JP2007311774A - Different kind adhesive tape sticking method, bonding method using the same, and devices for these - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表示パネルなどの基板に異種の異方性導電テープなどの接着テープを貼付する異種接着テープ貼付方法およびこれを用いたボンディング方法ならびにこれらの装置に関するものである。 The present invention relates to a dissimilar adhesive tape attaching method for attaching an adhesive tape such as a different anisotropic conductive tape to a substrate such as a display panel, a bonding method using the same, and an apparatus thereof.
表示パネルなどの基板に電子部品を実装する方法として、異方性導電テープなどの接着テープを用いる方法が知られている。この方法では、基板電極上の所定位置に貼付けられた接着テープの上から電子部品をアライメントし、搭載後に所定時間加圧および加熱し、電子部品を基板に対して接着テープを硬化させる事により固定するとともに電子部品の接合用電極を基板の電極に導通させている。接着テープはベーステープの片面にテープ状の接着材を貼着した積層テープの形態で供給される。接着テープの基板への貼付は、連続した接着テープを所定寸法に切断し、この切断された接着テープを基板の所定位置に加圧および加熱する事により実施される。 As a method for mounting an electronic component on a substrate such as a display panel, a method using an adhesive tape such as an anisotropic conductive tape is known. In this method, an electronic component is aligned from above the adhesive tape affixed to a predetermined position on the substrate electrode, and after mounting, it is pressed and heated for a predetermined time, and the electronic component is fixed to the substrate by curing the adhesive tape. In addition, the bonding electrode of the electronic component is electrically connected to the electrode of the substrate. The adhesive tape is supplied in the form of a laminated tape in which a tape-like adhesive material is adhered to one side of the base tape. Adhesion of the adhesive tape to the substrate is carried out by cutting the continuous adhesive tape into a predetermined size and pressurizing and heating the cut adhesive tape to a predetermined position on the substrate.
近年、携帯電話や携帯端末のPDA(Personal Digital Assistant)などの小型器においては、表示パネルとして液晶パネルを搭載しつつも、小型かつ軽量化が要求されている。そのため、液晶ガラス基板には、面実装タイプの電子部品やLSI(Large Scale Integrated Circuit)、および小さい筐体内の空間利用が可能となる軽量なFPC(Flexible Printed Circuit)とが実装されている。このような種類の異なる実装部品を接着テープを用いて液晶ガラス基板へ実装する装置として、特許文献1のような実装装置と実装方法が知られている。 In recent years, small devices such as mobile phones and PDAs (Personal Digital Assistants) of portable terminals have been required to be small and light while mounting a liquid crystal panel as a display panel. Therefore, on the liquid crystal glass substrate, surface mount type electronic components, LSI (Large Scale Integrated Circuit), and lightweight FPC (Flexible Printed Circuit) capable of using space in a small casing are mounted. As a device for mounting such different types of mounting components on a liquid crystal glass substrate using an adhesive tape, a mounting device and a mounting method as in Patent Document 1 are known.
特許文献1のように、ガラス基板へチップ部品とFPCとを実装する場合、ガラス基板に貼り付けられる接着テープは、チップ部品とFPCの実装される全領域をカバーする単一の接着テープを一括してガラス基板に貼り付ける方法(図6の(a)参照)や、チップ部品実装箇所とFPC実装箇所それぞれの領域に応じて異なる接着テープをガラス基板に貼り付ける方法(図6の(b)参照)がある。なお、図6の(c)に、ガラス基板にチップ部品とFPCが実装された状態を示す。 When mounting a chip component and an FPC on a glass substrate as in Patent Document 1, the adhesive tape to be attached to the glass substrate is a single adhesive tape that covers the entire area where the chip component and the FPC are mounted. And a method of adhering to the glass substrate (see FIG. 6A) and a method of adhering different adhesive tapes to the glass substrate depending on the area of the chip component mounting location and the FPC mounting location (FIG. 6B). See). FIG. 6C shows a state where the chip component and the FPC are mounted on the glass substrate.
図6の(a)のように実装される電子部品の全領域をカバーするように接着テープを貼り付けると、接着テープの特性が同一となるため、それぞれの電子部品に適した接合条件で実装を行おうとすると、条件設定が極めて困難となる。 When the adhesive tape is applied so as to cover the entire area of the electronic component to be mounted as shown in FIG. 6 (a), the adhesive tape has the same characteristics. If it is going to do, condition setting will become very difficult.
ここで接合条件とは電子部品を基板に対して接着テープを硬化させる事により固定するとともに電子部品の接合用電極を基板の電極に導通させる為の加圧力、加熱力、熱圧着時間の条件である。 Here, the bonding conditions are the conditions of the applied pressure, heating force, and thermocompression bonding time for fixing the electronic component to the substrate by curing the adhesive tape and conducting the bonding electrode of the electronic component to the electrode of the substrate. is there.
また、両部材の接合条件を満たすには、使用出来る接着テープの種類が特殊なものに限定されるので、従来から、チップ部品専用もしくはFPC専用として使用していた接着テープは使用できなくなる。特に、FPCをガラス基板に熱圧着する際は、接着テープへの加熱時の温度によるフイルムの伸び等のダメージを考慮し、比較的、低温長時間(例えば接着テープ部温度160℃で10秒程度)で接着テープを硬化させることが望ましい。一方、チップ部品を実装する際は、タクトタイム短縮から考えて、FPCの加熱条件に比べて高温短時間の加熱(例えば接着テープ部温度210℃で5秒)をして接着テープを硬化させることが望ましい。 Moreover, since the kind of adhesive tape that can be used is limited to a special type in order to satisfy the joining condition of both members, the adhesive tape that has been conventionally used exclusively for chip parts or FPC cannot be used. In particular, when FPC is thermocompression bonded to a glass substrate, it takes into account damage such as film elongation due to the temperature when the adhesive tape is heated, and is relatively low temperature and long time (for example, at an adhesive tape temperature of 160 ° C. for about 10 seconds). ) To cure the adhesive tape. On the other hand, when mounting chip parts, the adhesive tape is cured by heating at a higher temperature for a shorter time than the FPC heating conditions (for example, at an adhesive tape temperature of 210 ° C. for 5 seconds) in consideration of shortening the tact time. Is desirable.
したがって、同一の接着テープでチップ部品とFPCの両者を品質的な問題無く熱圧着出来る条件の設定は極めて難しい。また全領域をカバーする接着テープを一括して貼り付けると、無駄な部分となる接着テープが多くなる為に材料費が高価となったり、接着テープの未硬化部分が多くなる為に腐食が発生する可能性が高くなり品質上問題があったりする。 Therefore, it is extremely difficult to set conditions for thermocompression bonding of both the chip component and the FPC with the same adhesive tape without quality problems. Also, if adhesive tape covering the entire area is pasted together, the material cost will be increased due to the increased amount of adhesive tape that will be wasted, and corrosion will occur due to the increase in the uncured portion of the adhesive tape. There is a possibility that it will increase and there will be a quality problem.
図6の(b)のように実装される電子部品ごとの領域に異種の接着テープを貼り付けると、接着テープの特性はそれぞれの部品毎に最適なものを使用できる様になる。このような貼付を行うために、図22の(a)に示すような2種類の接着テープを一巻ずつ並べて配置し一つの位置決めテーブルを移動する事により順次貼り付ける方法が考えられる。しかし、図22の(a)の装置では貼付動作が異なる接着テープごとに順番に行われる連続動作となる為、タクトタイムが長くなる問題や位置決めテーブルのストロークが長くなり装置が大型化するなどの問題が有る。 When a different type of adhesive tape is applied to the area of each electronic component to be mounted as shown in FIG. 6B, the optimum characteristics of the adhesive tape can be used for each component. In order to perform such sticking, a method of sequentially sticking two kinds of adhesive tapes as shown in FIG. 22A by arranging them one by one and moving one positioning table can be considered. However, in the apparatus of FIG. 22 (a), since the sticking operation is a continuous operation performed sequentially for each adhesive tape, there is a problem that the tact time becomes long, the stroke of the positioning table becomes long, and the apparatus becomes large. There is a problem.
また、図22の(b)に示すような1種類の接着テープを二巻並べて配置された第1接着テープ貼付ユニット1ともう1種類の接着テープを二巻並べて配置された第2接着テープ貼付ユニット2を利用して2種類の異種接着テープを同時に貼り付ける方法も考えることができる。しかしながら、タクトタイムは短縮出来るものの設備費用が高価になる問題や装置が大型化するなどの問題が有る。
Also, as shown in FIG. 22 (b), the first adhesive tape attaching unit 1 in which two types of adhesive tapes are arranged side by side and the second adhesive tape in which two types of adhesive tapes are arranged side by side. A method of applying two types of different adhesive tapes simultaneously using the
また、接着テープの貼付位置精度を向上する為に、通常接着テープを貼付ける直前に基板位置のアライメントを行っているが、この場合動作が連続となる為にタクトタイムが長くなる問題がある。 Further, in order to improve the accuracy of the adhesive tape application position, the substrate position is usually aligned immediately before application of the adhesive tape. In this case, however, there is a problem that the tact time becomes longer due to the continuous operation.
