JP2007311579A - Lead frame and semiconductor device using the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lead frame and a semiconductor device using the same, capable of improving mounting reliability by relaxing thermal stress caused by thermal expansion on the center of a heatsink, relating to the semiconductor device incorporating the heatsink. <P>SOLUTION: A slit 44 is formed to enclose a semiconductor element 30 at a position outside the semiconductor element 30 of a heatsink 40A with the end of the slit 44 connected to a notch 42. Therefore, the thermal stress caused by the thermal expansion of the heatsink by the heating of a mold clamp at resin sealing is dispersed to relax the deflection of the heatsink, resulting in improved mounting reliability. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、高消費電力商品などに対する放熱性に優れたリードフレームおよびこれを使用した半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a lead frame excellent in heat dissipation for high power consumption products and the like and a semiconductor device using the lead frame.

近年、半導体装置などの半導体部品の高密度、高機能化、システム化が要求されており、それに伴って、半導体部品の消費電力が増大している。これに対応するために、従来の半導体装置は、半導体素子より発生する熱を、放熱板を内蔵したリードフレームを使用して放熱性を向上させている。   In recent years, there has been a demand for higher density, higher functionality, and systemization of semiconductor components such as semiconductor devices, and accordingly, power consumption of semiconductor components has increased. In order to cope with this, the conventional semiconductor device uses a lead frame with a built-in heat dissipation plate to improve the heat dissipation of the heat generated from the semiconductor element.

図１１（ａ）は（特許文献１）のリードフレームを示し、図１１（ｂ）はこのリードフレームを使用した半導体装置を示す。
リードフレーム１３は、厚さ０．１００ｍｍ〜０．２００ｍｍの銅などを主成分とする銅合金板に、中央に形成された開口の周囲に略放射状に前記複数のスリット１５を形成してインナーリード１６が形成されている。 FIG. 11A shows a lead frame of (Patent Document 1), and FIG. 11B shows a semiconductor device using this lead frame.
The lead frame 13 is formed by forming a plurality of slits 15 radially around an opening formed in the center of a copper alloy plate mainly composed of copper having a thickness of 0.100 mm to 0.200 mm. 16 is formed.

このリードフレーム１３の裏面の中央には、ポリイミドなどの絶縁板１９を介して、放熱板１７が貼り付けられている。放熱板１７は、前記開口よりも大きな平板で、厚さ０．１００ｍｍ〜０．２００ｍｍの銅など熱伝導率の高い材料から形成されている。   A heat radiating plate 17 is attached to the center of the back surface of the lead frame 13 via an insulating plate 19 such as polyimide. The heat radiating plate 17 is a flat plate larger than the opening and is made of a material having high thermal conductivity such as copper having a thickness of 0.100 mm to 0.200 mm.

リードフレーム１３に取り付けられた放熱板１７の上には、半導体素子３０が貼り付けられている。半導体素子３０に形成された電極パッドとインナーリード１６との間は、金などから成る金属細線３１で電気的に接続されている。   A semiconductor element 30 is affixed on the heat sink 17 attached to the lead frame 13. The electrode pad formed on the semiconductor element 30 and the inner lead 16 are electrically connected by a thin metal wire 31 made of gold or the like.

このようにしてアイランドに半導体素子３０が実装されたリードフレーム１３をモールド金型にセットして、インナーリード１６、放熱板１７、半導体素子３０、金属細線３１を樹脂封止３３で封止して、図１１（ｂ）の半導体装置が形成されている。さらにこの（特許文献１）には、インナーリード１６を形成するプレス打ち抜き加工の際にインナーリード１６に発生したバリが絶縁板１９を通してインナーリード１６と放熱板１７とのリークを解消することを目的として、放熱板１７にスリット１８を形成しておく技術が開示されている。   In this way, the lead frame 13 with the semiconductor element 30 mounted on the island is set in a mold, and the inner lead 16, the heat radiating plate 17, the semiconductor element 30, and the fine metal wire 31 are sealed with a resin seal 33. The semiconductor device of FIG. 11B is formed. Further, this (Patent Document 1) aims to eliminate the leakage between the inner lead 16 and the heat radiating plate 17 through the insulating plate 19 due to the burr generated in the inner lead 16 during the press punching process for forming the inner lead 16. A technique for forming the slit 18 in the heat radiating plate 17 is disclosed.

（特許文献２）の図１には、モールド金型２３にリードフレーム１１をセットしたときに、モールド金型２３の上下キャビティに均等に樹脂を流すことを目的として、放熱プレート１４と絶縁シート１３に小さな切り欠き１６，１７を、封止金型の樹脂注入部に対応して形成しておく技術が開示されている。   In FIG. 1 of (Patent Document 2), when the lead frame 11 is set on the mold 23, the heat radiating plate 14 and the insulating sheet 13 are used to allow the resin to flow evenly through the upper and lower cavities of the mold 23. Discloses a technique in which small notches 16 and 17 are formed corresponding to a resin injection portion of a sealing mold.

（特許文献３）の図２には、インナーリードのピッチが小さくなった場合でも、封止金型の上下キャビティの一方の側からモールディング樹脂を注入するだけで良好なモールディングを行えるようにすることを目的として、放熱板１に貫通孔６を形成しておく技術が開示されている。
特開平８−２０４１００号公報 実開平６−７９１５８号公報 特許第２８６１７２５号公報 In FIG. 2 of (Patent Document 3), even when the pitch of the inner leads is reduced, good molding can be performed only by injecting molding resin from one side of the upper and lower cavities of the sealing mold. For this purpose, a technique for forming a through hole 6 in the heat radiating plate 1 is disclosed.
JP-A-8-204100 Japanese Utility Model Publication No. 6-79158 Japanese Patent No. 2861725

図１２の（ａ）〜（ｄ）は、一般的なモールディングの工程を示している。
まず、アイランドに半導体素子３０が実装されたリードフレーム１３を、図１２（ａ）に示すようにモールド金型の下キャビティ３２ａにセットする。 12A to 12D show a general molding process.
First, the lead frame 13 with the semiconductor element 30 mounted on the island is set in the lower cavity 32a of the mold as shown in FIG.

