JP7229886B2

JP7229886B2 - 荷電粒子線装置

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Publication number: JP7229886B2
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Inventors: 博紀田畑
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Description

本発明は荷電粒子線装置に関し、特に、荷電粒子線装置の構造に関する。

荷電粒子線装置として、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、電子線描画装置、イオンビーム照射装置、等が知られている。以下、走査型電子顕微鏡を例にとり、その構造を説明する。

走査型電子顕微鏡は、例えば、水平方向に並んで配置された第１構造体及び第２構造体を有する。第１構造体は、電子銃を有する鏡筒及び試料ステージを有する試料室を備える。第２構造体は、吸引ポンプ（真空ポンプ）を有する。第１構造体と第２構造体との間には、通常、複数の配管が設けられる。例えば、第１の配管を通じて吸引ポンプにより電子銃室の内部が吸引され、第２の配管を通じて吸引ポンプにより鏡筒における中間部分の内部が吸引され、第３の配管を通じて吸引ポンプにより試料室の内部が吸引される。第１構造体及び第２構造体は、それらに共通のベース部材上に搭載される。

第１構造体に対して外部からの振動が伝わると、試料ステージに装着された試料へ電子ビームを照射する位置が不安定となる。それに起因して、電子顕微鏡画像においてエッジのぼけ等が生じる。そこで、ベース部材を介して第１構造体へ伝わる振動を吸収又は低減するために、第１構造体の下部に防振層が設けられる。また、ベース部材から第２構造体へ伝わる振動を吸収又は低減するために、第２構造体の下部にも防振層が設けられる。それらの防振層は、それぞれ、１又は複数のダンパ要素（例えば弾性部材）により構成される。

各配管を通じて、第２構造体から第１構造体へ伝わる振動を低減するために、必要に応じて、各配管には軸方向に容易に変形する変形部分が設けられる。変形部分は、例えば、蛇腹構造やスライド構造を有する伸縮部分である。

特許文献１には、ベローズや防振体を備えた走査型電子顕微鏡が開示されている。特許文献２には、分子ポンプで生じた振動の伝達を緩和する構造を有する透過型電子顕微鏡が開示されている。

特開昭５６－３８５９８号公報実願昭５７－１７８７７号（実開昭５８－１２０５５４号）のマイクロフィルム

第２構造体に設けられた吸引ポンプにより配管を通じて第１構造体の内部を吸引した場合、その配管における変形部分がその軸方向に縮む。変形部分が大きく縮んだ場合、端的に言えば、その変形部分が完全に潰れてしまった場合、変形部分を通じて第２構造体から第１構造体へ振動が伝わり易くなってしまう。変形部分の縮みに伴って、第２構造体の下部を第１構造体側へ引き込む引力が生じるならば、第２構造体の下部に設けられている１又は複数のダンパ要素に水平方向のせん断力が生じ、それらの防振機能が損なわれてしまう。

本発明の目的は、吸引状態において、第２構造体から第１構造体へ伝わる振動を低減することにある。あるいは、本発明の目的は、吸引状態において、配管における変形部分の防振作用の低下を防止又は軽減することにある。

本発明に係る荷電粒子線装置は、第１構造体、第２構造体、配管及び水平ダンパ機構を含む。第１構造体は、荷電粒子線を生成する鏡筒及び荷電粒子線が照射される試料を収容した試料室を含む。試料室が下部に相当し、鏡筒が上部に相当する。第２構造体は、第１構造体に対して水平方向に隔てて設けられ、第１構造体の内部を吸引する吸引ポンプを含む。配管は、第１構造体と第２構造体との間に設けられ、軸方向に変形可能な変形部分を有する。通常、第１構造体と第２構造体との間に配管が設けられる。実際には複数の配管からなる配管部が設けられる。水平ダンパ機構は、吸引ポンプの動作により特定の配管を通じて第１構造体と第２構造体との間にそれらを互いに近付ける引力が生じた場合に、当該引力を弾性的に吸収しつつ第１構造体及び第２構造体の近接運動を制限する。

上記構成によれば、第１構造体の内部を吸引している状態において、水平ダンパ機構により、配管における変形部分の過度の潰れが防止される。よって、変形部分の潰れに起因する防振作用の低下を防止又は軽減できる。また、上記構成によれば、第２構造体の下側に防振層が設けられている場合、その防振層において生じる水平方向の過度なせん断力による防振作用の低下を防止又は軽減できる。

