KR101620131B1 - 댐핑 장치 - Google Patents

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KR101620131B1
KR101620131B1 KR1020127025331A KR20127025331A KR101620131B1 KR 101620131 B1 KR101620131 B1 KR 101620131B1 KR 1020127025331 A KR1020127025331 A KR 1020127025331A KR 20127025331 A KR20127025331 A KR 20127025331A KR 101620131 B1 KR101620131 B1 KR 101620131B1
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안드레아스 프롬마이어
앨런 엘. 브리돈
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칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
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Abstract

본 발명은 투영 노광 기계의 광학 소자(1)의 댐핑 장치에 관한 것이고, 이 댐핑 장치는 서로 이격되어 배열되는 적어도 2개의 매스 댐퍼(3)를 포함하고, 진동 흡수기(3) 각각이 적어도 하나의 댐퍼 매스(30) 및 적어도 하나의 댐핑 요소(32)를 갖고, 적어도 2개의 매스 댐퍼(3)의 댐퍼 매스(30)는 적어도 하나의 연결 요소에 의하여 상호 연결된다. 본 발명은 또한 투영 노광 기계와, 투영 노광 기계의 광학 소자(1)에 관한 것이다.

Description

댐핑 장치 {DAMPING DEVICE}
본 출원은 독일특허 출원 제102009005954.7호의 우선권을 주장한다. 이 이전 출원의 전체 개시내용이 본 출원에 참조로 본원에 포함된다.
본 발명은 투영 노광 기계의 광학 소자의 댐핑 장치에 관한 것이다. 본 발명은 또한 투영 노광 기계의 조명 시스템 및 투영 시스템을 위한, 또는 광학 소자가 댐핑 장치와 함께 정확하게 위치 설정되는 시스템을 위한 광학 소자에 관한 것이다.
반도체 리소그래피를 위한 투영 노광 기계는 반도체 부품과 다른 미세 구조화된 장치의 포토리소그래피 제조에 사용된다. 이 경우에, 마스크의 패턴(레티클)은 일반적으로 감광층이 코팅된 기판(웨이퍼) 상으로 투영된다. 이를 위해, 투영 노광 기계는 투영 대물부를 포함하고, 투영 대물부는 투영 대물부의 대물부 하우징에서 마운트를 통해 지지되는 렌즈, 거울, 격자 또는 평행 평면 플레이트와 같은 복수의 광학 소자를 갖는다. 광학 소자는 조명 장치에 의해 방출된 전자기 방사의 굴절 및/또는 반사를 발생시킨다.
투영 대물부의 광학 소자를 위한 장착 기술은 예컨대 US 6,229,657 B1에 개시된다. US 6,229,657 B1은 광학 소자에 영구적으로 연결되는 내부 링과, 외부 링을 포함하는 마운트를 기술하고, 내부 링 및 외부 링은 주연부에 분포되는 조인트에 의해, 특히 솔리드 조인트(solid joint)에 의해 상호 연결된다.
소위 조작기는 수차를 보정하는데 사용된다. 이러한 조작기는 광학 소자와, 광학 소자의 원주부에 분포되고 광학 소자를 위치 설정하고 그리고/또는 변형시키는 조정 요소들을 포함한다. 광학 소자의 이들 조작기는 전체 시스템의 수차를 보정하는 결상(imaging)의 변화를 야기한다. 한가지 실시예에서, 이러한 조작기를 위한 마운트는 광학 소자를 수용하는 내부 링 또는 홀더와, 외부 링 또는 지지 장치를 포함하고, 조정 요소에 의해 외부 링에 대하여 내부 링을 이동시키는 것이 가능하다.
조인트 및/또는 조정 요소는 변형의 관점에서, 바람직하게는 외부 구조체로부터 광학 소자를 분리한다. 광학 소자와 외부 구조체 사이의 연결은 바람직하게는 낮은 강성을 갖는다.