次に、図９（ｂ）に示すように下キャビティ３２ａと上キャビティ３２ｂとでリードフレーム本体１３をクランプする。その結果、局所的な加熱により、インナーリード１６は内側に、放熱板１７は外側に熱膨張する。   Next, as shown in FIG. 9B, the lead frame main body 13 is clamped by the lower cavity 32a and the upper cavity 32b. As a result, due to local heating, the inner lead 16 thermally expands inward and the heat sink 17 expands outward.

しかしながら、インナーリード１６と放熱板１７が接着されているため、図１２（ｃ）に示すように放熱板１７は外側にほとんど膨張せず、内側に膨張してしまう。さらには、放熱板１７は放熱板の外周辺より熱膨張が始まり、放熱板１７の熱膨張による熱応力が放熱板１７の中心部に集中し、集中した応力を逃がすため放熱板１７は下側に撓んでしまう。その結果、放熱板１７が中心部に向かって撓んだ状態のままで樹脂封止されてしまう。   However, since the inner lead 16 and the heat radiating plate 17 are bonded, the heat radiating plate 17 hardly expands outward as shown in FIG. 12C, and expands inward. Further, the heat radiating plate 17 starts thermal expansion from the outer periphery of the heat radiating plate, and the thermal stress due to the thermal expansion of the heat radiating plate 17 is concentrated on the central portion of the heat radiating plate 17, so that the concentrated heat is released. Will be bent. As a result, the resin is sealed with the heat radiating plate 17 being bent toward the center.

この場合、リードフレーム１７を基点に半導体装置の上下の樹脂厚が異なり、封止後の半導体装置の上下樹脂厚の収縮差のため、図１２（ｄ）に示すように半導体装置全体の反りが発生し、実装不良が多発する。図１３は従来の放熱板１７の熱応力を示し、矢印の長さは熱膨張による熱応力の大きさを、矢印の方向は熱応力の方向を示している。   In this case, the upper and lower resin thicknesses of the semiconductor device are different from each other with the lead frame 17 as a base point, and the warpage of the entire semiconductor device is warped as shown in FIG. Occurs and mounting defects occur frequently. FIG. 13 shows the thermal stress of the conventional heat radiating plate 17, the length of the arrow indicates the magnitude of thermal stress due to thermal expansion, and the direction of the arrow indicates the direction of thermal stress.

このように、放熱板１７のコーナー部３４に熱膨張による応力が集中している。放熱板１７の周辺部はインナーリード１６と接着されており膨張しにくいため、中心部へと膨張する。その結果、中心部に集中した熱応力により放熱板１７が撓んでしまう。   Thus, stress due to thermal expansion is concentrated on the corner portion 34 of the heat radiating plate 17. Since the peripheral part of the heat sink 17 is bonded to the inner lead 16 and hardly expands, it expands to the central part. As a result, the heat radiating plate 17 is bent by the thermal stress concentrated in the center.

本発明は、上記従来技術の問題点を解決するものであり、放熱板を内蔵した半導体装置において、放熱板の中心部への熱膨張による熱応力を緩和させ、実装信頼性を向上させることができるリードフレームおよびこれを使用した半導体装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and in a semiconductor device incorporating a heat sink, it can relieve thermal stress due to thermal expansion to the center of the heat sink and improve mounting reliability. An object of the present invention is to provide a lead frame that can be used and a semiconductor device using the lead frame.

本発明の請求項１記載の半導体装置は、インナーリードの端部に放熱板を取り付け、前記放熱板の上に半導体素子をマウントし、半導体素子と前記インナーリードとを電気接続した半導体装置であって、前記放熱板のコーナー部から前記半導体素子の下方位置にわたる切り欠きを形成したことを特徴とする。   A semiconductor device according to claim 1 of the present invention is a semiconductor device in which a heat sink is attached to an end portion of an inner lead, a semiconductor element is mounted on the heat sink, and the semiconductor element and the inner lead are electrically connected. Then, a notch extending from a corner portion of the heat radiating plate to a position below the semiconductor element is formed.

本発明の請求項２記載の半導体装置は、請求項１において、前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成したことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first aspect, a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat radiating plate so as to surround the semiconductor element.

本発明の請求項３記載の半導体装置は、請求項１において、前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成するとともに、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続したことを特徴とする。   A semiconductor device according to a third aspect of the present invention is the semiconductor device according to the first aspect, wherein a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat sink so as to surround the semiconductor element, and an end portion of the slit is formed. It connected to the said notch, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の請求項４記載の半導体装置は、インナーリードの端部に放熱板を取り付け、前記放熱板の上に半導体素子をマウントし、半導体素子と前記インナーリードとを電気接続した半導体装置であって、前記放熱板のコーナー部から前記半導体素子の近傍位置にわたる切り欠きを形成し、前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成したことを特徴とする。   A semiconductor device according to claim 4 of the present invention is a semiconductor device in which a heat sink is attached to an end portion of an inner lead, a semiconductor element is mounted on the heat sink, and the semiconductor element and the inner lead are electrically connected. In addition, a notch extending from a corner portion of the heat dissipation plate to a position near the semiconductor element is formed, and a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat dissipation plate so as to surround the semiconductor element. And

本発明の請求項５記載の半導体装置は、請求項４において、前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成するとともに、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続したことを特徴とする。   A semiconductor device according to a fifth aspect of the present invention is the semiconductor device according to the fourth aspect, wherein a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat sink so as to surround the semiconductor element, and an end of the slit is formed. It connected to the said notch, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の請求項６記載のリードフレームは、インナーリードの端部に放熱板を取り付けたリードフレームであって、前記放熱板のコーナー部から前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置の下方位置にわたる切り欠きを形成したことを特徴とする。   A lead frame according to a sixth aspect of the present invention is a lead frame in which a heat sink is attached to an end portion of an inner lead, and is below a mounting position of a semiconductor element at a central portion of the heat sink from a corner portion of the heat sink. It is characterized by the formation of a notch over the position.

本発明の請求項７記載のリードフレームは、請求項６において、前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置よりも外側の位置に、前記半導体素子のマウント位置を取り囲むようにスリットを形成したことを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the lead frame according to the sixth aspect, a slit is formed at a position outside the mounting position of the semiconductor element at the center of the heat sink so as to surround the mounting position of the semiconductor element. It is characterized by that.

