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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft eine Dämpfungsvorrichtung, insbesondere
für ein optisches Element einer Projektionsbelichtungsanlage.
Die Erfindung betrifft weiter ein optisches Element, insbesondere
für Beleuchtungssysteme und Projektionssysteme einer Projektionsbelichtungsanlage
oder Systeme, bei denen ein optisches Element genau positioniert
wird, mit einer Dämpfungsvorrichtung.
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Beschreibung des verwandten
Standes der Technik
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Projektionsbelichtungsanlagen
für die Halbleiterlithografie dienen zur fotolithografischen
Herstellung von Halbleiterbauelementen und anderen feinstrukturierten
Bauteilen. Dabei wird das Muster einer Maske (Retikel) auf ein üblicherweise
mit einer lichtempfindlichen Schicht beschichtetes Substrat (Wafer)
projiziert. Eine Projektionsbelichtungsanlage umfasst zu diesem
Zweck ein Projektionsobjektiv mit mehreren optischen Elementen,
wie Linsen, Spiegeln, Gittern oder Planparallelplatten, die über
Fassungen in einem Objektivgehäuse des Projektionsobjektivs
gelagert sind. Die optischen Elemente verursachen eine Brechung
und/oder eine Reflexion einer von einer Beleuchtungseinrichtung
ausgestrahlten elektromagnetischen Strahlung.
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Eine
Fassungstechnik für optische Elemente eines Projektionsobjektivs
ist beispielsweise aus
US 6,229,657
B1 bekannt. Aus
US
6,229,657 B1 ist eine Fassung bekannt, umfassend einen
fest mit dem optischen Element verbundenen Innenring und einen Außenring,
wobei der Innenring und der Außenring über am
Umfang verteilte Gelenke, insbesondere über Festkörpergelenke
miteinander verbunden sind.
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Zur
Kompensation von Abbildungsfehlern sind sogenannte Manipulatoren
bekannt. Derartige Manipulatoren umfassen ein optisches Element
und am Umfang des optischen Elements verteilte Stellelemente, mittels
denen das optische Element positionierbar und/oder deformierbar
ist. Aufgrund dieser Manipulationen des optischen Elements wird
eine Änderung der Abbildung induziert, die einen Abbildungsfehler
des Gesamtsystems kompensiert. Fassungen für derartige
Manipulatoren umfassen in einer Ausgestaltung einen Innenring oder
Halter, durch welchen das optische Element aufgenommen wird, sowie
einen Außenring oder eine Stützeinrichtung, wobei
der Innenring relativ zu dem Außenring durch die Stellelemente
bewegbar ist.
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Durch
die Gelenke und/oder die Stellelemente sind die optischen Elemente
vorzugsweise von äußeren Strukturen deformationsentkoppelt.
Die Verbindungen zwischen dem optischen Element und den äußeren
Strukturen weisen vorzugsweise eine geringe Steifigkeit auf.
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In
der Mikrotechnik wird zudem eine Abbildung immer kleinerer Strukturen
gefordert. Um diesen Anforderungen zu genügen, können
größere und damit auch schwerere optische Elemente
eingesetzt werden. Sowohl die geringe Steifigkeit als auch die größere
Masse der optischen Elemente führen jeweils dazu, dass
die Eigenfrequenzen des Systems niedriger werden. Damit wächst
die Gefahr, dass die optischen Elemente von außen zu Schwingungen angeregt
werden.
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Es
ist daher beispielsweise aus der
WO 2006/084657 A1 bekannt, zwischen dem Außenring und
dem Innenring ein Dämpferelement vorzusehen.