더욱이, 마이크로기술에서 훨씬 작은 구조체의 결상이 요구된다. 이러한 요구사항을 충족시키기 위해 더 크고 이에 따라 더 무거운 광학 소자가 이용될 수 있다. 광학 소자의 보다 큰 질량 및 낮은 강성 양자 모두는 각각 시스템의 고유 진동수를 낮춘다. 이는 외부로부터 진동에 의해 광학 소자가 여기될 위험을 증가시킨다.
따라서, 외부 링과 내부 링 사이에 댐퍼 요소를 제공하는 것이 예컨대 WO 2006/084657 A1에 개시되어 있다.
더욱이, 광학 소자 상에 추가 매스(mass) 또는 복수의 추가 매스를 갖는 매스 댐퍼(mass damper)를 제공하고 광학 소자의 진동 에너지는 추가 매스(들)에 의해 마찰에 의해 분산되는 것이 WO 2007/006577 A1에 개시되어 있다. 이러한 부가 매스는 댐퍼 매스로서 아래에 나타내어진다. WO 2007/006577 A1은 광학 소자 또는 내부 링 상에 댐퍼 요소에 의해 환형 댐퍼 매스를 장착하는 것을 개시한다. 댐퍼 요소는 환형 댐퍼 매스와 광학 소자 또는 내부 링 사이에 배열되고, 예컨대 종이, 펠트 또는 엘라스토머와 같은 섬유질 재료이다. 이러한 매스 댐퍼는 또한 환형 흡수기로서 나타내어진다. 일 자유도를 갖는 시스템에 대하여 환형 흡수기에 의하여 우수한 진동 댐핑이 이루어질 수 있다.
광학 소자의 주연부에 걸쳐 분포되는 서로로부터 이격되어 배열되는 소위 세그먼트화 흡수기가 또한 알려져 있다. 각각의 세그먼트화 흡수기는 댐퍼 매스 및 댐퍼 요소를 포함한다. 이러한 세그먼트화 흡수기는 다수의 자유도의 진동 댐핑을 가능하게 한다.
본 발명의 목적은 다수의 자유도를 갖는 진동으로 여기되는 투영 노광 기계의 광학 소자의 진동 에너지를 흡수하거나 분산하기 위한 댐핑 장치를 제공하는 것이다. 추가적 발명의 목적은 투영 노광 기계의 투영 대물부를 위한 광학 소자와, 댐핑 장치를 갖는 투영 노광 기계를 제공하는 것이다.
여러 가지 목적은 청구항 제1항, 제10항 및 제13항의 특징을 갖는 청구요지에 의해 달성된다. 본 발명의 추가적 장점은 종속항들로부터 따른다. 모든 청구항의 용어는 상세한 설명의 내용을 참조하여 여기에 합체된다.
본 발명의 제1 양태에 따르면, 서로 이격되어 배열되는 적어도 2개의 매스 댐퍼를 포함하고 매스 댐퍼 각각은 적어도 하나의 댐퍼 매스 및 적어도 하나의 댐핑 요소를 갖고 매스 댐퍼의 댐퍼 매스는 적어도 하나의 연결 요소에 의하여 상호 연결되는, 투영 노광 기계의 광학 소자의 댐핑 장치가 제공된다.
댐핑될 요소는 임의의 3차원 제한된 기하학적 형태를 가질 수 있다. 예컨대, 요소는 렌즈 또는 디스크의 형태로 형성된다.
본 발명과 관련하여, "댐핑 요소"는 스프링 및/또는 댐핑 특성을 갖는 요소로 설계된다. 스프링 요소는 단순한 실시예에 제공될 수 있다. 댐핑 요소는 진동 에너지를 분산시키는 재료, 예컨대, 종이, 펠트 및/또는 엘라스토머를 바람직하게 포함한다. 이 경우에 플루오로엘라스토머, 특히 플루오로고무, 예컨대 상표명 비톤(Viton®)이 진동 에너지를 분산시키기 위한 우수한 속성을 갖는다고 알려졌다. 동시에, 플루오로고무는 진공 저항 및 우수한 열 및 UV 내성으로 인해 투영 대물부에 적용하기에 적절하다. 다른 엘라스토머는 용례에 따라 또한 바람직하다.