本発明の請求項８記載のリードフレームは、請求項６において、前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置よりも外側の位置に、前記半導体素子のマウント位置を取り囲むようにスリットを形成するとともに、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続したことを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, in the lead frame according to the sixth aspect, a slit is formed at a position outside the semiconductor element mounting position at the center of the heat sink so as to surround the mounting position of the semiconductor element. In addition, an end of the slit is connected to the notch.

本発明の請求項９記載のリードフレームは、インナーリードの端部に放熱板を取り付けたリードフレームであって、前記放熱板のコーナー部から前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置の近傍位置にわたる切り欠きを形成し、前記放熱板の前記半導体素子のマウント位置よりも外側の位置に、前記半導体素子のマウント位置を取り囲むようにスリットを形成したことを特徴とする。   The lead frame according to claim 9 of the present invention is a lead frame in which a heat sink is attached to an end portion of an inner lead, and is near a mounting position of a semiconductor element at a central portion of the heat sink from a corner portion of the heat sink. A notch extending over the position is formed, and a slit is formed at a position outside the mounting position of the semiconductor element of the heat sink so as to surround the mounting position of the semiconductor element.

本発明の請求項１０記載のリードフレームは、請求項９において、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続したことを特徴とする。
本発明の請求項１１記載の半導体装置は、請求項２〜請求項５のいずれかにおいて、前記スリットは、間欠に孔が穿設された列状のスリット群を、前記放熱板の内周から外周にわたって複数列配列して構成され、かつ、隣接する前記スリット群の相互間では前記孔の位置をずらせたことを特徴とする。 The lead frame according to claim 10 of the present invention is characterized in that, in claim 9, the end of the slit is connected to the notch.
A semiconductor device according to an eleventh aspect of the present invention is the semiconductor device according to any one of the second to fifth aspects, wherein the slits are formed from an inner periphery of the heat radiating plate by disposing a group of slits in which holes are intermittently formed. A plurality of rows are arranged over the outer periphery, and the positions of the holes are shifted between the adjacent slit groups.

本発明の請求項１２記載のリードフレームは請求項７〜請求項１０のいずれかにおいて、前記スリットは、間欠に孔が穿設された列状のスリット群を、前記放熱板の内周から外周にわたって複数列を配列して構成され、かつ、隣接する前記スリット群の相互間では前記孔の位置をずらせたことを特徴とする。   The lead frame according to a twelfth aspect of the present invention is the lead frame according to any one of the seventh to tenth aspects, wherein the slits are arranged in groups of slits in the form of holes formed intermittently from the inner periphery to the outer periphery. A plurality of rows are arranged, and the positions of the holes are shifted between the adjacent slit groups.

本発明の請求項１３記載の半導体装置は、請求項２〜請求項５のいずれかにおいて、前記放熱板のコーナー部に近接して孔部を形成して前記コーナー部に薄肉接続部を構成し、前記切り欠きの端部を前記孔部に連結したことを特徴とする。   A semiconductor device according to a thirteenth aspect of the present invention is the semiconductor device according to any one of the second to fifth aspects, wherein a hole is formed in the vicinity of the corner portion of the heat sink to form a thin connection portion at the corner portion. The end of the notch is connected to the hole.

本発明の請求項１４記載のリードフレームは、請求項７〜請求項１０のいずれかにおいて、前記放熱板のコーナー部に近接して孔部を形成して前記コーナー部に薄肉接続部を構成し、前記切り欠きの端部を前記孔部に連結したことを特徴とする。   A lead frame according to a fourteenth aspect of the present invention is the lead frame according to any one of the seventh to tenth aspects, wherein a hole portion is formed in the vicinity of the corner portion of the heat radiating plate to form a thin connection portion at the corner portion. The end of the notch is connected to the hole.

この構成によると、放熱板のコーナー部から半導体素子の下方位置にわたる切り欠きを形成、または放熱板のコーナー部から半導体素子の近傍位置にわたる切り欠きを形成し半導体素子よりも外側の位置に前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成したため、樹脂封止時のクランプ加熱による放熱板の中心部への熱膨張が分散できるので、放熱板が撓むことなく樹脂封止されるので、実装不良となる半導体装置全体の反りを低減でき、実装信頼性を向上させることができる。   According to this configuration, a notch extending from the corner of the heat sink to the lower position of the semiconductor element is formed, or a notch extending from the corner of the heat sink to the vicinity of the semiconductor element is formed, and the semiconductor is positioned outside the semiconductor element. Since the slit is formed so as to surround the element, thermal expansion to the center of the heat sink due to clamp heating at the time of resin sealing can be dispersed, so the heat sink is resin-sealed without bending, resulting in poor mounting. The warpage of the entire semiconductor device can be reduced, and the mounting reliability can be improved.

以下、本発明のリードフレームおよびこれを使用した半導体装置を、各実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図３は本発明の（実施の形態１）を示す。 Hereinafter, a lead frame and a semiconductor device using the same according to the present invention will be described based on each embodiment.
(Embodiment 1)
1 to 3 show (Embodiment 1) of the present invention.

図１は本発明の半導体装置に使用する放熱板４０Ａを示しており、図２は半導体装置を示している。図１では半導体素子３０のマウント位置を仮想線で示している。
厚さ０．１００ｍｍ〜１．０ｍｍの無酸素銅，銅合金，アルミニウム，銀，セラミックなどの熱伝導率の高い材料からなる放熱板４０Ａには、放熱板４０Ａのコーナー部４１から、半導体装置とした場合に半導体素子３０が実装されるマウント位置の下方位置にわたる切り欠き４２が対角線に沿って形成されている。 FIG. 1 shows a heat sink 40A used in the semiconductor device of the present invention, and FIG. 2 shows the semiconductor device. In FIG. 1, the mounting position of the semiconductor element 30 is indicated by a virtual line.
A heat sink 40A made of a material having high thermal conductivity such as oxygen-free copper, copper alloy, aluminum, silver, or ceramic having a thickness of 0.100 mm to 1.0 mm is connected to the semiconductor device from the corner portion 41 of the heat sink 40A. In this case, notches 42 extending downward from the mounting position where the semiconductor element 30 is mounted are formed along diagonal lines.

