JP2007297682A - 酸化ジルコニウム膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 - Google Patents
酸化ジルコニウム膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007297682A JP2007297682A JP2006127444A JP2006127444A JP2007297682A JP 2007297682 A JP2007297682 A JP 2007297682A JP 2006127444 A JP2006127444 A JP 2006127444A JP 2006127444 A JP2006127444 A JP 2006127444A JP 2007297682 A JP2007297682 A JP 2007297682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zirconium oxide
- oxide film
- refractive index
- film
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】反応性ガスの存在下でジルコニウムターゲットをスパッタガスによりスパッタリングして、基板上に酸化ジルコニウム膜を成膜する酸化ジルコニウム膜の成膜方法であって、前記反応性ガスをO2、CO2、COから選ばれる1種類以上のガスとし、該反応性ガスとスパッタガスとの流量比(反応性ガス流量比)を調整して、前記酸化ジルコニウム膜の屈折率を制御する。
【選択図】図3
Description
また本発明の酸化ジルコニウム膜によれば、精度良く屈折率が制御された酸化ジルコニウム膜を提供することができる。
また本発明の反射防止膜によれば、ターゲット材料の変更頻度を低減することによって安価で低反射率に優れた反射防止膜を提供することができる。
すなわち、本発明の酸化ジルコニウム膜の成膜方法は、反応性ガスの存在下でジルコニウムターゲットをスパッタガスによりスパッタリングして、基板上に酸化ジルコニウム膜を成膜する酸化ジルコニウム膜の成膜方法であって、前記反応性ガスをO2、CO2、COから選ばれる1種類以上のガスとし、該反応性ガスとスパッタガスとの流量比を調整して、前記酸化ジルコニウム膜の屈折率を制御することを特徴とするものである。
図1に示すように、反応性スパッタリング装置SEは、真空槽1内の上部に、薄膜が形成される基板11を保持する基板ホルダ5と、基板ホルダ5を回転駆動するための駆動手段6とを備えている。また、真空槽1は、該真空槽1内を排気するための真空ポンプ(図示せず)が接続されており、真空槽1内を任意の真空度に調整できるように構成されている。
(S11)基板11を基板ホルダ5に保持させ、ジルコニウムターゲット4をスパッタ電極3の所定位置に配置する。
(S12)真空槽1内を真空排気し内部を所定圧力以下にするとともに、基板ホルダ5を回転させる。
(S13)スパッタガス7、反応性ガス8を真空槽1内に導入する。このとき、目標の屈折率とするために、反応性ガス8をO2、CO2、COから選ばれる1種類以上のガスとし、該反応性ガス8とスパッタガス7とが所定の流量比となるようにそれぞれのガス流量を調整しながら導入し、所定圧力とする。
(S14)つぎに、スパッタ電極3に電力を投入する。これにより、ジルコニウムターゲット4上にはプラズマが発生し、該ターゲット4のスパッタが開始される。
(S15)スパッタリング状態が安定したら、基板ホルダ5上の基板11に成膜を開始し、所定膜厚の酸化ジルコニウム膜を得る。
図2は、本発明の反射防止膜の構成を示す断面図である。
反射防止膜10は、基板11上に、高屈折率層13a(屈折率:nHa,膜厚:dHa)、高屈折率層13b(屈折率:nHb,膜厚:dHb)、低屈折率層14(屈折率:nL,膜厚:dL)がこの順番に積層されてなり、前記各層の屈折率が、1.6≦nA≦2.4,1.9≦nHa≦2.0,2.0≦nHb≦2.2,1.4≦nL≦1.6、かつnHa<nHbであって、前記各層の膜厚が、設計中心波長λ0(nm)に対して下記式を満足するものであり、高屈折率層13a,13bが前述した本発明の酸化ジルコニウム膜の成膜方法により成膜されてなる酸化ジルコニウム膜であることを特徴とするものである。
0.25λ0≦nHa×dHa≦0.3λ0
0.1λ0≦nHb×dHb≦0.1λ0
0.2λ0≦ nL×dL ≦0.25λ0
(実施例1)
図1に示した反応性スパッタリング装置SEを用い本発明の酸化ジルコニウム膜の成膜方法により、酸化ジルコニウム膜を成膜した例を示す。なお、スパッタ条件はスパッタターゲット:金属Zr、スパッタガス:Arを共通条件として、以下の4つの成膜条件それぞれで酸化ジルコニウム膜を作製した。なお、(反応性ガス流量比)=(O2またはCO2ガス流量)/{(O2またはCO2ガス流量)+(Arガス流量)}×100(%)とした。