매스 댐퍼의 고유 진동수는 제거 대상 주파수를 위해 설계될 수 있다. 이 주파수가 주어지면, 매스 댐퍼는 구조체, 즉 진동으로 여기된 광학 소자로부터 진동 에너지를 인출한다. 매스 댐퍼는 각 경우에 세그먼트화 흡수기로서 작동하고, 따라서 복수의 자유도를 댐핑하는 것이 가능하다. 매스 댐퍼의 댐퍼 매스는 댐퍼 매스가 상호 지지를 제공하도록 상호 연결된다. 각 경우에, 상호 인접한 댐퍼 매스는 연결 요소 또는 복수의 연결 요소를 통해 바람직하게 상호 연결된다. 댐퍼 매스의 지지는 종래의 세그먼트화 흡수기와 함께 발생할 수 있는 것과 같은 기생적 진동 모드를 제거한다. 일 실시예에서, 개별의 매스 댐퍼는 댐핑될 요소의 주연부에 걸쳐 개별적으로 분포된 부착 지점에서 요소에 작동식으로 연결된다. 이는 진동 여기 지점 및/또는 최대 진동 폭의 지점에서 매스 댐퍼의 배치를 목표로 하는 것을 가능하게 한다. 일 실시예에서, 복수의 별개의 부착 지점들, 즉 공간적으로 분포되는 부착지점들이 댐퍼 매스에 제공된다.
유용한 일 실시예에서, 연결 요소의 질량은 댐퍼 매스의 질량보다 작다. 그 결과로서, 연결 요소는 높은 고유 진동수를 갖고 굽힘 진동으로 여기되지 않거나, 적어도 단지 관련 시스템에 적은 관련성을 갖는 고주파 범위에서만, 예컨대 1000 Hz보다 큰 범위에서 여기된다. 부가적으로 또는 대안으로서, 연결 요소의 고유 진동수는 비임계적 범위, 예컨대 1000 Hz보다 큰 범위로 기생적 진동 모드를 이동시키도록, 그의 강성에 의해 영향을 받을 수 있다.
다른 실시예에서, 적어도 2개의 댐퍼 매스 및 연결 요소는 결합된 구성요소로서, 특히 부분으로 나누어지지 않거나 일체형인 구성 요소로서 설계된다. 구성요소는 환형 요소로서, 특히 폐쇄된 환형 요소로서 형성된다. 이러한 환형 요소는 회전 대칭적 요소 상에 단순한 방법으로 배열될 수 있다. 다른 실시예에서, 댐핑될 요소의 형상에 매칭되는 다른 구조의 구성요소가 제공된다. 유용한 일 실시예에서, 서로 교호식으로 배열되는 3개의 댐퍼 매스 및 3개의 연결 요소를 갖는 폐쇄된 환형 요소가 제공된다. 3개의 병진 및 3개의 회전 진동 모드가 발생하는 것이 일반적이다. 이들은 시스템의 단순한 설계와 관련하여 3개의 댐퍼 매스에 의해 효과적으로 흡수될 수 있다.