詳しくは、切り欠き４２によって放熱板４０Ａには略三角形状部４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄが形成されている。４４はスリットで、半導体素子３０が実装される前記マウント位置よりも外側の位置に、このマウント位置を取り囲むように間欠に孔４４ａ，４４ｂ，４４ｃを穿設した列状のスリット群で構成されている。スリット４４の端部の孔４４ａ，４４ｃは切り欠き４２に接続されている。   More specifically, substantially triangular portions 43a, 43b, 43c, and 43d are formed in the heat radiating plate 40A by the notches 42. Reference numeral 44 denotes a slit, which is formed of a row of slit groups in which holes 44a, 44b, and 44c are intermittently formed so as to surround the mount position at a position outside the mount position where the semiconductor element 30 is mounted. Yes. The holes 44 a and 44 c at the end of the slit 44 are connected to the notch 42.

このように構成された放熱板４０Ａは、従来と同じリードフレームのインナーリード１６に、図２に示すように絶縁層４５を介して取り付けられてリードフレームを構成している。リードフレーム１３Ａのアイランドである放熱板４０Ａの中央に、半導体素子３０が、熱硬化性のエポキシ樹脂に銀粉を混合させた銀ペースト４６により接着されている。さらに、半導体素子３０に形成された電極パッドとインナーリード１６の間が、金などから成る金属細線３１で電気的に接続されている。   The heat radiating plate 40A configured as described above is attached to the inner lead 16 of the same lead frame as in the prior art via an insulating layer 45 as shown in FIG. 2 to form a lead frame. The semiconductor element 30 is bonded to the center of the heat radiating plate 40A, which is an island of the lead frame 13A, with a silver paste 46 in which silver powder is mixed with thermosetting epoxy resin. Further, the electrode pad formed on the semiconductor element 30 and the inner lead 16 are electrically connected by a thin metal wire 31 made of gold or the like.

このようにしてアイランドに半導体素子３０が実装されたリードフレーム１３Ａを、図３（ｂ）に示すように封止金型３２にセットして、放熱板４０Ａ、インナーリード１６、半導体素子３０、金属細線３１を樹脂封止３３で封止して、図２（ｂ）の半導体装置が形成されている。   The lead frame 13A having the semiconductor element 30 mounted on the island in this way is set in the sealing mold 32 as shown in FIG. 3B, and the heat sink 40A, the inner lead 16, the semiconductor element 30, the metal The thin wire 31 is sealed with a resin seal 33 to form the semiconductor device of FIG.

この実施の形態では、放熱板４０Ａに切り欠き２とスリット４４を形成したことによって、樹脂封止時の封止金型クランプ加熱による放熱板４０Ａの中心部への熱膨張が分散できるので、放熱板４０Ａが撓むことなく樹脂封止される。   In this embodiment, since the notch 2 and the slit 44 are formed in the heat radiating plate 40A, the thermal expansion to the center of the heat radiating plate 40A due to the sealing mold clamp heating at the time of resin sealing can be dispersed. The plate 40A is resin-sealed without bending.

したがって、実装不良となる半導体装置全体の反りを低減でき、実装信頼性を向上させることができる。
（実施の形態２）
図４（ａ）（ｂ）と図５（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ放熱板４０Ａの別の例を示している。 Therefore, it is possible to reduce warpage of the entire semiconductor device that causes mounting failure, and to improve mounting reliability.
(Embodiment 2)
4 (a), 4 (b) and FIGS. 5 (a), 5 (b), and 5 (c) each show another example of the heat radiating plate 40A.

（実施例１）
図１に示した放熱板４０Ａでは切り欠き４２とスリット４４とが形成されていたが、この実施例では図４（ａ）に示すように、前記スリット４４を設けずに、コーナー部４１から半導体素子３０のマウント位置の下方位置にわたる切り欠き４２だけを形成した放熱板４０Ｂを作製し、これをリードフレーム本体のインナーリードに取り付けたリードフレームを使用して半導体装置を作製した場合にも、放熱板４０Ｂのコーナー部４１の応力集中を従来に比べて低減することができ、放熱板４０Ｂ中心部の撓みおよび半導体素子３０に作用する応力を、従来の放熱板１７を使用した半導体装置に比べて低減できる。 Example 1
In the heat dissipation plate 40A shown in FIG. 1, the notches 42 and the slits 44 are formed. In this embodiment, however, as shown in FIG. Even when a heat radiating plate 40B in which only the notch 42 extending below the mounting position of the element 30 is formed and a lead frame attached to the inner lead of the lead frame main body is used to manufacture a semiconductor device, heat dissipation is also possible. The stress concentration of the corner portion 41 of the plate 40B can be reduced as compared with the conventional case, and the bending of the central portion of the heat radiating plate 40B and the stress acting on the semiconductor element 30 can be compared with those of the semiconductor device using the conventional heat radiating plate 17. Can be reduced.

（実施例２）
図１に示した放熱板４０Ａでは切り欠き４２とこの切り欠き４２に端部が接続されたスリット４４とが形成されていたが、図４（ｂ）に示すように、前記スリット４４の端部が切り欠き４２に接続されていない放熱板４０Ｃを作製し、これをリードフレーム本体のインナーリードに取り付けたリードフレームを使用して半導体装置を作製した場合にも、放熱板４０Ｃ中心部の撓みおよび半導体素子３０に作用する応力を、従来の放熱板１７を使用した半導体装置に比べて低減できる。 (Example 2)
In the heat radiating plate 40A shown in FIG. 1, a notch 42 and a slit 44 having an end connected to the notch 42 are formed. As shown in FIG. 4B, the end of the slit 44 is formed. Even when the heat sink 40C is not connected to the notch 42 and a semiconductor device is manufactured using a lead frame attached to the inner lead of the lead frame body, The stress acting on the semiconductor element 30 can be reduced as compared with a semiconductor device using the conventional heat sink 17.