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Weiter
ist es aus der
WO
2007/006577 A1 bekannt, einen Schwingungstilger mit einer
zusätzlichen Masse oder mehreren zusätzlichen
Massen an dem optischen Element vorzusehen, wobei mittels der zusätzlichen
Masse(n) Schwingungsenergie des optischen Elements durch Reibung
dissipiert wird. Eine derartige zusätzliche Masse wird
im Folgenden als Dämpfermasse bezeichnet. Aus der
WO 2007/006577 A1 ist
es bekannt, eine ringförmige Dämpfermasse an einem
optischen Element oder einem Innenring mittels einem Dämpferelement
anzubringen. Das Dämpferelement ist zwischen der ringförmigen
Dämpfermasse und dem optischen Element bzw. dem Innenring
angeordnet und beispielsweise ein faserförmiges Material,
wie Papier, Filz, oder ein Elastomer. Derartige Schwingungstilger werden
auch als Ringtilger bezeichnet. Für Systeme mit einem Freiheitsgrad
ist durch Ringtilger eine gute Schwingungsdämpfung erzielbar.
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Weiter
sind sogenannte Segmenttilger bekannt, welche voneinander beabstandet über
den Umfang des optischen Elements verteilt angeordnet sind. Jeder
Segmenttilger umfasst eine Dämpfungsmasse und ein Dämpferelement.
Derartige Segmenttilger ermöglichen eine Schwingungsdämpfung
mehrerer Freiheitsgrade.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Es
ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Dämpfungsvorrichtung
zur Tilgung oder Dissipation der Schwingungsenergie oder Vibrationsenergie
eines Elements zu schaffen, insbesondere zur Tilgung der Schwingungsenergie
eines optischen Elements einer Projektionsbelichtungsanlage, welches
zu Schwingungen mit mehreren Freiheitsgraden angeregt wird. Es ist
eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein optisches Element, insbesondere
ein optisches Element für ein Projektionsobjektiv einer
Projektionsbelichtungsanlage, und ein System, insbesondere eine
Projektionsbelichtungsanlage mit einer Dämpfungsvorrichtung
zu schaffen.
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Diese
und weitere Aufgaben werden durch die Gegenstände mit den
Merkmalen der Ansprüche 1, 10 und 13 gelöst. Weitere
Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird durch Bezugnahme
zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
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Gemäß einem
ersten Aspekt der Erfindung ist eine Dämpfungsvorrichtung,
insbesondere für ein optisches Element einer Projektionsbelichtungsanlage
vorgesehen, die mindestens zwei voneinander beabstandet angeordnete
Schwingungstilger umfasst, wobei die Schwingungstilger jeweils mindestens
eine Dämpfermasse und mindestens ein Dämpfungselement
aufweisen und die Dämpfermassen der Schwingungstilger mittels
mindestens einem Verbindungselement miteinander verbunden sind.
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Das
zu dämpfende Element kann eine beliebige dreidimensionale
beschränkte geometrische Form aufweisen. Beispielsweise
ist das Element linsenförmig oder scheibenförmig
gestaltet.
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Als ‚Dämpfungselement’ wird
im Zusammenhang mit der Erfindung ein Element bezeichnet, welches
Feder- und/oder Dämpfungseigenschaften aufweist. In einer
einfachen Ausgestaltung kann ein Federelement vorgesehen sein. Vorzugsweise
umfasst das Dämpfungselement ein schwingungsenergie-dissipierendes
Material, beispielsweise Papier, Filz und/oder oder ein Elastomer.
Dabei hat sich herausgestellt, dass ein Fluorelastomer, insbesondere ein
Fluorkautschuk, beispielsweise Viton®,
gute schwingungsenergie-dissipierende Eigenschaften aufweist. Gleichzeitig
ist ein Fluorkautschuk für eine Anwendung in einem Projektionsobjektiv
aufgrund der Vakuumbeständigkeit und der guten thermischen und
UV-Beständigkeit geeignet. Je nach Anwendung sind auch
andere Elastomere vorteilhaft.
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Die
Eigenfrequenzen der Schwingungstilger kann man auf eine zu eliminierende
Frequenz auslegen. Die Schwingungstilger entziehen bei dieser Frequenz
der Struktur, d. h. dem zu Schwingung angeregten optischen Element,
Schwingungsenergie. Die Schwingungstilger wirken jeweils als Segmenttilger, sodass
die Dämpfung mehrerer Freiheitsgrade möglich ist.
