JP2007309361A - 制振装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】付加荷重が大きい場合においても、防振材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能な制振装置を提供する。
【解決手段】フランジ1a、1b間には、弾性部材ユニットUA、UBが取り付けられ、弾性部材ユニットUAの防振材として防振ゴム3を用いるとともに、弾性部材ユニットUBの防振材として金属コイルばね11を用い、弾性部材ユニットUBには、フランジ1a、1b間の間隔が一定値以上に広がらないように金属コイルばね11の反力を規制する規規制部材17を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】フランジ1a、1b間には、弾性部材ユニットUA、UBが取り付けられ、弾性部材ユニットUAの防振材として防振ゴム3を用いるとともに、弾性部材ユニットUBの防振材として金属コイルばね11を用い、弾性部材ユニットUBには、フランジ1a、1b間の間隔が一定値以上に広がらないように金属コイルばね11の反力を規制する規規制部材17を設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明は制振装置に関し、特に、パルスチューブ冷凍機に使用される制振装置に適用して好適なものである。
電子顕微鏡などの計測機器や検査・分析機器、医療機器では、コールドトラップや部材の冷却を行うために、低振動で静粛性に優れたパルスチューブ冷凍機が用いられている。ここで、特許文献1には、真空ポンプで発生する振動が電子顕微鏡などの外部機器に伝達するのを抑止するための制振機構が開示されている。すなわち、可とう性のある円筒状の金属ベローズを介して振動発生源であるターボ分子ポンプ本体を固定部に接続することにより、固定部への振動の伝達を低減するとともに、真空度の維持が図られている。また、真空度を維持したときの負圧によって生じる荷重は、ターボ分子ポンプの外周に設置した防振ゴムで受けるとともに、ターボ分子ポンプで発生する振動の伝達率を小さくし、固定部に伝わる量を低減させている。
また、特許文献2には、振動発生源からの振動を制振するための制振機構として、振動発生源である機器の支持部材として防振ゴムとコイルばねを直列に配置する方法が開示されている。
図7は、従来の制振機構の一例を示す断面図である。
図7において、スペーサ103a、103bが両側にそれぞれ設けられたコイルばね102は、防振ゴム104と直列に配置され、フランジ101a、101b間に保持されている。そして、フランジ101a、101bを介してコイルばね102および防振ゴム104を貫通するように貫通ボルト106が挿入され、貫通ボルト106に締結されたナット105にて、フランジ101a、101b間にコイルばね102および防振ゴム104が固定されている。
図7は、従来の制振機構の一例を示す断面図である。
図7において、スペーサ103a、103bが両側にそれぞれ設けられたコイルばね102は、防振ゴム104と直列に配置され、フランジ101a、101b間に保持されている。そして、フランジ101a、101bを介してコイルばね102および防振ゴム104を貫通するように貫通ボルト106が挿入され、貫通ボルト106に締結されたナット105にて、フランジ101a、101b間にコイルばね102および防振ゴム104が固定されている。
図8は、従来の制振機構のその他の例を示す断面図である。
図8において、防振ゴム206の両端には取付け金具206がそれぞれ設けられている、そして、取付け金具206が設けられた防振ゴム206は、スペーサ203a、203bをそれぞれ介してフランジ201a、201b間に保持され、フランジ201a、201bおよびスペーサ203a、203bを貫通して取付け金具206に当接するようにボルト207が挿入され、ボルト207に締結されたナット205にて、フランジ201a、201b間に防振ゴム204が固定されている。
図8において、防振ゴム206の両端には取付け金具206がそれぞれ設けられている、そして、取付け金具206が設けられた防振ゴム206は、スペーサ203a、203bをそれぞれ介してフランジ201a、201b間に保持され、フランジ201a、201bおよびスペーサ203a、203bを貫通して取付け金具206に当接するようにボルト207が挿入され、ボルト207に締結されたナット205にて、フランジ201a、201b間に防振ゴム204が固定されている。
また、フランジ201a、201b間の気密が保たれるように、円筒状の金属ベローズ202が取り付けられている。そして、フランジ201a、201b間に作用する負圧による圧縮荷重を複数個の防振ゴム204で分担することができるように、防振ゴム204の耐荷重を選定して挿入することができる。
ここで、振動伝達率は、振動数比、すなわち装置の振動数と固有振動数との比によって決まり、固有振動数は、装置の質量と防振ゴムのばね定数によって決定される。そして、振動伝達率を小さくして制振効果を高めるためには、防振ゴムのばね定数を小さくすることが効果的である。