구성요소는 진동 전달을 위해 댐퍼 매스 및 댐퍼 매스에 인접한 연결 요소를 분리시키는 적어도 하나의 조인트, 특히 솔리드 조인트를 바람직하게 갖는다. 본 발명과 관련하여, 적어도 댐퍼 매스에 비해 감소된 굽힘 강성을 갖는, 부분으로 나누어지지 않는 구성요소 상의 스폿은 "솔리드 조인트"로서 나타내어진다. 솔리드 조인트는 부분으로 나누어지지 않는 구성요소에서 단순한 방법으로 실현될 수 있다. 솔리드 조인트로서 단면의 감소, 특히 단면의 불연속적이거나 갑작스런 감소를 제공하는 것이 바람직하다. 단면의 감소는 연결 요소 및 솔리드 조인트가 동일한 단면을 갖는 구성요소의 세그멘트로서 형성되는 방식으로 일 실시예에서 수행된다. 다른 실시예에서, 솔리드 조인트는 댐퍼 매스보다 그리고 연결 요소보다 작은 단면을 갖는다. 단면의 감소는 환형 요소의 높이의 변화에 의해 바람직하게 구현된다. 다른 실시예에서, 환형의 반경의 변화가 제공된다. 또 다른 실시예에서, 구성요소는 스프링 요소에 의하여 상호 연결되는 복수의 별개의 댐퍼 매스를 포함한다. 스프링 요소는 이 경우에 예컨대 연결 매스로서 그리고 조인트로서 기능을 한다. 대안적으로 또는 부가적으로, 힌지가 제공된다.
다른 실시예에서, 구성요소는 적어도 하나의 베어링 포인트에서 댐핑될 요소에 직접 또는 간접적으로 연결된다. x-방향 및 y-방향으로의 추가 안정화는 베어링 포인트 덕분에 이루어진다. 베어링 포인트는 댐핑 장치의 z-방향으로 진동 응답을 악화시키지 않는 방식으로 바람직하게 형성되고 그리고/또는 배열된다. 일 실시예에서, 이를 위해 베어링 포인트는 진동 마디에 배열된다. 다른 실시예에서, 베어링은 z-방향으로의 가동 베어링으로 설계된다. 일 실시예에서, 광학 소자의 경우에, 베어링 포인트는 간접적 부착이 얻어지도록 광학 소자를 수용하는 내부 링에 제공된다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 진동 흡수기들 중 적어도 하나는 적어도 2개 이상의 댐핑 요소를 갖고, 이 경우에 댐퍼 매스는 댐핑 요소에 의하여 댐핑될 요소에 결합되는 것이 제공된다. 댐퍼 매스 및 댐핑 요소는 이 경우에 최대 진동 폭이 댐핑 요소의 영역에 있는 진동 형태를 댐퍼 매스가 구성하는 방법으로 서로에 바람직하게 맞춰진다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 본 발명의 댐핑 장치를 구비하는, 투영 노광 기계의 투영 대물부를 위한 광학 소자가 제공된다. 매스 댐퍼, 특히 댐퍼 매스, 댐핑 요소 및/또는 부착 지점은 댐핑될 요소의 진동 형태에 대해 그의 배열, 사이즈 및/또는 개수의 관점에서 최적으로 적응될 수 있다. 즉, 댐핑 장치의 진동 형태는 광학 소자, 예컨대 조작기에 적합한 방식으로 매칭한다.
본 발명의 다른 실시예에서, 댐핑 장치는 광학 소자의 주연부에 체결된다. 또 다른 실시예에서, 댐핑 장치는 광학 소자를 수용하는 홀더의 주연부에 체결된다. 홀더는 예컨대 마운트의 내부 링이다. 이 경우에, 배열은 용례에 따라 적절히 선택될 수 있다.
본 발명의 또 하나의 양태에 따르면, 본 발명의 광학 소자를 구비하는 투영 노광 기계가 제공된다. 이 경우에 수차를 방지하고 그리고/또는 감소시키기 위해 진동의 최적 댐핑을 제공하는 것이 가능하다. 진동은 댐핑 장치에 의해 바람직하게 제거되고, 매스 댐퍼의 기생적 고유 진동수는 투영 노광 기계에 무해할 것으로 추측되는 범위 내로 이동된다. 이러한 무해한 주파수 범위는 알려진 투영 노광 기계에 대해서 예컨대 대략 1000 Hz 이상에 있다.