そこで本発明は、ガラス基板にチップ部品用とFPC用の2種類の接着テープをそれぞれの領域にタクトタイムを短くかつ精度良く貼り付けることができるとともに、装置を大型化する事無くかつ設備費用を安価にできる異種接着テープ貼付方法およびこれを用いたボンディング方法ならびにこれらの装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention can attach two types of adhesive tapes for chip components and FPC to a glass substrate in each region with a short tact time and with high accuracy, and without increasing the size of the apparatus and reducing the equipment cost. It is an object of the present invention to provide a method for applying different types of adhesive tape, a bonding method using the same, and an apparatus for the same that can be made inexpensively.
この発明は、上記目的を達成するために次のような構成をとる。
第1の発明は、ガラス基板を第1移載ユニットから受け取る位置と、受け取ったガラス基板に接着テープを貼り付ける位置と、接着テープの貼り付けられたガラス基板を第2移載ユニットに受け渡す位置に移動自在な1組の第1および第2吸着テーブルを有する第1可動テーブルと、供給される第1接着テープと第2接着テープをガラス基板に熱圧着して貼り付ける第1ヘッドと第2ヘッドを備えた接着テープ貼付ユニットを含む異種接着テープ貼付装置によって、前記異なる第1および第2接着テープをガラス基板に貼り付ける異種接着テープの貼付方法であって、
前記第1移載ユニットにより前記第1可動テーブルの第1吸着テーブルにガラス基板を移載するステップと、
前記第1吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第1可動テーブルを第1接着テープの貼付け位置に移動するステップと、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第1ヘッドで第1接着テープを貼り付けるステップと、
前記第1接着テープの貼り付けられたガラス基板を第1吸着テーブルから第2吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第1移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第1吸着テーブルに移載するステップと、
前記第1および第2接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第1可動テーブルを移動するステップと、
前記各ガラス基板に対して、第1ヘッドでの第1接着テープの貼り付けと、第2ヘッドでの第2接着テープの貼り付けを同時にするステップと、
前記第2吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットに移載するステップと、
を備えることを特徴とする。
The present invention has the following configuration in order to achieve the above object.
1st invention transfers the position which receives a glass substrate from a 1st transfer unit, the position which affixes an adhesive tape on the received glass substrate, and the glass substrate on which the adhesive tape was affixed to a 2nd transfer unit. A first movable table having a pair of first and second suction tables movable to a position, a first head for thermocompression bonding the supplied first adhesive tape and second adhesive tape to a glass substrate, and a first head A heterogeneous adhesive tape affixing method for affixing the different first and second adhesive tapes to a glass substrate by a heterogeneous adhesive tape affixing device including an adhesive tape affixing unit having two heads,
Transferring the glass substrate to the first suction table of the first movable table by the first transfer unit;
After transferring the glass substrate to the first suction table, the step of moving the first movable table to a position where the first adhesive tape is applied;
Affixing a first adhesive tape with a first head on the glass substrate at the affixing position;
The glass substrate to which the first adhesive tape is attached is transferred from the first suction table to the second suction table, and the next glass substrate is in a position to receive the glass substrate from the first transfer unit. Transferring to the first suction table;
Moving the first movable table so that both glass substrates are positioned at the application position of the first and second adhesive tapes;
For each glass substrate, applying the first adhesive tape with the first head and applying the second adhesive tape with the second head at the same time;
Transferring the glass substrate on which both adhesive tapes are pasted from the second suction table to the second transfer unit;
It is characterized by providing.
(作用・効果) 第1の発明によれば、第1移載ユニットがガラス基板を第1可動テーブルの第1吸着テーブルに移載し、ガラス基板に第1接着テープを貼付後、ガラス基板を第1可動テーブルの第1吸着テーブルから第2吸着テーブルに移載する。このとき、移載位置を合せる(オフセット)。それと個別または同時に第1移載ユニットから第1可動テーブルの第1吸着テーブルに次のガラス基板を移載する。これにより、異なる種類の接着テープを貼り付けるタクトタイムを短縮できる。また、第2吸着テーブルのガラス基板位置を第1吸着テーブルからオフセットさせて移載する事により、貼付位置の異なる第1接着テープと第2接着テープを同時に貼り付ける事ができるので、最小のスペースと最小の設備費用でタクトタイムが大幅に短縮され生産効率が上がる。 (Operation / Effect) According to the first invention, the first transfer unit transfers the glass substrate to the first suction table of the first movable table, attaches the first adhesive tape to the glass substrate, and then attaches the glass substrate. Transfer from the first suction table of the first movable table to the second suction table. At this time, the transfer position is adjusted (offset). Separately or simultaneously, the next glass substrate is transferred from the first transfer unit to the first suction table of the first movable table. Thereby, the tact time which affixes a different kind of adhesive tape can be shortened. In addition, by transferring the glass substrate position of the second suction table offset from the first suction table, the first adhesive tape and the second adhesive tape with different application positions can be applied simultaneously, so that the minimum space is required. The tact time is greatly reduced and the production efficiency is increased with the minimum equipment cost.
また、この構成は1種類の接着テープのみ貼り付ける場合に一般的に行われている貼付方法であるガラス基板を基板供給ユニットから2枚同時に移載し、接着テープを2枚同時に貼付ける方法の装置構成のままでソフトウエアの変更のみで対応する事が可能である。その結果動作パターンをデータ選択する事によりどちらでも対応する事が可能となる。 In addition, this configuration is a method of transferring two glass substrates from a substrate supply unit at the same time and applying two adhesive tapes at the same time, which is a general application method when only one type of adhesive tape is applied. It is possible to cope with the change of the software only with the device configuration. As a result, it is possible to cope with either by selecting data for the operation pattern.
第2の発明は、第1の方法発明において、
前記第1吸着テーブルにガラス基板を移載するステップの前に、さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する間にガラス基板に付されたアライメントマークの位置を認識するステップと、
前記アライメントマークの位置の認識結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡すステップと、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第1移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するステップと、
を備えたことを特徴とする。
According to a second invention, in the first method invention,
Before the step of transferring the glass substrate to the first suction table, the position of the alignment mark attached to the glass substrate while the glass substrate is taken out from the pallet for transporting the glass substrate and transported to the temporary placement table is further determined. Recognizing steps,
Based on the recognition result of the position of the alignment mark, correcting the position of the glass substrate and delivering the glass substrate to the temporary table;
Transporting the glass substrate transferred to the temporary table to the delivery position to the adhesive tape application unit by the first transfer unit;
It is provided with.
(作用・効果) この方法よれば、パレットから搬送されるガラス基板が仮置き台に移載されるまでに位置合せされる。すなわち、第1接着テープおよび第2接着テープの貼付直前に、ガラス基板のアライメントを行うことなく貼付作業を実施できるので、タクトタイムの短縮をする事ができる。 (Operation / Effect) According to this method, the glass substrate conveyed from the pallet is aligned before being transferred to the temporary table. That is, immediately before the first adhesive tape and the second adhesive tape are pasted, the pasting operation can be performed without aligning the glass substrate, so that the tact time can be shortened.
第3の発明は、第1または第2の方法発明を利用してガラス基板にLSIおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング方法であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第1および第2接着テープのいずれか一方にLSIを、他方にFlexible Printed Circuitを実装するステップと、
前記ガラス基板に実装されたLSIおよびFlexible Printed Circuitを圧着するステップと、
を備えたことを特徴とする。
A third invention is a bonding method for mounting an LSI and a flexible printed circuit on a glass substrate using the first or second method invention,
Mounting LSI on one of the first and second adhesive tapes affixed to the glass substrate and mounting a flexible printed circuit on the other;
Crimping LSI and Flexible Printed Circuit mounted on the glass substrate;
It is provided with.
(作用・効果) この方法よれば、材料および形状の異なるLSIとFlexible Printed Circuit(以下、適宜「FPC」という)を実装するタクトタイムを短縮できる。 (Operation / Effect) According to this method, the tact time for mounting LSIs and Flexible Printed Circuits (hereinafter, appropriately referred to as “FPC”) having different materials and shapes can be shortened.