（実施例３）
図１に示した放熱板４０Ａでは切り欠き４２が半導体素子３０のマウント位置の下方位置にまで達して形成され、さらに、この切り欠き４２に端部が接続されたスリット４４とが形成されていたが、図５（ａ）に示すように、コーナー部４１から半導体素子３０のマウント位置の近傍位置にわたる切り欠き４６を形成し、半導体素子３０の前記マウント位置よりも外側の位置に、前記マウント位置を取り囲むようにスリット４７を形成した放熱板４０Ｄを作製し、これをリードフレーム本体のインナーリードに取り付けたリードフレームを使用して半導体装置を作製した場合にも、放熱板４０Ｄ中心部の撓みおよび半導体素子３０に作用する応力を、従来の放熱板１７を使用した半導体装置に比べて低減できる。 (Example 3)
In the heat radiating plate 40A shown in FIG. 1, a notch 42 is formed so as to reach a position below the mounting position of the semiconductor element 30, and a slit 44 having an end connected to the notch 42 is formed. However, as shown in FIG. 5A, a notch 46 is formed from the corner portion 41 to a position in the vicinity of the mounting position of the semiconductor element 30, and the mounting position of the semiconductor element 30 is set at a position outside the mounting position. When the heat sink 40D having the slits 47 formed so as to surround the semiconductor device and the semiconductor device is manufactured using the lead frame attached to the inner lead of the lead frame main body, The stress acting on the semiconductor element 30 can be reduced as compared with a semiconductor device using the conventional heat sink 17.

（実施例４）
図５（ａ）に示した放熱板４０Ｄでは、スリット４７が切り欠き４６に連結されていなかったが、図５（ｂ）に示すように、スリット４７の端部を切り欠き４６に連結した放熱板４０Ｅを作製し、これをリードフレーム本体のインナーリードに取り付けたリードフレームを使用して半導体装置を作製した場合にも、放熱板４０Ｅの中心部の撓みおよび半導体素子３０に作用する応力を、従来の放熱板１７を使用した半導体装置に比べて低減できる。 Example 4
In the heat radiating plate 40D shown in FIG. 5A, the slit 47 is not connected to the notch 46. However, as shown in FIG. 5B, the heat radiating with the end portion of the slit 47 connected to the notch 46. Even when the board 40E is manufactured and a semiconductor device is manufactured using a lead frame in which the board 40E is attached to the inner lead of the lead frame main body, the stress acting on the semiconductor element 30 and the deflection of the central portion of the heat sink 40E This can be reduced compared to a conventional semiconductor device using the heat sink 17.

また、図５（ｃ）に示すように、図５（ｂ）のスリット４７の孔４７ａ，４７ｂの間に孔４７ｃを追加した放熱板４０Ｆを作製し、これをリードフレーム本体のインナーリードに取り付けたリードフレームを使用して半導体装置を作製した場合にも、放熱板４０Ｆの中心部の撓みおよび半導体素子３０に作用する応力を、従来の放熱板４０を使用した半導体装置に比べて低減できる。   Further, as shown in FIG. 5C, a heat radiating plate 40F in which a hole 47c is added between the holes 47a and 47b of the slit 47 in FIG. 5B is manufactured, and this is attached to the inner lead of the lead frame body. Even when the semiconductor device is manufactured using the lead frame, the bending of the central portion of the heat sink 40F and the stress acting on the semiconductor element 30 can be reduced as compared with the semiconductor device using the conventional heat sink 40.

（実施の形態３）
図６（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は（実施の形態１）の放熱板４０Ａの別の例を示している。図１と図２に示した放熱板４０Ａでは、スリット４４は、半導体素子３０の辺に沿って孔４４ａ，４４ｂ，４４ｃが形成された一列のスリット群で構成されていたが、この半導体装置で使用している放熱板４０Ｇでは、放熱板４０Ｇの内周から外周にわたって複数列、ここでは３列のスリット群４８ａ，４８ｂ，４８ｃで構成されており、隣接するスリット群の相互間では前記孔の位置をずらせて千鳥足状に配置され、２列目、３列目のスリット群４８ｂ、４８ｃの端部が切り欠き４２に接続されている。 (Embodiment 3)
6A, 6B, 6C, and 6D show another example of the heat radiating plate 40A of the first embodiment. In the heat radiating plate 40A shown in FIGS. 1 and 2, the slit 44 is composed of a row of slit groups in which holes 44a, 44b, and 44c are formed along the sides of the semiconductor element 30, but in this semiconductor device, The heat radiating plate 40G used is composed of a plurality of rows, here three rows of slit groups 48a, 48b, 48c, from the inner periphery to the outer periphery of the heat radiating plate 40G. The positions of the slit groups 48 b and 48 c in the second row and the third row are connected to the notch 42.

このように構成することによって、図６（ｂ）（ｃ）に示すように、この千鳥足状に配列した孔により、放熱板１の熱膨張による応力を更に分散し、放熱板４０Ｇの撓みを緩和することが可能である。例えば、放熱板４０Ｇのサイズが２０ｍｍ□である場合、千鳥足状の配列は、放熱板の強度と放熱に関する熱抵抗を考えるとスリット幅０．１mm〜０．５ｍｍ、長さ１．０ｍｍ〜２．０ｍｍ、スリット４８ａ、４８ｂの隙間は０．３ｍｍ〜０．５ｍｍが適切だと考えられる。   By configuring in this way, as shown in FIGS. 6B and 6C, the stress arranged due to the thermal expansion of the heat radiating plate 1 is further dispersed by the holes arranged in a staggered pattern, and the bending of the heat radiating plate 40G is alleviated. Is possible. For example, when the size of the heat radiating plate 40G is 20 mm □, the staggered arrangement has a slit width of 0.1 mm to 0.5 mm and a length of 1.0 mm to 2. It is considered that 0.3 mm to 0.5 mm is appropriate for the gap between 0 mm and the slits 48a and 48b.

（実施の形態４）
図７（ａ）（ｂ）と図８（ａ）（ｂ）はそれぞれ放熱板４０Ｇの別の例を示している。
（実施例５）
図７（ａ）は（実施例５）の放熱板４０Ｈを示し、図７（ａ）に示すように千鳥足状に配列されたスリット４４の孔４４ｄの各形状が十字型形状である。 (Embodiment 4)
FIGS. 7A and 7B and FIGS. 8A and 8B show other examples of the heat radiating plate 40G, respectively.
(Example 5)
FIG. 7A shows the heat radiating plate 40H of Example 5. As shown in FIG. 7A, each shape of the holes 44d of the slits 44 arranged in a staggered pattern is a cross shape.

