JP2007315979A - 出力の温度依存性の無い抵抗型酸素センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】温度補償材及びガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、(1)温度補償材とその電極との界面での抵抗を温度補償材の抵抗と比べて小さくしたこと、(2)それにより、酸素センサの出力の温度に依存しない範囲が、600℃までの低温側に広がっていること、を特徴とする抵抗型酸素センサ素子、及びCe0.5Y0.5O2の組成である温度補償材及びCe0.9Zr0.1O2の組成であるガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、温度補償材が多孔質であり、温度補償材の電極が緻密電極であり、温度補償材とその電極の位置関係が基板・電極・温度補償材の関係を有し、温度補償材とガス検出材のそれぞれの抵抗が、ほぼ等しい抵抗型酸素センサ素子である、前記抵抗型酸素センサ素子。
【選択図】図9
Description
(1)温度補償材及びガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、1)温度補償材とその電極との界面での抵抗を温度補償材の抵抗と比べて小さくしたこと、2)それにより、酸素センサの出力の温度に依存しない範囲が、600℃までの低温側に広がっていること、を特徴とする抵抗型酸素センサ素子。
(2)Ce0.5Y0.5O2の組成である温度補償材及びCe0.9Zr0.1O2の組成であるガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、温度補償材が多孔質であり、温度補償材の電極が緻密電極であり、温度補償材とその電極の位置関係が基板・電極・温度補償材の関係を有し、温度補償材とガス検出材のそれぞれの抵抗が、ほぼ等しい抵抗型酸素センサ素子である、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
(3)抵抗型酸素センサの動作時に、温度補償材とガス検出材を直列に接続したものに1V以下の一定電圧が負荷される、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
(4)抵抗型酸素センサの動作時に、温度補償材の電極間隔をLO、温度補償材の電極面積をAO、温度補償材の断面積をSO、温度補償材の電極間の電位差をEOとすると、EOSO/LOAOが140V/m以下である、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
(5)600℃以上の温度で、出力の温度依存性が無い、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
(6)温度補償材とその電極との界面での抵抗が、温度補償材の抵抗の0.02倍以下である、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
(7)温度補償材の抵抗が、ガス検出材の抵抗の0.25倍から4倍以内である、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
(8)ガス検出材の電極間隔をLG、ガス検出材の断面積をSG、温度補償材の電極間隔をLO、温度補償材の断面積をSOとすると、LOSG/LGSOが0.0417以上0.666以下になるような電極構造を有する、前記(1)記載の抵抗型酸素センサ素子。
本発明は、抵抗が、酸素分圧と温度に依存するガス検出材と、温度のみに依存する温度補償材が、基板に配置された抵抗型酸素センサに係るものである。ただし、基板へのガス検出材と温度補償材の配置は、横に並べて配置したものに限定されず、例えば、1)基板の表にガス検出材、裏に温度補償材を配置する、2)上記1)の逆に配置する、などが可能である。電極は交差指型構造(くし型構造)などが好ましい。これは、ガス検出材と温度補償材の抵抗を小さくすることが可能であるためである。
O2−=1/2O2+2e− (2)
の反応が、電極・厚膜・ガスの三相界面で生じる必要があるためであり、緻密電極を使うためには、上記構造が必要である。それは、上記反応が生じないと、酸素イオン伝導体と電極との界面での抵抗が増大するためである。
0.25≦RO/RG≦4 (3)
となる。
RO=rOLO/SO (4)
であり、ガス検出材の電極間の距離をLGとし、ガス検出材の断面積をSG、ガス検出材の抵抗率rGとすると、
RG=rGLG/SG (5)
である。
I≦ilimitAO (8)
を満たす必要がある。ここで、AOは温度補償材の電極面積である。これは、ilimitAOを超える電流が図1に流れようとすると、温度補償材とその電極との界面での抵抗が増大し、図1に無い抵抗が生じ、温度依存性を抑制することができなくなるため、上記条件が必要である。
I=EO/RO (9)
が成り立つので、(8)式は
EO/RO≦ilimitAO (10)
となる。(4)及び(10)式から、
EOSO/LOAO≦rOilimit (11)
となる。
x≦0.02 (17)
となる。よって、界面抵抗が温度補償材の抵抗の0.02倍以下であると、界面抵抗の影響は無視できる。
(1)温度補償材として、Ce0.5Y0.5O2−δ、ガス検出材として、Ce0.9Zr0.1O2を使った抵抗型酸素センサにおいて、その出力の温度依存性の無い温度範囲を、600℃までの低温側に広げることができる。
(2)緻密な電極を使っても、センサの出力の温度依存性を抑えることができる。
(3)低コストで酸素センサを構築し、提供することができる。
(4)温度依存性が小さいため、ヒータの温度を制御するための回路を簡素化できる。
(5)低温作動できるため、ヒータの消費電力を下げることができる。
まず、初めに、温度補償材Ce0.5Y0.5O2−δ及びガス検出材Ce0.9Zr0.1O2の抵抗率及びそれらの抵抗の温度依存性を確認するために、全く同じ電極上に温度補償材及びガス検出材の厚膜を作製し、それらの抵抗を比較した。以下に、実験条件を詳細に示す。
λair=0.1463λ+0.8695 (λ≧1.1) (20)
次に、図6に示すような電極を1つの基板上に作製し、その上に、予備実験と同じ作製方法で、温度補償材及びガス検出材の厚膜を作製した。温度補償材の電極間隔LOは200μm、電極間隔が約200μmである辺の長さの和DOと温度補償材膜の厚さTOは、それぞれ14500μmと7μmであるので、温度補償材の断面積SOは1.015×105μm2、温度補償材の電極面積AOは1.25×106μm2であった。また、ガス検出材の電極間隔LGは500μm、電極間隔が約500μmである辺の長さの和DGと温度補償材膜の厚さTGは、それぞれ6750μmと7μmであるので、温度補償材の断面積SGは4.725×104μm2であった。このとき、LOSG/LGSOを計算すると、0.19であった。
Claims (8)
- 温度補償材及びガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、(1)温度補償材とその電極との界面での抵抗を温度補償材の抵抗と比べて小さくしたこと、(2)それにより、酸素センサの出力の温度に依存しない範囲が、600℃までの低温側に広がっていること、を特徴とする抵抗型酸素センサ素子。
- Ce0.5Y0.5O2の組成である温度補償材及びCe0.9Zr0.1O2の組成であるガス検出材を用いた抵抗型酸素センサ素子において、温度補償材が多孔質であり、温度補償材の電極が緻密電極であり、温度補償材とその電極の位置関係が基板・電極・温度補償材の関係を有し、温度補償材とガス検出材のそれぞれの抵抗が、ほぼ等しい抵抗型酸素センサ素子である、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
- 抵抗型酸素センサの動作時に、温度補償材とガス検出材を直列に接続したものに1V以下の一定電圧が負荷される、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
- 抵抗型酸素センサの動作時に、温度補償材の電極間隔をLO、温度補償材の電極面積をAO、温度補償材の断面積をSO、温度補償材の電極間の電位差をEOとすると、EOSO/LOAOが140V/m以下である、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
- 600℃以上の温度で、出力の温度依存性が無い、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
- 温度補償材とその電極との界面での抵抗が、温度補償材の抵抗の0.02倍以下である、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
- 温度補償材の抵抗が、ガス検出材の抵抗の0.25倍から4倍以内である、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
