用を受けた場合には誘電体板3のみを交換するだけで済み、メンテナンス性が向上する。
(4)一直線上に配設された直径0.5〜1mmの細い貫通孔21d,23d,3aは、ガス抜き孔として機能するので、ボルト21の周囲でザグリ穴2a内に残存するガスを容易に排気でき、ザグリ穴2a内のガス圧上昇を防止することができる。
本発明は、その特徴を損なわない限り、以上説明した実施の形態に何ら限定されない。(1)例えば、上記の実施の形態では、誘電体板3により、スリーブ22の端面22e、キャップ23の端面23eおよび誘電体部材2の下面2cをすべてカバーしたが、局所的な放電防止とスリーブ22およびキャップ23の保護の観点から、スリーブ22の端面22eとキャップ23の端面23eのみをカバーするだけでもよい。
(2)上記の実施の形態では、スリーブ22およびキャップ23をポリイミド製としたが、ポリイミドと同様の化学的、電気的性質を有するポリアミドイミド、ポリエーテルイミド製としてもよい。また、ポリイミドの代わりに耐熱性に優れたアルミナセラミックスでスリーブ22およびキャップ23を作製してもよい。もしくは、金属材料で作製したスリーブ22およびキャップ23の表面をポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料で被覆してもよい。
(3)ボルト21の表面をポリイミドで被覆したが、アルミナセラミックスで被覆してもよい。なお、ポリイミドやアルミナセラミックスの厚膜を形成するには、プラズマ溶射法が用いられる。
(3)ボルト21の表面をポリイミドで被覆したが、アルミナセラミックスで被覆してもよい。なお、ポリイミドやアルミナセラミックスの厚膜を形成するには、プラズマ溶射法が用いられる。
(4)ボルト21,キャップ23,および誘電体板3にそれぞれ貫通孔を設け、ボルト21の周囲に形成される空間をチャンバ内の処理室と連通させたが、ボルト周囲に形成されるザグリ内空間をチャンバ処理室と連通する手段であれば、その手段は上記の貫通孔に限定されない。
(5)本発明による表面波励起プラズマ処理装置のチャンバ形状やその用途は実施の形態に何ら限定されない。すなわち、本発明は、誘電体部材を介して外部からチャンバ内にマイクロ波を導入し、チャンバ内に形成される表面波励起プラズマによりチャンバ内でプラズマ処理を行う表面波励起プラズマ処理装置であって、誘電体部材をチャンバに取り付ける固着部材がチャンバ内に露出しないように設けられる誘電体板と、固着部材と誘電体部材との間、および固着部材と誘電体板との間に介在される絶縁性充填部材とを備えるものであれば、被処理基板に対するプラズマ処理に限らず、プラズマによる殺菌処理や滅菌処理など種々の用途のものに適用できる。また、固着部材をボルト以外の機械部品や機構で構成してもよく、また、チャンバ形状、誘電体部材の形状、誘電体板の形状、充填部材であるスリーブおよびキャップの構成は何ら実施の形態に限定されない。
1:マイクロ波導波管 2:誘電体部材
2a:ザグリ穴 3:誘電体板
10:チャンバ 11:容器本体
12:蓋体 13,14:Oリング
21:ボルト 22:スリーブ
23:キャップ 30:ボルト
100:SWP処理装置 S:被処理基板
SW:表面波 P:表面波励起プラズマ
2a:ザグリ穴 3:誘電体板
10:チャンバ 11:容器本体
12:蓋体 13,14:Oリング
21:ボルト 22:スリーブ
23:キャップ 30:ボルト
100:SWP処理装置 S:被処理基板
SW:表面波 P:表面波励起プラズマ
Claims (5)
- 誘電体部材を介して外部からチャンバ内にマイクロ波を導入し、チャンバ内に形成される表面波励起プラズマによりチャンバ内でプラズマ処理を行う表面波励起プラズマ処理装置において、
前記誘電体部材を前記チャンバに固着する固着部材と、
前記固着部材が前記チャンバ内に露出しないように設けられる誘電体板と、
前記固着部材と前記誘電体部材との間、および前記固着部材と前記誘電体板との間に介在される絶縁性充填部材とを備えることを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。 - 請求項1に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、
前記固着部材は頭付きボルトであり、その表面を絶縁性被覆材で被覆することを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。 - 請求項2に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、
前記充填部材は、前記ボルトの頭部側面側に介在される円筒状スリーブと、前記頭部頂面側に介在される平板状キャップとで構成されることを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。 - 請求項3に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、
前記スリーブとキャップは、ポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料で作製され、もしくは、ポリイミドおよびアルミナセラミックスのいずれかの材料でその表面が被覆されていることを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。 - 請求項2〜4のいずれか一項に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、
前記ボルト、前記充填部材および前記誘電体板には、前記ボルトの周囲空間を前記チャンバ内空間と連通するための連通孔が設けられていることを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。
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