JP2007298276A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外線センサ1Aは素子基板2と蓋基板3Aとを備える。素子基板の表面には赤外線検出素子4が形成され、素子基板2と蓋基板3Aとを接合すると、赤外線検出素子4と蓋基板3Aとの間に空間5が形成される。蓋基板3Aには、赤外線検出素子4からの信号を外部に取り出す管状の管状電極7が設けられる。管状電極7の開放端は、内面凹部にゲッタ10Aを設けた封止部材9Aによって塞がれる。空間5と管状電極7の管内とは連通しており、空間5内の不純物ガスは、管状電極7を通過してゲッタ10Aにおいて吸着される。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施形態の赤外線センサ1Aについて図1を参照して説明する。図1(a)は赤外線センサ1Aの平面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A’線断面図である。
(1)赤外線検出素子4の検出信号を取り出す電極を管状電極7にし、管状電極7の円筒内と空間5とを連通させ、管状電極7の開放端を封止する封止部材9Aにゲッタ10Aを設けた。その結果、赤外線検出素子4が形成された空間5を大きくすることなく、その空間5内の不純物ガスを長期にわたり除去できる。
本発明の第2の実施形態における赤外線センサ1Bについて図3および図4を参照して説明する。第1の実施形態の赤外線センサ1Aと共通する部分は同じ符号を使用し、第1の実施形態の赤外線センサ1Aとの相違点を主に説明する。図3(a)は赤外線センサ1Bの平面図であり、図3(b)は図3(a)のB−B’線断面図である。図4はゲッタ10Bの斜視図である。相違点は、ゲッタ材の設置箇所である。図3(b)、図4に示すように、赤外線センサ1Bでは、管状電極7の内面にZrやV、Feなどの合金からなるゲッタ10Bを設けた。管状電極7の開放端は、ゲッタ材を設けないガラスなどからなる封止部材9Bによって塞がれる。空間5内の不純物ガスは、溝6aを通過して、ゲッタ10Bにおいて吸着される。
(1)第1の実施形態と同様に、赤外線検出素子4の検出信号を取り出す電極を管状電極7にし、管状電極7の円筒内周面にゲッタ10Bを設けるようにした。その結果、赤外線検出素子4が形成されている空間5を大きくすることなく、その空間5内の不純物ガスを長期にわたり除去できる。
本発明の第3の実施形態における赤外線センサ1Cについて図5を参照して説明する。第1の実施形態の赤外線センサ1Aおよび第2の実施形態の赤外線センサ1Bと共通する部分は同じ符号を使用し、第1の実施形態の赤外線センサ1Aおよび第2の実施形態の赤外線センサ1Bとの相違点を主に説明する。図5(a)は赤外線センサ1Cの平面図であり、図5(b)は図5(a)のC−C’線断面図である。
(1)第1の実施形態や第2の実施形態と同様に、赤外線検出素子4の検出信号を取り出す電極を管状電極7にし、管状電極7の円筒内にワイヤ状のゲッタ10Bを設けた。これにより、赤外線検出素子4が形成されている空間5を大きくすることなく、その空間5内の不純物ガスを長期間にわたり除去できる。
本発明の第4の実施形態における赤外線センサ1Dについて図6を参照して説明する。第1〜3の実施形態の赤外線センサ1A〜1Cと共通する部分は同じ符号を使用し、第1〜3の実施形態の赤外線センサ1A〜1Cとの相違点を主に説明する。図6(a)は赤外線センサ1Dの平面図であり、図6(b)は図6(a)のD−D’線断面図である。
(1)第1〜3の実施形態と同様に、赤外線検出素子4の検出信号を取り出す電極を管状電極7にし、管状電極7を平板状のゲッタ10Dで封止した。これにより、赤外線検出素子4が形成されている空間5を大きくすることなく、空間5内の不純物ガスを長期間にわたり除去できる。
(1)不純物ガスを吸着するものであれば、ゲッタ10A,10Bを構成する材料は実施形態に限定されない。また、不純物ガスを吸着する活性金属であれば、ゲッタ10C,10Dの材料はTiに限定されない。
3A〜3D 蓋基板 4 赤外線検出素子
5 空間 6 信号電極
6a 溝 7 管状電極
8 端子電極 9A,9B 封止部材
10A〜10D ゲッタ
Claims (8)
- 表面に機能性素子、およびその機能性素子の信号を取り出す信号電極が形成された素子基板と、
前記機能性素子を空間に密閉するために前記素子基板に接合される蓋基板とを含み、
前記蓋基板には、
前記信号電極と接続され、前記機能性素子の信号を外部へ導く管状の電極であって、前記空間に一端が連通し、他端が前記蓋基板を貫通してその外面まで延設された管状電極と、
前記管状電極の前記他端を封止する封止部材と、
前記管状電極に面して設けられ、前記空間内の不純物ガスを吸収するゲッタとを備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記ゲッタを前記封止部材の前記管状電極に面している内面に設けることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記ゲッタを前記管状電極の表面に設けることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記管状電極は傾斜面を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記ゲッタは、活性金属からなるワイヤであり、前記管状電極の管内に前記ゲッタを設けることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記ゲッタは活性金属からなり、
前記封止部材は前記ゲッタであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3または4に記載の半導体装置において、
前記封止部材は不純物ガスを吸着する活性金属からなることを特徴とする半導体装置。 - 表面に機能性素子、およびその機能性素子の信号を取り出す信号電極が形成された素子基板と、
前記機能性素子を空間に密閉するために前記素子基板に接合される蓋基板とを含む半導体装置の製造方法において、
前記信号電極と接続され、前記機能性素子の信号を外部へ導く管状の電極であって、前記空間に一端が連通し、他端が前記蓋基板を貫通してその外面まで延設された複数の管状電極を前記蓋基板に形成し、
前記複数の管状電極の他端を、不純物ガスを吸着する活性金属で封止し、
前記活性金属を切り離すことによって、前記活性金属による前記複数の管状電極間の短絡を防止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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