特開2003−3988号公報
特開平10−159900号公報
ここで、振動伝達率は、振動数比、すなわち装置の振動数と固有振動数との比によって決まり、固有振動数は、装置の質量と防振ゴムのばね定数によって決定される。そして、振動伝達率を小さくして制振効果を高めるためには、防振ゴムのばね定数を小さくすることが効果的である。
しかしながら、従来の制振装置では、ゴムなどのエラストマ材からなる防振材が直接付加荷重を受けるように構成されているため、付加荷重が大きい場合には防振材の面積を増大させる必要があり、装置の大型化を招くという問題があった。また、ゴムなどのエラストマ材を用いた場合には、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減するには限界があった。
そこで、本発明の目的は、付加荷重が大きい場合においても、防振材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能な制振装置を提供することである。
そこで、本発明の目的は、付加荷重が大きい場合においても、防振材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能な制振装置を提供することである。
上述した課題を解決するために、請求項1記載の制振装置によれば、略円筒状のベローズと、前記ベローズの両端に一体的に接続された1対のフランジと、前記フランジ間に互いに対称に配置され、前記フランジを介して伝達される振動を吸収する複数の弾性部材ユニットと、前記弾性部材ユニットに設けられ、前記フランジ間の間隔が一定値以上に広がらないように前記弾性部材ユニットの反力を規制する規制部材とを備えることを特徴とする。
これにより、弾性部材ユニットの反発力に邪魔されることなく、弾性部材ユニットをフランジ間に配置することが可能となり、弾性部材ユニットの取り付け時における作業性を向上させることができる。
これにより、弾性部材ユニットの反発力に邪魔されることなく、弾性部材ユニットをフランジ間に配置することが可能となり、弾性部材ユニットの取り付け時における作業性を向上させることができる。
また、請求項2記載の制振装置によれば、前記ベローズは溶接ベローズであることを特徴とする。
これにより、軸方向および軸直角方向の剛性を成型ベローズよりも小さくすることができ、ばね定数も小さくすることが可能となることから、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することができる。
これにより、軸方向および軸直角方向の剛性を成型ベローズよりも小さくすることができ、ばね定数も小さくすることが可能となることから、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することができる。
また、請求項3記載の制振装置によれば、前記弾性部材ユニットは、エストラマが金属フレームにて挟みこまれた弾性部材を持つ第1弾性部材ユニットと、金属コイルばねにて構成された弾性部材を持つ第2弾性部材ユニットとを備えることを特徴とする。
これにより、エラストマ材とともに金属コイルばねにて付加荷重を受けることが可能となるとともに、エラストマ材のみを用いた場合に比べて同一荷重に対するばね定数も小さくすることが可能となる。このため、付加荷重が大きい場合においても、弾性部材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けることが可能となるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能となり、制振装置のコンパクト化を図りつつ、制振効果を高めることができる。
これにより、エラストマ材とともに金属コイルばねにて付加荷重を受けることが可能となるとともに、エラストマ材のみを用いた場合に比べて同一荷重に対するばね定数も小さくすることが可能となる。このため、付加荷重が大きい場合においても、弾性部材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けることが可能となるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能となり、制振装置のコンパクト化を図りつつ、制振効果を高めることができる。
また、請求項4記載の制振装置によれば、前記第2弾性部材ユニットは、前記金属コイルばねを両端から押える1対のばね押えと、前記規制部材に設けられ、前記ばね押え間の間隔が前記フランジ間の間隔よりも小さくなるように設定する間隔設定部と、前記金属コイルばねに一定値以上の圧縮力が作用したときに前記規制部材が前記フランジの一方と離間できるように前記規制部材を前記フランジの他方に固定する固定部材とを備えることを特徴とする。