상기 그리고 다른 특징들은 특허청구범위로부터 나타날 뿐만 아니라 상세한 설명 및 도면으로부터 나타나고, 개별 특징들이 본 발명의 실시예 그리고 다른 분야의 실시예에 대한 보조 조합의 형태로 단독으로 또는 개별적으로 각 경우에 구현되는 것이 가능하고, 개별 특징들이 그들을 위해 보호할 수도 있는 유리한 설계를 구성하는 것이 가능하다. 동일하거나 유사한 구성요소에 대해서 균일한 도면부호가 도면에 사용된다.
개략적 형태로 이하의 도면에서
도 1은 댐핑 장치를 갖는 광학 소자의 평면도를 도시한다.
도 2은 도 1에 따른 장치의 측면도를 도시한다.
도 3은 도 1에 따른 댐핑 장치를 위한 댐퍼 매스를 도시한다.
도 4는 댐핑 장치를 위한 댐핑 요소를 도시한다.
도 5는 투영 노광 기계를 도시한다.
도 1 및 도 2는 댐핑 장치 및 마운트(2)를 갖는 광학 소자(1)를 개략적으로 도시한다. 여기에서, 도 1은 평면도를 도시하고 도 2는 시스템의 측면도를 도시한다. 광학 소자(1)는 예컨대, 내부 링(20) 및 외부 링(22)을 포함하는 마운트(2)에서 통상적인 방식으로 지지되는 렌즈이다. 다양한 장착 기술은 내용이 설명의 구성물로서 참조로써 본원에 합체되는 US 6,229,657 B1에 예컨대 개시된다.
내부 링(20)은 광학 소자(1)에 견고하게 연결된다. 내부 링(20)은 베어링(24)을 통해 외부 링(22)에 장착된다. 도 1 및 도 2에 개략적으로 도시된 베어링(24)은 예컨대 강성 c와 댐핑 d를 갖는 솔리드 조인트로서 형성된다. 외부 링(22)에 비해서 활발하게 광학 소자(1)를 변위시키고 그리고/또는 변형시키는데 사용될 수 있는 액츄에이터 시스템(미도시) 및 센서 시스템을 갖는 추가의 조정 요소를 외부 링(22)과 내부 링(20) 사이에 제공하는 것이 가능하다.
진동 에너지를 분산시키기 위하여 복수의 매스 댐퍼(3)를 갖는 댐핑 장치가 광학 소자(1) 상에 제공된다. 댐핑 장치는 광학 소자(1)의 주연부에 걸쳐 분포되는 적어도 2개의 매스 댐퍼(3)를 포함한다. 도 1 및 도 2에 도시된 예시적인 실시예에서, 광학 소자(1)의 주연부에 걸쳐 균일하게 분포된 4개의 매스 댐퍼(3)가 제공된다. 다른 실시예에서, 4개보다 많거나 적은 매스 댐퍼(3)가 제공되고, 매스 댐퍼(3)는 광학 소자(1)의 주연부에 걸쳐 균일하게 또는 불균일하게 분포되는 것이 가능하다.
매스 댐퍼(3)는 각각 댐퍼 매스(30)를 포함한다. 댐퍼 매스(30)는 각각 적어도 하나의 댐핑 요소(32) 또는 복수의 댐핑 요소(32)를 통해 내부 링(20) 및/또는 광학 소자(1)에 연결된다. 매스 댐퍼(3)는 도 1 및 도 2에서 개략적으로 도시된 예시적인 실시예에서 내부 링(20)에 배열된다. 다른 실시예에서, 매스 댐퍼(3)는 광학 소자(1) 상에 직접적으로 끼워 맞춰지고, 예컨대 거기에 접합된다. 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 댐핑 요소(32)는 도시된 예시적인 실시예에서 스프링 댐퍼 요소로서 설계된다. 다양한 댐퍼 매스(30)의 댐핑 요소(32)는 댐퍼 매스(30)가 공간적으로 분리된 부착 지점에서 댐핑될 구조체, 예컨대 광학 소자에 연결되도록 서로로부터 공간적으로 이격된다.