・反応性ガス:O2
・反応性ガス流量比:20,60,100%
・投入電力:DC300W
・成膜時圧力:0.13Pa
・酸化ジルコニウム膜厚:90nm
・反応性ガス:O2
・反応性ガス流量比:60,100%
・投入電力:DC300W
・成膜時圧力:0.6Pa
・酸化ジルコニウム膜厚:60nm
・反応性ガス:CO2
・反応性ガス流量比:20,100%
・投入電力:DC300W
・成膜時圧力:0.13Pa
・酸化ジルコニウム膜厚:80nm
・反応性ガス:CO2
・反応性ガス流量比:20,60,100%
・投入電力:DC300W
・成膜時圧力:0.6Pa
・酸化ジルコニウム膜厚:50nm
成膜条件1の酸化ジルコニウム膜の屈折率は2.13〜2.21であり、成膜条件2の酸化ジルコニウム膜の屈折率は2.095〜2.100であり、成膜条件3の酸化ジルコニウム膜の屈折率は1.93〜2.13であり、成膜条件4の酸化ジルコニウム膜の屈折率は1.915〜2.07であった。なお、得られた酸化ジルコニウム膜はすべて透明であり消光係数k=0であった。
図1に示した反応性スパッタリング装置SEを用い、図2に示す反射防止膜を成膜した例を示す。なお、酸化ジルコニウム膜については本発明の酸化ジルコニウム膜の成膜方法により成膜を行った。また各層の成膜条件は下記の通りとした。
・ガラス基板
・スパッタターゲット :金属Zr
・反応性ガス :CO2
・反応性ガス流量比 :100%(反応性ガスのみ)
・投入電力 :300W
・成膜時圧力 :0.13Pa
・屈折率(波長589nm):1.93
・膜厚 :54.5nm
・スパッタターゲット :金属Zr
・スパッタガス :Ar
・反応性ガス :O2
・反応性ガス流量比 :20%
・投入電力 :300W
・成膜時圧力 :0.13Pa
・屈折率(波長589nm):2.2
・膜厚 :87.5nm
・スパッタターゲット :Bドープされた多結晶Si
・スパッタガス :Ar
・反応性ガス :O2
・反応性ガス流量比 :20%
・投入電力 :300W
・成膜時圧力 :0.3Pa
・屈折率(波長589nm):1.455
・膜厚 :94.5nm
Claims (5)
- 反応性ガスの存在下でジルコニウムターゲットをスパッタガスによりスパッタリングして、基板上に酸化ジルコニウム膜を成膜する酸化ジルコニウム膜の成膜方法であって、
前記反応性ガスをO2、CO2、COから選ばれる1種類以上のガスとし、該反応性ガスとスパッタガスとの流量比を調整して、前記酸化ジルコニウム膜の屈折率を制御することを特徴とする酸化ジルコニウム膜の成膜方法。 - 前記酸化ジルコニウム膜の屈折率は、1.9〜2.2の範囲内で制御されることを特徴とする請求項1に記載の酸化ジルコニウム膜の成膜方法。
- 前記スパッタガスは、Ar,Xe,Ne,Krから選ばれる1種類以上のガスであることを特徴とする請求項1に記載の酸化ジルコニウム膜の成膜方法。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の酸化ジルコニウム膜の成膜方法により成膜されてなることを特徴とする酸化ジルコニウム膜。
- 基板上に、高屈折率層a(屈折率:nHa)、高屈折率層b(屈折率:nHb)、低屈折率層がこの順番に積層されてなり、1.9≦nHa≦2.0,2.0≦nHb≦2.2かつnHa<nHbである反射防止膜において、
前記高屈折率層a及び高屈折率層bは、請求項4に記載の酸化ジルコニウム膜であることを特徴とする反射防止膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006127444A JP2007297682A (ja) | 2006-05-01 | 2006-05-01 | 酸化ジルコニウム膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006127444A JP2007297682A (ja) | 2006-05-01 | 2006-05-01 | 酸化ジルコニウム膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007297682A true JP2007297682A (ja) | 2007-11-15 |
Family
ID=38767419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006127444A Pending JP2007297682A (ja) | 2006-05-01 | 2006-05-01 | 酸化ジルコニウム膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007297682A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1068802A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-10 | Tokai Rubber Ind Ltd | 反射防止膜及びその成膜法 |