これにより、金属コイルばねの反力を規制して金属コイルばねが一定値以上に伸びないようにすることが可能となるとともに、金属コイルばねの反力を規制する規制部材を設けた場合においても、ベローズにかかる荷重を金属コイルばねで受けることが可能となる。このため、特別な押え治具を用いることなく、弾性部材ユニットをフランジ間に配置することが可能となり、弾性部材ユニットの取り付け時の作業性を向上させることが可能となるとともに、付加荷重を金属コイルばねにも分担させることを可能として、同一荷重に対するばね定数を小さくすることが可能となり、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能となる。
また、請求項5記載の制振装置によれば、前記弾性部材ユニットを前記フランジに取り付けるための取付け穴と、前記フランジの横から前記弾性部材ユニットを前記取付け穴に挿入できるように前記フランジの外周部に設けられたスリットを備えることを特徴とする。
これにより、特別な押え治具を用いることなく、弾性部材ユニットをフランジ間に挿入したり、抜き出したりすることが可能となるとともに、制振装置の組み立てを容易化することが可能となるとともに、制振装置の保守点検時における弾性部材ユニットの交換を効率よく行うことができる。
これにより、特別な押え治具を用いることなく、弾性部材ユニットをフランジ間に挿入したり、抜き出したりすることが可能となるとともに、制振装置の組み立てを容易化することが可能となるとともに、制振装置の保守点検時における弾性部材ユニットの交換を効率よく行うことができる。
また、請求項6記載の制振装置によれば、前記ベローズの一端は冷凍機の膨張フランジに直接接続されていることを特徴とする。
これにより、制振装置に設けられた一方のフランジを冷凍機の膨張フランジで兼用することができ、制振装置の構成を簡素化することが可能となるとともに、制振装置の軽量化を図ることができる。
これにより、制振装置に設けられた一方のフランジを冷凍機の膨張フランジで兼用することができ、制振装置の構成を簡素化することが可能となるとともに、制振装置の軽量化を図ることができる。
以上説明したように、本発明によれば、エラストマ材と金属コイルばねとを並列にフランジ間に挿入することで、付加荷重を金属コイルばねにも分担させることが可能となるとともに、同一荷重に対するばね定数も小さくすることが可能となり、付加荷重が大きい場合においても、弾性部材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けることが可能となるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能となる。
以下、本発明の実施形態に係る制振装置について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る制振装置の概略構成を示す斜視図、図2は、本発明の一実施形態に係る制振装置の概略構成を示す断面図である。
図1および図2において、略円筒状のベローズ2の両端には、1対のフランジ1a、1bがそれぞれ一体的に接続されている。なお、ベローズ2は溶接ベローズであることが好ましい。そして、フランジ1a、1b間には、フランジ1a、1bを介して伝達される振動を吸収する複数の弾性部材ユニットUA、UBが取り付けられている。なお、各弾性部材ユニットUA、UBは、フランジ1a、1bの外周に互いに交互に対称配置することができる。ここで、フランジ1a、1bには、弾性部材ユニットUA、UBを取り付けるための取付け穴が形成されるとともに、弾性部材ユニットUA、UBを取付け穴にそれぞれ挿入するためのスリット7、14がフランジ1a、1bの外周部に形成されている。
図1は、本発明の一実施形態に係る制振装置の概略構成を示す斜視図、図2は、本発明の一実施形態に係る制振装置の概略構成を示す断面図である。
図1および図2において、略円筒状のベローズ2の両端には、1対のフランジ1a、1bがそれぞれ一体的に接続されている。なお、ベローズ2は溶接ベローズであることが好ましい。そして、フランジ1a、1b間には、フランジ1a、1bを介して伝達される振動を吸収する複数の弾性部材ユニットUA、UBが取り付けられている。なお、各弾性部材ユニットUA、UBは、フランジ1a、1bの外周に互いに交互に対称配置することができる。ここで、フランジ1a、1bには、弾性部材ユニットUA、UBを取り付けるための取付け穴が形成されるとともに、弾性部材ユニットUA、UBを取付け穴にそれぞれ挿入するためのスリット7、14がフランジ1a、1bの外周部に形成されている。
ここで、弾性部材ユニットUAには、防振ゴム3、防振ゴム3を両端で支持しながらフランジ1a、1bに取り付けるための取付け金具4、フランジ1a、1bにナット5が接触するのを防止するカラー6が設けられている。
また、弾性部材ユニットUBには、金属コイルばね11、金属コイルばね11を両端で支持するばね押え15、16、フランジ1a、1b間の間隔が一定値以上に広がらないように金属コイルばね11の反力を規制する規規制部材17が設けられている。ここで、規制部材17には、軸状部17aおよび互いに所定の間隔を隔てて配置され、軸状部17aの径方向に突出するように構成された突出部17b、17cが設けられている。
