JP2007305828A - 異方性導電テープ貼付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異方性導電テープ21の貼付け対象となる基板Kを保持する基板保持手段4と、保持された基板における異方性導電テープの貼付け部位K1の裏面側から基板を支持する支持台93と、ベーステープ22の片面に異方性導電テープ21が形成された接着テープ20を上記貼付け部位の上方に供給する接着テープ供給手段3と、支持台の上方に設けられ、接着テープ供給手段から供給された接着テープを、上記貼付け部位に加圧する圧着ヘッド5と、圧着ヘッドによる加圧時に、上記貼付け部位を、基板の裏面側から熱が基板を透過するように加熱する加熱手段92,95と、圧着ヘッドと加熱手段とにより基板に貼り付けた異方性導電テープからベーステープを剥離するベーステープ剥離手段8とを備える。
【選択図】 図1
Description
(1)圧着ヘッド50により上方からベーステープ22を介して加熱するため、基板Kにおける貼付部位K1の温度と、異方性導電テープ21の基板面側温度とが貼付に適正な温度まで上昇するのに時間がかかり、タクト時間が長くなる。また、ベーステープ22と異方性導電テープ21の接合面が、基板Kにおける貼付部位K1と異方性導電テープ21の接合面よりも高温となり、ベーステープ22を剥がすまでのテープ冷却に時間がかかり、タクト時間が長くなる。
(2)貼付動作時以外で圧着ヘッド50と接着テープ20とが近接していると、圧着ヘッド50から放出される熱により接着テープ20の周辺雰囲気温度が上昇し、この状態が長時間続いた場合に異方性導電テープ21の特性が変わり劣化してしまう。このため熱圧着時以外は、圧着ヘッド50と接着テープ20とをあまり近接して配置することができず、熱圧着動作毎に圧着ヘッド50を長いストローク昇降させる必要があり、タクト時間を長くする要因である。
(3)圧着ヘッド50は、特許文献1や特許文献2に記載のように加熱手段として例えばヒーター61を内蔵する構成とされるが、異方性導電テープ貼付けのために基板Kに対する圧着面の平行度を厳しく確保する必要性があり、熱による平行調整機構部の変形を最小限に抑えるため冷却媒体の循環路や断熱材62を設ける必要があり、構造が複雑となり装置コストが高くなる。
(4)圧着ヘッド5の交換や清掃、接着テープ20のセット時や交換時に高温状態となっている圧着ヘッド50に手が接触する可能性があり、作業が危険である。
3 供給リール(接着テープ供給手段)
4 基板テーブル(基板保持手段)
5 圧着ヘッド
8 剥離ローラ(ベーステープ剥離手段)
20 接着テープ
21 異方性導電テープ
22 ベーステープ
92 IRヒーター(加熱手段)
93 支持台
95 反射板(加熱手段)
K 基板
K1 貼付け部位
Claims (5)
- 異方性導電テープ(21)の貼付け対象となる基板(K)を保持する基板保持手段(4)と、
基板保持手段(4)に保持された基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)の裏面側から基板(K)を支持する支持台(93)と、
ベーステープ(22)の片面に異方性導電テープ(21)が形成された接着テープ(20)を基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)上方に供給する接着テープ供給手段(3)と、
支持台(93)の上方に設けられ、接着テープ供給手段(3)から供給された接着テープ(20)を、基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)に加圧するための圧着ヘッド(5)と、
圧着ヘッド(5)による加圧時に、基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)を、基板(K)の裏面側から熱が基板(K)を透過するように加熱する加熱手段(92,95)と、
圧着ヘッド(5)と加熱手段(92,95)とを機能させることにより基板(K)に貼り付けた異方性導電テープ(21)からベーステープ(22)を剥離するベーステープ剥離手段(8)とを備えることを特徴とする異方性導電テープ貼付け装置。 - 前記加熱手段は、支持台(93)の下方に設けられたIRヒーター(92)と、このIRヒーター(92)から発した熱が、基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)の裏面側から基板(K)を透過して貼付け部位(K1)に向けて集熱するように末狭まりに傾斜した反射板(95)とを備える請求項1に記載の異方性導電テープ貼付け装置。
- 前記支持台(93)の下方には、加熱手段(92,95)からの熱を、基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)の裏面に向けて放出可能な熱放出孔(94)を備える請求項1または請求項2に記載の異方性導電テープ貼付け装置。
- 前記熱放出孔(94)を開放・遮蔽自在とするシャッター(96)を備える請求項3に記載の異方性導電テープ貼付け装置。
- 前記圧着ヘッド(5)は、基板(K)における異方性導電テープ(21)の貼付け部位(K1)を加熱するための加熱手段を有さない請求項1から請求項4のいずれかに記載の異方性導電テープ貼付け装置。
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