JP2000160335A (ja) * | 1998-05-22 | 2000-06-13 | Canon Inc | 薄膜材料および薄膜作成法 |
JP2002280384A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜形成方法 |
JP2005206875A (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
-
2006
- 2006-05-01 JP JP2006127444A patent/JP2007297682A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1068802A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-10 | Tokai Rubber Ind Ltd | 反射防止膜及びその成膜法 |
JP2000160335A (ja) * | 1998-05-22 | 2000-06-13 | Canon Inc | 薄膜材料および薄膜作成法 |
JP2002280384A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜形成方法 |
JP2005206875A (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100926233B1 (ko) | 다층박막 구조를 갖는 피디피 필터 및 그 제조방법 | |
US20110194181A1 (en) | Film forming method for antireflection film, antireflection film, and film forming device | |
WO1991002102A1 (en) | Film based on silicon dioxide and production thereof | |
WO2016204018A1 (ja) | 表示装置向け低反射電極およびスパッタリングターゲット | |
WO2012014664A1 (ja) | 反射積層膜およびその製造方法 | |
WO2010004937A1 (ja) | タッチパネルの製造方法及び成膜装置 | |
JP6319302B2 (ja) | 透明導電体及びその製造方法 | |
JP2009007636A (ja) | 低屈折率膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 | |
JP4793056B2 (ja) | 反射防止膜のスパッタ成膜方法 | |
JP2007310335A (ja) | 表面鏡 | |
JP4492691B2 (ja) | 透明光学膜の成膜方法 | |
JP5123785B2 (ja) | 反射防止膜の成膜方法及び反射防止膜 | |
JP2004291464A (ja) | ガスバリア性反射防止フィルム及びその製造方法 | |
JP2007297682A (ja) | 酸化ジルコニウム膜及びその成膜方法、並びに反射防止膜 | |
JP4929842B2 (ja) | Ndフィルターおよびndフィルターの製造方法 | |
JP7303496B2 (ja) | 膜付き透明基板の製造方法 | |
US5952781A (en) | Electrode for high contrast gas discharge panel and the method for manufacturing the same | |
JP4488504B2 (ja) | 光学用酸化ニオブ薄膜の製造方法 | |
JP2007140371A (ja) | 表面鏡 | |
JP2019020721A (ja) | Ndフィルタ及びその製造方法 | |
JP4553021B2 (ja) | 反射防止膜およびその製造方法 | |
KR970000382B1 (ko) | 저반사 코팅유리 및 그 제조방법 | |
JP2003121605A (ja) | 反射防止膜およびその製造方法 | |
WO2022181371A1 (ja) | 多層膜付透明基体及び画像表示装置 | |
JPH11242102A (ja) | 反射防止膜とその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090423 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090907 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110830 |