JP2007307762A - 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッド、効率的な液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの液滴吐出ヘッドを備えた耐久性及び吐出性能に優れた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】プレート積層体Ｓの積層方向に隣接する任意の２枚の流路プレートである第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂのそれぞれが、プレート積層体Ｓの積層方向に突出した突状部（バリ、変形）１７に対向する領域に、突状部１７との当接を回避し得る逃げ溝１８を有するように構成する。
【選択図】図４

Description

本発明は、インクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置に関する。

ノズルからインクを微細な液滴状にして吐出することにより情報の記録を行うためのインクジェットヘッドは、ノズルプレート、複数枚の流路プレート及び振動板を含むプレート積層体と、圧電素子とを備え、エッチング工法により作製された複数枚の流路プレートを接着剤によって積層、接合して、３次元的に流路を形成している。この場合、エッチング工法において、複数枚の流路プレートは、作製工程における取り扱いを容易にするため、原プレートからそのフレーム枠と複数の橋渡し部（ブリッジ）よって連結した状態で形成された後、橋渡し部の切断によってフレーム枠から分離されて、個別化される。例えば、フレーム枠に複数の連結片（橋渡し部）で支持されたプレートを複数枚各フレーム枠とともに積層接着し、プレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを形成した後各連結片を切断してインクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出す方法において、所定の切欠溝及びハーフ溝を設けたインクジェットヘッドの製造方法が開示されている（特許文献１参照）。この特許文献１に開示された方法の場合、複数枚のプレートの積層構造からなるインクジェットヘッドを各フレーム枠から取り出した際に、切断された各連結片はインクジェットヘッドの側面から突起状に飛び出すことが防止されるという点において優れた効果を発揮するものである。
特開２００４−１１４４９５号公報

しかしながら、特許文献１に開示された方法のように、予め連結片で支持されたままの状態で複数枚のプレートの積層構造を作製し、この積層構造における全ての連結片を一気に切断することによって各フレーム枠から取り出す方法では、上述の構成は有効であるが、図１３（ａ）〜（ｇ）に示すように、より効率的なエッチング工法を用いて、１枚の原プレートから平面的にパターニングされた複数枚の流路プレート（図１３においては、第１の流路プレートＧａ及び第２の流路プレートＧｂ）を橋渡し部１６において一枚ずつ切断してフレーム枠１５から分離してから、第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂを積層接合する方法の場合は（図１３（ｇ）参照）、橋渡し部１６のフレーム枠１５からの切断箇所にバリや変形（突状部１７）が発生し（図１３（ｃ）、（ｄ）、（ｆ）参照）、第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂの積層、接合時の平面度の確保を困難にし、接着剤の十分な接合圧力を確保することが困難であるとともに、橋渡し部１６の切断箇所のバリや変形（突状部１７）が他の流路プレートと干渉し（図１３（ｃ）、（ｄ）、（ｆ）参照）、接合不良による流路内や層間でインクのリークを発生させてしまうという問題がある。積層方向で隣接する第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂの橋渡し部１６の位置を変更したとしても、橋渡し部１６と第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂとの干渉を回避させることは困難であるため、接合不良や層間リークの発生という不都合を完全に解消することはできないのが現状である。

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであって、エッチング工法を用いてプレートを積層接合することによって液滴吐出ヘッドを製造する場合、橋渡し部（ブリッジ）の切断時にバリや変形等の突状部が発生した場合であっても、このバリや変形等の突状部の他プレートに対する干渉が防止されることによって接合不良による流路内リークや層間リークが防止され、接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッド、その効率的な液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の一態様によれば、以下の液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置が提供される。

［１］複数のノズルを有するノズルプレート、複数の前記ノズルに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレートが積層された積層流路プレート、及び振動板が積層されて形成されたプレート積層体と、圧電素子とを備え、前記圧電素子の駆動に基づく前記振動板の変形によって前記流路を経由して前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、複数枚の前記流路プレートのそれぞれは、エッチング工法によって、原プレートから、所定の前記流路形成孔を有する複数枚が所定のパターンで平面的に配列されるとともに、複数の橋渡し部によってフレーム枠に連結された状態で形成された後、前記橋渡し部の切断によって前記フレーム枠から分離されて形成されたものであり、かつ、前記プレート積層体の積層方向に隣接する前記流路プレートのそれぞれは、互いに、前記橋渡し部の切断後に残存して形成される、前記プレート積層体の積層方向に突出した突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。

このように、プレート積層体の積層方向に隣接する流路プレートのそれぞれは、互いに、橋渡し部の切断後に残存して形成される、プレート積層体の積層方向に突出したバリ、変形等の突状部に対向する領域に、突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有するように構成されていることから、橋渡し部（ブリッジ）の切断時にバリや変形等の突状部が発生した場合であっても、このバリや変形等の突状部の他プレートに対する干渉が防止される。従って、接合不良による流路内リークや層間リークが防止され、接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッドとすることができる。

［２］複数枚の前記流路プレートのそれぞれは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝は、前記切り欠き溝から独立した状態で構成されていることを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように、流路プレートは、切り欠き溝を有するように構成されていることから、橋渡し部の切断を容易に行うことができ、バリの発生量を低減することができるとともに、変形の発生を少なくすることができる。

［３］前記逃げ溝は、前記切り欠き溝と同一の形状を有することを特徴とする前記［２］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、逃げ溝を簡易に形成することができる。

［４］複数枚の前記流路プレートのそれぞれは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝は、前記切り欠き溝を延長する状態で構成されていることを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように、逃げ溝を、切り欠き溝の延長とすることによって、逃げ溝を簡易に形成することができる。

