JP2007296675A - 流体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズル孔からの流体吐出に際しての逆方向流れに対する流体抵抗を大きくして吐出効率を高くし、流体供給室から圧力室への流体供給を行わせる順方向流れに対する流体抵抗を小さくして充填効率を高くする。
【解決手段】流体吐出装置を構成するインクジェット装置が、インク流体を吐出するノズル孔1と、ノズル孔1に連通する圧力室2と、圧力室2と供給流路3を介して連通して圧力室2内に流体を供給する流体供給室4とを有し、圧力室の上部開口を覆って取り付けられたダイアフラム5をアクチュエータ6により上下動させて圧力室内の圧力を変化させるように構成される。供給流路3には流体弁11が設けられており、流体供給室4から圧力室2への流体供給はスムーズに行わせ、これと逆方向流れを流体弁11により抑制する。
【選択図】図2
【解決手段】流体吐出装置を構成するインクジェット装置が、インク流体を吐出するノズル孔1と、ノズル孔1に連通する圧力室2と、圧力室2と供給流路3を介して連通して圧力室2内に流体を供給する流体供給室4とを有し、圧力室の上部開口を覆って取り付けられたダイアフラム5をアクチュエータ6により上下動させて圧力室内の圧力を変化させるように構成される。供給流路3には流体弁11が設けられており、流体供給室4から圧力室2への流体供給はスムーズに行わせ、これと逆方向流れを流体弁11により抑制する。
【選択図】図2
Description
本発明は、プリンタのインクジェット装置等に用いられる流体吐出装置に関する。
プリンタ装置に用いられるインクジェット装置は、例えば、図13に示されるように、ヘッドボディ200にフォトエッチング等により、流体(液状インク)を吐出するノズル孔201、圧力室202、供給流路203、流体供給室204を形成し、圧力室202の上部開口を覆ってダイアフラム205を取り付けるとともにダイアフラム205を上下動させるピエゾ素子等からなるアクチュエータ206を設けて構成される。流体供給室204内には供給孔204aから液状インクが供給され、これが供給流路203を通って圧力室202に供給され、圧力室202およびノズル孔201内に充満した状態となる。
このインクジェット装置によりプリントを行うときには、例えばピエゾ素子に所定の電流を印加してアクチュエータ206を上下振動させてダイアフラム205を上下動させる。これにより圧力室202内の流体の圧力が変動し、ダイアフラム205が下動して圧力室202内の圧力が高くなると内部流体すなわち液状インクがノズル孔201の先端開口201aから吐出される。このように圧力室202内の圧力が高くなったときに、内部流体はノズル孔201から吐出されるだけでなく、同時に供給側すなわち流体供給室204の側に逆流する(このとき供給流路203内での流れを逆方向流れと称する)。このため、インクジェット装置においては、圧力室202と流体供給室204とを繋ぐ供給流路203の流路断面を小さくして(絞って)上記逆流に対して流体抵抗を与えるように構成される。一般的に、供給流路203の流体抵抗がノズル孔201の流体抵抗と同程度となるように設定されており、ダイアフラム205が下動したときにノズル201から吐出される流体の量は流体通路203を通って流体供給室204に逆流する流体の量とほぼ等しくなる。
次に、アクチュエータ206によりダイアフラム205が上動されると、ダイアフラム205は圧力室202内の体積が大きくなるように作動して内部圧力が低くなる。このとき、ノズル孔201内の流体は圧力室202側に吸引されるが先端開口201aにおける流体の表面張力によりメニスカスを形成して大気が圧力室202内に吸入されるのを抑止する。このとき同時に、流体供給室204内の流体を供給流路203を通して吸引し、圧力室202内に供給させる(このとき供給流路203内での流れを順方向流れと称する)。なお、このようなインクジェット装置は、例えば、特許文献1、2に開示されている
ところで、上記のようにアクチュエータ206によりダイアフラム205が上動されて流体供給室204内の流体を圧力室202内に供給させるときに、供給流路203は上述のように上記逆方向流れに対して流体抵抗を与えるように構成されているため、この流体抵抗により流体供給室204から圧力室202への流体供給(順方向流れ)を制限する。すなわち、流体を吐出させるときに逆方向流れ防止のために不可欠な流体抵抗を持つ供給流路203が、圧力室202への流体供給(充填)を行うときの順方向流れに対してはこれを妨げる作用を行うものとなっている。このため、圧力室202内への流体充填に時間がかかり、次の吐出までに必要な時間が長くなり、このインクジェット装置を用いたプリンター装置によるプリント時間が長くなるという問題がある。