Die Dämpfermassen der Schwingungstilger sind miteinander
verbunden, sodass sich die Dämpfermassen gegeneinander
abstützen. Vorzugsweise sind jeweils aneinander angrenzende
Dämpfermassen über ein Verbindungselement oder
mehrere Verbindungselemente miteinander verbunden. Durch die Abstützung
der Dämpfermassen werden parasitäre Festkörpermoden,
wie sie bei herkömmlichen Segmenttilgern auftreten können,
vermieden. Die einzelnen Schwingungstilger sind in einer Ausgestaltung an
diskret über den Umfang des zu dämpfenden Elements
verteilten Anbindungsstellen mit dem Element wirkverbunden. Dadurch
ist es möglich, die Schwingungstilger gezielt an Schwingungsanregungspunkten
und/oder Punkten maximaler Schwingungsamplituden zu platzieren.
In einer Ausgestaltung sind für eine Dämpfermasse
mehrere diskrete, d. h. örtlich verteilte, Anbindungsstellen
vorgesehen.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung ist eine Masse eines Verbindungselements
geringer als die Masse einer Dämpfermasse. Dadurch wird
erzielt, dass die Verbindungselemente eine hohe Eigenfrequenz besitzen
und nicht oder wenigstens nur in einem hochfrequenten Bereich, welcher
für das zugehörige System von geringer Relevanz
ist, beispielsweise in einem Bereich größer 1000
Hz, zu Biegeschwingungen angeregt werden. Zusätzlich oder
alternativ ist die Eigenfrequenz des Verbindungselements durch dessen
Steifigkeit beeinflussbar, um parasitäre Schwingungsmoden
in einen unkritischen Bereich, beispielsweise einen Bereich größer
1000 Hz zu verschieben.
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In
einer weiteren Ausgestaltung sind mindestens zwei Dämpfermassen
und ein Verbindungselement als gemeinsames Bauelement, insbesondere als
einteiliges oder integrales Bauelement ausgeführt. Vorzugsweise
ist das Bauelement als Ringelement, insbesondere als geschlossenes
Ringelement gestaltet. Ein derartiges Ringelement ist auf einfache Weise
an dem rotationssymmetrischen Element anordenbar. In anderen Ausgestaltungen
sind andere Gestaltungen des Bauelements vorgesehen, welche an die
Form des zu dämpfenden Elements angepasst sind. In einer
vorteilhaften Ausgestaltung ist ein geschlossenes Ringelement vorgesehen,
welches drei Dämpfermassen und drei Verbindungselemente,
die alternierend angeordnet sind, aufweist. Üblicherweise
treten drei translatorische und drei rotatorische Schwingungsmoden
auf. Diese sind durch drei Dämpfermassen bei gleichzeitig
einfachem Aufbau des Systems effektiv tilgbar.
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Das
Bauelement weist vorzugsweise mindestens ein Gelenk, insbesondere
ein Festkörpergelenk auf, durch welches eine Dämpfermasse
und ein daran angrenzendes Verbindungselement für eine Schwingungsübertragung
entkoppelt sind. Als ‚Festkörpergelenk’ wird
im Zusammenhang mit der Erfindung eine Stelle eines einteiligen
Bauelements mit zumindest gegenüber der Dämpfermasse
verminderter Biegesteifigkeit bezeichnet. Ein Festkörpergelenk ist
auf einfache in einem einteiligen Bauelement realisierbar. Vorzugsweise
ist eine Verringerung des Querschnitts als Festkörpergelenk
vorgesehen, insbesondere eine unstetige oder sprunghafte Verringerung
des Querschnitts. Die Verringerung des Querschnitts erfolgt in einer
Ausgestaltung derart, dass das Verbindungselement und das Festkörpergelenk als
Segmente des Bauteils mit gleichem Querschnitt gestaltet sind. In
anderen Ausgestaltungen weist das Festkörpergelenk gegenüber
der Dämpfermasse und gegenüber dem Verbindungselement
einen geringeren Querschnitt auf. Eine Verringerung des Querschnitts
ist vorzugsweise durch eine Variation einer Höhe des Ringelements
realisiert. In anderen Ausgestaltungen ist eine Variation des Radius
des Kreisrings vorgesehen. In wieder anderen Ausgestaltungen umfasst
das Bauelement mehrere diskrete Dämpfermassen, welche mittels
Federelementen miteinander verbunden sind. Die Federelemente fungieren
dabei beispielsweise als Verbindungsmassen und als Gelenke. Alternativ
oder zusätzlich ist als ein Scharnier vorgesehen.