［５］前記原プレートから、複数の前記橋渡し部によって前記フレーム枠に連結された状態で平面的に形成された所定の前記流路プレートの複数枚は、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有することを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、逃げ溝をバラツキなく均一に形成することができる。

［６］前記突状部の形成位置に対応して、複数枚の前記流路プレートのうち奇数番目に積層された奇数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有するとともに、複数枚の前記流路プレートのうち偶数番目に積層された偶数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有することを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、逃げ溝を確実かつ効率的に形成することができる。

［７］複数枚の前記流路プレートのうちに、厚さの薄い薄厚プレートを含み、前記薄厚プレートに積層方向で隣接する前記流路プレートのそれぞれは、前記薄厚プレートを貫通して突出する前記突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る前記逃げ溝を有することを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように薄厚プレートを含む場合であっても、逃げ溝を簡易かつ確実に形成することができる。

［８］前記橋渡し部は、前記流路プレートの外周よりも内側の領域で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、突状部が外側に突出して他のプレートと干渉することを防止することができる。

［９］前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で前記橋渡し部の短手方向の内側向きに、凹溝を有し、前記凹溝部分で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、橋渡し部の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［１０］前記橋渡し部の短手方向の長さは、前記フレーム枠から前記流路プレートに至るまでに漸減することを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、橋渡し部の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［１１］前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で少なくとも一方の表面に、前記橋渡し部の短手方向に延在し、かつ厚さ方向に穿設されたハーフ溝を有し、前記ハーフ溝部分で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする前記［１］に記載の液滴吐出ヘッド。このように構成することによって、橋渡し部の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［１２］複数のノズルを有するノズルプレート、複数の前記ノズルに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレートが積層された積層流路プレート、及び振動板が積層されて形成されたプレート積層体と、圧電素子とを備え、前記圧電素子の駆動に基づく前記振動板の変形によって前記流路を経由して前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを製造する方法であって、原プレートにレジストを塗布する第１の工程と、原プレート上に塗布されたレジストに、露光、現像を行い、次のエッチング工程で目的とする形状の流路プレートが得られるように、前記レジストのパターンを形成する第２の工程と、前記レジストのパターンが形成された前記原プレートをエッチングして、次の積層工程で互いに隣接することとなる前記流路プレートの形状を、前記橋渡し部の切断後に残存して形成される積層方向に突出した突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有する形状とするとともに、このような形状の前記流路プレートの複数枚が、複数の前記橋渡し部によって前記フレーム枠に平面的に所定のパターンで連結したフレーム枠連結流路プレートを得る第３の工程と、形成された前記フレーム枠連結流路プレートから、前記流路プレートを個々に切断して分離する第４の工程と、分離された前記流路プレートの異種同士を組み合わせて積層して前記プレート積層体を形成する第５の工程とを含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。

このように、レジストによるパターンニング及びエッチングを、プレート積層体として積層する際に積層方向に隣接する流路プレートのそれぞれが、互いに、橋渡し部の切断後に残存して形成される積層方向に突出した突状部に対向する領域に、突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有する形状となるように施して得られた流路プレートを用いることによって、接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッドを効率よく製造することができる。

［１３］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝は、前記切り欠き溝から独立した状態で構成された形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、橋渡し部の切断を容易に行うことができる。

［１４］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、前記逃げ溝が、前記切り欠き溝と同一の形状を有するものとなるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１３］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、逃げ溝を簡易に形成することができる。

［１５］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝が、前記切り欠き溝を延長する状態で構成された形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように、逃げ溝を切り欠き溝の延長とすることによって、逃げ溝を簡易に形成することができる。

［１６］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、逃げ溝をバラツキなく均一に形成することができる。

［１７］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートのうち、奇数番目に積層されることとなる奇数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有するとともに、偶数番目に積層されることとなる偶数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、逃げ溝を確実かつ効率的に形成することができる。

［１８］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートのうちに、厚さの薄い薄厚プレートを含み、前記薄厚プレートに積層方向で隣接することとなる前記流路プレートのそれぞれは、前記薄厚プレートを貫通して突出する前記突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る前記逃げ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように薄厚プレートを含む場合であっても、逃げ溝を簡易かつ確実に形成することができる。

［１９］前記第３の工程において、前記橋渡し部は、前記流路プレートの外周よりも内側の領域で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、突状部が外側に突出して他のプレートと干渉することを防止することができる。

［２０］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で前記橋渡し部の短手方向の内側向きに、凹溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成し、
前記第３の工程において、前記凹溝部分で切断して、前記突状部を形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、橋渡し部の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［２１］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記橋渡し部の短手方向の長さは、前記フレーム枠から前記流路プレートに至るまでに漸減する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、橋渡し部の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［２２］前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で少なくとも一方の表面に、前記橋渡し部の短手方向に延在し、かつ厚さ方向に穿設されたハーフ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成し、前記第３の工程において、前記ハーフ溝部分で切断して、前記突状部を形成することを特徴とする前記［１２］に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。このように構成することによって、橋渡し部の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［２３］複数のノズルを有するノズルプレート、複数の前記ノズルに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレートが積層された積層流路プレート、及び振動板が積層されて形成されたプレート積層体と、圧電素子とを備え、前記圧電素子の駆動に基づく前記振動板の変形によって前記流路を経由して前記複数のノズルから液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数枚の前記流路プレートのそれぞれが、エッチング工法によって、原プレートから、所定の前記流路形成孔を有する複数枚が所定のパターンで平面的に配列されるとともに、複数の橋渡し部によってフレーム枠に連結された状態で形成された後、前記橋渡し部の切断によって前記フレーム枠から分離されて形成されたものであり、かつ、前記プレート積層体の積層方向に隣接する前記流路プレートのそれぞれは、互いに、前記橋渡し部の切断後に残存して形成される、前記プレート積層体の積層方向に突出した突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有することを特徴とする液滴吐出装置。