第4の発明は、ガラス基板を第1移載ユニットから受け取る位置と、受け取ったガラス基板に接着テープを貼り付ける位置と、接着テープの貼り付けられたガラス基板を第2移載ユニットに受け渡す位置に移動自在な1組の第1および第2吸着テーブルを有する第1可動テーブルと、供給される第1接着テープと第2接着テープをガラス基板に熱圧着して貼り付ける第1ヘッドと第2ヘッドを備えた接着テープ貼付ユニットを含み、異なる第1および第2接着テープをガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付装置であって、
前記第1移載ユニットにより前記第1可動テーブルの第1吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第1可動テーブルを第1接着テープの貼付け位置に移動させ、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第1ヘッドで第1接着テープを貼り付け、
前記第1接着テープの貼り付けられたガラス基板を第1吸着テーブルから第2吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第1移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第1吸着テーブルに移載し、
前記第1および第2接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第1可動テーブルを移動させ、
前記各ガラス基板に対して、第1ヘッドでの第1接着テープの貼り付けと、第2ヘッドでの第2接着テープの貼り付けを同時に行い、
前記第2吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットに移載するように構成した
ことを特徴とする。
4th invention delivers the position which receives a glass substrate from a 1st transfer unit, the position which affixes an adhesive tape on the received glass substrate, and the glass substrate on which the adhesive tape was affixed to a 2nd transfer unit. A first movable table having a pair of first and second suction tables movable to a position, a first head for thermocompression bonding the supplied first adhesive tape and second adhesive tape to a glass substrate, and a first head An adhesive tape applying apparatus for attaching different first and second adhesive tapes to a glass substrate, comprising an adhesive tape applying unit having two heads,
After the glass substrate is transferred to the first suction table of the first movable table by the first transfer unit, the first movable table is moved to the application position of the first adhesive tape,
The first adhesive tape is pasted on the glass substrate at the pasting position with the first head,
The glass substrate to which the first adhesive tape is attached is transferred from the first suction table to the second suction table, and the next glass substrate is in a position to receive the glass substrate from the first transfer unit. Is transferred to the first suction table,
Moving the first movable table so that both glass substrates are located at the application position of the first and second adhesive tapes,
Attaching the first adhesive tape with the first head and the second adhesive tape with the second head simultaneously to each glass substrate,
The glass substrate on which both adhesive tapes are pasted from the second suction table is configured to be transferred to the second transfer unit.
なお、この構成において、さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する搬送手段と、
前記ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段とを備え、
前記第1吸着テーブルにガラス基板を移載する前に、前記搬送手段でパレットから仮置き台にガラス基板を搬送しながら、当該ガラス基板に付されたアライメントマークの位置を前記位置検出手段で検出し、
その結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡し、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第1移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するように構成することが好ましい。
In addition, in this structure, the conveyance means which takes out a glass substrate from the palette for glass substrate conveyance further, and conveys it to a temporary placing stand,
A position detecting means for detecting an alignment mark provided on the glass substrate,
Before the glass substrate is transferred to the first suction table, the position detecting unit detects the position of the alignment mark attached to the glass substrate while the glass substrate is transported from the pallet to the temporary placement table by the transport unit. And
Based on the result, correct the position of the glass substrate and deliver the glass substrate to the temporary table,
It is preferable that the glass substrate transferred to the temporary table is transported to the delivery position to the adhesive tape applying unit by the first transfer unit.
(作用・効果) この構成によれば、第2の方法発明を好適に実現することができる。 (Operation / Effect) According to this configuration, the second method invention can be suitably realized.
第6の発明は、第4または第5の方法発明を含むガラス基板にLSIおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング装置であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第1および第2接着テープのいずれか一方にLSIを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたLSIおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とする。
A sixth invention is a bonding apparatus for mounting an LSI and a flexible printed circuit on a glass substrate including the fourth or fifth method invention,
Mounting means for mounting an LSI on one of the first and second adhesive tapes affixed to the glass substrate and a flexible printed circuit on the other;
A crimping unit for crimping the LSI and Flexible Printed Circuit mounted on the glass substrate;
It is provided with.
(作用・効果) この構成によれば、第3の方法発明を好適に実現することができる。 (Operation and Effect) According to this configuration, the third method invention can be suitably realized.
第7の発明は、異なる種類の接着テープをガラス基板に貼り付ける異種接着テープの貼付装置おいて、
パレットから仮置き台にガラス基板を搬送する搬送手段と、
ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段と、
を備えた基板供給ユニットと、
可動台と当該可動台の縦回転軸に回転可能に連結されたアームの両端に吸着テーブルを有し、前記位置検出手段の検出結果に基づいてアライメントしてガラス基板を保持し、搬入搬出位置と接着テープ貼付け位置とにわたって両吸着テーブルを移動させるように構成した第1可動テーブルを備え、
貼付け位置で異なる種類の接着テープを前記ガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付ユニットと、
前記仮置き台から第1可動テーブルにガラス基板を移載する第1移載ユニットと、
前記接着テープの貼り付けられた部分ごとに異なる実装部材を圧着する圧着ユニットと、
前記位置検出手段の検出結果に基づいてガラス基板のアライメントをするとともに、搬入搬出位置と圧着ユニットの圧着位置とにわたって移動する第2可動テーブルと、
第1可動テーブル上の接着テープ貼付け済みのガラス基板を第2可動テーブルに移載する第2移載ユニットと、
実装部材の圧着されたガラス基板を次工程に搬送する第3移載ユニットとを備え、
前記第1移載ユニットにより搬送される未処理のガラス基板を受け渡し位置で一方の吸着テーブルに移載して位置合し、第1可動テーブルを接着テープ貼付け位置に移動させてガラス基板の所定位置に接着テープを貼り付け、
貼付け終了後にアームを回転させて当該ガラス基板を異なる接着テープの貼付け位置に移動させるとともに、第1移載ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を他方の吸着テーブルに移載してアライメントし、両吸着テーブルを接着テープの貼付け位置に移動させ、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付け、
貼付け終了後にアームを回転させて2種類の接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットで第2可動テーブルに移載し、
さらに、アームを回転させてガラス基板の搬出された吸着テーブルに、第1移送ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を移載してアライメントするとともに、1種類の接着テープを貼付けたガラス基板のアライメントし、両吸着テーブルを接着テープ貼付け位置に移動し、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付ける
これら前記処理を繰り返し行うように構成したことを特徴とする。
The seventh invention is a sticking device for different types of adhesive tapes for attaching different types of adhesive tapes to a glass substrate.
Transport means for transporting the glass substrate from the pallet to a temporary table;
Position detecting means for detecting alignment marks provided on the glass substrate;
A substrate supply unit comprising:
There are suction tables at both ends of the movable table and the arm rotatably connected to the vertical rotation shaft of the movable table, and the glass substrate is held by alignment based on the detection result of the position detection means, A first movable table configured to move both suction tables across the adhesive tape application position;
An adhesive tape application unit for attaching different types of adhesive tape to the glass substrate at the application position;
A first transfer unit for transferring a glass substrate from the temporary table to a first movable table;
A crimping unit for crimping different mounting members for each part to which the adhesive tape is attached;
While aligning the glass substrate based on the detection result of the position detection means, a second movable table that moves across the loading / unloading position and the crimping position of the crimping unit,
A second transfer unit for transferring the glass substrate on which the adhesive tape has been pasted on the first movable table to the second movable table;
A third transfer unit that transports the glass substrate on which the mounting member is crimped to the next process;
The unprocessed glass substrate transported by the first transfer unit is transferred to and aligned with one suction table at the delivery position, and the first movable table is moved to the adhesive tape application position to be a predetermined position of the glass substrate. Affix the adhesive tape to the
After the pasting, the arm is rotated to move the glass substrate to a different adhesive tape pasting position, and the untreated glass substrate transported by the first transfer unit is transferred to the other suction table for alignment. Move both suction tables to the adhesive tape application position,
Adhesive tape is applied to both glass substrates with the adhesive tape application unit.
After the pasting is finished, the arm is rotated and the glass substrate on which the two types of adhesive tapes are pasted is transferred to the second movable table by the second transfer unit,
Furthermore, the glass substrate on which the untreated glass substrate conveyed by the first transfer unit is transferred and aligned on the suction table on which the glass substrate is unloaded by rotating the arm, and one type of adhesive tape is attached. , Move both suction tables to the adhesive tape application position,
Adhesive tape is applied to both glass substrates by an adhesive tape application unit. These processes are repeated.
(作用・効果) この構成によれば、第1可動テーブル上のアームを縦回転軸回りに回転させながらガラス基板の接着テープ貼付け部分に順に所定の接着テープを貼り付けることができる。また、2種類の接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットで第2可動テーブルに移載させるとともに、移動後に開放された吸着テーブルに未処理のガラス基板を移載し、1種類の接着テープ貼付け済みのガラス基板と未処理のガラス基板のそれぞれを接着テープ貼付け位置に同時に移動させることができる。したがって、上記第1の発明装置に比べてガラス基板の受け渡し回数を減らすことができるので、作業効率の向上を図ることができる。 (Operation / Effect) According to this configuration, a predetermined adhesive tape can be applied in order to the adhesive tape application portion of the glass substrate while rotating the arm on the first movable table about the vertical rotation axis. In addition, the glass substrate with two types of adhesive tapes is transferred to the second movable table by the second transfer unit, and the untreated glass substrate is transferred to the suction table that is opened after the movement. Each of the glass substrate to which the adhesive tape has been applied and the untreated glass substrate can be simultaneously moved to the adhesive tape application position. Therefore, since the number of times of delivery of the glass substrate can be reduced as compared with the first invention apparatus, work efficiency can be improved.