変形部分の概念には、伸縮部分、柔軟部分、塑性変形部分、弾性変形部分、防振部分、振動吸収部分、等が含まれる。軸方向は配管が有する中心軸の方向である。配管は、通常、水平姿勢で設置されるが、それが斜め方向に設置されてもよい。いずれにしても、配管は、第１構造体と第２構造体との間に設けられる。

実施形態において、配管は、変形部分と第１構造体との間に設けられた第１の非変形部分と、変形部分と第２構造体との間に設けられた第２の非変形部分と、を含む。水平ダンパ機構は、第１の非変形部分と第２の非変形部分の間において変形部分と並列に設けられる。

引力が生じる配管から上方に又は下方に離れた位置で２つの構造体の間に生じる近接運動を制限した場合、２つの構造体の一方又は両方にモーメントが生じ易くなる。これに対し、上記構成によれば、引力の軸線とそれに抗する突っ張り軸線とを近接でき、又は、一致させることができるので、モーメントが生じ難く又はモーメントが生じない。各非変形部分は、吸引状態において、基本的に潰れない硬質部分である。

実施形態において、水平ダンパ機構は、変形部分の周囲に設けられた複数のダンパユニットを含む。各ダンパユニットは、第１の非変形部分に連結された第１の伝達部材と、第２の非変形部分に連結された第２の伝達部材と、第１の伝達部材と第２の伝達部材との間に設けられたダンパ要素と、を含む。上記構成によれば、配管の周囲における複数の箇所で引力が吸収されるので、変形部分がいびつな形に変形してしまうことを回避し易くなる。各伝達部材は、連結関係にある複数の部材により構成されてもよい。

実施形態において、第１構造体及び第２構造体を搭載した共通のベース部材と、第１構造体とベース部材との間に設けられた第１の防振層と、第２構造体とベース部材との間に設けられた第２の防振層と、を含む。第２構造体は、吸引ポンプを含む下部と、下部の上側に設けられた上部と、を含む。水平ダンパ機構は、試料室と下部との間において作用する。

上記構成によれば、２つの防振層よりも上側の階層において、そこで発生する引力が吸収される。ベース部材を介して、引力の吸収や運動力の制限を行う場合、ベース部材と各構造体との間の機械的又は物理的な結合が強くなり、それらの間において振動が伝わり易くなってしまう。上記構成によれば、そのような問題を回避できる。

実施形態において、第２構造体は、下部と上部との間に設けられ、軸方向に変形可能な変形部分を有する中継配管と、上部から下部へ及ぶ押圧力を弾性的に吸収しつつ上部の下降運動を制限する垂直ダンパ機構と、を含む。この構成によれば、水平ダンパ機構及び垂直ダンパ機構により、構造体間に設けられた変形部分及び第２構造体内に設けられた変形部分の本来的な作用を維持できる。

本発明によれば、吸引状態において、第２構造体から第１構造体へ振動が伝わり難くなる。あるいは、本発明によれば、吸引状態において、配管における変形部分の防振作用の低下を防止又は軽減できる。

実施形態に係る走査型電子顕微鏡を示す図である。防振部の断面図である。変形例を示す図である。他の実施形態に係る走査型電子顕微鏡を示す図である。

以下、実施形態を図面に基づいて説明する。

図１には、実施形態に係る走査型電子顕微鏡が示されている。走査型電子顕微鏡は荷電粒子線装置の一種である。他の荷電粒子線装置に対して、以下に説明する構造が適用されてもよい。

図１に示される走査型電子顕微鏡は、デスク又はテーブル上に設置される小型の卓上型装置である。図示された構成例において、走査型電子顕微鏡は、主構造体としての第１構造体１０、副構造体としての第２構造体１２、及び、第１構造体１０と第２構造体１２の間に設けられた配管部１４を有する。第１構造体１０及び第２構造体１２の下側には、それらに共通のベース部材１６が設けられている。ベース部材１６は、デスク表面に設置されている。

第１構造体１０は、鏡筒１８及び試料室２０を有する。試料室２０の上側に鏡筒１８が固定的に連結されている。鏡筒１８には、電子銃２２、レンズ系（複数のコイル）２４が含まれる。鏡筒１８の内部は、通常、真空に保たれる。具体的には、電子銃室の内部及び中間室の内部がいずれも真空とされる。試料室２０の内部には、試料を保持する試料ステージが設けられる。試料室２０の内部も真空とされる。