- ガス検出材の電極間隔をLG、ガス検出材の断面積をSG、温度補償材の電極間隔をLO、温度補償材の断面積をSOとすると、LOSG/LGSOが0.0417以上0.666以下になるような電極構造を有する、請求項1記載の抵抗型酸素センサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006147491A JP4625931B2 (ja) | 2006-05-26 | 2006-05-26 | 出力の温度依存性の無い抵抗型酸素センサ素子 |
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JP2007315979A true JP2007315979A (ja) | 2007-12-06 |
JP4625931B2 JP4625931B2 (ja) | 2011-02-02 |
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JP (1) | JP4625931B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8984861B2 (en) | 2012-03-27 | 2015-03-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Catalyst deterioration diagnosis method, method for purification of exhaust gas using the diagnosis method, catalyst deterioration diagnosis apparatus, and apparatus for purification of exhaust gas using the diagnosis apparatus |
CN109444225A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-08 | 上海因士环保科技有限公司 | 一种抗温度、基线漂移的气体传感器系统及使用方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57141545A (en) * | 1981-01-21 | 1982-09-01 | Bendix Autolite Corp | Titania oxygen detector with chromium oxide compensator |
JPS625165A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 厚膜型ガス感応体素子とその製法 |
JPS6366450A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-03-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス検出器の製造方法 |
JPH06222026A (ja) * | 1991-02-26 | 1994-08-12 | Toyota Motor Corp | 酸化物半導体ガスセンサ |
JPH0669830U (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-30 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体薄膜式オゾンセンサ |
JPH08220060A (ja) * | 1994-04-12 | 1996-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 酸素センサー |
JPH10505164A (ja) * | 1994-09-14 | 1998-05-19 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | ガスセンサ |
JP2004085549A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-03-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 抵抗型酸素センサとそれを使った酸素センサ装置及び空燃比制御システム |
JP2004093547A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-03-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 抵抗型酸素センサとそれを使った酸素センサ装置及び空燃比制御システム |
JP2004203655A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 抵抗型酸素センサの酸素分圧検出部分の製造方法 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57141545A (en) * | 1981-01-21 | 1982-09-01 | Bendix Autolite Corp | Titania oxygen detector with chromium oxide compensator |
JPS625165A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 厚膜型ガス感応体素子とその製法 |
JPS6366450A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-03-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス検出器の製造方法 |
JPH06222026A (ja) * | 1991-02-26 | 1994-08-12 | Toyota Motor Corp | 酸化物半導体ガスセンサ |
JPH0669830U (ja) * | 1993-03-02 | 1994-09-30 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体薄膜式オゾンセンサ |
JPH08220060A (ja) * | 1994-04-12 | 1996-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 酸素センサー |
JPH10505164A (ja) * | 1994-09-14 | 1998-05-19 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | ガスセンサ |
JP2004085549A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-03-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 抵抗型酸素センサとそれを使った酸素センサ装置及び空燃比制御システム |
JP2004093547A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-03-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 抵抗型酸素センサとそれを使った酸素センサ装置及び空燃比制御システム |
JP2004203655A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 抵抗型酸素センサの酸素分圧検出部分の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8984861B2 (en) | 2012-03-27 | 2015-03-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Catalyst deterioration diagnosis method, method for purification of exhaust gas using the diagnosis method, catalyst deterioration diagnosis apparatus, and apparatus for purification of exhaust gas using the diagnosis apparatus |
CN109444225A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-08 | 上海因士环保科技有限公司 | 一种抗温度、基线漂移的气体传感器系统及使用方法 |
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