도 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 개별의 댐퍼 매스(30)는 질량이 댐퍼 매스(30)의 질량보다 작은 연결 요소(4)를 통해 연결된다. 연결 요소(4)는 도 1의 강성 스프링 요소로서 개략적으로 도시된다. 연결 요소(4)의 강성은 이를 위해 사용되는 재료와 연결 요소(4)의 기하학적 구조, 특히 단면적에 따라 좌우된다. 연결 요소(4)의 작은 질량 때문에, 연결 요소(4)는 굽힘 진동으로 여기되지 않거나, 또는 매우 고주파 범위에서만 굽힘 진동으로 여기된다. 댐퍼 매스(30)는 연결 요소(4)에 의해 x-방향 및 y-방향으로 서로에 대해 지지된다. 그 결과, 예컨대 종래 기술로부터 알려져 있는 세그먼트화 흡수기를 갖는 댐핑 장치의 경우에 발생할 수 있는 것 같은 기생적 진동 모드가 발생하지 않는다.
댐퍼 매스(30)는 그의 배열, 사이즈 및/또는 개수의 관점에서 광학 소자의 진동 형태에 최적으로 적응될 수 있다. 대안으로 또는 부가적으로, 댐핑 요소(32)의 변수 및/또는 댐핑 요소(32)의 개수 및/또는 배열을 최적화함으로써 댐핑 거동에 영향을 미치는 것이 가능하다.
도 3은 최적화된 댐핑 장치를 위한 구성요소의 다이어그램이고, 댐퍼 매스(30) 및 연결 요소(4)는 구성요소의 일체부로서 설계된다. 구성요소는 서로 교호식으로 배열되는 폐쇄 원형 링, 3개의 댐퍼 매스(30) 및 3개의 연결 요소(4)로서 설계된다. 연결 요소(4)는 댐퍼 매스(30)의 높이(H)에 비해서 더 작은 높이(h)를 갖고, 이에 따라 더 작은 단면을 갖는다. 댐퍼 매스(30)의 높이(H)는 예컨대 대략적으로 연결 요소(4)의 높이(H)의 2배 내지 8배이다. 감소된 단면적 때문에, 솔리드 조인트(34)가 얻어지도록 댐퍼 매스(30)와 연결 요소(4) 사이의 전이부에서 강성의 감소가 있다. 더욱이, 도시된 예시적인 실시예에서 솔리드 조인트(34)의 영역에는 수축부(constriction)가 제공된다. 다양한 단면으로 인해, 댐퍼 매스(30)의 질량은 연결 요소(4)의 질량보다 크다. 적어도 대략 70×109 N/m2, 특히 대략 190×109 N/m2인 탄성 계수(E-modulus)를 갖는 재료를 선택하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 연결 요소(4)의 고유 진동수가 매우 높고 광학 소자에 어떤 손상도 야기하지 않는 범위에 있도록, 비교적 작은 단면적과 이에 따른 작은 질량에 의해 적절한 강성을 갖는 연결 요소(4)를 제공하는 것이 가능하다. 전체 댐퍼 매스는 바람직하게는 광학 소자의 질량의 약 7% 내지 약 12%이다.
더욱이, 댐퍼 매스(30)를 지지하기 위하여 도시된 예시적인 실시예에서는 베어링 포인트(36)가 제공된다. 베어링 포인트(30)는 진동 마디의 영역에 바람직하게 위치한다. 다른 실시예에서, 베어링 포인트(36)는 연결 요소(4)의 영역에 제공된다. 도 3에 도시된 예시적인 실시예에서, 댐퍼 매스(30)는 브레이드(braid)라고도 지칭되는 도 4에서 개략적으로 도시된 원통형 댐핑 요소(32)에 의해 도 1에 따라 내부 링(20)에 부착된다. 도시된 예시적인 실시예에서, 댐퍼 매스(30) 당 하나의 댐핑 요소(32)가 제공된다. 다른 실시예에서, 댐퍼 매스(30) 당 2개 이상의 댐핑 요소가 제공된다.