（実施例６）
図７（ｂ）は（実施例６）の放熱板４０Ｉを示し、図７（ｂ）に示すように千鳥足状に配列されたスリット４４の孔４４ｅの各形状がＴ字型形状である。 (Example 6)
FIG. 7B shows the heat radiating plate 40I of (Example 6), and each shape of the holes 44e of the slits 44 arranged in a staggered pattern as shown in FIG. 7B is a T-shape.

（実施例７）
図８（ａ）（ｂ）は（実施例７）の放熱板４０Ｊ，４０Ｋを示す。
図６に示した（実施の形態３）の放熱板４０Ｇでは、スリット４４が半導体素子８の前記マウント位置の辺と平行な４辺に配置されていたが、この図８（ａ）（ｂ）の放熱板４０Ｊ，４０Ｋでは、半導体素子８の前記マウント位置の中心部を中心とし、スリット４４が同心円状に配列されている点だけが異なっている。 (Example 7)
8A and 8B show the heat sinks 40J and 40K of (Example 7).
In the heat dissipation plate 40G of (Embodiment 3) shown in FIG. 6, the slits 44 are arranged on four sides parallel to the side of the mounting position of the semiconductor element 8, but this FIG. 8 (a) (b) The heat radiating plates 40J and 40K are different only in that the slits 44 are concentrically arranged with the center of the mounting position of the semiconductor element 8 as the center.

このような放熱板４０Ｊ，４０Ｋを備えたリードフレームを使用して半導体装置を作製することによって、樹脂封止時の封止金型による加熱は、インナーリード１６の外周辺から同心状に伝わり、放熱板４０Ｊ，４０Ｋが膨張するため、熱膨張による応力を緩和でき、実装不良となる半導体装置全体の反りを低減でき、実装信頼性を向上させることができる。   By producing a semiconductor device using such a lead frame having the heat sinks 40J and 40K, the heating by the sealing mold at the time of resin sealing is transmitted concentrically from the outer periphery of the inner lead 16, Since the heat radiating plates 40J and 40K expand, stress due to thermal expansion can be relieved, the warpage of the entire semiconductor device that causes mounting failure can be reduced, and mounting reliability can be improved.

また、（実施例６）（実施例７）を示す図７（ａ）（ｂ）におけるスリット４４の配置を図８と同様に、半導体素子８の前記マウント位置の中心部を中心とし同心円状に配列しても同様である。   Further, the arrangement of the slits 44 in FIGS. 7A and 7B showing (Embodiment 6) and (Embodiment 7) is concentrically centered on the central portion of the mounting position of the semiconductor element 8 as in FIG. The same applies to the arrangement.

（実施の形態５）
図９（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は（実施の形態５）の半導体装置を示す平面図および断面図である。 (Embodiment 5)
FIGS. 9A, 9B, 9C and 9D are a plan view and a cross-sectional view showing the semiconductor device of the fifth embodiment.

これは、図２における半導体装置の構成に加え、半導体素子３０と放熱板４０の間にＰＳＤ（Point Support Diepad）などの小型のダイパッド４９を設置したものである。図９（ａ）に示すように、半導体素子３０が放熱板４０Ａの上に直接に接着されるのではなく、放熱板４０Ａの上に設置されたダイパッド４９の上に接着されている。このようなダイパッド４９を半導体素子３０と放熱板４０Ａの間に介することにより、樹脂封止金型によるクランプの際の熱膨張による熱応力を分散させ、放熱板４０Ａの撓みを緩和させるとともに、半導体素子３０の裏面に封止樹脂３３を回り込ますことができ、封止樹脂３３との密着性が向上するという効果を奏する。   In this configuration, in addition to the configuration of the semiconductor device in FIG. 2, a small die pad 49 such as a PSD (Point Support Diepad) is installed between the semiconductor element 30 and the heat sink 40. As shown in FIG. 9A, the semiconductor element 30 is not directly bonded onto the heat sink 40A, but is bonded onto a die pad 49 installed on the heat sink 40A. By interposing such a die pad 49 between the semiconductor element 30 and the heat radiating plate 40A, the thermal stress due to thermal expansion during clamping by the resin-sealed mold is dispersed, the bending of the heat radiating plate 40A is reduced, and the semiconductor The sealing resin 33 can wrap around the back surface of the element 30, and the effect of improving the adhesion with the sealing resin 33 is achieved.

また、図９（ｃ）または図９（ｄ）に示すように放熱板１に形成した切り欠き４２およびスリット４４を利用して、アップセットおよびダウンセットした状態に樹脂封止した半導体装置を容易に作製できる。   Further, as shown in FIG. 9C or FIG. 9D, a semiconductor device that is resin-sealed in an upset and downset state by using the notch 42 and the slit 44 formed in the heat sink 1 can be easily obtained. Can be made.

このようにアップセット及びダウンセットを実施することにより、放熱板４０Ａの熱応力を逃がすことができ、撓みを緩和することが可能である。さらには、アップセットにより半導体装置全体を樹脂封止後の樹脂厚の差を均等にすることが可能であり、逆にダウンセットを行うことにより放熱板４０Ａの裏面を封止樹脂３３より露出させ、放熱性を向上させることが可能である。   By performing the upset and downset in this way, the thermal stress of the heat radiating plate 40A can be released and the bending can be reduced. Furthermore, it is possible to equalize the difference in resin thickness after resin-sealing the entire semiconductor device by upset, and conversely, the back surface of the heat sink 40A is exposed from the sealing resin 33 by downset. It is possible to improve heat dissipation.

ここではダイパッド４９を設置した半導体装置を（実施の形態１）の場合を例に挙げて説明したが、他の実施の形態においても同様に実施できる。
（実施の形態６）
図１０は本発明の（実施の形態６）を示す。 Here, the semiconductor device provided with the die pad 49 has been described by taking the case of (Embodiment 1) as an example, but the same can be applied to other embodiments.
(Embodiment 6)
FIG. 10 shows (Embodiment 6) of the present invention.