このように、接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッドを備えていることから、耐久性及び吐出性能に優れた液滴吐出装置とすることができる。

本発明によって、エッチング工法を用いてプレートを積層接合することによって液滴吐出ヘッドを製造する場合、橋渡し部（ブリッジ）の切断時にバリや変形等の突状部が発生した場合であっても、このバリや変形等の突状部の他プレートに対する干渉が防止されることによって接合不良による流路内リークや層間リークが防止され、接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッド、効率的な液滴吐出ヘッドの製造方法及びこの液滴吐出ヘッドを備えた耐久性及び吐出性能に優れた液滴吐出装置が提供される。

［第１の実施の形態］
（液滴吐出ヘッドの構成）
図１〜図３は、本発明の第１の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを示し、図１は平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。なお、図３では、後述するフレキシブルプリント配線基板を省略している。

この液滴吐出ヘッド１は、図１〜図３に示すように、複数のノズル２ａを有するノズルプレート２、複数のノズル２ａに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレート（プールプレート３、第１の供給孔プレート４Ａ、供給路プレート５、第２の供給孔プレート４Ｂ、圧力発生室プレート６）が積層された積層流路プレートＧ、及び略平行四辺形の振動板７が積層されて形成されたプレート積層体Ｓと、振動板７上に配置された複数の圧電素子８とを備えており、圧電素子８の駆動に基づく振動板７の変形によって液体を流路を経由して、複数の圧電素子８に対向する位置に形成された複数のノズル２ａから液滴として吐出するように構成されている。なお、圧電素子８の駆動は、圧電素子８を覆うように、圧電素子８に電圧を印加するための導電パターン１２ａを有するフレキシブルプリント配線基板（以下「ＦＰＣ」という。）１２を設け、ＦＰＣ１２を介して行われるが、図１及び図３にはＦＰＣ１２は図示されていない。また、図１には圧電素子８が１８個図示されているが、実際は１０２４個配置されている。

本実施の形態において、プレート積層体Ｓは、図２に示すように、ノズル２ａが形成されたノズルプレート２を有し、また、このノズルプレート２の吐出側と反対側の面（裏面）に、積層流路プレートＧとして、流路形成孔としての連通孔３ａ及び液プール３ｂを有するプールプレート３と、連通孔４ａ、供給孔４ｂ及び供給路４ｃ（図３参照）を有する第１の供給孔プレート４Ａと、連通孔５ａ、供給路５ｂ及び供給路５ｃ（図３参照）を有する供給路プレート５と、連通孔４ａ、供給孔４ｂ及び供給路４ｃ（図３参照）を有する第２の供給孔プレート４Ｂと、圧力発生室６ａ及び供給孔６ｂ（図３参照）を有する圧力発生室プレート６とを有し、さらに、上記振動板７を有し、これらの複数のプレート（ノズルプレート２、積層流路プレートＧ及び振動板７）が順次積層されて構成されている。なお、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１は、このようなプレート積層体Ｓを構成する上記振動板７の上に、さらに、上記圧電素子８と、上記ＦＰＣ１２を順次積層して構成されている。

次に、各部の構成について説明する。

（流路プレート）
図４（ａ）は、第１の実施の形態に用いられる積層流路プレートＧにおける隣接する任意の２枚のうちの１枚（第１の流路プレートＧａ）の平面図、（ｂ）は、隣接する任意の２枚のうちの他の１枚（第２の流路プレートＧｂ）の平面図、（ｃ）は、（ａ）における逃げ溝部分（Ｂ部）の拡大図、（ｄ）は、（ｂ）における逃げ溝部分（Ｃ部）の拡大図、（ｅ）は、（ｃ）のＥ−Ｅ線の断面図、（ｆ）は、（ｄ）のＦ−Ｆ線の断面図、（ｇ）は、第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂを積層した場合の平面図、（ｈ）は、（ｇ）のＨ−Ｈ線の断面図である。

以下、積層流路プレートＧを構成するそれぞれの流路プレート（プールプレート３、第１の供給孔プレート４Ａ、供給路プレート５、第２の供給孔プレート４Ｂ、圧力発生室プレート６）について説明する場合、便宜上、上述のように隣接する任意の２枚（第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂ）を用いて説明することがある。

図４（ａ）〜（ｈ）に示すように、本実施の形態に用いられる流路プレート（第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂ）のそれぞれは、エッチング工法によって、原プレート１３（図５（ａ）参照）から、所定の流路形成孔（図示せず）を有する１２枚が所定のパターンで平面的に配列されるとともに（図５（ｃ）参照）、複数の橋渡し部１６によってフレーム枠１５に連結された状態で形成された後、橋渡し部１６の切断によってフレーム枠１５から分離されて形成されたものであり、かつ、プレート積層体Ｓ（図２参照）の積層方向に隣接する第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂのそれぞれは、互いに、橋渡し部１６の切断後に残存して形成される、プレート積層体Ｓの積層方向に突出した突状部１７に対向する領域に、突状部１７との当接を回避し得る逃げ溝１８を有するように構成されている。このように構成されているため、図４（ｇ）及び図４（ｈ）に示すように、第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂに形成されるそれぞれの突状部１７は、逃げ溝１８によって、互いに当接することが回避され、干渉することが防止される。