また、この構成は、吸着テーブルをアームの長手方向に沿って移動可能、かつ、アームに対して垂直な縦軸回りに回転可能に保持されるように構成したり(請求項8)、さらに、吸着テーブルをアームに対して水平直交する軸に沿って前後移動可能に構成したりする(請求項9)ことが好ましい。この構成によれば、吸着テーブルを水平平面上で前後左右に移動することが可能となるので、接着テープ貼付け位置へのアライメントの微調整を精度よく行うことができる。 Further, in this configuration, the suction table is configured to be movable along the longitudinal direction of the arm and to be held so as to be rotatable about a vertical axis perpendicular to the arm (Claim 8), Preferably, the suction table is configured to be movable back and forth along an axis that is horizontally orthogonal to the arm. According to this configuration, the suction table can be moved back and forth and right and left on a horizontal plane, so that the fine adjustment of the alignment to the adhesive tape application position can be performed with high accuracy.
第10の発明は、第7の方法発明を含むガラス基板にLSIおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング装置であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第1および第2接着テープのいずれか一方にLSIを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたLSIおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とする。
A tenth invention is a bonding apparatus for mounting an LSI and a Flexible Printed Circuit on a glass substrate including the seventh method invention,
Mounting means for mounting an LSI on one of the first and second adhesive tapes affixed to the glass substrate and a flexible printed circuit on the other;
A crimping unit for crimping the LSI and Flexible Printed Circuit mounted on the glass substrate;
It is provided with.
(作用・効果) この構成よれば、材料および形状の異なるLSIとFPCを実装するタクトタイムを短縮できる。 (Operation / Effect) According to this configuration, the tact time for mounting LSI and FPC having different materials and shapes can be shortened.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の一実施形態の接着テープ貼付ユニット3が組み込まれたボンディング装置(以下、適宜「実装装置」という)の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a bonding apparatus (hereinafter referred to as “mounting apparatus” as appropriate) in which an adhesive
図1のY方向手前側にはガラス基板9(以下、単に「基板」という)を移載する第1〜4移載ユニット6,21,33,34が備えられている。
1, first to
基板供給ユニット2から接着テープ貼付ユニット3への基板9の移載および、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aから第2吸着テーブル17bへの基板9の移載および位置合せ(以下、適宜「オフセット移載」という)は第1移載ユニット6を用いて行われる。また、接着テープ貼付ユニット3から仮圧着ユニット4への基板9の移載は、第2移載ユニット21を用いて行われる。
Transfer of the
基板供給ユニット2は、実装部材であるチップ部品7とFPC8を実装前の複数基板9を一定間隔で整列配置したパレット10と、パレット10上の基板9を仮置き台11に搬送する搬送手段12と、基板9を仮置き台11にアライメントして載置するため基板9のアライメントマーク位置を認識するカメラ13とから構成されている。搬送手段12は、水平2軸(X、Y)方向、上下(Z)方向、および回転(θ)方向に移動自在に構成されている。仮置き台11には、基板9を吸着保持する第1吸着部11aと第2吸着部11bが備えられている。なお、カメラ13は、本発明の位置検出手段に相当する。
The
第1移載ユニット6は、装置基台1の長手方向に配設されたレール14Aと、このレール14Aに沿って走行する第1移載ハンド15Aおよび15Bと、この第1移載ハンド15Aおよび15Bに昇降自在に取り付けられて基板9を吸着保持する保持板16a、16bを備えており、基板供給ユニット2の仮置き台11から基板9を受け取る位置と接着テープ貼付ユニット3の第1可動テーブル17Aとの基板9受け渡し位置の間を移動自在となっている。
The
また、第2移載ユニット21は装置基台1長手方向に配設されたレール14Bと、このレール14Bに沿って走行する第2移載ハンド15Cおよび15Dを備えており、接着テープ貼付ユニット3の第1可動テーブル17Aの基板9受け渡し位置と仮圧着ユニット4の第2可動テーブル17Bの基板9受け渡し位置の間を移動自在となっている。第1可動テーブル17Aは、第1吸着テーブル17aと第2吸着テーブル17bから構成されている。第2可動テーブル17Bは、吸着テーブル17cから構成されている。
The
なお、第1移載ハンド15A、15Bの基板9の受け渡しにともなう、レール14A上での停止位置は、図7に示すように、第1移載ハンド15A、15Bの保持板16a、16bが基板供給ユニット2の仮置き台11から基板9を受け取る位置Aと、図9および図10に示す第1移載ハンド15A、15Bの保持板16a、16bが第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17a、第2吸着テーブル17bに基板9を受け渡す位置Cと、図8に示す第1移載ハンド15Bの保持板16bが第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aから基板9を受け取る位置Bとから構成されている。
As shown in FIG. 7, the stop positions on the
また、第2移載ハンド15C、15Dのレール14B上での停止位置は、図11に示す第2移載ハンド15Cが第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bから基板9を受け取る位置Dと、図7に示す第2移載ハンド15Cが仮圧着ユニット4の第2可動テーブル17Bの吸着テーブル17cに基板9を受け渡す位置Eと、から構成されている。
Further, the stop positions of the second transfer hands 15C and 15D on the
なお、この装置構成で1種類の接着テープを貼り付ける場合は、次の2つの位置が追加される。一つは、第2移載ハンド15C、15Dが第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17a、第2吸着テーブル17bから同時に基板9を受け取る位置であり、もう一つは、第2移載ハンド15Dが仮圧着ユニット4の第2可動テーブル17Bの吸着テーブル17cに基板9を受け渡す位置である。
When one type of adhesive tape is applied with this apparatus configuration, the following two positions are added. One is a position where the second transfer hands 15C and 15D simultaneously receive the
第1可動テーブル17Aは、水平2軸(X、Y)方向および回転(θ)方向に移動自在に構成されている。そして、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aと第2吸着テーブル17bは個別に上下(Z)方向に移動自在に構成されている。 The first movable table 17A is configured to be movable in two horizontal axes (X, Y) and a rotation (θ) direction. The first suction table 17a and the second suction table 17b of the first movable table 17A are configured to be individually movable in the vertical (Z) direction.