この問題を解決するには、供給流路203の流体抵抗が、ノズル孔201の先端開口201aから流体を吐出させるときにおける逆方向流れに対しては大きく、流体供給室204から圧力室202内に流体を供給させる順方向流れに対して小さくなれば良い。このように逆方向流れに対して大きく、順方向流れに対して小さな流体抵抗を有するものとして、機械式の受動弁がある。
ところが、プリンターのインクジェット装置等に用いられる流体吐出装置では、アクチュエータ206の振動数、すなわち、圧力室202の圧力変動周期は数KHz以上であり、機械式の弁ではこのような早い圧力変動に追従することは難しく、たとえ追従可能にできたとしても強度的な問題から寿命は短くなると予測される。また、流体すなわち液状インクの種類によっては固形物が分散含有されている流体もあり、この固形物が弁のシール部に付着して弁機能を低下させる可能性があるという問題がある。
さらに、通常は、インクジェットノズルは、例えば0.1mm程度の小さなピッチで配列して形成され、圧力室202および供給流路203は極く小さく形成されており、このような小さなものに機械的な弁体を組み込むのは非常に困難であるという問題がある。なお、アクチュエータ等により供給流路203の断面積を、流体の吐出・吸引に合わせてアクティブに変化させる機構を用いることも考えられるが、その構成が高価且つ複雑化し、コストおよび信頼性の面において現実的でない。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、ノズル孔からの流体吐出に際しての逆方向流れに対する流体抵抗を大きくして吐出効率を高くし、流体供給室から圧力室への流体供給を行わせる順方向流れに対する流体抵抗を小さくして充填効率を高くすることが可能で、且つ構造が簡単で製造が容易な構成の流体吐出装置を提供することを目的とする。
本発明に係る流体吐出装置は、流体を吐出するノズル孔と、前記ノズル孔に連通する空間からなる圧力室と、前記圧力室内に流体を供給する流体供給源とを有し、前記圧力室内の圧力を変化させて前記流体供給室から前記圧力室内に供給された流体を前記ノズル孔から吐出させるように構成され、前記ノズル孔から流体供給源までの間に少なくとも一つの流体弁を配設したことを特徴とする。
この流体吐出装置において、前記圧力室から前記流体供給源に至る供給流路内に前記流体弁が配設され、前記流体弁は、前記流体供給源から前記圧力室へ向く順方向流れに対する順方向流体抵抗より前記圧力室から前記流体供給源へ向く逆方向流れに対する逆方向流体抵抗の方が大きくなる構成を有しているのが好ましい。
この場合に、前記供給流路内に複数の前記流体弁を直列に配設しても、複数の前記流体弁を並列に配設しても良い。
上記流体吐出装置において、前記圧力室における前記流体供給源からの流体が供給される入口部に前記流体弁を設ける構成としても良い。
上記流体吐出装置において、前記圧力室から前記ノズル孔の先端開口部に至る吐出流路内に前記流体弁が配設され、前記流体弁は、前記圧力室から前記先端開口部へ向く順方向流れに対する順方向流体抵抗より前記先端開口部から前記圧力室へ向く逆方向流れに対する逆方向流体抵抗の方が大きくなる構成を有しているものであっても良い。
上記流体吐出装置において、前記流体弁が、前記順方向流れおよび前記逆方向流れをスムーズに流すメイン流路と、前記逆方向流れに対して流入側所定位置において前記メイン流路からスムーズに分岐するとともに前記メイン流路における前記流入側所定位置より下流側の流出側所定位置に繋がって設けられ、前記流入側所定位置から分岐して流入した流体を前記メイン流路を通る流体の流れを邪魔するように前記流出側所定位置から前記メイン流路内に流入させるサブ流路とから構成されるのが好ましい。
上記流体吐出装置において、前記流入側所定位置における前記サブ流路の流路断面積A1と、前記流入側所定位置における前記メイン流路の流路断面積A2と、前記流出側所定位置における前記サブ通路の流路断面積A3とが、条件式
A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3およびA1>A3
