JP2007313764A - 透明積層膜及びその製造方法、並びに液体レンズ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応性ガスなし、あるいは反応性ガス8の存在下で、ZnOにAl2O3、Ga2O3、SiO2のいずれかが含有されてなるターゲット3をスパッタガス7によりスパッタリングして、基材上に透明導電膜を成膜し、ついで反応性ガスの存在下で前記ターゲットをスパッタガスによりスパッタリングして、前記透明導電膜上に透明絶縁膜を成膜して透明積層膜を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明の透明積層膜によれば、液体レンズに好適な透明積層膜を提供することができる。
本発明の液体レンズによれば、誘電率が高く膜厚の薄い透明絶縁膜を備えているので、低い電圧で駆動させることができる。
図1は、本発明に係る透明積層膜の製造方法を実施する上で使用するスパッタ装置の構成を示す概略図である。
図1に示すように、スパッタ装置は直流方式のスパッタ装置であり、チャンバー1内に基板11を保持する基板ホルダー2とターゲット3を保持するターゲットホルダー4とが対向配置されており、基板11とターゲット3との間に電圧が印加されるようになっている。詳しくは、基板11は基板ホルダー2を経由してグランドに接地され、ターゲット3はターゲットホルダー4を経由して直流電源5につながっており、基板11のアース電位に対してターゲット3には直流電源5から所定のマイナスの電圧が印加される。
(S11)基板ホルダー2に基板11をセットする。
ここで、基板11は、表面が清浄な透明ガラス基板またはポリカーボネイト(PC)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリオレフィン(PO)のいずれかからなる透明な樹脂基板である。
(S12)ターゲットホルダー4にターゲット3をセットする。
ここで、ターゲット3は、ZnOにAl2O3、Ga2O3、SiO2のいずれかが含有されてなるもの(すなわち、AZOターゲット、GZOターゲット、SZOターゲットのいずれか)であり、ターゲット3のAl2O3、Ga2O3、SiO2のいずれかの含有量は、10wt%以下がよく、例えば1.0〜10.0wt%であることが好ましい。
(S14)ついで、排気を継続しながらチャンバー1内にArガスボンベ7、O2ガスボンベ8それぞれからのガスを所定量混合したガスをプロセスガス導入口9aから導入し、チャンバー1内が一定の雰囲気圧力(例えば、0.1〜1.0Pa)になるようにする。ここで、混合ガスの流量(sccm)の比(反応性ガス流量比(O2/Ar))は、成膜される透明膜が所定の抵抗値以下となり導電性をもつように調整される(例えば、AZOターゲットの場合、0.2%)。あるいは、チャンバー1内にO2ガスは導入せず、Arガスのみを導入するようにしてもよい。
(S15)ついで、直流電源5よりターゲット3と基板11間に直流電圧を印加し、雰囲気ガス(O2+Ar、またはAr)についてグロー放電させプラズマ状態Pとする。
(S16)直流電源5から電力(例えば、0.1〜7.8W/cm2)を投入してスパッタリングを開始し、基板11上にターゲット組成に基づいた透明導電膜12を形成する(一旦成膜終了)。
(S18)ついで、直流電源5よりターゲット3と基板11間に直流電圧を印加し、雰囲気ガス(O2+Ar)についてグロー放電させプラズマ状態Pとする。
(S19)直流電源5から電力(例えば、0.1〜7.8W/cm2)を投入してスパッタリングを開始し、透明導電膜12上にターゲット組成に基づいた透明絶縁膜13を形成して透明積層膜を完成する。
この場合、透明導電膜、透明絶縁膜の界面がなくなるため、密着性が向上する。
本発明の透明積層膜は、基板11上に形成される透明導電膜12、透明絶縁膜13の積層構造をもつ光学膜である。
図3は、本発明の液体レンズの構成を示す断面図である。図3においては液体レンズ20の光軸は上下方向に伸びており、光は図中上から液体レンズ20の基材21に入射し、基材27から出射するようになっている。
cosθ=(γSW−γSO)/γOW
Π=1/2(ε・ε0/d)V2
(ここで、εは絶縁部の誘電率,ε0は真空誘電率,dは絶縁部の厚さ、Vは印加電圧を表す。)
cosθ=(γSW−γSO)/γOW−1/2(ε・ε0/d)V2 ・・・ (1)
例えば、従来の液体レンズでは、本発明の透明積層膜の代わりに、基材27上にスパッタリング法あるいは蒸着法によりITO(インジウム錫酸化物)が成膜されてなる電極膜92と、該電極膜92上にパリレン(日本パリレン株式会社製、パリレンC、パリレンN)が数μmの厚さで蒸着されてなる絶縁膜93とが積層されている(図6)。
(実施例1)
図1に示すスパッタ装置を使用し、以下の条件で透明膜サンプルを作製した。
・基板11:ガラス基板
・ターゲット3:ZnO−2wt%Al2O3
・投入電力:0.1〜7.8W/cm2
・反応性ガス流量比(O2/Ar):0〜1.6(%)
なお、(反応性ガス流量比)=(O2ガス流量)/{(O2ガス流量)+(Arガス流量)}×100(%)とした。
・透明膜膜厚:100nm
その結果、反応性ガス流量比に比例して比抵抗が増加する傾向を示した。この結果に従い、例えば、反応性ガス流量比を0.2%として透明導電膜12を形成し、つぎに同じターゲット3を使用して反応性ガス流量比を1.3%として透明絶縁膜13を形成することにより、本発明の透明積層膜を得ることができる。
図1に示すスパッタ装置を使用し、以下の条件で透明膜サンプルを作製した。
・基板11:ガラス基板(面積9cm2)
・ターゲット3:ZnO−2wt%SiO2
・投入電力:100〜400W
・反応性ガス流量比(O2/Ar):0〜0.5(%)
・透明膜膜厚:100nm
その結果、反応性ガス流量比に比例して比抵抗が増加する傾向を示した。また、投入電力に比例して比抵抗が減少する傾向が見られた。
本発明の透明積層膜の製造方法により、以下の条件で透明積層膜サンプルを作製した。なお、基板11としてガラス基板を使用した。
(1)透明導電膜12
・ターゲット3:ZnO−2wt%Al2O3
・反応性ガス流量比(O2/Ar):0.2(%)
・膜厚:100nm
(2)透明絶縁膜13
・ターゲット3:ZnO−2wt%Al2O3
・反応性ガス流量比(O2/Ar):1.3(%)
・膜厚:200nm
また、本実施例の条件の透明積層膜を有する液体レンズを作製したところ、電圧印加によって焦点距離を可変で制御することができた。
Claims (6)
- 反応性ガスなし、あるいは反応性ガスの存在下で、ZnOにAl2O3、Ga2O3、SiO2のいずれかが含有されてなるターゲットをスパッタガスによりスパッタリングして、基材上に透明導電膜を成膜し、ついで反応性ガスの存在下で前記ターゲットをスパッタガスによりスパッタリングして、前記透明導電膜上に透明絶縁膜を成膜して透明積層膜を形成することを特徴とする透明積層膜の製造方法。
- 前記ターゲットのAl2O3、Ga2O3、SiO2のいずれかの含有量は、10wt%以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明積層膜の製造方法。
- 前記透明絶縁膜の膜厚は、1μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明積層膜の製造方法。
- 前記透明絶縁膜の抵抗値は、前記反応性ガスとスパッタガスとの流量比により調整されてなることを特徴とする請求項1に記載の透明積層膜の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一に記載の透明積層膜の製造方法により基材上に透明導電膜、透明絶縁膜が順次積層されてなることを特徴とする透明積層膜。