また、第2可動テーブル17Bの吸着テーブル17cは、水平2軸(X、Y)方向および回転(θ)方向および上下(Z)方向に移動自在に構成されている。第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aと第2吸着テーブル17bのX方向の間隔は、第1移載ハンド15Aと15Bの保持板16aと16bの間隔や接着テープ貼付ユニット3の第1ヘッド19aと第2ヘッド19bの間隔と同じに設定されている。
Further, the suction table 17c of the second movable table 17B is configured to be movable in the horizontal biaxial (X, Y) direction, the rotation (θ) direction, and the vertical (Z) direction. The distance in the X direction between the first suction table 17a and the second suction table 17b of the first movable table 17A is the distance between the holding
第1可動テーブル17Aの停止位置は、図8および図9に示す第1移載ハンド15A、15Bの保持板16a、16bから基板9を受け取る位置Fと、図10に示す第1接着テープ18aの貼付位置と第2接着テープ18bの貼付位置の差分だけオフセットした位置Gと、図7に示す接着テープ貼付ユニット3で第1接着テープ18aおよび第2接着テープ18bを貼り付ける位置Hと、図11に示す第2移載ハンド15Cに基板9を受け渡す位置Iとから構成されている。図9の位置Fと図10の位置Gは、図6の(b)に示すX1、Y1だけ移動した位置となる。この移動が第1可動テーブル17Aに基板9を第1移載ハンド15Bの保持板16bから受け渡す際に、行われることにより連結された第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aと第2吸着テーブル17bにそれぞれ吸着保持された基板9に同時に接着テープ貼付ユニット3で第1接着テープ18aと第2接着テープ18bを所定の位置に貼り付けることが可能となる。
The stop position of the first movable table 17A is the position F for receiving the
接着テープ貼付ユニット3は、基板9にチップ部品7用の第1接着テープ18aを貼り付ける第1ヘッド19aおよびFPC8用の第2接着テープ18bを貼り付ける第2ヘッド19bと、第1接着テープ18aを供給する第1接着テープ供給機構20aおよび第2接着テープ18bを供給する第2接着テープ供給機構20bから構成されている。図6の(b)に第1接着テープ18aを貼り付ける貼付箇所22aと、第2接着テープ18bを貼り付ける貼付箇所22bを示す。
The adhesive
第1接着テープ18aおよび第2接着テープ18bには電子部品接合用の接着剤がテープ状でベーステープの片面に貼り付けられている。
On the first
第1ヘッド19aと第2ヘッド19bの下方には接着剤テープ貼付加圧時に基板9を支える為のバックアップ23が固定設置されている。
Below the
基板9は、チップ部品7用の第1接着テープ18aの貼付箇所22aが第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aから前方(Y方向)に延びるように吸着保持される。同様に、基板9はFPC8用の第2接着テープ18bの貼付箇所22bが第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bから前方(Y方向)に延びるように吸着保持される。
The
仮圧着ユニット4は、接着テープ貼付ユニット3から搬送されてきた基板9を水平姿勢で吸着保持する第2可動テーブル17Bの吸着テーブル17cと、基板9にチップ部品7とFPC8を仮圧着する仮圧着ヘッド25と、仮圧着時に基板9とチップ部品7およびFPC8との位置合わせを行う上下2方向に認識視野をもつ2視野カメラ31を備えている。
The temporary pressure bonding unit 4 includes a suction table 17c of a second movable table 17B that sucks and holds the
第2吸着テーブル17Bは水平2軸(X、Y)方向、上下(Z)方向、および回転(θ)方向に、それぞれ移動自在に構成されている。仮圧着ヘッド25は昇降自在であって、その下端にはチップ部品7とFPC8を吸着保持する吸着孔が設けられており、図示していない吸気管を介して真空源と連通接続されている。
The second suction table 17B is configured to be movable in two horizontal axes (X, Y), up and down (Z), and rotation (θ). The temporary press-
仮圧着ヘッド25へのチップ部品7とFPC8の供給は、チップスライダー27を用いて行われる。搬送手段32が、複数のチップ部品7を一定間隔で整列配置したチップパレット28からチップ部品7を1個ずつ順に取り出す。取り出されたチップ部品7は、チップスライダー27に移載される。また搬送手段32が、複数のFPC8を一定間隔で整列配置したFPCパレット29からFPC8を1個ずつ順に取り出す。取り出されたFPC8はチップスライダー27に移載される。チップスラーダー27は、これらチップ部品7とFPC8を仮圧着ユニット4からのびるガイドレール30に沿って、仮圧着ヘッド25に搬送する。
The chip component 7 and the FPC 8 are supplied to the temporary press-
第3移載ユニット33は、仮圧着ユニット4でチップ部品7とFPC8が仮圧着された基板9を本圧着ユニット5の第3可動テーブル17Dに移載する。第3可動テーブル17Dに移載された基板9は、水平2軸(X、Y)方向、および上下(Z)方向に移動し、第3ヘッド19cおよび第4ヘッド19dが下降して加熱および加圧が行われる。所定の時間、加熱および加圧が行われると、第3ヘッド19cおよび第4ヘッド19dが上昇し、第3可動テーブル17Dが第4移載ユニット34への基板9の受け渡し位置に移動する。第3可動テーブル17Dが基板9の受け渡し位置に到着すると、第4移載ユニット34により基板9が搬出ステージ35に移載される。
The
次に、図2から図5の動作フロチャートを用いて基板供給ユニット2と、第1移載ユニット6と、第2移載ユニット21と、第1可動テーブル17Aの動作を説明する。
Next, the operations of the
図2は、基板供給ユニット2の動作フロチャートである。
FIG. 2 is an operation flowchart of the
まず、パレット10に一定間隔で整列配置された基板9が、搬送手段12によってパレット10から取り出される(ステップS01)。搬送手段12は、基板9を吸着保持して仮置き台11の第1吸着部11aに搬送する。搬送する際、カメラ13の上部を通過し、カメラ13による基板のアライメントマークの認識が行われる(ステップS02)。基板9が仮置き台11の第1吸着部11a上に到着すると、搬送手段12がX、Y、θ方向のアライメントを行い仮置き台11の第1吸着部11aに基板9を移載する(ステップS03)。
First, the
次に、基板9の在席信号TX1を第1移載ユニット6に送り(ステップS04)、第1移載ユニット6の到着信号TX2を待つ(ステップS05)。第1移載ユニット6が到着すると、第1移載ハンド15Aの保持板16aが下降し仮置き台11の第1吸着部11a上の基板9を吸着保持し、受け渡しが完了する(ステップS06)。基板9の受け渡しが完了すると、ステップS01に戻る。
Next, the presence signal TX1 of the
図3は、第1移載ユニット6の動作フロチャートである。
FIG. 3 is an operation flowchart of the
まず、レール14A上の第1移載ユニット6が、基板9の受け取り位置である基板供給ユニット2の仮置き台11上の位置Aに移動する(ステップS11)。位置Aに到着すると、基板供給ユニット2に対して到着信号TX2を送る(ステップS12)。基板9の在席信号TX1を確認し(ステップS13)、第1移載ハンド15Aの保持板16aが下降し基板9を吸着保持する(ステップS14)。
First, the
次に、第1移載ハンド15Aの保持板16aを上昇させた後に第1移載ユニット6は第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aと第1移載ハンド15Aとの受け渡し位置である位置Cに移動する(ステップS15)。位置Cに到着すると、第1可動テーブル17Aに基板受け渡し準備完了信号TX3を送る(ステップS16)。第1可動テーブル17Aが基板9の受け取り位置である位置Fに到着すると(ステップS17)、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが上昇し第1移載ハンド15Aに吸着保持されている基板9が、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aに移載される(ステップS18)。
Next, after raising the holding
次に、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが下降後、第1移載ユニット6は、基板9の受け取り位置である基板供給ユニット2の仮置き台11上の位置Aに移動する(ステップS19)。位置Aに到着すると、基板供給ユニット2に対して到着信号TX2を送る(ステップS20)。基板9の在席信号TX1を確認し(ステップS21)、第1移載ハンド15Aの保持板16aが下降し基板9a(基板9aは次に搬送されてきた基板9を示す)を吸着保持する(ステップS22)。
Next, after the first suction table 17a of the first movable table 17A is lowered, the
次に、第1移載ハンド15Aの保持板16aを上昇させた後に第1移載ユニット6は第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aと第1移載ハンド15Bとの受け渡し位置である位置Bに移動する(ステップS23)。位置Bに到着すると、第1可動テーブル17Aに基板受け渡し準備完了信号TX5を送る(ステップS24)。第1可動テーブル17Aが基板9の受け渡し位置である位置Fに到着すると(ステップS25)、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが上昇し、第1移載ハンド15Bの保持板16bが、第1可動テーブル17a上に吸着保持されている第1接着テープ18aの貼り付けられた基板9を保持板16bに吸着保持して受け取る(ステップS26)。
Next, after raising the holding
次に、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが下降後、第1移載ユニット6が、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aと第1移載ハンド15Aとの受け渡し位置である位置Cに移動する(ステップS27)。
Next, after the first suction table 17a of the first movable table 17A is lowered, the
次に、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが上昇し、第1移載ハンド15Aから次の基板9aを第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aに移載する(ステップS28)。次に第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが下降後に、第1可動テーブル17Aに対してテーブルシフト信号TX6を送る(ステップS29)。
Next, the first suction table 17a of the first movable table 17A is raised, and the next substrate 9a is transferred from the
次に、第1可動テーブル17Aは第1接着テープ18aの貼付基準位置と第2接着テープ18bの貼付基準位置のX、Y方向の差であるX1、Y1分だけオフセットした位置である位置Gに移動する(ステップS30)。位置Gへの移動完了後に第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが上昇し、第1移載ハンド15Bから第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bに第1接着テープ18aの貼り付けられた基板9が移載される(ステップS31)。
Next, the first movable table 17A is moved to a position G, which is a position offset by X1 and Y1 which are the differences between the X and Y directions between the reference reference position of the first
次に、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが下降した後、第1移載ユニット6は位置Aに移動しステップS19からの動作を続ける。
Next, after the second suction table 17b of the first movable table 17A is lowered, the
図4は、第1可動テーブル17Aの動作を説明するフロチャートである。 FIG. 4 is a flowchart for explaining the operation of the first movable table 17A.