一般に、電子銃室の内部の真空度が最も高く、中間室の内部の真空度がそれに続き、試料室２０の内部の真空度が最も低くなる。電子銃によって電子線が生成される。電子線は荷電粒子線の一種である。レンズ系は、電子線の収束、走査、偏向等を行うものである。試料に対して電子線が照射され、それにより生じた二次電子、反射電子等が検出される。これにより電子顕微鏡画像が形成される。

ベース部材１６を介して下方からの振動が第１構造体１０に伝わることを防止し又は軽減するため、ベース部材１６と第１構造体１０との間には防振層２８が設けられている。図示の構成例では、防振層２８は、複数のダンパ要素３０，３２からなる。個々のダンパ要素３０，３２は、ゴム材料、スプリング等の弾性作用をもった部材により構成される。防振層２８として、ゴム材料からなる防振シートが配置されてもよい。個々のダンパ要素３０，３２の下面はベース部材１６に固定されており、個々のダンパ要素３０，３２の上面は試料室２０の底面に固定されている。

第２構造体１２は、真空ポンプ４２を備える下部３６及びその上側に設けられた上部３８を有する。下部３６と上部３８との間には、中継配管４４及び垂直ダンパ機構４０が設けられている。真空ポンプ４２は、例えば、ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）により構成される。真空ポンプ４２は、吸引ポートとしてのメインポート及びサブポートを備える。メインポートの方がサブポートよりも、真空度（吸引度）が高い。メインポートは、中継配管４４及び上部３８の内部配管を介して、後述する第１の配管６４及び第２の配管６６に接続されている。

中継配管４４は、軸方向つまり垂直方向に容易に変形する蛇腹状の変形部分４４Ａを有する。変形部分４４Ａは、伸縮部分であり、それは防振作用を発揮するものである。変形部分４４Ａの両側は、第１の非変形部分及び第２の非変形部分である。各非変形部分は、硬質部分であり、吸引力によっては容易に変形しない部分である。垂直ダンパ機構４０は、２つのプレート５２，５４の間に並列的に設けられた複数のダンパユニット４６を有する。その個数は、例えば、２個、３個又は４個である。個々のダンパユニット４６は、プレート５２に固定された部材４８、プレート５４に固定された部材５０、及び、部材４８と部材５０との間に設けられたダンパ要素５３により構成される。

個々のダンパ要素５３は、例えば、弾性部材、スプリング等により構成される。各ダンパ要素５３は、真空ポンプ４２の作動状態において、変形部分４４Ａの潰れに伴って、上部３８から下部３６へ押圧力が及んだ場合に、その押圧力を弾性的に吸収し、且つ、上部３８の下方への運動を制限する作用を発揮する。ダンパ要素５３の下面はプレート５２に固定されており、ダンパ要素５３の上面はプレート５４に固定されている。ダンパ要素５３の中間部は水平方向に膨らんでおり、その垂直断面は六角形である。ダンパ要素５３の水平断面は円形である。シート状のダンパ要素、ブロック状のダンパ要素等を利用することも考えられる。なお、部材４８，５０はそれぞれスペーサとして機能しており、それらは硬質の支柱又はプレートで構成される。

真空ポンプ４２の作動時において、変形部分４４Ａに圧縮力が生じても、垂直ダンパ機構４０により、変形部分４４Ａの潰れ量は、個々のダンパ要素５３の潰れ量に制限される。すなわち、上部３８の下方への移動が制限される。これにより、変形部分４４Ａの防振作用の低下を防止又は軽減できる。すなわち、変形部分４４Ａを経由して伝達する振動を抑制できる。

下部３６とベース部材１６との間には、防振層５６が設けられている。図示の構成例では、防振層５６は、複数のダンパ要素５８，６０からなる。個々のダンパ要素５８，６０は、ゴム材料、スプリング等の弾性作用をもった部材により構成される。防振層５６として、ゴム材料からなる防振シートが配置されてもよい。個々のダンパ要素５８，６０の下面はベース部材１６に固定されており、個々のダンパ要素５８，６０の上面は下部３６の底面に固定されている。防振層５６により、ベース部材１６から第２構造体１２へ伝わる振動を低減でき、また、第２構造体１２からベース部材１６へ伝わる振動を低減できる。

配管部１４は、鏡筒１８と上部３８との間に設けられた第１の配管（上側配管）６４及び第２の配管（中間配管）６６を有し、また、試料室２０と下部３６の間に設けられた第３の配管（下側配管）７０を有する。