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In
einer weiteren Ausgestaltung ist das Bauelement an mindestens einer
Lagerstelle mit dem zu dämpfenden Element direkt oder indirekt
gekoppelt. Durch die Lagerstelle wird eine weitere Stabilisierung in
x- und y-Richtung erzielt. Vorzugsweise ist die Lagerstelle derart
gestaltet und/oder angeordnet, dass ein Schwingungsverhalten in
z-Richtung der Dämpfungsvorrichtung nicht beeinträchtigt
wird. In einer Ausgestaltung ist die Lagerstelle hierzu in einem Schwingungsknoten
angeordnet. In anderen Ausgestaltungen ist ein Lager als Loslager
in z-Richtung ausgebildet. Bei einem optischen Element ist die Lagerstelle
in einer Ausgestaltung an einem das optische Element aufzunehmenden
Innenring vorgesehen, sodass eine indirekte Anbindung gegeben ist.
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In
einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass mindestens
einer der Schwingungstilger mindestens zwei oder mehr Dämpfungselemente
aufweist, wobei die Dämpfermasse mittels der Dämpfungselemente
mit dem zu dämpfenden Element gekoppelt ist. Die Dämpfermasse
und die Dämpfungselemente sind dabei vorzugsweise derart
aufeinander abgestimmt, dass die Dämpfermasse eine Schwingungsform
ausbildet, deren maximale Schwingungsamplitude im Bereich der Dämpfungselemente
liegt.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Element, insbesondere ein
optisches Element für ein Projektionsobjektiv einer Projektionsbelichtungsanlage
mit einer erfindungsgemäßen Dämpfungsvorrichtung
vorgesehen. Die Schwingungstilger, insbesondere die Dämpfermassen,
die Dämpfungselemente und/oder die Anbindungsstellen können
in ihrer Anordnung, Größe und/oder Anzahl an Schwingungsformen
des zu dämpfenden Elements optimal angepasst werden. In
anderen Worten, passt sich die Schwingungsform der Dämpfungsvorrichtung
adaptiv an das optische Element, beispielsweise einen Manipulator
an.
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In
einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die Dämpfungsvorrichtung
an dem Umfang des optischen Elements befestigt. In einer anderen Ausgestaltung
ist die Dämpfungsvorrichtung an dem Umfang eines das optische
Element aufnehmenden Halters befestigt. Bei dem Halter handelt es
sich beispielsweise um den Innenring einer Fassung. Die Anordnung
kann dabei je nach Anwendungsfall geeignet gewählt werden.
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Gemäß noch
einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein System, beispielsweise
ein Beleuchtungssystem, insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage
mit einem erfindungsgemäßen optischen Element
geschaffen. Dabei ist es möglich, eine optimale Schwingungsdämpfung
zur Vermeidung und/oder Verringerung von Abbildungsfehlern zu schaffen.
Schwingungen werden durch die Dämpfungsvorrichtung vorzugsweise
eliminiert und parasitäre Eigenfrequenzen des Schwingungstilgers
in Bereiche verlagert, welche für die Projektionsbelichtungsanlage
als unschädlich erachtet werden. Derartige unschädliche
Frequenzbereiche liegen bei bekannten Projektionsbelichtungsanlagen
beispielsweise oberhalb von ca. 1000 Hz.