本実施の形態においては、橋渡し部１６は、積層流路プレートＧを構成するそれぞれの流路プレート（第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂ）の外周よりも内側の領域で切断されて、突状部１７が形成されることが好ましい（図１０参照）。

本実施の形態においては、図４（ｂ）に示すように、第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂのそれぞれは、突状部１７との連結角部Ｄを第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂの内側方向に抉るように形成された、橋渡し部１６（図５（ｃ）参照）の切断を容易にする切り欠き溝１９を２つ有し、逃げ溝１８は、１つの切り欠き溝を延長する状態で構成されている。このため、図４においては、１つの切り欠き溝１９だけが示されている。

また、逃げ溝１８は、切り欠き溝１９とは異なった形状を有しているが、後述するように、作製を容易化するために同一の形状を有するように構成してもよい。

なお、原プレート１３（図５参照）から、複数の橋渡し部１６（図５参照）によってフレーム枠１５（図５参照）に連結された状態で平面的に形成された第１の流路プレートＧａ及び他の原プレート１３から形成された第２の流路プレートＧｂは、それぞれ同一位置に同一形状の逃げ溝１８を有している。

積層流路プレートＧを構成するそれぞれの流路プレート（第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂ、具体的には、プールプレート３、第１の供給孔プレート４Ａ、供給路プレート５、第２の供給孔プレート４Ｂ、及び圧力発生室プレート６）は、耐インク性の観点からＳＵＳ等の金属からなる。

（振動板）
振動板７は、図１、図３に示すように、図示しない液体タンクから液体がヘッド１内部に供給される供給孔７ａが形成されている。また、振動板７は、導電性および弾性を有する、例えば、ＳＵＳ等の金属材、異種金属の複合材、金属と樹脂との複合材、樹脂の表面にスパッタリングや蒸着により金属膜を形成した表面処理材等を用いることができる。

（圧電素子）
圧電素子８は、図２に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等から構成され、上面に個別電極８ａ、下面に共通電極８ｂを有している。個別電極８ａ及び共通電極８ｂは、スパッタリング等により形成されており、下面の共通電極８ｂは、導電性接着剤により振動板７に電気的に接続され、振動板７を介して接地されている。また、圧電素子８は、少なくとも液滴を吐出するために必要とされる面積が、圧力発生室６ａに対応する振動板７の位置に個別化されて接合されている。

（フレキシブルプリント配線基板）
ＦＰＣ１２は、図２に示すように、各圧電素子８の個別電極８ａにそれぞれハンダにより接続された導電パターン１２ａを有する。

（ノズルプレート）
ノズルプレート２は、耐インク性、耐熱性等の観点から、例えば、自己融着型のポリイミド樹脂から構成されている。

（液滴吐出ヘッドの製造方法）
以下、図５を参照しつつ、液滴吐出ヘッド１の製造方法を説明する。本実施の形態の製造方法は、第１の工程〜第４の工程を含むように構成される。

（第１の工程）
図５（ａ）に示すように、例えば、ＳＵＳ圧延材からなる原プレート１３を用意し、この原プレート１３の表面全体にレジスト１４を塗布する。

（第２の工程）
図５（ｂ）に示すように、原プレート１３上に塗布されたレジスト１４に、露光、現像を行い、次のエッチング工程で、目的とする形状の流路プレートが得られるように前記レジストのパターンを形成する。この場合、積層流路プレートＧとして、図２に示すように、５種類の流路プレート（プールプレート３、第１の供給孔プレート４Ａ、供給路プレート５、第２の供給孔プレート４Ｂ、圧力発生室プレート６）が積層されたものを用いる場合は、これらの５種類の流路プレート（５種流路プレートＧ１〜Ｇ５）の形状に対応した５種類のフォトマスク（図示せず）のいずれか１種類を用いて５枚の原プレート１３のうちの対応する１枚に対して、図５（ｂ）に示すように、レジストのパターン１４ａをそれぞれ形成する。

（第３の工程）
５種流路プレートＧ１〜Ｇ５のいずれかにそれぞれ対応させてレジストのパターン１４ａが形成された原プレート１３のそれぞれを、エッチングして、原プレート１３の不要な部分を除去して、次の積層工程で互いに隣接することとなる５種流路プレートＧ１〜Ｇ５の形状を、橋渡し部１６の切断後に残存して形成される積層方向に突出した突状部１７に対向する領域に、突状部１７との当接を回避し得る逃げ溝１８を有する形状とするとともに、このような形状の５種流路プレートＧ１〜Ｇ５のいずれかの１２枚が、図５（ｃ）に示すように、バラバラにならないように、４つの橋渡し部１６によってフレーム枠１５に平面的に所定のパターンで連結したフレーム枠連結流路プレート５０を得る。なお、橋渡し部１６の数は、１枚の５種流路プレートＧ１〜Ｇ５に対して２つ以上であれば特に制限はない。また、エッチング方法としては特に制限はなく、エッチング液に浸漬させる等の汎用されている方法を用いることができる。

（第４の工程）
形成されたフレーム枠連結流路プレート５０から、５種流路プレートＧ１〜Ｇ５をそれぞれ１２枚ずつ個々に切断して分離する。切断方法としては、特に制限はないが、例えば、振動等を付与する方法、人手による方法等を挙げることができる。なお、橋渡し部１６は、５種流路プレートＧ１〜Ｇ５の外周よりも内側の領域で切断されて、突状部１７が形成されることが好ましい（図１０参照）。

（第５の工程）
分離された５種流路プレートＧ１〜Ｇ５の異種同士を組み合わせて積層し、次いで、積層流路プレートＧにノズルプレート２及び振動板７を積層して、プレート積層体Ｓを形成する。さらに、ＦＰＣ１２を配設する（図２参照）。積層方法としては特に制限はないが、例えば、接着剤を用いて積層、接合する汎用されている方法を挙げることができる。