また、弾性部材ユニットUBには、金属コイルばね11、金属コイルばね11を両端で支持するばね押え15、16、フランジ1a、1b間の間隔が一定値以上に広がらないように金属コイルばね11の反力を規制する規規制部材17が設けられている。ここで、規制部材17には、軸状部17aおよび互いに所定の間隔を隔てて配置され、軸状部17aの径方向に突出するように構成された突出部17b、17cが設けられている。
そして、金属コイルばね11、ばね押え15、16および軸状部17aを同心円状に配置し、ばね押え16が突出部17bの内側の端面に当接するとともに、ばね押え15が突出部17cの外側の端面に当接するようにして、金属コイルばね11をばね押え15、16で挟み込み、突出部17cの外側からナット12にてばね押え15を締め付けることにより、金属コイルばね11、ばね押え15、16、規規制部材17およびナット12が一体化された弾性部材ユニットUBを構成することができる。ここで、突出部17b、17cの間の間隔は、ばね押え15、16間の間隔がフランジ1a、1b間の間隔よりも小さくなるように設定することができる。
そして、弾性部材ユニットUAをフランジ1a、1b間に配置する場合、スリット7を介してフランジ1a、1bの横から、防振ゴム3および取付け金具4を一体的に挿入する。そして、カラー6を取付け金具4のねじに差し込み、ナット5にてフランジ1a、1bの両側から取付け金具4を締め付けることにより、弾性部材ユニットUAをフランジ1a、1bに固定することができる。
一方、弾性部材ユニットUBをフランジ1a、1b間に配置する場合、スリット7を介してフランジ1a、1bの横から、金属コイルばね11、ばね押え15、16、規規制部材17およびナット12を一体的に挿入する。ここで、弾性部材ユニットUBをフランジ1a、1b間に配置する場合、突出部17bとばね押え16との間にフランジ1bが挟まれるとともに、ばね押え15の外側にフランジ1aが配置されるようにする。なお、規制部材17にて金属コイルばね11の反力を規制しながら、突出部17bとばね押え16との間にフランジ1bを挿入できるようにするために、金属コイルばね11を突出部17bから離間させるためのリング状部材16aをばね押え16に設けることができる。そして、ナット13にてフランジ1aの外側からばね押え15を締め付けることにより、規制部材17がフランジ1bと離間できるようにして弾性部材ユニットUBをフランジ1aに固定することができる。
ここで、弾性部材ユニットUBに規制部材17を設けることにより、フランジ1a、1b間の間隔が一定値以上に広がらないようにすることができる。このため、金属コイルばね11の反発力に邪魔されることなく、弾性部材ユニットUBをフランジ1a、1b間に配置することが可能となり、弾性部材ユニットUBの取り付け時における作業性を向上させることができる。
また、金属コイルばね11に一定値以上の圧縮力が作用したときに規制部材17がフランジ1bと離間できるように弾性部材ユニットUBを構成することにより、金属コイルばね11の反力を規制して金属コイルばね11が一定値以上に伸びないようにした上で、ベローズ2にかかる荷重を金属コイルばね11で受けることが可能となる。このため、特別な押え治具を用いることなく、弾性部材ユニットUBをフランジ1a、1b間に配置することが可能となり、弾性部材ユニットUBの取り付け時の作業性を向上させることが可能となるとともに、付加荷重を金属コイルばね11にも分担させることを可能として、同一荷重に対するばね定数を小さくすることが可能となり、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能となる。
そして、シール部材を介して真空チャンバ側のフレーム19にフランジ1aを接続するとともに、冷凍機本体側の膨張部フランジ18にフランジ1bを接続する。そして、真空チャンバを負圧に真空引きすると、ベローズ2の断面積に比例した圧力差による圧縮力がフランジ1a、1b間に作用し、フランジ1a、1b間が収縮する。そして、弾性部材ユニットUA、UBの合成ばね定数が釣り合った位置でフランジ1a、1b間の収縮を停止させることができる。
これにより、防振ゴム3を構成するエラストマ材とともに金属コイルばね11にて付加荷重を受けることが可能となるとともに、エラストマ材のみを用いた場合に比べて同一荷重に対するばね定数も小さくすることが可能となる。このため、付加荷重が大きい場合においても、弾性部材の面積の増大を抑制しつつ、付加荷重を受けることが可能となるとともに、系の固有振動数を小さくして振動伝達率を低減することが可能となり、制振装置のコンパクト化を図りつつ、制振効果を高めることができる。
図3は、防振ゴムを制振機構に用いた場合の発生側周波数と振動伝達率との関係を示す図、図4は、並列接続された防振ゴムとコイルばねを制振機構に用いた場合の発生側周波数と振動伝達率との関係を示す図である。
図3および図4において、振動発生側の周波数50Hzにおける振動伝達率を比較すると、防振ゴムを制振機構に用いた場合には、振動伝達率が0.3となるのに対して、並列接続された防振ゴムとコイルばねを制振機構に用いた場合には、振動伝達率が0.17となった。このため、並列接続された防振ゴムとコイルばねを制振機構に用いた場合には、防振ゴムを制振機構に用いた場合に比べて、振動伝達率を約56%に低減できた。