の少なくともいずれかを満足するように構成されているのが好ましい。
A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3およびA1>A3
の少なくともいずれかを満足するように構成されているのが好ましい。
また、上記流体吐出装置において、前記ノズル孔を下方に開口させて配置し、前記ノズル孔から上方に繋がって前記圧力室を配置し、前記圧力室から上方に繋がって前記流体供給源を配置した状態で、前記メイン流路および前記サブ流路が、前記圧力室から前記流体供給源までの全範囲内に亘って上方もしくは斜め上方に向かって延びて形成されており、内部に気泡が停留することが無いように構成されても良い。
上記流体吐出装置において、前記流入側所定位置に繋がって前記逆方向流れを前記メイン流路および前記サブ流路にスムーズに流入させるための第1整流流路と、前記流出側所定位置に繋がって前記順方向流れを前記メイン流路にスムーズに流入させるための第2整流流路とを備えるのが好ましい。
なお、前記流体弁を電気鋳造法により製造することができる。また、前記流体弁をガラス材料から製造するのが好ましい。
本発明に係る流体吐出装置によれば、ノズル孔から流体供給源までの間に少なくとも一つの流体弁を配設しており、この流体弁により、ノズル孔からの流体吐出に際しての逆方向流れに対する流体抵抗を大きくして吐出効率を高くし、流体供給室から圧力室への流体供給を行わせる順方向流れに対する流体抵抗を小さくして充填効率を高くすることができる。なお、流体弁は、従来から一般的に用いられている弁のように機械的な動きを必要とする部分はなく、流体の流れを利用して順方向と逆方向とで流路抵抗を変化させるものであり、可動部が無いことから信頼性が高く、製造が比較的容易であり、且つ高速な圧力変動に対しても追従性を確保できるという利点がある。
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。なお、本発明に係る流体吐出装置は、プリンター装置のインクジェット装置に用いるのに適しているので、以下においてはインクジェット装置に適用することを前提として説明する。但し、本発明の流体吐出装置はインクジェット装置に限定されるものではなく、その他の流体吐出用途にも用いることができるのは無論のことである。
第1実施形態
本発明の第1実施形態として、本発明に係る流体吐出装置を用いたインクジェット装置を図1〜図7を参照して説明する。このインクジェット装置は図13に示した従来のインクジェット装置と類似する構成を有しており、ヘッドボディ10に、ノズル孔1、圧力室2、供給流路3および流体供給室4を形成し、圧力室2の上部開口を覆ってダイアフラム5を取り付けるとともにダイアフラム5を上下動させるピエゾ素子等からなるアクチュエータ6を設けて構成される。
本発明の第1実施形態として、本発明に係る流体吐出装置を用いたインクジェット装置を図1〜図7を参照して説明する。このインクジェット装置は図13に示した従来のインクジェット装置と類似する構成を有しており、ヘッドボディ10に、ノズル孔1、圧力室2、供給流路3および流体供給室4を形成し、圧力室2の上部開口を覆ってダイアフラム5を取り付けるとともにダイアフラム5を上下動させるピエゾ素子等からなるアクチュエータ6を設けて構成される。
図2から良く分かるように、このように構成されるインクジェット装置が複数横方向に整列して形成されてプリンタヘッドが構成されており、ヘッドボディ10の端部に複数のノズル孔1が並んで開口している。流体供給室4はこれら複数のインクジェット装置に共通となる一つの空間から構成されている。
また、供給流路3内に流体弁11が設けられており、この流体弁11の構成を拡大して図3に示し、この構成について以下に説明する。流体弁11は、圧力室2と流体供給室4とをほぼ真っ直ぐに(もしくは図示のように鈍角を有した曲がり部を有して)繋ぐメイン流路12と、逆方向流れすなわち圧力室2から流体供給室4に向かう流れに対して流入側所定位置12aにおいてメイン流路12から分岐するとともにメイン流路12における流入側所定位置12aより下流側の流出側所定位置12bにおいてメイン流路12に繋がるサブ流路13とから構成される。このサブ流路13は、流入側所定位置12aにおいてはメイン流路12からスムーズに、すなわち、逆方向流れがメイン流路12およびサブ流路13の両方に流入し易いように分岐するが、流出側所定位置12bにおいてはメイン流路12の流れに対してサブ流路13を通った流れがほぼ直角な方向にぶつかるように合流する。