（第１の実施の形態の効果）
（イ）逃げ溝１８は、切り欠き溝１９を延長する状態で構成されていることから、逃げ溝を簡易に形成することができる。
（ロ）橋渡し部１６によってフレーム枠１５に連結された状態で平面的に形成された、フレーム枠連結流路プレート５０の５種流路プレートＧ１〜Ｇ５は、それぞれ同一位置に同一形状の逃げ溝１８を有するように構成されることから、逃げ溝１８をバラツキなく均一に形成することができるとともに、複数枚の５種流路プレートＧ１〜Ｇ５を効率よく作製することができる。
（ハ）レジストのパターン１４ａをエッチングして所定形状の５種流路プレートＧ１〜Ｇ５を形成するため、逃げ溝１８等の複雑な形状を有する５種流路プレートＧ１〜Ｇ５を効率的に形成することができる。

［第２の実施の形態］
図６（ａ）は、第２の実施の形態に用いられる積層流路プレートＧにおける隣接する任意の２枚のうちの１枚（第１の流路プレートＧａ）の逃げ溝部分の平面図、（ｂ）は、隣接する任意の２枚のうちの他の１枚（第２の流路プレートＧｂ）の逃げ溝部分の平面図、（ｃ）は、（ａ）のＪ−Ｊ線の断面図、（ｄ）は、（ｂ）のＫ−Ｋ線の断面図、（ｅ）は、第１及び第２の流路プレートＧａ、Ｇｂを積層した場合の平面図、（ｆ）は、（ｅ）のＩ−Ｉ線の断面図である。

本実施の形態においては、５種流路プレートＧ１〜Ｇ５のそれぞれは、突状部１７との連結角部Ｄを５種流路プレートＧ１〜Ｇ５の内側方向に抉るように形成された、橋渡し部１６（図５（ｃ）参照）の切断を容易にする切り欠き溝１９を有し、逃げ溝１８は、切り欠き溝１９から独立した状態で構成されている。このため、図６においては、２つの切り欠き溝１９が示されている。このように構成されているため、橋渡し部の切断を容易に行うことができ、バリの発生量を低減することができるとともに、変形の発生を少なくすることができる。

［第３の実施の形態］
図７は、第３の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる流路プレートの平面図である。本実施の形態においては、逃げ溝１８は、切り欠き溝と同一の形状を有している。なお、図７に示す実施の形態においては、切り欠き溝として比較的幅広のものを用い、逃げ溝１８が切り欠き溝を兼用するため、切り欠き溝は図示されていない。このように構成されているため、逃げ溝１８を簡易に形成することができる。

［第４の実施の形態］
図８（ａ）〜（ｃ）は、第４の実施の形態に係る液滴吐出ヘッド（６枚の流路プレートが積層された場合）を示す断面図である。図８（ａ）に示すように、本実施の形態においては、突状部１７の形成位置に対応して、６種類の流路プレート（６種流路プレートＧ１〜Ｇ６）のうち奇数番目に積層された奇数流路プレートＧ１、Ｇ３、Ｇ５は、それぞれ同一位置に同一形状の逃げ溝１８を有するとともに、６枚の流路プレートＧ１〜Ｇ６のうち偶数番目に積層された偶数流路プレートＧ２、Ｇ４、Ｇ６は、それぞれ同一位置に同一形状の逃げ溝１８を有している。このように構成されているため、逃げ溝１８を確実かつ効率的に形成することができる。また、図８（ｂ）〜（ｃ）に示すように、突状部１７の形成位置に対応して、積層方向に隣接する６種流路プレートＧ１〜Ｇ６が干渉しないように、逃げ溝１８の形成位置を適宜変更することが好ましい。このように構成されているため、設計デザインに対応して逃げ溝１８を簡易かつ確実に形成することができる。

［第５の実施の形態］
図９は、第５の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる６枚（そのうち１枚は薄厚プレート）の流路プレートが積層された状態を示す断面図である。図９に示すように、本実施の形態にいては、６種流路プレートＧ１〜Ｇ６のうちに、厚さの薄い薄厚プレートＧ２を含み、薄厚プレートに積層方向で隣接する流路プレートＧ１、Ｇ３のそれぞれは、薄厚プレートＧ２を貫通して突出する突状部１７に対向する領域に、突状部１７との当接を回避し得る逃げ溝１８を有している。このように構成することによって、薄厚プレートを含む場合であっても、逃げ溝を簡易かつ確実に形成することができる。

［第６の実施の形態］
図１０（ａ）〜（ｂ）は、第６の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる流路プレートの平面図である。本実施の形態においては、図１０（ａ）に示すように、橋渡し部１６の短手方向の長さは、フレーム枠１５から流路プレートに至るまでに漸減するように構成されている。また、図１０（ｂ）に示すように、６種流路プレートＧ１〜Ｇ６の連結角部Ｄの近傍で橋渡し部１６の短手方向の内側向きに、凹溝１９ａを有し、凹溝１９ａ部分で切断されて、突状部１７が形成されることが好ましい。このように構成することによって、橋渡し部１６の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［第７の実施の形態］
図１１は、本発明の第７の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる流路プレートの斜視図である。本実施の形態においては、橋渡し部１６は、６種流路プレートＧ１〜Ｇ６の連結角部Ｄの近傍で２つの表面に、橋渡し部１６の短手方向に延在し、かつ厚さ方向に穿設されたハーフ溝１９ｂを有し、ハーフ溝１９ｂ部分で切断されて、突状部１７が形成されるように構成されている。このように構成することによって、橋渡し部１６の切断を簡易かつ確実に行うことができる。