上記の各実施の形態の放熱板に形成された切り欠き４２，４６は、コーナー部４１の端で完全に切り離されていたが、この実施の形態では図１０に示すように、放熱板のコーナー部４１に近接して孔部５０を形成してコーナー部４１に薄肉接続部５１を構成し、切り欠き４２，４６の端部を孔部５０に連結して構成されている点だけが異なっている。   The notches 42 and 46 formed in the heat sink of each of the above embodiments are completely cut off at the end of the corner portion 41. In this embodiment, as shown in FIG. The only difference is that the hole portion 50 is formed in the vicinity of the portion 41 to form the thin connection portion 51 at the corner portion 41 and the end portions of the notches 42 and 46 are connected to the hole portion 50. Yes.

このように薄肉接続部５１によって連結されているので、放熱板が熱膨張しても、コーナー部４１の端で完全に切り離されていた場合とほぼ同様に、切り欠き４２，４６の端部が変形移動することができ、放熱板のコーナー部４１への応力集中を緩和することができる。また、放熱板の材質が厚さ０．１００mm〜１．０mmの薄板材料であるため、コーナー部４１の端で完全に切り離した切り欠き４２，４６を放熱板に形成した場合には、放熱板をリードフレーム本体に絶縁層４５を介して貼り付けるまでの工程において、放熱板の平面度が低下するおそれがあるが、図１０に示したように薄肉接続部５１によって連結された状態で切り欠き４２，４６を形成することによって、放熱板の平面度を高くできる。   Thus, since it is connected by the thin-walled connecting portion 51, even if the heat radiating plate is thermally expanded, the end portions of the notches 42 and 46 are substantially the same as when the end portion of the corner portion 41 is completely cut off. It can be deformed and moved, and stress concentration on the corner portion 41 of the heat sink can be reduced. Further, since the material of the heat sink is a thin plate material having a thickness of 0.100 mm to 1.0 mm, when the notches 42 and 46 completely cut off at the end of the corner portion 41 are formed on the heat sink, the heat sink Although the flatness of the heat sink may be reduced in the process until it is affixed to the lead frame body through the insulating layer 45, the notch is connected in a state where it is connected by the thin connection portion 51 as shown in FIG. By forming 42 and 46, the flatness of the heat sink can be increased.

本発明は半導体装置の中でも、発熱を伴う高消費電力商品などに使用される半導体装置の信頼性の向上に寄与できる。   The present invention can contribute to the improvement of the reliability of a semiconductor device used for a high power consumption product with heat generation among the semiconductor devices.

本発明の（実施の形態１）の半導体装置に使用する放熱板の平面図The top view of the heat sink used for the semiconductor device of (Embodiment 1) of this invention 同実施の形態にかかる半導体装置の平面図および断面図Plan view and sectional view of semiconductor device according to same embodiment 同実施の形態にかかる半導体装置の金型クランプ時の放熱板に働く熱膨張による応力図及び断面図Stress diagram and sectional view due to thermal expansion acting on heat sink during mold clamping of semiconductor device according to same embodiment 本発明の（実施の形態２）の半導体装置に使用する（実施例１）（実施例２）の放熱板の平面図The top view of the heat sink of (Example 1) (Example 2) used for the semiconductor device of (Embodiment 2) of this invention. 同実施の形態の半導体装置に使用する（実施例３）（実施例４）の放熱板の平面図Plan view of heat sink of (Example 3) (Example 4) used for the semiconductor device of the embodiment 本発明の（実施の形態３）の半導体装置の平面図と金型クランプ時の放熱板に働く熱膨張による応力図及び断面図ならびに半導体装置の断面図Plan view of semiconductor device according to (Embodiment 3) of the present invention, stress diagram and sectional view due to thermal expansion acting on heat sink during mold clamping, and sectional view of semiconductor device 本発明の（実施の形態４）の半導体装置に使用する放熱板の（実施例５）（実施例６）の平面図The top view of (Example 5) (Example 6) of the heat sink used for the semiconductor device of (Embodiment 4) of the present invention. 同実施の形態の半導体装置に使用する放熱板の（実施例７）（実施例８）の平面図Top view of (Example 7) (Example 8) of the heat sink used for the semiconductor device of the same embodiment 本発明の（実施の形態５）の半導体装置の平面図と断面図Plan and sectional views of the semiconductor device according to (Embodiment 5) of the present invention. 本発明の（実施の形態６）の半導体装置に使用する放熱板の要部の斜視図The perspective view of the principal part of the heat sink used for the semiconductor device of (Embodiment 6) of this invention. 従来の放熱板付きリードフレームの拡大平面図とこれを使用した半導体装置の断面図An enlarged plan view of a conventional lead frame with a heat sink and a cross-sectional view of a semiconductor device using the lead frame 従来の放熱板半導体装置の樹脂封止工程の断面図Sectional drawing of resin sealing process of conventional heat sink semiconductor device 従来の半導体装置の金型クランプ時の放熱板に働く熱膨張による応力図Stress diagram due to thermal expansion acting on the heat sink during mold clamping of conventional semiconductor devices

符号の説明Explanation of symbols

１３Ａ リードフレーム
１６ インナーリード
３０ 半導体素子
３２ 封止金型
３３ 封止樹脂
４０Ａ〜４０Ｋ 放熱板
４１ 放熱板４０Ａのコーナー部
４２ 半導体素子３０が実装されるマウント位置の下方位置にわたる切り欠き
４４ スリット
４４ａ，４４ｂ，４４ｃ スリット４４を形成する孔
４５ 絶縁層
４６ コーナー部４１から半導体素子３０のマウント位置の近傍位置にわたる切り欠き
４７ 半導体素子３０のマウント位置を取り囲むスリット
４７ａ，４７ｂ，４７ｃ スリット４７を構成する孔
４８ａ，４８ｂ，４８ｃ ３列のスリット群
４４ｄ スリット４４の孔
４４ｅ スリット４４の孔
４９ ダイパッド
５０ 孔部
５１ 薄肉接続部 13A Lead frame 16 Inner lead 30 Semiconductor element 32 Sealing mold 33 Sealing resin 40A-40K Heat sink 41 Corner portion 42 of heat sink 40A Notch 44 below the mounting position where the semiconductor element 30 is mounted Slit 44a, 44b, 44c Holes 45 for forming the slits 44 Insulating layer 46 Notches 47 extending from the corners 41 to positions near the mounting position of the semiconductor element 30 Slits 47a, 47b, 47c surrounding the mounting position of the semiconductor element 30 48a, 48b, 48c Three rows of slit groups 44d Hole 44e of slit 44e Hole 44 of slit 44 Die pad 50 Hole 51 Thin wall connection