도 4는 댐핑 요소(32)의 다이어그램이다. 댐핑 요소(32)는 마찰에 의해서 행해질 수 있는, 진동 에너지를 분산하는 재료로 제조되는 층(320)을 포함한다. 이 경우에 예로는 종이, 펠트 등이 있다. 엘라스토머, 특히 플루오로엘라스토머 또는 플루오로고무를 제공하는 것이 바람직하다. 이러한 엘라스토머는 진동 에너지를 분산시키는 우수한 특성을 갖는다. 동시에, 플루오로엘라스토머는 투영 대물부에 적용하기에 적절하다. 디스크, 특히 금속 디스크(322, 324)는, 층(320)의 각 측부에 각각 제공된다. 금속 디스크(322, 324)는 예컨대 황 처리(vulcanization)에 의해 엘라스토머(320)에 연결된다.
따라서 이하의 파라미터는 예컨대 수동 댐핑 장치의 댐핑 특성을 설정하기 위해 이용 가능하다: 매스 댐퍼(3)의 개수 및 분포, 댐핑 요소(32)의 개수, 각각의 댐퍼 매스(30)에 대한 댐핑 요소(32)의 분포, 댐핑 요소(32)의 층(320)의 두께, 광학 소자(1) 상의 댐퍼 매스(30)의 분포, 댐퍼 매스(30)의 질량, 연결 요소(4)의 강성 및/또는 연결 요소(4)의 질량. 이에 의해 광학 소자(1)에 그리고/또는 관련 조작기에 댐핑 장치(3)를 잘 매칭하는 것이 가능하다. 결과적으로, 댐핑 작동이 크게 증가될 수 있고 다양한 진동 모드에 적합할 수 있다.
도 5는 투영 노광 기계(5)의 다이어그램이다. 투영 노광 기계는 조명 방사를 생성하는 조명 장치(50)와, 투영 대물부(51)를 포함한다. 투영 대물부(51)와 조명 장치(50) 사이에는 패턴을 갖는 마스크(52)가 배열되고, 마스크(52)의 패턴은 투영 대물부(51) 아래에 배열되는 기판(6) 상으로 투영된다. 투영 대물부(51)는 렌즈, 거울, 격자 등과 같은 다양한 광학 소자(1)를 포함한다. 가열 등에 기초하여 수차를 보상하기 위해 조작기 또는 복수의 조작기를 제공하는 것이 바람직하다. 조작기들은 각각 도 1에 따른 광학 소자(1)와, 광학 소자(1)를 위치 설정하고 그리고/또는 변형시키기 위한 액츄에이터 및/또는 센서 시스템을 포함한다.
광학 소자(1)는 내부 링(20) 및 외부 링(22)을 포함하는 마운트에 의해 도 1에 따라 바람직하게 지지된다. 외부 링(22)은 이 경우에 투영 대물부(51)의 하우징 내에 수용된다. 도 1 내지 도 4에 개략적으로 도시된 댐핑 장치는 진동 에너지를 흡수하기 위하여 광학 소자들(1) 중 적어도 하나 상에 제공되는 것이 바람직하다.