［第８の実施の形態］
（カラープリンタの構成）
図１２は、本発明の第８の実施の形態に係る液滴吐出装置を適用したカラープリンタの構成図である。このカラープリンタ１００は、略箱型状の筐体１０１を有し、筐体１０１内の下部に、用紙Ｐを収容する給紙トレイ２０、筐体１０１内の上部に、記録済みの用紙Ｐが排出される排紙トレイ２１を各々配設し、給紙トレイ２０から記録位置１０２を経由して排紙トレイ２１に至る主搬送路３１ａ〜３１ｅ、及び排紙トレイ２１側から記録位置１０２側に至る反転搬送路３２に沿って用紙Ｐを搬送する搬送機構３０を有している。

記録位置１０２には、図１に示す液滴吐出ヘッド１の複数個を並列させて液滴吐出ヘッドユニットを構成し、４個の液滴吐出ヘッドユニットをそれぞれイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、黒（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する液滴吐出ヘッドユニット４１（４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋ）として用紙Ｐの搬送方向に配列して液滴吐出ヘッドアレイを構成している。詳細の配置は、後述する。

また、カラープリンタ１００は、用紙Ｐを吸着する吸着手段としての帯電ロール４３と、無端ベルト３５を介して液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋに対向して配置されたプラテン４４と、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋの近傍に配置されたメンテナンスユニット４５と、本カラープリンタ１００の各部を制御するとともに、画像信号に基づいて液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋを構成する液滴吐出ヘッド１の圧電素子８に駆動電圧を印加し、ノズル２ａからインク滴を吐出させ、用紙Ｐ上のカラー画像を記録する図示しない制御部とを備える。

液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋは、用紙Ｐの幅以上の有効印字領域を有する。なお、液滴を吐出させる方法として、圧電方式を用いたが、特に制限はなく、例えば、サーマル方式等の汎用されている方式を適宜用いることができる。

液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋの上部には、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋに対応する色のインクを収容するインクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋを配設している。各インクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋからは、インクが各液滴吐出ヘッド１に図示しない配管を経由して供給されるように構成されている。

インクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋに収容されるインクとしては特に制限はなく、例えば、水性、油性、溶剤系等の汎用されているインクを適宜用いることができる。

搬送機構３０は、給紙トレイ２０から用紙Ｐを１枚ずつ取り出して主搬送路３１ａに供給するピックアップロール３３と、主搬送路３１ａ、３１ｂ、３１ｄ、３１ｅ、及び反転搬送路３２の各部に配置され、用紙Ｐを搬送する複数の搬送ロール３４と、記録位置１０２に設けられ、用紙Ｐを排紙トレイ２１方向に搬送する無端ベルト３５と、無端ベルト３５が張架された駆動ロール３６及び従動ロール３７と、搬送ロール３４及び駆動ロール３６を駆動する図示しない駆動モータとを備える。

（カラープリンタの動作）
次に、カラープリンタ１００の動作を説明する。搬送機構３０は、制御部の制御の下に、ピックアップロール３３及び搬送ロール３４を駆動し、給紙トレイ２０から用紙Ｐを取り出して主搬送路３１ａ，３１ｂに沿って搬送する。用紙Ｐが無端ベルト３５の近傍に差し掛かると、帯電ロール４３の静電吸着力によって用紙Ｐに電荷が付与され、用紙Ｐは無端ベルト３５に吸着する。

無端ベルト３５は、駆動ロール３６の駆動によって回転移動し、用紙Ｐが記録位置１０２に搬送されると、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋによってカラー画像が記録される。

すなわち、図２に示す液滴吐出ヘッド１の液プール３ｂは、インクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋから供給されたインクで満たされており、液プール３ｂからインクが供給孔４ｂ及び供給路５ｂを介して圧力発生室６ａに供給され、圧力発生室６ａにインクが貯留している。制御部が、画像信号に基づいて複数の圧電素子８に駆動電圧を選択的に印加すると、振動板１３は圧電素子８の変形に伴ってたわみ、これにより、圧力発生室６ａ内の容積が変化し、圧力発生室６ａに貯留しているインクが連通孔５ａ，４ａ，３ａを介してノズル２ａからインク滴として用紙Ｐ上に吐出し、用紙Ｐに画像を記録する。用紙Ｐは、Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋの画像が順次上書きされ、カラー画像が記録される。

カラー画像が記録された用紙Ｐは、搬送機構３０によって主搬送路３１ｄを経由して排紙トレイ２１に排出される。

なお、両面記録モードが設定されている場合は、排紙トレイ２１に一旦排出された用紙Ｐは、再び主搬送路３１ｅに戻り、反転搬送路３２を経由して再び主搬送路３１ｂを経由して記録位置１０２に搬送され、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋによって前回記録された用紙Ｐの面と反対の面にカラー画像が記録される。

（第８の実施の形態の効果）
第８の実施の形態によれば、接合信頼性に優れた液滴吐出ヘッドを備えていることから、耐久性及び吐出性能に優れたカラープリンタを提供することができる。

なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、その発明の趣旨を逸脱しない範囲内で色々変形実施が可能である。

例えば、上記実施の形態では、圧電素子の個別電極への接続にフレキシブルプリント配線基板を用いたが、多層基板を用いてもよい。

本発明は、液滴を吐出することによって高精細な画像情報のパターンを形成することが要請される各種産業分野、例えば、高分子フィルムやガラス表面上にインクジェット法を用いてインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルタを形成したり、半田ペーストを基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したり、回路基板の配線を形成する等の電気・電子工業分野、ガラス基板等に反応試薬を吐出してサンプルとの反応を検査するバイオチップを製造する医療分野等で有効に利用される。