第１の配管６４及び第２の配管６６は、図示の構成例において、それぞれ、防振作用を発揮する２つの伸縮構造９６を有する。それらは一方端部及び他方端部に設けられている。個々の伸縮構造９６は、ある意味において、変形部分及び防振部分であり、後述するスライド構造を有する。個々の伸縮構造９６により、鏡筒１８と上部３８との間の組立誤差が吸収される。また、真空ポンプ４２の動作時において吸引力Ａ１，Ａ２が生じた場合、個々の伸縮構造９６により、第１の配管６４及び第２の配管６６の縮みが許容される。個々の伸縮構造９６の詳細については後に図２を用いて説明する。

試料室２０には、ブロック３４が取り付けられている。ブロック３４内には必要に応じて電磁弁等の部品が設けられる。真空ポンプ４２のサブポートは、延長部６８を介して、第３の配管７０の一方側端部に接続されている。延長部６８は、サブポートと延長ポートとを接続するカップリング７６、及び、延長ポートと第３の配管７０とを接続するホルダ７２を含む。第３の配管７０の他方側端部は、ブロック３４内の内部配管に連結されている。第３の配管７０の内部は、試料室２０の内部空間と連通している。

第３の配管７０は、軸方向つまり水平方向に容易に変形する変形部分７０Ａを有している。変形部分７０Ａは防振部分として機能する。変形部分７０Ａの両側が一方端部分及び他方端部分であり、それらはいずれも硬質部分である。

２つの硬質部分に跨がって水平ダンパ機構７８が設けられている。水平ダンパ機構７８は、真空ポンプの動作時において、変形部分７０Ａの過度の潰れを制限する。すなわち、変形部分７０Ａが大きく潰れると、変形部分７０Ａを介して振動が伝達され易くなる。そのような問題が生じないように又は軽減されるように、水平ダンパ機構７８が設けられている。具体的には、水平ダンパ機構７８は、変形部分７０Ａの周囲にそれと並行に設けられた複数のダンパユニット８０を含む。その個数は、例えば、２個、３個又は４個である。変形部分７０Ａの周囲に、均等な角度間隔をもって複数のダンパユニット８０を設けるのが望ましい。変形部分７０Ａの両側には２つの非変形部分が設けられている。個々のダンパユニット８０は、第３の配管７０上において生じた水平方向の圧縮力を弾性的に吸収し、２つの非変形部分の過度の近接、換言すれば、変形部分７０Ａの過度の潰れ変形、を防止する作用を発揮する。

個々のダンパユニット８０は、アーム８２、軸８４、台座８６、及び、ダンパ要素８８を有する。アーム８２は、ホルダ７２を介して、第３の配管７０における一方側端部に連結されている。第３の配管７０は中継配管といい得る。軸８４の一方端がアーム８２に固定されている。軸８４の他方端は肥大しており、その部分がダンパ要素８８の一方面に接合されている。台座８６の一方面がダンパ要素８８の他方面に接合されている。台座８６の他方面は、ブロック３４に固定されている。換言すれば、台座８６は、ブロック３４を介して、第３の配管７０における他方側端部に連結されている。アーム８２及び軸８４は振動伝達部材として機能する。ダンパ要素８８は、ゴム部材、スプリング等の弾性体により構成される。図１に示す例において、ダンパ要素８８は円盤形を有する弾性材料からなる。六角形を有する断面をもったダンパ要素等を用いてもよい。

変形部分７０Ａにより、試料室２０と下部３６との間の組立誤差が吸収される。真空ポンプの動作時において、第３の配管７０の内部に吸引力Ａ３が生じた場合、変形部分７０Ａが潰れようとするが、その潰れ量は、水平ダンパ機構７８により制限される。すなわち、個々のダンパ要素８８の潰れ量に制限される。

仮に、水平ダンパ機構７８を設けない場合、変形部分７０Ａが大きく潰れ、その結果、第２構造体１２において、下部３６を第１構造体１０側に引き付けるモーメントが生じる（符号９０を参照）。その場合、変形部分７０Ａを通じて、真空ポンプ４２の振動が十分に減衰されずに第１構造体１０へ伝達されてしまうことになる。また、防振層５６を構成する個々のダンパ要素５８，６０に水平方向のせん断力が生じ、防振層５６の本来的な防振機能が損なわれてしまう。

図１に示した水平ダンパ機構７８によれば、変形部分７０Ａの潰れ量を制限し、防振作用の低下を防止することが可能となる。また、下部３６の水平方向への運動を制限できるので、個々のダンパ要素５８，６０に対して大きなせん断力が及ぶことを防止できる。なお、ポート６２には、他の吸引ポンプが接続される。

