JP2007311677A - 有機薄膜トランジスタの製造方法、有機薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の上にゲート電極、半導体層、ソース電極、及びドレイン電極を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、ソース電極とドレイン電極の間に、自己組織化単分子材料と有機半導体材料を混合した半導体溶液を塗布して半導体層を成膜することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。
【選択図】図2
Description
基板の上にゲート電極、半導体層、ソース電極、及びドレイン電極を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に、自己組織化単分子材料と有機半導体材料を混合した半導体溶液を塗布して前記半導体層を成膜することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。
前記自己組織化単分子材料は、次の式(1)に示す分子構造を有していることを特徴とする1に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
R:直鎖あるいは分岐アルキル、アルケニル、シクロアルキル、あるいは6〜25個の炭素原子を含む芳香族化合物
SH:チオール基
3.
自己組織化単分子材料と有機半導体材料を混合した半導体溶液を塗布した後、前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させる工程を有する、ことを特徴とする1または2に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させる工程において、
前記基板に気体を吹き付けることにより前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させることを特徴とする3に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させる工程において、
加熱した前記基板に、加熱した前記気体を吹き付けることにより前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させることを特徴とする4に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極及びドレイン電極を有する有機薄膜トランジスタにおいて、
1から5のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタの製造方法により製造されたことを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面は、金、白金、タングステン、パラジウム、アルミニウム、クロム、チタン、の何れかの素材により形成されていることを特徴とする6に記載の有機薄膜トランジスタ。
S1・・・・・導電性薄膜2が形成された基板1上に、各電極パターンのレジスト層4を形成する工程。
S2・・・・・基板1をエッチングする工程。
S3・・・・・ゲート電極2b上のレジスト層4を除去する工程。
S4・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S5・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S6・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9の間に半導体層10を成膜する工程。
R:直鎖あるいは分岐アルキル、アルケニル、シクロアルキル、あるいは6〜25個の炭素原子を含む芳香族化合物
SH:チオール基
本発明に適用可能なチオール基を含む自己組織化単分子材料の代表例としては、3,4−ジクロロベンゼンチオール、ペンタフルオロベンゼンチオール、1−ヘキサデカンチオールなどがあげられる。各材料の構造式は下記の通りである。
〔有機TFTの作製〕
図1で説明したS1〜S6の工程で作製したので、各工程の番号を付して順に説明し、共通する点は説明を省略する。
有機半導体材料:ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセンを0.1質量%
溶媒:トルエン
チャンネルの幅1000μm、長さ100μm
ソース電極8、ドレイン電極9間の乾燥後の半導体材料の厚み:60nm
S7:自然乾燥により自己組織化単分子材料20aをソース電極8、ドレイン電極9の表面に析出させた。
工程S6において、下記組成の半導体溶液を用いた。
有機半導体材料:ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセンを0.1質量%
溶媒:トルエン
チャンネルの幅1000μm、長さ100μm
ソース電極8、ドレイン電極9間の乾燥後の半導体材料の厚み:60nm
[実施例3]
工程S6において、下記組成の半導体溶液を用いた。
有機半導体材料:ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセンを0.1質量%
溶媒:トルエン
チャンネルの幅1000μm、長さ100μm
ソース電極8、ドレイン電極9間の乾燥後の半導体材料の厚み:60nm
[実施例4]
工程S6において、下記組成の半導体溶液を用いた。
有機半導体材料:ビス(トリエチルシリルエチニル)アントラジチオフェンを0.1質量%
溶媒:トルエン
チャンネルの幅1000μm、長さ100μm
ソース電極8、ドレイン電極9間の乾燥後の半導体材料の厚み:60nm
[実施例5]
工程S6において、下記組成の半導体溶液を用いた。
有機半導体材料:ポリ3ヘキシルチオフェンを0.1質量%
溶媒:トルエン
チャンネルの幅1000μm、長さ100μm
ソース電極8、ドレイン電極9間の乾燥後の半導体材料の厚み:60nm
[実施例6]
工程S6までは実施例1と同一条件で行い、工程S7において基板1に気体を吹き付けて自己組織化単分子材料をソース電極8とドレイン電極9の表面に析出させた。