本発明の第１の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドの平面図である。 図１のＡ−Ａ線断面図である。 図１の分解斜視図である。 （ａ）は、第１の実施の形態に用いられる積層流路プレートにおける隣接する任意の２枚のうちの１枚（第１の流路プレート）の平面図、（ｂ）は、隣接する任意の２枚のうちの他の１枚（第２の流路プレート）の平面図、（ｃ）は、（ａ）における逃げ溝部分（Ｃ部）の拡大図、（ｄ）は、（ｂ）における逃げ溝部分（Ｄ部）の拡大図、（ｅ）は、（ｃ）のＥ−Ｅ線の断面図、（ｆ）は、（ｄ）のＦ−Ｆ線の断面図、（ｇ）は、第１及び第２の流路プレートを積層した場合の平面図、（ｈ）は、（ｇ）のＧ−Ｇ線の断面図である。 （ａ）は図１に示す液滴吐出ヘッドの製造方法の第１の工程における原プレートへのレジストの塗布を示す平面図、（ｂ）は第２の工程におけるレジストのパターンの形成を示す平面図、（ｃ）は第３の工程におけるエッチング後のフレーム枠連結流路プレートを示す平面図である。 （ａ）は、第２の実施の形態に用いられる積層流路プレートにおける隣接する任意の２枚のうちの１枚（第１の流路プレート）の逃げ溝部分の平面図、（ｂ）は、隣接する任意の２枚のうちの他の１枚（第２の流路プレート）の逃げ溝部分の平面図、（ｃ）は、（ａ）のＪ−Ｊ線の断面図、（ｄ）は、（ｂ）のＫ−Ｋ線の断面図、（ｅ）は、第１及び第２の流路プレートを積層した場合の平面図、（ｆ）は、（ｅ）のＩ−Ｉ線の断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる流路プレートの平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明の第４の実施の形態に係る液滴吐出ヘッド（６枚の流路プレートが積層された場合）を示す断面図である。 本発明の第５の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる６枚（そのうち１枚は薄厚プレート）の流路プレートが積層された状態を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の第６の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる流路プレートの平面図である。 本発明の第７の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドに用いられる流路プレートの斜視図である。 本発明の第８の実施の形態である液滴吐出装置を適用したカラープリンタのヘッドユニットの構成図である。 （ａ）は従来の液滴吐出ヘッドに用いられる積層方向に隣接する第１の流路プレートの平面図、（ｂ）は積層方向に隣接する第１の流路プレートの平面図、（ｃ）は（ａ）における突状部の部分の断面図、（ｄ）は（ｂ）における突状部の部分の断面図、（ｆ）は第１及び第２の流路プレートを積層した場合の断面図、（ｇ）は、エッチング工法の概要を示す平面図である。

符号の説明

１ 液滴吐出ヘッド
２ ノズルプレート
２ａ ノズル
３ プールプレート
３ａ 連通孔
３ｂ 液プール
４Ａ，４Ｂ 供給孔プレート
４ａ 連通孔
４ｂ 供給孔
５ 供給路プレート
５ａ 連通孔
５ｂ 供給路
６ 圧力発生室プレート
６ａ 圧力発生室
６ｂ 供給孔
７ 振動板
７ａ 供給孔
８ 圧電素子
８ａ 個別電極
８ｂ 共通電極
１２ フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）
１２ａ 導電パターン
１３ 原プレート
１４ レジスト
１４ａ レジストのパターン
１５ フレーム枠
１６ 橋渡し部
１７ 突状部
１８ 逃げ溝
１９ 切り欠き溝
１９ａ 凹溝
１９ｂ ハーフ溝
２０ 給紙トレイ
２１ 排紙トレイ
３０ 搬送機構
３１ａ〜３１ｅ 主搬送路
３２ 反転搬送路
３３ ピックアップロール
３４ 搬送ロール
３５ 無端ベルト
３６ 駆動ロール
３７ 従動ロール
４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋ 液滴吐出ヘッドユニット
４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋ インクタンク
４３ 帯電ロール
４４ プレテン
４５ メンテナンスユニット
５０ フレーム枠連結流路プレート
１００ カラープリンタ
１０１ 筐体
１０２ 記録位置
Ｐ 用紙
Ｄ 連結角部
Ｇ 積層流路プレート
Ｇａ 第１の流路プレート
Ｇｂ 第２の流路プレート
Ｇ１〜Ｇ５ ５種流路プレート
Ｇ１〜Ｇ６ ６種流路プレート
Ｇ１，Ｇ３，Ｇ５ 奇数流路プレート
Ｇ２，Ｇ４、Ｇ６ 偶数流路プレート
Ｓ プレート積層体

Claims (23)