まず、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが、第1移載ハンド15Aから基板9を受け取る位置である位置Fに第1可動テーブルA17Aが移動する(ステップS31)。位置Fに到着すると、第1移載ハンド15Aに対して、第1可動テーブル17Aの到着信号TX8を送る(ステップS32)。第1移載ハンド15Aの到着信号TX3を確認すると(ステップS33)、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが上昇し基板9が第1移載ハンド15Aから第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aに受け渡される(ステップS34)。
First, the first movable table A17A moves to the position F where the first suction table 17a of the first movable table 17A receives the
次に、第1吸着テーブル17aが下降後、第1可動テーブル17Aは、接着テープ貼付ユニット3の第1接着テープ貼付位置である位置Hに移動する(ステップS35)。第1可動テーブル17Aが位置Hに到着すると、第1吸着テーブル17a上に保持されている基板9は基板供給ユニット2にてX、Y、θ方向のアライメントが既に行われているので基板9のアライメント動作を行うことなく、第1吸着テーブル17aが下降し基板9をバックアップ23に保持させた後に貼付を第1ヘッド19aを下降させて基板9の所定の貼付箇所22aに第1接着テープ18aを貼り付ける(ステップS36)。貼付時間は第1接着テープ18aの特性にあわせて所定の時間行われる。
Next, after the first suction table 17a is lowered, the first movable table 17A moves to the position H that is the first adhesive tape application position of the adhesive tape application unit 3 (step S35). When the first movable table 17A arrives at the position H, the
基板9に第1接着テープ18aの貼付が完了すると、第1可動テーブル17Aは第1吸着テーブル17aから第1移載ハンド15Bに第1接着テープ18aの貼り付けられた基板9を受け渡す位置である位置Fに移動する(ステップS37)。第1可動テーブル17Aが位置Fに到着すると、第1移載ハンド15Aに対して、第1可動テーブル17Aの到着信号TX8を送る(ステップS38)。第1移載ユニット6の到着信号TX5を確認すると(ステップS39)、第1吸着テーブル17aが上昇し第1吸着テーブル17aから第1移載ハンド15Bに基板9が受け渡される(ステップS40)。
When the application of the first
次に、第1吸着テーブル17aが下降後、第1移載ユニット6が第1移載ハンド15Aから第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aに次の基板9aを受け渡す位置である位置Cに移動する(ステップS41)。位置Cへの移動が完了すると、第1可動テーブル17Aの第1吸着テーブル17aが上昇し基板9aが第1移載ハンド15Aから第1吸着テーブル17aに移載される(ステップS42)。
Next, after the first suction table 17a is lowered, the position C is a position where the
次に、第1吸着テーブル17aが下降後、第1移載ユニット6からのテーブルオフセット信号TX6を確認すると(ステップS43)、第1可動テーブル17Aは第1接着テープ18aの貼付基準位置と第2接着テープ18bの貼付基準位置のX、Y方向の差であるX1、Y1分だけオフセットした位置である位置Gへ移動しオフセット完了信号TX7を第1移載ハンド15Aに対して送る(ステップS44)。位置Gへの移動が完了すると、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが上昇し、第1移載ハンド15Bから第1接着テープ18aの貼り付けられた基板9を受け取る(ステップS45)。受け渡しが完了すると第2吸着テーブル17bが下降後、第1可動テーブル17Aが接着テープ貼付ユニット3の第1接着テープ貼付位置である位置Hへ移動する(ステップS46)。
Next, after the first suction table 17a is lowered, when the table offset signal TX6 from the
次に、第1可動テーブル17Aが位置Hに到着すると、第1吸着テーブル17aおよび第2吸着テーブル17bが下降し基板9aおよび基板9をバックアップ23に保持させた後に第1ヘッド19aが下降し基板9aに第1接着テープ18aを所定の貼付箇所22aに貼り付ける作業と第2ヘッド19bが下降し基板9に第2接着テープ18bを所定の貼付箇所22bに貼り付ける作業(ステップS47)が、同時に行われる。第1吸着テーブル17a上に保持されている次の基板9aは、基板供給ユニット2にてX、Y、θ方向のアライメントが既に行われているので第1吸着テーブル17a上で基板9aをアライメントする必要がない。また、第2吸着テーブル17b上に保持されている第1接着テープが貼り付けられた基板9は第1接着テープ18aの貼付基準位置と第2接着テープ18bの貼付基準位置のX、Y方向の差であるX1、Y1分だけオフセットしているので基板9のアライメント動作を行う必要がない。貼付時間は第1接着テープ18aおよび第2接着テープ18bのそれぞれの特性にあわせて所定の時間、行われる。
Next, when the first movable table 17A arrives at the position H, the first suction table 17a and the second suction table 17b are lowered and the substrate 9a and the
第1接着テープ18aが基板9aに貼付完了し、第2接着テープ18bが基板9に貼付完了すると、第1可動テーブル17Aが第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bから第2移載ユニット21の第2移載ハンド15Cに基板9を受け渡しする位置である位置Iに移動する(ステップS48)。第1可動テーブル17Aが位置Iに到着すると、第2移載ユニット21に対して、第1可動テーブル17Aの到着信号TX9を送る(ステップS49)。その後第2移載ユニット21の到着信号TX10を確認すると(ステップS50)、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが上昇して第2移載ユニット21の第2移載ハンド15Cに第1接着テープ18aと第2接着テープ18bが貼り付けられた基板9が受け渡される(ステップS51)。
When the first
次に、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが下降後、第1可動テーブル17Aが第1吸着テーブル17aから第1移載ハンド15Bに第1接着テープ18aの貼り付けられた基板9aを受け渡す位置である位置Fに移動し(ステップS52)、ステップS38からの動作を続ける。
Next, after the second suction table 17b of the first movable table 17A is lowered, the first movable table 17A moves the substrate 9a on which the first
図5は、第2移載ユニット21の動作を説明するフロチャートである。
FIG. 5 is a flowchart for explaining the operation of the
まず、第2移載ユニット21は、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bと第2移載ユニット21の第2移載ハンド15Cの第1接着テープ18aと第2接着テープ18bが貼り付けられた基板9を受け渡す位置である位置Dに移動する(ステップS61)。位置Dに到着すると、第1可動テーブル17Aに対して、第2移載ユニット21の到着信号TX10を送る(ステップS62)。第1可動テーブル17Aの到着信号TX9を確認すると(ステップS64)、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが上昇し、第2吸着テーブル17bから第2移載ハンド15Cに第1接着テープ18aと第2接着テープ18bが貼り付けられた基板9を移載する(ステップS65)。
First, in the
次に、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bが下降後、第2移載ユニット21は第2移載ハンド15Cと仮圧着ユニット4の第2可動テーブル17Bの吸着テーブル17cとの基板9の受け渡し位置である位置Eに移動する(ステップS66)。位置Eに到着すると、仮圧着ユニット4の第2可動テーブル17Bの吸着テーブル17cが上昇し第2移載ユニット21の第2移載ハンド15Cから基板9を受け取る(ステップS67)。次に、吸着テーブル17cが下降後に第2移載ハンド15Cは位置Dに移動し(ステップS61)、次の基板9aの受け渡しに備える。仮圧着ユニット4では、第1接着テープ18aと第2接着テープ18bが貼り付けられた基板9へのチップ部品7のアライメント動作と仮接合およびFPC8のアライメント動作と仮接合が開始される。
Next, after the second suction table 17b of the first movable table 17A is lowered, the
このように、第1可動テーブル17Aの第2吸着テーブル17bに保持される第1接着テープが貼り付けられた基板9が第1接着テープ18aの貼付基準位置と第2接着テープ18bの貼付基準位置のX、Y方向の差であるX1、Y1分だけオフセットしている事で2種類の接着テープの同時並列貼り付け動作が可能となり最小のスペースと最小の設備費用で大幅にタクトタイムの短縮が可能である。
In this way, the
また、第1接着テープ18aと第2接着テープ18bを基板9に貼り付ける毎に、接着テープ貼り付けユニット3内での基板9のアライメントを行う必要がないのでタクトタイムの短縮が可能である。更に一般的に行われている1種類の接着テープを基板9に2枚同時に貼付け装置をそのままの構成でソフトウエアのみ変更するだけで従来通りの貼付方法と本発明の貼付方法とをデータ選択により容易に切り換える事が可能となる。
Further, since it is not necessary to align the
本発明は、以下のような形態に変形して実施することもできる。 The present invention can also be carried out by being modified into the following forms.
(1)上記実施例では、第1および第2吸着テーブル17a,17bを両端に備えたアーム37が受け取り位置受け渡し位置(搬入搬出位置)と接着テープ貼付け位置とにわたって移動(図中のXY軸方向)する構成であったが、次のように構成してもよい。
(1) In the above embodiment, the
第1可動テーブル17Aの可動台に設けられた縦回転軸P回りに回転可能に連結するとともに、両端の両吸着テーブル17a,17bをアーム37の長手方向(X方向)および水平直交方向(Y方向)に沿って移動可能にするとともに、アーム上(図中XY平面上)でθ方向に回転可能に構成してもよい。
The suction table 17a, 17b at both ends is coupled to be rotatable about a longitudinal rotation axis P provided on the movable table of the first movable table 17A, and the longitudinal direction (X direction) of the
この構成装置を利用して2種類の接着テープを貼り付ける動作について、図12から21の動作説明図に沿って説明する。 The operation of applying two types of adhesive tapes using this component device will be described with reference to the operation explanatory diagrams of FIGS.