図２には、第１の配管６４の一方側端部に設けられる伸縮構造９６の一例が示されている。第１の配管６４の他方側端部にも同様の伸縮構造９６が設けられる。第２の配管の一方側端部及び他方側端部にも同様の伸縮構造９６が設けられる。

主配管９２と副配管９４は軸方向に相対的にスライド可能に連結されている。伸縮構造９６はスライド構造である。図示の構成例において、副配管９４は、肉厚部分９４Ａとそれに連なる肉薄部分９４Ｂとを有する。肉厚部分９４Ａと肉薄部分９４Ｂとに跨がって段差構造が生じている。符号９８はリング状の段差面を示している。主配管９２の端部は、肉薄部分９４Ｂの外側を取り囲んでいる。主配管９２の端部には、リング状の内向き溝１０２が設けられ、その内向き溝１０２には弾性部材としてのＯリング１０４が配置されている。主配管９２の端面と副配管９４の段差面９８の間には弾性部材としてのＯリング１００が設けられている。Ｏリング１００は専ら防振機能を発揮する。Ｏリング１０４は専らシール機能を発揮する。

このような伸縮構造９６により、副配管９４に対して主配管９２が相対的にスライドしても、両部材間における気密性は保持される。真空ポンプによる吸引時において、第１の配管６４にはその長さを縮めようとする吸引力が生じるが、その吸引力はＯリング１００によって弾性的に吸収される。同時に、副配管９４に対する主配管９２の一定以上の近接運動も制限される。図２に示されたスライド構造に代えて蛇腹構造等を採用してもよい。

図３には、図１に示した実施形態についての変形例が示されている。走査型電子顕微鏡は、第１構造体１０Ａ、第２構造体１２Ａ、及び、それらの間に設けられた配管部１４Ａを有する。第２構造体１２Ａは、下部３６、上部３８Ａ、中継配管４４、及び、垂直ダンパ機構４０を有する。下部３６の中には真空ポンプが設けられている。第２構造体１２Ａの下側には防振層５６Ａが設けられている。それはシート状の弾性部材１０６により構成されている。

配管部１４Ａは、鏡筒１８Ａの電子銃室と上部３８Ａとの間に設けられた第１の配管６４Ａを有する。第１の配管６４Ａはそれ全体として硬質であり、そこには伸縮部分は含まれていない。配管部１４Ａは第２の配管６６Ａを有する。第２の配管６６Ａもそれ全体として硬質であり、そこには伸縮部分は含まれていない。第２の配管６６Ａは、第１の配管６４Ａの途中１０８と鏡筒１８Ａの中間室の間に設けられている。第１の配管６４Ａの内部と第２の配管６６Ａの内部は連通している。２つの配管６４Ａ，６６Ａの断面サイズの調整により、吸引圧の配分が調整される。更に、配管部１４Ａは、下部３６と試料室２０との間に設けられた第３の配管７０を有する。それを取り囲むように水平ダンパ機構７８が設けられている。

変形例においては、垂直ダンパ機構４０が組立誤差を吸収する作用及び防振作用を発揮することに着目し、第１の配管６４Ａ及び第２の配管６６Ａとして、伸縮部分を有しない硬質の配管が利用されている。

図４には、他の実施形態が示されている。第１構造体１０Ｂと第２構造体１２Ｂはそれらに共通のベース部材１６に搭載されている。第１構造体１０Ｂと第２構造体１２Ｂとの間には配管部１４Ｂが設けられている。配管部１４Ｂは、第１の配管６４、第２の配管６６、及び、第３の配管７０を有する。それらの配管６４，６６，７０はいずれも防振作用を発揮するものである。具体的には、第１の配管６４及び第２の配管６６はそれぞれ両端部に２つのスライド構造を有している。第３の配管７０は蛇腹構造をもった変形部分を有している。

第１構造体１０Ｂとベース部材１６との間には、振動吸収層又は振動緩和層として機能する防振層２８Ｂが設けられている。防振層２８Ｂは複数のダンパ要素からなる。第２構造体１２Ｂとベース部材１６との間にも、振動吸収層又は振動緩和層として機能する防振層５６Ｂが設けられている。より詳しくは、ベース部材１６には、Ｌ字板１１６が設けられている。Ｌ字板１１６は水平部分と垂直部分とを有する。水平部分がベース部材１６に固定されている。水平部分と下部３６の底面との間に防振層５６Ｂが設けられている。それは複数のダンパ要素からなる。