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Die
vorstehenden und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen
auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen
Merkmale jeweils für sich alleine oder zu mehreren in Form
von Unterkombinationen bei Ausführungsformen der Erfindung
und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie
für sich schutzfähige Ausführungen darstellen
können. Für gleiche oder ähnliche Bauteile
werden in den Zeichnungen einheitliche Bezugszeichen verwendet.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die
Zeichnungen zeigen schematisch:
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1:
eine Draufsicht auf ein optisches Element mit einer Dämpfungsvorrichtung;
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2:
eine Seitenansicht der Vorrichtung gemäß 1;
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3:
eine Dämpfungsmasse für eine Dämpfungsvorrichtung
gemäß 1;
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4:
ein Dämpfungselement für eine Dämpfungsvorrichtung
und
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5:
eine Projektionsbelichtungsanlage.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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1 und
2 zeigen
schematisch ein optisches Element
1 mit einer Fassung
2 und
einer Dämpfungsvorrichtung.
1 zeigt
dabei eine Draufsicht und
2 eine Seitenansicht
des Systems. Das optische Element
1 ist beispielsweise
eine Linse, welche auf herkömmliche Weise in einer Fassung
2 umfassend
einen Innenring
20 und einen Außenring
22 gelagert
ist. Verschiedene Fassungstechnologien sind beispielsweise aus der
US 6,229,657 B1 bekannt,
deren Inhalt hiermit voll umfänglich durch Bezugnahme zum
Bestandteil der Beschreibung gemacht wird.
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Der
Innenring 20 ist starr mit dem optischen Element 1 verbunden.
Der Innenring 20 ist in dem Außenring 22 über
Lager 24 gelagert. Die schematisch in 1 und 2 dargestellten
Lager 24 sind beispielsweise als Festkörpergelenke
mit einer Steifigkeit c und einer Dämpfung d gestaltet.
Zwischen dem Außenring 22 und dem Innenring 20 können weiter
Stellelemente mit nicht dargestellter Sensorik und/oder Aktorik
vorgesehen sein, durch welche es möglich ist, das optische
Element 1 aktiv gegenüber dem Außenring 22 zu
verschieben und/oder zu deformieren.
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An
dem optischen Element 1 ist eine Dämpfungsvorrichtung
mit mehreren Schwingungstilgern 3 vorgesehen, um Schwingungsenergie
zu dissipieren. Die Dämpfungsvorrichtung umfasst mindestens
zwei über den Umfang des optischen Elements 1 verteilte Schwingungstilger 3.
In dem in 1 und 2 dargestellten
Ausführungsbeispiel sind vier Schwingungstilger 3 vorgesehen,
welche gleichmäßig über den Umfang des
optischen Elements 1 verteilt sind. In anderen Ausgestaltungen
sind mehr oder weniger als vier Schwingungstilger 3 vorgesehen,
wobei die Schwingungstilger 3 gleichmäßig
oder ungleichmäßig über den Umfang des
optischen Elements 1 verteilt sein können.
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Die
Schwingungstilger 3 umfassen jeweils eine Dämpfermasse 30.
Die Dämpfermassen 30 sind jeweils über
mindestens ein Dämpfungselement 32 oder mehrere
Dämpfungselemente 32 mit dem Innenring 20 und/oder
dem optischen Element 1 verbunden. In dem in 1 und 2 schematisch
dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Schwingungstilger 3 an
den Innenring 20 angeordnet. In anderen Ausgestaltungen
sind die Schwingungstilger 3 direkt an dem optischen Element 1 angebracht,
beispielsweise mit diesem verklebt. Wie in 2 erkennbar
ist, sind die Dämpfungselemente 32 in dem dargestellten
Ausführungsbeispiel als Feder-Dämpfer-Elemente
ausgeführt. Die Dämpfungselemente 32 verschiedener
Dämpfermassen 30 sind räumlich voneinander
getrennt, sodass die Dämpfermassen 30 an räumlich
getrennten Anbindungsstellen mit der zu dämpfenden Struktur,
d. h. dem optischen Element verbunden sind.
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Die
einzelnen Dämpfermassen 30 sind wie in 1 erkennbar über
Verbindungselemente 4 verbunden, deren Masse geringer ist
als die Masse der Dämpfermassen 30. Die Verbindungselemente 4 sind
in 1 schematisch als steife Federelemente dargestellt.