先ず、第1移載ユニット6に備わった第1移載ハンド15Aまたは15Bの吸着板16a,16bにより吸着保持されたガラス基板9を、図12に示すように、第1可動テーブル17Aに受け渡す位置に移動させる。
First, as shown in FIG. 12, the
ガラス基板9を受け渡すときに、カメラ13によって認識されたアライメントマークの位置情報に基づいて、図示しない制御ユニットがガラス基板9のアライメントを行う。
When the
アライメントが終了すると、図13に示すように、第1可動テーブル17Aを水平移動させて、接着テープ貼付ユニット3の接着テープ貼付け位置にガラス基板9を移動させる。
When the alignment is completed, as shown in FIG. 13, the first movable table 17 </ b> A is moved horizontally, and the
その貼付け位置でガラス基板上のチップ部品用の接着テープ貼付け箇所22aに接着テープを貼り付ける。貼付けが終了すると、アーム37は、図14に示すように、図中の回転軸の右回りに回転する。このとき、アーム37の他端にある吸着テーブル17bが、次の処理対象である未処理のガラス基板9の受け取り位置(搬入位置)に移動する。
The adhesive tape is affixed to the adhesive
吸着テーブル17bは、図15に示すように、受け取り位置でXY方向およびθ方向に移動してガラス基板9を受け取るためのアライメントが行われる。アライメントが完了すると、ガラス基板9が吸着テーブル17bに受け渡され、図16に示すように、アーム37がバックアップ23に対して平行になるようアーム37を回転させる。
As shown in FIG. 15, the suction table 17 b moves in the XY direction and the θ direction at the receiving position to perform alignment for receiving the
アーム37が平行になると、図17に示すように、ガラス基板9の接着テープ貼付け端辺がバックアップ23と対向する位置になるよう吸着テーブル17a,17bを回転させる。このとき、吸着テーブル17aをアーム37の水平直交軸に対して前後移動させてFPC用接着テープ貼付箇所22bが、接着テープ貼付け位置に位置するようにアライメントされる。
When the
両吸着テーブル17a,17bのアライメントが完了すると、図18に示すように、第1可動テーブル17Aは、さらに水平移動し、両ガラス基板9を接着テープ貼付け位置に移動される。この位置で、それぞれのガラス基板9に異なる種類の接着テープが同時に貼り付けられる。
When the alignment of both the suction tables 17a and 17b is completed, as shown in FIG. 18, the first movable table 17A further moves horizontally, and both the
接着テープの貼り付けが完了すると、図19に示すように、アーム37は回転する。このとき、第1吸着テーブル17aは、図20に示すように、第2移載ユニット21備わった第2移載ハンド15Cへの受け渡し位置(搬出位置)に移動する。ここでガラス基板9のアライメントがされて、第2移載ハンド15Cに受け渡される。
When the application of the adhesive tape is completed, the
その後、アーム37を回転させて、図21に示すように、次の未処理のガラス基板9を受け取る位置に第1吸着テーブル17aを移動させるとともに、第2吸着テーブル17bを次のFPC用接着テープを貼り付けるユニット側に移動させる。
Thereafter, the
第1吸着テーブル17aが未処理のガラス基板9を受け取ると上記した図12〜21の処理が繰り返し行われる。
When the first suction table 17a receives the
この構成によれば、第1可動テーブル上のアーム37を回転軸P回りに回転させながらガラス基板9の接着テープ貼付け部分に順に所定の接着テープを貼り付けることができる。また、2種類の接着テープを貼り付けたガラス基板9を第2移載ユニット21で第2可動テーブル17Bに移載させるとともに、移動後の第2吸着テーブル17bに未処理のガラス基板9を移載し、1種類の接着テープ貼付け済みのガラス基板9と未処理のガラス基板9のそれぞれを接着テープ貼付け位置に同時に移動させることができる。したがって、上記実施例装置に比べてガラス基板9の受け渡し回数を減らすことができるので、作業効率の向上を図ることができる。
According to this configuration, a predetermined adhesive tape can be applied in order to the adhesive tape application portion of the
(2)上記実施例装置は、接着テープ貼付ユニット3の次の構成に接着テープを未硬化状態でチップ部品7やFPC8などに接着する仮圧着ユニット4であったが、接着剤の重合を完了させてチップ部品7などを完全に固着させる本圧着ユニットとして適用することもできる。
(2) The apparatus of the above embodiment was the temporary pressure bonding unit 4 for bonding the adhesive tape to the chip component 7 or the FPC 8 in an uncured state in the next configuration of the adhesive
1 装置基台
2 基板供給ユニット
3 接着テープ貼付ユニット
4 仮圧着ユニット
5 本圧着ユニット
6 第1移載ユニット
7 チップ部品
8 FPC
9 基板
9a 基板
10 パレット
11 仮置き台
11a 第1吸着部
11b 第2吸着部
12 搬送手段
13 カメラ
14A レール
14B レール
15A 第1移載ハンド
15B 第1移載ハンド
15C 第2移載ハンド
15D 第2移載ハンド
16a 保持板
16b 保持板
17A 第1可動テーブル
17a 第1吸着テーブル
17b 第2吸着テーブル
17B 第2可動テーブル
17c 吸着テーブル
17D 第3可動テーブル
18a 第1接着テープ
18b 第2接着テープ
19a 第1ヘッド
19b 第2ヘッド
19c 第3ヘッド
19d 第4ヘッド
20a 第1接着テープ供給機構
20b 第2接着テープ供給機構
21 第2移載ユニット
22a 貼付箇所
22b 貼付箇所
23 バックアップ
25 仮圧着ヘッド
27 チップスライダー
28 チップパレット
29 FPCパレット
30 ガイドレール
31 2視野カメラ
32 搬送手段
33 第3移載ユニット
34 第4移載ユニット
35 搬出ステージ
TX1 基板在席信号
TX2 位置A到着信号
TX3 位置C到着信号
TX5 位置B到着信号
TX6 テーブルオフセット信号
TX7 位置G到着信号
TX8 位置F到着信号
TX9 位置I到着信号
TX10 位置D到着信号
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
9
Claims (10)
前記第1移載ユニットにより前記第1可動テーブルの第1吸着テーブルにガラス基板を移載するステップと、
前記第1吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第1可動テーブルを第1接着テープの貼付け位置に移動するステップと、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第1ヘッドで第1接着テープを貼り付けるステップと、
前記第1接着テープの貼り付けられたガラス基板を第1吸着テーブルから第2吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第1移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第1吸着テーブルに移載するステップと、
前記第1および第2接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第1可動テーブルを移動するステップと、
前記各ガラス基板に対して、第1ヘッドでの第1接着テープの貼り付けと、第2ヘッドでの第2接着テープの貼り付けを同時にするステップと、
前記第2吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットに移載するステップと、
を備えたことを特徴とする異種接着テープの貼付方法。 A position where the glass substrate is received from the first transfer unit, a position where the adhesive tape is applied to the received glass substrate, and a position where the glass substrate attached with the adhesive tape is transferred to the second transfer unit. A first movable table having a pair of first and second suction tables, and a first head and a second head for bonding the supplied first adhesive tape and second adhesive tape to a glass substrate by thermocompression bonding A dissimilar adhesive tape affixing method for affixing the different first and second adhesive tapes to a glass substrate by a dissimilar adhesive tape affixing device including a tape affixing unit,
Transferring the glass substrate to the first suction table of the first movable table by the first transfer unit;
After transferring the glass substrate to the first suction table, the step of moving the first movable table to a position where the first adhesive tape is applied;
Affixing a first adhesive tape with a first head on the glass substrate at the affixing position;
The glass substrate to which the first adhesive tape is attached is transferred from the first suction table to the second suction table, and the next glass substrate is in a position to receive the glass substrate from the first transfer unit. Transferring to the first suction table;
Moving the first movable table so that both glass substrates are positioned at the application position of the first and second adhesive tapes;
For each glass substrate, applying the first adhesive tape with the first head and applying the second adhesive tape with the second head at the same time;
Transferring the glass substrate on which both adhesive tapes are pasted from the second suction table to the second transfer unit;
A method for applying a different type of adhesive tape, comprising:
前記第1吸着テーブルにガラス基板を移載するステップの前に、さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する間にガラス基板に付されたアライメントマークの位置を認識するステップと、
前記アライメントマークの位置の認識結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡すステップと、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第1移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するステップと、
を備えたことを特徴とする異種接着テープの貼付方法。 In the sticking method of the different type adhesive tape according to claim 1,
Before the step of transferring the glass substrate to the first suction table, the position of the alignment mark attached to the glass substrate while the glass substrate is taken out from the pallet for transporting the glass substrate and transported to the temporary placement table is further determined. Recognizing steps,
Based on the recognition result of the position of the alignment mark, correcting the position of the glass substrate and delivering the glass substrate to the temporary table;
Transporting the glass substrate transferred to the temporary table to the delivery position to the adhesive tape application unit by the first transfer unit;
A method for applying a different type of adhesive tape, comprising:
前記ガラス基板に貼り付けられた第1および第2接着テープのいずれか一方にLSIを、他方にFlexible Printed Circuitを実装するステップと、
前記ガラス基板に実装されたLSIおよびFlexible Printed Circuitを圧着するステップと、
を備えたことを特徴とするボンディング方法。 A bonding method for mounting an LSI and a flexible printed circuit on a glass substrate using the method for applying a different type of adhesive tape according to claim 1 or 2,
Mounting LSI on one of the first and second adhesive tapes affixed to the glass substrate and mounting a flexible printed circuit on the other;
Crimping LSI and Flexible Printed Circuit mounted on the glass substrate;
A bonding method characterized by comprising:
前記第1移載ユニットにより前記第1可動テーブルの第1吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第1可動テーブルを第1接着テープの貼付け位置に移動させ、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第1ヘッドで第1接着テープを貼り付け、
前記第1接着テープの貼り付けられたガラス基板を第1吸着テーブルから第2吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第1移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第1吸着テーブルに移載し、
前記第1および第2接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第1可動テーブルを移動させ、
前記各ガラス基板に対して、第1ヘッドでの第1接着テープの貼り付けと、第2ヘッドでの第2接着テープの貼り付けを同時に行い、
前記第2吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットに移載するように構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。 A position where the glass substrate is received from the first transfer unit, a position where the adhesive tape is applied to the received glass substrate, and a position where the glass substrate attached with the adhesive tape is transferred to the second transfer unit. A first movable table having a pair of first and second suction tables, and a first head and a second head for bonding the supplied first adhesive tape and second adhesive tape to a glass substrate by thermocompression bonding An adhesive tape application device that includes a tape application unit and attaches different first and second adhesive tapes to a glass substrate,
After the glass substrate is transferred to the first suction table of the first movable table by the first transfer unit, the first movable table is moved to the application position of the first adhesive tape,
The first adhesive tape is pasted on the glass substrate at the pasting position with the first head,
The glass substrate to which the first adhesive tape is attached is transferred from the first suction table to the second suction table, and the next glass substrate is in a position to receive the glass substrate from the first transfer unit. Is transferred to the first suction table,
Moving the first movable table so that both glass substrates are located at the application position of the first and second adhesive tapes,
Attaching the first adhesive tape with the first head and the second adhesive tape with the second head simultaneously to each glass substrate,
An apparatus for applying a different type of adhesive tape, wherein the glass substrate having both adhesive tapes attached from the second suction table is transferred to a second transfer unit.
さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する搬送手段と、
前記ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段とを備え、
前記第1吸着テーブルにガラス基板を移載する前に、前記搬送手段でパレットから仮置き台にガラス基板を搬送しながら、当該ガラス基板に付されたアライメントマークの位置を前記位置検出手段で検出し、
その結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡し、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第1移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するように構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。 In the sticking device of the different type adhesive tape according to claim 4,
Further, a conveying means for taking out the glass substrate from the pallet for conveying the glass substrate and conveying it to the temporary table,
A position detecting means for detecting an alignment mark provided on the glass substrate,
Before the glass substrate is transferred to the first suction table, the position detecting unit detects the position of the alignment mark attached to the glass substrate while the glass substrate is transported from the pallet to the temporary placement table by the transport unit. And
Based on the result, correct the position of the glass substrate and deliver the glass substrate to the temporary table,
An apparatus for applying a different type of adhesive tape, wherein the glass substrate transferred to the temporary table is transported to a delivery position to the adhesive tape application unit by the first transfer unit.
前記ガラス基板に貼り付けられた第1および第2接着テープのいずれか一方にLSIを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたLSIおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とするボンディング装置。 A bonding apparatus for mounting an LSI and a Flexible Printed Circuit on a glass substrate including the dissimilar adhesive tape sticking apparatus according to claim 4 or 5,
Mounting means for mounting an LSI on one of the first and second adhesive tapes affixed to the glass substrate and a flexible printed circuit on the other;
A crimping unit for crimping the LSI and Flexible Printed Circuit mounted on the glass substrate;
A bonding apparatus comprising:
パレットから仮置き台にガラス基板を搬送する搬送手段と、
ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段と、
を備えた基板供給ユニットと、
可動台と当該可動台の縦回転軸に回転可能に連結されたアームの両端に吸着テーブルを有し、前記位置検出手段の検出結果に基づいてアライメントしてガラス基板を保持し、搬入搬出位置と接着テープ貼付け位置とにわたって両吸着テーブルを移動させるように構成した第1可動テーブルを備え、
貼付け位置で異なる種類の接着テープを前記ガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付ユニットと、
前記仮置き台から第1可動テーブルにガラス基板を移載する第1移載ユニットと、
前記接着テープの貼り付けられた部分ごとに異なる実装部材を圧着する圧着ユニットと、
前記位置検出手段の検出結果に基づいてガラス基板のアライメントをするとともに、搬入搬出位置と圧着ユニットの圧着位置とにわたって移動する第2可動テーブルと、
第1可動テーブル上の接着テープ貼付け済みのガラス基板を第2可動テーブルに移載する第2移載ユニットと、
実装部材の圧着されたガラス基板を次工程に搬送する第3移載ユニットとを備え、
前記第1移載ユニットにより搬送される未処理のガラス基板を受け渡し位置で一方の吸着テーブルに移載して位置合し、第1可動テーブルを接着テープ貼付け位置に移動させてガラス基板の所定位置に接着テープを貼り付け、
貼付け終了後にアームを回転させて当該ガラス基板を異なる接着テープの貼付け位置に移動させるとともに、第1移載ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を他方の吸着テーブルに移載してアライメントし、両吸着テーブルを接着テープの貼付け位置に移動させ、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付け、
貼付け終了後にアームを回転させて2種類の接着テープを貼り付けたガラス基板を第2移載ユニットで第2可動テーブルに移載し、
さらに、アームを回転させてガラス基板の搬出された吸着テーブルに、第1移送ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を移載してアライメントするとともに、1種類の接着テープを貼付けたガラス基板のアライメントし、両吸着テーブルを接着テープ貼付け位置に移動し、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付ける
これら前記処理を繰り返し行うように構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。 In a different type adhesive tape application device that attaches different types of adhesive tape to glass substrates,
Transport means for transporting the glass substrate from the pallet to a temporary table;
Position detecting means for detecting alignment marks provided on the glass substrate;
A substrate supply unit comprising:
There are suction tables at both ends of the movable table and the arm rotatably connected to the vertical rotation shaft of the movable table, and the glass substrate is held by alignment based on the detection result of the position detection means, A first movable table configured to move both suction tables across the adhesive tape application position;
An adhesive tape application unit for attaching different types of adhesive tape to the glass substrate at the application position;
A first transfer unit for transferring a glass substrate from the temporary table to a first movable table;
A crimping unit for crimping different mounting members for each part to which the adhesive tape is attached;
While aligning the glass substrate based on the detection result of the position detection means, a second movable table that moves across the loading / unloading position and the crimping position of the crimping unit,
A second transfer unit for transferring the glass substrate on which the adhesive tape has been pasted on the first movable table to the second movable table;
A third transfer unit that transports the glass substrate on which the mounting member is crimped to the next process;
The unprocessed glass substrate transported by the first transfer unit is transferred to and aligned with one suction table at the delivery position, and the first movable table is moved to the adhesive tape application position to be a predetermined position of the glass substrate. Affix the adhesive tape to the
After the pasting, the arm is rotated to move the glass substrate to a different adhesive tape pasting position, and the untreated glass substrate transported by the first transfer unit is transferred to the other suction table for alignment. Move both suction tables to the adhesive tape application position,
Adhesive tape is applied to both glass substrates with the adhesive tape application unit.
After the pasting is finished, the arm is rotated and the glass substrate on which the two types of adhesive tapes are pasted is transferred to the second movable table by the second transfer unit,
Furthermore, the glass substrate on which the untreated glass substrate conveyed by the first transfer unit is transferred and aligned on the suction table on which the glass substrate is unloaded by rotating the arm, and one type of adhesive tape is attached. , Move both suction tables to the adhesive tape application position,
An adhesive tape application unit for applying different types of adhesive tape, wherein the adhesive tape is applied to both glass substrates by an adhesive tape application unit.
前記吸着テーブルは、アームの長手方向に沿って移動可能に構成されるとともに、アームに対して垂直な縦軸回りに回転可能に保持されている
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。 In the sticking device of the different type | mold adhesive tape of Claim 7,
The adhering table is configured to be movable along the longitudinal direction of the arm and is held rotatably about a vertical axis perpendicular to the arm.
前記吸着テーブルは、アームに対して水平直交する軸に沿って前後移動可能に構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。 In the sticking device of the different type | mold adhesive tape of Claim 8,
The adhering table is configured to be movable back and forth along an axis that is horizontally orthogonal to the arm.
前記ガラス基板に貼り付けられた第1および第2接着テープのいずれか一方にLSIを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたLSIおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とするボンディング装置。 A bonding apparatus for mounting an LSI and a Flexible Printed Circuit on a glass substrate including the dissimilar adhesive tape applying apparatus according to any one of claims 7 to 9,
Mounting means for mounting an LSI on one of the first and second adhesive tapes affixed to the glass substrate and a flexible printed circuit on the other;
A crimping unit for crimping the LSI and Flexible Printed Circuit mounted on the glass substrate;
A bonding apparatus comprising:
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