気体の流量:2.0L/(min.・mm2)
気体の温度:25℃
テーブル温度:25℃
テーブルの移動速度:約2m/分
気体の吹き付け方向:L1方向(図2に図示)
気体の吹き付け角θ1:30°
[実施例7]
工程S6までは実施例6と同一条件であるが、工程S7において気体の温度、テーブル温度が実施例6と異なる。
気体の流量:2.0L/(min.・mm2)
気体の温度:80℃
テーブル温度:80℃
テーブルの移動速度:約2m/分
気体の吹き付け方向:L1方向(図2に図示)
気体の吹き付け角θ1:30°
[比較例1]
比較例1は本発明の効果を確認するため、自己組織化単分子材料含有溶液に浸積させる工程S100と、自己組織化単分子材料含有溶液を乾燥させる工程101により自己組織化単分子膜をソース電極とドレイン電極の表面に形成し、その後に、ソース電極8、ドレイン電極9の間に半導体層10を成膜して有機TFTを作製した。
溶媒:エタノール
S101:S100の工程を終えた基板1を、30℃のオーブンで5分間乾燥させた。
溶媒:トルエン
チャンネルの幅1000μm、長さ100μm
ソース電極8、ドレイン電極9間の厚み:60nm
〔実験結果〕
実験結果を表1に示す。本実験では実験条件を変えて作製したガラス基板上の有機TFT素子25個について移動度とON/OFF電流比(有機TFTがON時のソースードレイン間の電流値/有機TFTがOFF時のソースードレイン間の電流値)を評価した。
2b ゲート電極
4 レジスト層
7 ゲート絶縁層
8 ソース電極
9 ドレイン電極
10 半導体層
21 半導体溶液の滴
20a 自己組織化単分子材料
Claims (7)
- 基板の上にゲート電極、半導体層、ソース電極、及びドレイン電極を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に、自己組織化単分子材料と有機半導体材料を混合した半導体溶液を塗布して前記半導体層を成膜することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記自己組織化単分子材料は、次の式(1)に示す分子構造を有していることを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
R−SH・・・・(1)
R:直鎖あるいは分岐アルキル、アルケニル、シクロアルキル、あるいは6〜25個の炭素原子を含む芳香族化合物
SH:チオール基 - 自己組織化単分子材料と有機半導体材料を混合した半導体溶液を塗布した後、前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させる工程を有する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させる工程において、
前記基板に気体を吹き付けることにより前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させることを特徴とする請求項3に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させる工程において、
加熱した前記基板に、加熱した前記気体を吹き付けることにより前記自己組織化単分子材料を前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面に析出させることを特徴とする請求項4に記載の有機薄膜トランジスタの製造方法。 - ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、ソース電極及びドレイン電極を有する有機薄膜トランジスタにおいて、
請求項1から請求項5のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタの製造方法により製造されたことを特徴とする有機薄膜トランジスタ。 - 前記ソース電極と前記ドレイン電極の表面は、金、白金、タングステン、パラジウム、アルミニウム、クロム、チタン、の何れかの素材により形成されていることを特徴とする請求項6に記載の有機薄膜トランジスタ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141155A JP2007311677A (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 有機薄膜トランジスタの製造方法、有機薄膜トランジスタ |
US11/803,992 US7670870B2 (en) | 2006-05-22 | 2007-05-16 | Method of manufacturing organic thin film transistor and organic thin film transistor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141155A JP2007311677A (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 有機薄膜トランジスタの製造方法、有機薄膜トランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007311677A true JP2007311677A (ja) | 2007-11-29 |
Family
ID=38711198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006141155A Pending JP2007311677A (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 有機薄膜トランジスタの製造方法、有機薄膜トランジスタ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7670870B2 (ja) |
JP (1) | JP2007311677A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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