図４に示された他の実施形態においては、第１構造体１０Ｂ及び第２構造体１２Ｂの間におけるベース部材１６による突っ張り作用を利用して、第１構造体１０Ｂ及び第２構造体１２Ｂの近接運動を制限する水平ダンパ機構１１０が設けられている。具体的には、水平ダンパ機構１１０は、ベース部材１６に固定された起立板１１２及びＬ字板１１６、並びに、ダンパ要素１１４，１１８を有する。起立板１１２と試料室２０との間にダンパ要素１１４が設けられ、Ｌ字板１１６の垂直部分と下部３６の側面との間にダンパ要素１１８が設けられている。

真空ポンプの吸引動作により第１構造体１０Ｂと第２構造体１２Ｂの間にそれらを互いに引き付ける引力が生じた場合、第１構造体１０Ｂ及び第２構造体の運動力がダンパ要素１１４，１１８により弾性的に吸収され、また、それらの近接運動がダンパ要素１１４，１１８により規制される。これにより、第３の配管７０の変形部分が過度に潰れることが防止される。変形部分が有する防振作用の低下を防止又は軽減することが可能となる。ベース部材１６を媒介として引力を打ち消す構造として様々なものが考えられる。

図１に示した実施形態と図４に示した他の実施形態とを比較してみる。実施形態によれば、他の実施形態に比べ、ベース部材と第１構造体との間、及び、ベース部材と第２構造体との間における水平方向の機械的な結合を弱めることが可能である。よって、実施形態の方がベース部材を媒介とする振動伝達を低減できる。実施形態によれば、第３の配管の近傍又はその周囲において、引力を打ち消せるため、第１構造体及び第２構造体において生じるモーメントを小さくでき、あるいは、モーメントの発生を防止できる。

なお、水平ダンパ機構として、上述したもの以外を採用してもよい。試料室と下部との間において引力を打ち消す構造として様々なものが考えられる。

１０第１構造体、１２第２構造体、１４配管部、１６ベース部材、１８鏡筒、２０試料室、２８防振層、３６下部、３８上部、４０垂直ダンパ機構、４２真空ポンプ、５６防振層、６４第１の配管、６６第２の配管、７０第３の配管、７８水平ダンパ機構、８０ダンパユニット。

Claims

荷電粒子線を生成する鏡筒及び前記荷電粒子線が照射される試料を収容する試料室を含む第１構造体と、
前記第１構造体に対して水平方向に隔てて設けられ、前記第１構造体の内部を吸引する吸引ポンプを含む第２構造体と、
前記第１構造体と前記第２構造体との間に設けられ、軸方向に変形可能な変形部分を有する配管と、
前記吸引ポンプの動作により前記配管を通じて前記第１構造体と前記第２構造体との間にそれらを互いに近付ける引力が生じた場合に、当該引力を弾性的に吸収しつつ前記第１構造体及び前記第２構造体の近接運動を制限する水平ダンパ機構と、
前記第１構造体及び前記第２構造体を搭載した共通のベース部材と、
前記第１構造体と前記ベース部材との間に設けられた第１の防振層と、
前記第２構造体と前記ベース部材との間に設けられた第２の防振層と、
を含み、
前記第２構造体は、
前記吸引ポンプを含む下部と、
前記下部の上側に設けられた上部と、
を含み、
前記水平ダンパ機構は、前記試料室と前記下部との間において作用する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記配管は、
前記変形部分と前記第１構造体との間に設けられた第１の非変形部分と、
前記変形部分と前記第２構造体との間に設けられた第２の非変形部分と、
を含み、
前記水平ダンパ機構は、前記第１の非変形部分と前記第２の非変形部分との間において前記変形部分と並列に設けられた、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項２記載の荷電粒子線装置において、
前記水平ダンパ機構は前記変形部分の周囲に設けられた複数のダンパユニットを含み、
前記各ダンパユニットは、
前記第１の非変形部分に連結された第１の伝達部材と、
前記第２の非変形部分に連結された第２の伝達部材と、
前記第１の伝達部材と前記第２の伝達部材との間に設けられたダンパ要素と、
を含むことを特徴とする荷電粒子線装置。
請求項１記載の荷電粒子線装置において、
前記第２構造体は、更に、
前記下部と前記上部との間に設けられ、軸方向に変形可能な変形部分を有する中継配管と、
前記上部から前記下部へ及ぶ押圧力を弾性的に吸収しつつ前記上部の下降運動を制限する垂直ダンパ機構と、
を含むことを特徴とする荷電粒子線装置。