図3および図4において、振動発生側の周波数50Hzにおける振動伝達率を比較すると、防振ゴムを制振機構に用いた場合には、振動伝達率が0.3となるのに対して、並列接続された防振ゴムとコイルばねを制振機構に用いた場合には、振動伝達率が0.17となった。このため、並列接続された防振ゴムとコイルばねを制振機構に用いた場合には、防振ゴムを制振機構に用いた場合に比べて、振動伝達率を約56%に低減できた。
図5は、本発明の第1実施形態に係るパルスチューブ冷凍機の概略構成を示す側面図である。
図5において、パルスチューブ冷凍機Fの膨張部フランジ18には、図1のフランジ1bを介して図1の制振装置Kaが接続されている。そして、制振装置Kaを介してパルスチューブ冷凍機Fを真空装置のチャンバに取り付けると、パルスチューブ冷凍機Fから真空装置のチャンバに伝達される振動を約0.17倍に低減することができる。
図5において、パルスチューブ冷凍機Fの膨張部フランジ18には、図1のフランジ1bを介して図1の制振装置Kaが接続されている。そして、制振装置Kaを介してパルスチューブ冷凍機Fを真空装置のチャンバに取り付けると、パルスチューブ冷凍機Fから真空装置のチャンバに伝達される振動を約0.17倍に低減することができる。
図6は、本発明の第2実施形態に係るパルスチューブ冷凍機の概略構成を示す側面図である。
図6において、パルスチューブ冷凍機Fの膨張部フランジ18には、図1のフランジ1bを介することなく、図1の制振装置Kaのベローズ2の一端が直接接続されている。これにより、制振装置Kaに設けられた一方のフランジ1bをパルスチューブ冷凍機Fの膨張部フランジ18で兼用することができ、制振装置Kaの構成を簡素化することが可能となるとともに、制振装置Kaの軽量化を図ることができる。
図6において、パルスチューブ冷凍機Fの膨張部フランジ18には、図1のフランジ1bを介することなく、図1の制振装置Kaのベローズ2の一端が直接接続されている。これにより、制振装置Kaに設けられた一方のフランジ1bをパルスチューブ冷凍機Fの膨張部フランジ18で兼用することができ、制振装置Kaの構成を簡素化することが可能となるとともに、制振装置Kaの軽量化を図ることができる。
UA、UB 弾性部材ユニット
1a、1b フランジ
2 ベローズ
3 防振ゴム
4 取付け金具
5 ナット
6 カラー
7、14 スリット
11 金属コイルばね
12、13 ナット
15、16 ばね押え
16a リング状部材
17 規制部材
17a 軸状部
17b、17c 突出部
18膨張部フランジ
19 フレーム
F パルスチューブ冷凍機
Ka、Kb 制振装置
1a、1b フランジ
2 ベローズ
3 防振ゴム
4 取付け金具
5 ナット
6 カラー
7、14 スリット
11 金属コイルばね
12、13 ナット
15、16 ばね押え
16a リング状部材
17 規制部材
17a 軸状部
17b、17c 突出部
18膨張部フランジ
19 フレーム
F パルスチューブ冷凍機
Ka、Kb 制振装置
Claims (6)
- 略円筒状のベローズと、
前記ベローズの両端に一体的に接続された1対のフランジと、
前記フランジ間に互いに対称に配置され、前記フランジを介して伝達される振動を吸収する複数の弾性部材ユニットと、
前記弾性部材ユニットに設けられ、前記フランジ間の間隔が一定値以上に広がらないように前記弾性部材ユニットの反力を規制する規制部材とを備えることを特徴とする制振装置。 - 前記ベローズは溶接ベローズであることを特徴とする請求項1記載の制振装置。
- 前記弾性部材ユニットは、
エストラマが金属フレームにて挟みこまれた弾性部材を持つ第1弾性部材ユニットと、
金属コイルばねにて構成された弾性部材を持つ第2弾性部材ユニットとを備えることを特徴とする請求項1または2記載の制振装置。 - 前記第2弾性部材ユニットは、
前記金属コイルばねを両端から押える1対のばね押えと、
前記規制部材に設けられ、前記ばね押え間の間隔が前記フランジ間の間隔よりも小さくなるように設定する間隔設定部と、
前記金属コイルばねに一定値以上の圧縮力が作用したときに前記規制部材が前記フランジの一方と離間できるように前記規制部材を前記フランジの他方に固定する固定部材とを備えることを特徴とする請求項3記載の制振装置。 - 前記弾性部材ユニットを前記フランジに取り付けるための取付け穴と、
前記フランジの横から前記弾性部材ユニットを前記取付け穴に挿入できるように前記フランジの外周部に設けられたスリットを備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の制振装置。 - 前記ベローズの一端は冷凍機の膨張フランジに直接接続されていることを特徴とする請求項1ら5のいずれか1項記載の制振装置。
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---|---|---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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