Die Steifigkeit der Verbindungselemente 4 hängt
von einem hierfür verwendeten Material und der Geometrie,
insbesondere der Querschnittsfläche, der Verbindungselemente 4 ab.
Wegen der geringen Masse der Verbindungselemente 4 werden
die Verbindungselemente 4 nicht zu Biegeschwingungen oder
nur zu Biegeschwingungen in einen sehr hochfrequenten Bereich angeregt.
Durch die Verbindungselemente 4 werden die Dämpfermassen 30 in x-
und y-Richtungen gegeneinander abgestützt. Dadurch wird
erreicht, dass parasitäre Festkörpermoden, wie
sie beispielsweise bei einer aus dem Stand der Technik bekannten
Dämpfungsvorrichtung mit Segmenttilgern auftreten können,
nicht entstehen.
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Die
Dämpfermassen 30 können in ihrer Anordnung,
Größe und/oder Anzahl an Schwingungsformen des
optischen Elements optimal angepasst werden. Alternativ oder zusätzlich
ist eine Beeinflussung des Dämpfungsverhaltens durch eine
Optimierung der Anzahl und/oder Anordnung der Dämpfungselemente 32 und/oder
einer Größe der Dämpfungselemente 32 möglich.
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3 zeigt
schematisch ein Bauelement für eine optimierte Dämpfungsvorrichtung,
wobei die Dämpfungsmassen 30 und die Verbindungselemente 4 als
integrale Bestandteile des Bauelements ausgeführt sind.
Das Bauelement ist als geschlossener Kreisring ausgebildet, wobei
drei Dämpfermassen 30 und drei Verbindungselemente 4 einander
abwechselnd angeordnet sind. Die Verbindungselemente 4 weisen
eine geringere Höhe h im Vergleich zu der Höhe
H der Dämpfermassen 30, und damit einen geringeren
Querschnitt auf. Die Höhe H der Dämpfermassen 30 beträgt
beispielsweise ca. das 2-fache bis das 8-fache der Höhe
h der Verbindungselemente 4. Aufgrund des verringerten
Querschnitts ist eine Steifigkeit im Übergang zwischen
den Dämpfermassen 30 und den Verbindungselementen 4 reduziert,
sodass ein Festkörpergelenk 34 geschaffen wird.
Im Bereich der Festkörpergelenke 34 sind in dem
dargestellten Ausführungsbeispiel weiter Einschnürungen vorgesehen.
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Aufgrund
des unterschiedlichen Querschnitts ist die Masse der Dämpfermassen 30 höher als
die Masse der Verbindungselemente 4. Vorzugsweise wird
ein Material mit einem E-Modul von mindestens ca. 70 × 109 N/m2, insbesondere
von ca. 190 × 109 N/m2,
gewählt. Dadurch ist es möglich, Verbindungselemente 4 mit
einer ausreichenden Steifigkeit durch eine vergleichsweise geringe
Querschnittfläche und damit geringe Masse zu schaffen,
sodass die Eigenfrequenz der Verbindungselemente 4 sehr hoch
ist und in einem für das optische Element unschädlichen
Bereich liegt. Die gesamte Dämpfermasse beträgt
vorzugsweise ca. 7% bis ca. 12% der Masse des optischen Elements.
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Zur
Lagerung der Dämpfermassen 30 sind in dem dargestellten
Ausführungsbeispiel weiter Lagerstellen 36 vorgesehen.
Die Lagerstellen 36 liegen vorzugsweise im Bereich von
Schwingungsknoten. In anderen Ausgestaltungen sind die Lagerstellen 36 im Bereich
der Verbindungselemente 4 vorgesehen. Eine Anbindung der
Dämpfermassen 30 an den Innenring 20 gemäß 1 erfolgt
in dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel
mittels zylindrischer Dämpfungselemente 32, auch
als Stuppen bezeichnet, welche schematisch in 4 dargestellt
sind. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist pro
Dämpfermasse 30 ein Dämpfungselement 32 vorgesehen. In
anderen Ausgestaltungen sind zwei oder mehr Dämpfungselemente
pro Dämpfermasse 30 vorgesehen.