Claims (21)

  1. 투영 노광 기계의 광학 소자(1)의 댐핑 장치이며,
    서로 이격되어 배열되는 적어도 2개의 매스 댐퍼(3)를 포함하고,
    매스 댐퍼(3) 각각은 적어도 하나의 댐퍼 매스(30) 및 적어도 하나의 댐핑 요소(32)를 갖는, 댐핑 장치에 있어서,
    적어도 2개의 매스 댐퍼(3)의 댐퍼 매스(30)는 적어도 하나의 연결 요소(4)에 의하여 상호 연결되고,
    적어도 2개의 댐퍼 매스(30) 및 연결 요소(4)는 결합된 구성요소로서 설계되고,
    구성요소는 진동 전달에 관해 댐퍼 매스(30)와 그에 인접한 연결 요소(4)를 분리시키는 조인트를 갖는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  2. 투영 노광 기계의 광학 소자(1)의 댐핑 장치이며,
    서로 이격되어 배열되는 적어도 2개의 매스 댐퍼(3)를 포함하고,
    매스 댐퍼(3) 각각은 적어도 하나의 댐퍼 매스(30) 및 적어도 하나의 댐핑 요소(32)를 갖는, 댐핑 장치에 있어서,
    적어도 2개의 매스 댐퍼(3)의 댐퍼 매스(30)는 적어도 하나의 연결 요소(4)에 의하여 상호 연결되고,
    연결 요소(4)는 상기 매스 댐퍼(3)의 기생적 진동 모드를 1000 Hz보다 큰 범위로 이동시킬 수 있는 강성을 갖는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  3. 투영 노광 기계의 광학 소자(1)의 댐핑 장치이며,
    서로 이격되어 배열되는 적어도 2개의 매스 댐퍼(3)를 포함하고,
    매스 댐퍼(3) 각각은 적어도 하나의 댐퍼 매스(30) 및 적어도 하나의 댐핑 요소(32)를 갖는, 댐핑 장치에 있어서,
    적어도 2개의 매스 댐퍼(3)의 댐퍼 매스(30)는 적어도 하나의 연결 요소(4)에 의하여 상호 연결되고,
    적어도 2개의 댐퍼 매스(30) 및 연결 요소(4)는 결합된 구성요소로서 설계되고,
    구성요소는 적어도 하나의 베어링 포인트(36)에서 댐핑될 요소에 결합되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    각각의 매스 댐퍼(3)에 대하여, 적어도 하나의 댐퍼 매스(30)가 적어도 하나의 댐핑 요소(32)를 통해 댐핑될 요소에 연결되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    연결 요소(4)는 강성을 갖는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    연결 요소(4)는 상기 매스 댐퍼(3)의 기생적 진동 모드를 1000 Hz보다 큰 범위로 이동시킬 수 있는 강성을 갖는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    적어도 2개의 댐퍼 매스(30) 및 연결 요소(4)는 결합된 구성요소로서 설계되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  8. 제1항, 제3항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    구성요소는 일체형 구성요소인 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  9. 제1항, 제3항 또는 제7항에 중 어느 한 항에 있어서,
    구성요소는 환형 요소로서 형성되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    구성요소는 폐쇄된 환형 요소로서 형성되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  11. 제3항 또는 제7항에 있어서,
    구성요소는 진동 전달에 관해 댐퍼 매스(30)와 그에 인접한 연결 요소(4)를 분리시키는 조인트를 갖는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 조인트는 솔리드 조인트(solid joint)인 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    구성요소의 단면의 감소부가 상기 솔리드 조인트(34)로서 제공되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 조인트는 솔리드 조인트(solid joint)인 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    구성요소의 단면의 감소부가 상기 솔리드 조인트(34)로서 제공되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  16. 제1항 또는 제7항에 있어서,
    구성요소는 적어도 하나의 베어링 포인트(36)에서 댐핑될 요소에 결합되는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  17. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    매스 댐퍼들 중 적어도 하나는 적어도 2개 이상의 댐핑 요소(32)를 갖고, 댐핑 요소(32)에 의하여 댐핑될 요소에 댐퍼 매스(30)를 결합시킬 수 있는 것을 특징으로 하는
    댐핑 장치.
  18. 투영 노광 기계(5)의 투영 대물부(51)를 위한 광학 소자(1)이며,
    제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 댐핑 장치를 구비하는
    광학 소자.
  19. 제18항에 있어서,
    댐핑 장치는 상기 광학 소자(1)의 주연부 상에 체결되는 것을 특징으로 하는
    광학 소자.
  20. 제18항에 있어서,
    댐핑 장치(3)는 상기 광학 소자(1)를 수용하는 홀더(20)의 주연부 상에 체결되는 것을 특징으로 하는
    광학 소자.
  21. 제18항에 따른 적어도 하나의 광학 소자(1)를 구비하는 투영 노광 기계.
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