1. 複数のノズルを有するノズルプレート、複数の前記ノズルに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレートが積層された積層流路プレート、及び振動板が積層されて形成されたプレート積層体と、圧電素子とを備え、前記圧電素子の駆動に基づく前記振動板の変形によって前記流路を経由して前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、
   複数枚の前記流路プレートのそれぞれは、エッチング工法によって、原プレートから、所定の前記流路形成孔を有する複数枚が所定のパターンで平面的に配列されるとともに、複数の橋渡し部によってフレーム枠に連結された状態で形成された後、前記橋渡し部の切断によって前記フレーム枠から分離されて形成されたものであり、かつ、前記プレート積層体の積層方向に隣接する前記流路プレートのそれぞれは、互いに、前記橋渡し部の切断後に残存して形成される、前記プレート積層体の積層方向に突出した突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 複数枚の前記流路プレートのそれぞれは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝は、前記切り欠き溝から独立した状態で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記逃げ溝は、前記切り欠き溝と同一の形状を有することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 複数枚の前記流路プレートのそれぞれは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝は、前記切り欠き溝を延長する状態で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
5. 前記原プレートから、複数の前記橋渡し部によって前記フレーム枠に連結された状態で平面的に形成された所定の前記流路プレートの複数枚は、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
6. 前記突状部の形成位置に対応して、複数枚の前記流路プレートのうち奇数番目に積層された奇数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有するとともに、複数枚の前記流路プレートのうち偶数番目に積層された偶数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
7. 複数枚の前記流路プレートのうちに、厚さの薄い薄厚プレートを含み、前記薄厚プレートに積層方向で隣接する前記流路プレートのそれぞれは、前記薄厚プレートを貫通して突出する前記突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る前記逃げ溝を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
8. 前記橋渡し部は、前記流路プレートの外周よりも内側の領域で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
9. 前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で前記橋渡し部の短手方向の内側向きに、凹溝を有し、前記凹溝部分で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
10. 前記橋渡し部の短手方向の長さは、前記フレーム枠から前記流路プレートに至るまでに漸減することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
11. 前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で少なくとも一方の表面に、前記橋渡し部の短手方向に延在し、かつ厚さ方向に穿設されたハーフ溝を有し、前記ハーフ溝部分で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
12. 複数のノズルを有するノズルプレート、複数の前記ノズルに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレートが積層された積層流路プレート、及び振動板が積層されて形成されたプレート積層体と、圧電素子とを備え、前記圧電素子の駆動に基づく前記振動板の変形によって前記流路を経由して前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを製造する方法であって、
    原プレートにレジストを塗布する第１の工程と、
    原プレート上に塗布されたレジストに、露光、現像を行い、次のエッチング工程で目的とする形状の流路プレートが得られるように、前記レジストのパターンを形成する第２の工程と、
    前記レジストのパターンが形成された前記原プレートをエッチングして、次の積層工程で互いに隣接することとなる前記流路プレートの形状を、前記橋渡し部の切断後に残存して形成される積層方向に突出した突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有する形状とするとともに、このような形状の前記流路プレートの複数枚が、複数の前記橋渡し部によって前記フレーム枠に平面的に所定のパターンで連結したフレーム枠連結流路プレートを得る第３の工程と、
    形成された前記フレーム枠連結流路プレートから、前記流路プレートを個々に切断して分離する第４の工程と、
    分離された前記流路プレートの異種同士を組み合わせて積層して前記プレート積層体を形成する第５の工程とを含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
13. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝は、前記切り欠き溝から独立した状態で構成された形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、前記逃げ溝が、前記切り欠き溝と同一の形状を有するものとなるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
15. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、前記突状部との連結角部を前記流路プレートの内側方向に抉るように形成された、前記橋渡し部の切断を容易にする切り欠き溝を有し、前記逃げ溝が、前記切り欠き溝を延長する状態で構成された形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
16. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
17. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートのうち、奇数番目に積層されることとなる奇数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有するとともに、偶数番目に積層されることとなる偶数流路プレートは、それぞれ同一位置に同一形状の前記逃げ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
18. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記流路プレートのうちに、厚さの薄い薄厚プレートを含み、前記薄厚プレートに積層方向で隣接することとなる前記流路プレートのそれぞれは、前記薄厚プレートを貫通して突出する前記突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る前記逃げ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
19. 前記第３の工程において、前記橋渡し部は、前記流路プレートの外周よりも内側の領域で切断されて、前記突状部が形成されることを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
20. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で前記橋渡し部の短手方向の内側向きに、凹溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成し、
    前記第３の工程において、前記凹溝部分で切断して、前記突状部を形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
21. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記橋渡し部の短手方向の長さは、前記フレーム枠から前記流路プレートに至るまでに漸減する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
22. 前記第４の工程において得られる前記フレーム枠連結流路プレートの前記橋渡し部は、前記流路プレートの連結角部の近傍で少なくとも一方の表面に、前記橋渡し部の短手方向に延在し、かつ厚さ方向に穿設されたハーフ溝を有する形状となるように、前記第２の工程において前記レジストのパターンを形成し、
    前記第３の工程において、前記ハーフ溝部分で切断して、前記突状部を形成することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
23. 液体を液滴として吐出する複数のノズルを有するノズルプレート、複数の前記ノズルに連通するとともに互いに連通して流路を構成する流路形成孔を有する複数枚の流路プレートが積層された積層流路プレート、及び振動板を含む複数枚のプレート群が積層されて形成されたプレート積層体と、圧電素子とを備え、前記圧電素子の駆動に基づく前記振動板の変形によって前記液体を前記流路を経由して前記複数のノズルから液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置において、
    前記液滴吐出ヘッドは、
    複数枚の前記流路プレートのそれぞれが、エッチング工法によって、原プレートから、所定の前記流路形成孔を有する複数枚が所定のパターンで平面的に配列されるとともに、複数の橋渡し部によってフレーム枠に連結された状態で形成された後、前記橋渡し部の切断によって前記フレーム枠から分離されて形成されたものであり、かつ、前記プレート積層体の積層方向に隣接する前記流路プレートのそれぞれは、互いに、前記橋渡し部の切断後に残存して形成される、前記プレート積層体の積層方向に突出した突状部に対向する領域に、前記突状部との当接を回避し得る逃げ溝を有することを特徴とする液滴吐出装置。

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