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4 zeigt
schematisch ein Dämpfungselement 32. Das Dämpfungselement 32 umfasst
eine Schicht 320 aus einem schwingungsenergie-dissipierenden
Material, durch welches Schwingungsenergie mittels Reibung dissipiert
werden kann. Dabei handelt es sich beispielsweise um Papier, Filz
oder dergleichen. Vorzugsweise ist ein Elastomer, insbesondere ein
Fluorelastomer oder Fluorkautschuk, vorgesehen. Ein derartiges Elastomer
hat gute, Schwingungsenergie dissipierende Eigenschaften. Gleichzeitig
ist ein Fluorelastomer für eine Anwendung in einem Projektionsobjektiv
geeignet. An den beiden Seiten der Schicht 320 ist jeweils
eine Scheibe, insbesondere eine Metallscheibe 322, 324 vorgesehen. Die
Metallscheiben 322, 324 sind mit dem Elastomer 320 fest
verbunden, beispielsweise durch Vulkanisation.
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Für
die Einstellung der Dämpfungseigenschaften der passiven
Dämpfungsvorrichtung stehen somit beispielsweise die folgenden
Parameter zur Verfügung: eine Anzahl und Verteilung der
Schwingungstilger 3, eine Anzahl der Dämpfungselemente 32,
eine Verteilung der Dämpfungselemente 32 für jede
Dämpfungsmasse 30, eine Dicke der Schicht 320 der
Dämpfungselemente 32, eine Verteilung der Dämpfungsmassen 30 an
dem optischen Element 1, eine Masse der Dämpfungsmassen 30,
eine Steifigkeit der Verbindungselemente 4 und/oder eine
Masse der Verbindungselemente 4. Damit ist eine gute Anpassung
der Dämpfungsvorrichtung 3 an das optische Element 1 und/oder
einen zugehörigen Manipulator möglich. Dies hat
zur Folge, dass eine Dämpfungswirkung deutlich erhöht
werden kann und an unterschiedliche Schwingungsmoden adaptierbar
ist.
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5 zeigt
schematisch eine Projektionsbelichtungsanlage 5. Die Projektionsbelichtungsanlage umfasst
eine Beleuchtungseinrichtung 50, durch welche eine Beleuchtungsstrahlung
erzeugt wird, und ein Projektionsobjektiv 51. Zwischen
dem Projektionsobjektiv 51 und der Beleuchtungseinrichtung 50 ist
eine Maske 52 mit einem Muster angeordnet, wobei das Muster
der Maske 52 auf ein unterhalb des Projektionsobjektivs 51 angeordnetes
Substrat 6 projiziert wird. Das Projektionsobjektiv 51 umfasst
verschiedene optische Elemente 1, wie Linsen, Spiegel, Gitter
oder dergleichen. Um Abbildungsfehler aufgrund von Erwärmung
oder dergleichen zu kompensieren, sind vorzugsweise ein Manipulator
oder mehrere Manipulatoren vorgesehen. Die Manipulatoren umfassen
jeweils ein optisches Element 1 gemäß 1 sowie
eine Sensorik und/oder Aktorik zum Positionieren und/oder Deformieren
des optischen Elements 1.
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Die
optischen Elemente 1 sind vorzugsweise mittels einer Fassung
umfassend einen Innenring 20 und einen Außenring 22 gemäß 1 gelagert.
Die Außenringe 22 werden dabei von einem Gehäuse des
Projektionsobjektivs 51 aufgenommen. Zur Tilgung der Schwingungsenergie
ist vorzugsweise an mindestens einem der optischen Elemente 1 eine
in 1 bis 4 schematisch dargestellte Dämpfungsvorrichtung
vorgesehen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 6229657
B1 [0003, 0003, 0031]
- - WO 2006/084657 A1 [0007]
- - WO 2007/006577 A1 [0008, 0008]