- 請求項5に記載の透明積層膜と、電極を含む部材とにより、前記透明絶縁膜を内側にしてオイル及び水溶液が封止されてなるものであり、前記電極と透明導電膜間への電圧印加により前記透明絶縁膜上の水溶液とオイルとの界面の形状を変化させることを特徴とする液体レンズ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101858996A (zh) * | 2009-04-02 | 2010-10-13 | 索尼公司 | 液体透镜装置及其制造方法 |
US9190528B2 (en) | 2009-04-16 | 2015-11-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0803702D0 (en) | 2008-02-28 | 2008-04-09 | Isis Innovation | Transparent conducting oxides |
KR101344227B1 (ko) * | 2010-02-19 | 2013-12-23 | 린텍 가부시키가이샤 | 투명 도전성 필름 및 그 제조 방법 및 투명 도전성 필름을 사용한 전자 디바이스 |
JP5343058B2 (ja) * | 2010-10-15 | 2013-11-13 | リンテック株式会社 | 透明導電性フィルム、その製造方法、電子デバイス用部材及び電子デバイス |
US8773744B2 (en) | 2011-01-28 | 2014-07-08 | Delta Electronics, Inc. | Light modulating cell, device and system |
US9361913B1 (en) * | 2013-06-03 | 2016-06-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Recording read heads with a multi-layer AFM layer methods and apparatuses |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07168196A (ja) * | 1993-09-29 | 1995-07-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 積層型透明導電基材およびその製造方法 |
JP2002162506A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Canon Inc | 光学素子、光学装置および撮影装置 |
JP2004158619A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子デバイスおよびその製造方法 |
JP2006106106A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置及びその作製方法、並びに液晶テレビジョン装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19520843A1 (de) * | 1995-06-08 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Scheibe aus durchscheinendem Werkstoff sowie Verfahren zu ihrer Herstellung |
US5789318A (en) * | 1996-02-23 | 1998-08-04 | Varian Associates, Inc. | Use of titanium hydride in integrated circuit fabrication |
FR2769375B1 (fr) * | 1997-10-08 | 2001-01-19 | Univ Joseph Fourier | Lentille a focale variable |
NO314525B1 (no) * | 1999-04-22 | 2003-03-31 | Thin Film Electronics Asa | Fremgangsmåte ved fremstillingen av organiske halvledende innretninger i tynnfilm |
US6806988B2 (en) * | 2000-03-03 | 2004-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus |
JP2003136665A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Toyo Kohan Co Ltd | 導電層積層材の製造方法および導電層積層材を用いた部品の製造方法 |
KR100505536B1 (ko) * | 2002-03-27 | 2005-08-04 | 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤 | 투명한 도전성 박막, 그것의 제조방법, 그것의 제조를위한 소결 타겟, 디스플레이 패널용의 투명한 전기전도성기재, 및 유기 전기루미네선스 디바이스 |
JP3641632B1 (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-27 | Fcm株式会社 | 導電性シート、それを用いた製品およびその製造方法 |
KR20060095331A (ko) * | 2005-02-28 | 2006-08-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 소자 |
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2006
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2007
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07168196A (ja) * | 1993-09-29 | 1995-07-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 積層型透明導電基材およびその製造方法 |
JP2002162506A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Canon Inc | 光学素子、光学装置および撮影装置 |
JP2004158619A (ja) * | 2002-11-06 | 2004-06-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子デバイスおよびその製造方法 |
JP2006106106A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置及びその作製方法、並びに液晶テレビジョン装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101858996A (zh) * | 2009-04-02 | 2010-10-13 | 索尼公司 | 液体透镜装置及其制造方法 |
US9190528B2 (en) | 2009-04-16 | 2015-11-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101495303A (zh) | 2009-07-29 |
US20090303605A1 (en) | 2009-12-10 |
WO2007139029A1 (ja) | 2007-12-06 |
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