Claims (14)

インナーリードの端部に放熱板を取り付け、
前記放熱板の上に半導体素子をマウントし、半導体素子と前記インナーリードとを電気接続した半導体装置であって、
前記放熱板のコーナー部から前記半導体素子の下方位置にわたる切り欠きを形成した
半導体装置。 Attach a heat sink to the end of the inner lead,
A semiconductor device in which a semiconductor element is mounted on the heat sink and the semiconductor element and the inner lead are electrically connected,
A semiconductor device having a notch extending from a corner portion of the heat sink to a position below the semiconductor element. 前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成した
請求項１記載の半導体装置。 The semiconductor device according to claim 1, wherein a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat radiating plate so as to surround the semiconductor element. 前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成するとともに、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続した
請求項１記載の半導体装置。 The semiconductor device according to claim 1, wherein a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat radiating plate so as to surround the semiconductor element, and an end of the slit is connected to the cutout. インナーリードの端部に放熱板を取り付け、
前記放熱板の上に半導体素子をマウントし、半導体素子と前記インナーリードとを電気接続した半導体装置であって、
前記放熱板のコーナー部から前記半導体素子の近傍位置にわたる切り欠きを形成し、
前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成した
半導体装置。 Attach a heat sink to the end of the inner lead,
A semiconductor device in which a semiconductor element is mounted on the heat sink and the semiconductor element and the inner lead are electrically connected,
Form a notch extending from the corner of the heat sink to the vicinity of the semiconductor element,
The semiconductor device which formed the slit in the position outside the said semiconductor element of the said heat sink so that the said semiconductor element might be surrounded. 前記放熱板の前記半導体素子よりも外側の位置に、前記半導体素子を取り囲むようにスリットを形成するとともに、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続した
請求項４記載の半導体装置。 The semiconductor device according to claim 4, wherein a slit is formed at a position outside the semiconductor element of the heat radiating plate so as to surround the semiconductor element, and an end of the slit is connected to the cutout. インナーリードの端部に放熱板を取り付けたリードフレームであって、
前記放熱板のコーナー部から前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置の下方位置にわたる切り欠きを形成した
リードフレーム。 A lead frame with a heat sink attached to the end of the inner lead,
A lead frame having a notch extending from a corner portion of the heat sink to a position below a mounting position of a semiconductor element at a central portion of the heat sink. 前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置よりも外側の位置に、前記半導体素子のマウント位置を取り囲むようにスリットを形成した
請求項６記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 6, wherein a slit is formed at a position outside the mounting position of the semiconductor element at the center of the heat sink so as to surround the mounting position of the semiconductor element. 前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置よりも外側の位置に、前記半導体素子のマウント位置を取り囲むようにスリットを形成するとともに、前記スリットの端部を前記切り欠きに接続した
請求項６記載のリードフレーム。 7. A slit is formed so as to surround the mounting position of the semiconductor element at a position outside the mounting position of the semiconductor element at the center of the heat sink, and an end of the slit is connected to the notch. The described lead frame. インナーリードの端部に放熱板を取り付けたリードフレームであって、
前記放熱板のコーナー部から前記放熱板の中央部の半導体素子のマウント位置の近傍位置にわたる切り欠きを形成し、
前記放熱板の前記半導体素子のマウント位置よりも外側の位置に、前記半導体素子のマウント位置を取り囲むようにスリットを形成した
リードフレーム。 A lead frame with a heat sink attached to the end of the inner lead,
Forming a notch extending from the corner of the heat sink to the vicinity of the mounting position of the semiconductor element at the center of the heat sink,
A lead frame in which a slit is formed at a position outside the mounting position of the semiconductor element of the heat sink so as to surround the mounting position of the semiconductor element. 前記スリットの端部を前記切り欠きに接続した
請求項９記載のリードフレーム。 The lead frame according to claim 9, wherein an end of the slit is connected to the notch. 前記スリットは、間欠に孔が穿設された列状のスリット群を、前記放熱板の内周から外周にわたって複数列配列して構成され、かつ、隣接する前記スリット群の相互間では前記孔の位置をずらせた
請求項２〜請求項５のいずれかに記載の半導体装置。 The slit is configured by arranging a plurality of rows of slit groups in which holes are intermittently formed from the inner periphery to the outer periphery of the heat sink, and between the adjacent slit groups. The semiconductor device according to claim 2, wherein the position is shifted. 前記スリットは、間欠に孔が穿設された列状のスリット群を、前記放熱板の内周から外周にわたって複数列を配列して構成され、かつ、隣接する前記スリット群の相互間では前記孔の位置をずらせた
請求項７〜請求項１０のいずれかに記載のリードフレーム。 The slits are formed by arranging a plurality of rows of slit groups in a row in which holes are intermittently formed from the inner periphery to the outer periphery of the heat sink, and between the adjacent slit groups. The lead frame according to claim 7, wherein the position of the lead frame is shifted. 前記放熱板のコーナー部に近接して孔部を形成して前記コーナー部に薄肉接続部を構成し、前記切り欠きの端部を前記孔部に連結した
請求項２〜請求項５のいずれかに記載の半導体装置。 6. The device according to claim 2, wherein a hole is formed in the vicinity of the corner portion of the heat radiating plate to form a thin connection portion at the corner portion, and an end portion of the notch is connected to the hole portion. A semiconductor device according to 1. 前記放熱板のコーナー部に近接して孔部を形成して前記コーナー部に薄肉接続部を構成し、前記切り欠きの端部を前記孔部に連結した
請求項７〜請求項１０のいずれかに記載のリードフレーム。 The hole part is formed in the vicinity of the corner part of the heat radiating plate to form a thin connection part in the corner part, and the end part of the notch is connected to the hole part. Lead frame as described in.
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