このため、図5に矢印で示す流体供給室4から圧力室2に流れる順方向流れは、主として矢印C4,C5,C3で示すようにメイン流路12を通って流れ、流出側所定位置12bからサブ流路13内に流入する矢印C6,C7で示す流れは少ない。一方、図4に矢印で示す圧力室2から流体供給室4に流れる逆方向流れは、矢印B4,B5,B6で示すように流入側所定位置12bにおいてメイン流路12とサブ流路13とに別れて流入するが、矢印B6,B7で示すサブ流路13を通る流れが流出側所定位置12bにおいて矢印B5で示すメイン流路12を通る流れにぶつかってその流れを邪魔して、逆方向流れに対する流体抵抗を与える。このことから分かるように、流体通路3内に流体弁11を設けることにより、順方向流れをメイン流路12を通してスムーズに流すので順方向流れに対する流体抵抗は比較的小さくなるが、逆方向流れは上記のようにサブ流路13の流れによりメイン流路12を通る流れを邪魔するので逆方向流れに対する流体抵抗は大きくなる。
なお、流体弁11における逆方向流れに対する流体抵抗は、流出側所定位置12bにおけるサブ流路13からメイン流路12に流れ込む流体の勢いが強い程大きくなる。このため、流入側所定位置12aにおけるサブ流路13の流路断面積A1と、流入側所定位置12aにおけるメイン流路12の流路断面積A2と、流出側所定位置12bにおけるサブ通路13の流路断面積A3とが、条件式
A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3およびA1>A3
の少なくともいずれかを満足するように構成するのが好ましい。
A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3およびA1>A3
の少なくともいずれかを満足するように構成するのが好ましい。
また、サブ流路13の流路断面積が流入側所定位置12aから流出側所定位置12bに向かって徐々に小さくなるように設定しても良い。さらに、サブ流路13の流出側所定位置12bにおけるメイン流路12への合流方向を、図示のように直角ではなく、流入側所定位置12aの方に向かって(すなわち、メイン流路12における流れに逆行する方向に向かって)メイン流路12に流入するように設定すれば、流体抵抗をより大きくすることができる。
以上の構成のインクジェット装置によりプリントを行うときには、ピエゾ素子に所定の電流を印加してアクチュエータ6を上下振動させてダイアフラム5を上下動させる。まず、図6において矢印B1で示すようにアクチュエータ6によりダイアフラム5が下動されると、圧力室2内の圧力が高くなり、その内部流体すなわち液状インクが粒状となって矢印B2で示すようにノズル孔1の先端開口1aから吐出される。これにより、ノズル孔1に対向配置されている印刷対象物に液状インクを吹き付けてプリントが行われる。
このように圧力室2内の圧力が高くなったときに、内部流体はノズル孔1から吐出されるだけでなく、同時に矢印B3で示すように供給側すなわち流体供給室4の側に供給流路3を通って逆流する(供給流路3内に逆方向流れが生じる)。ところが、上述のように供給流路3には流体弁11が設けられており、逆方向流れに対して流体弁11により大きな流体抵抗が与えられ、逆流量が制限される。このため、アクチュエータ6によりダイアフラム5が下動されて圧力室2内の圧力が高くされたときに、圧力室2内の内部流体(液状インク)はノズル孔1から吐出されるが流体供給室4に逆流する量は抑えられ、効率的なプリントが可能となる。これは特に、ノズル孔1から吐出するインク量を大きくしたいとき、すなわち、吐出インク粒径を大きくしたいときに有効である。
次に、図7に矢印C1で示すようにアクチュエータ6によりダイアフラム5が上動されると、ダイアフラム5は圧力室2内の体積が大きくなるように作動して内部圧力が低くなる。このときには、矢印C2で示すようにノズル孔1内の流体は圧力室2側に吸引されるが、先端開口1aにおける流体の表面張力によりメニスカスを形成して大気を吸入するのを抑止する。このとき同時に、流体供給室4内の流体を供給流路3を通して吸引し、矢印C3で示すように圧力室2内に供給させる(供給流路3内に順方向流れが生じる)。このとき供給流路3内に配設された流体弁11はこのような順方向流れに対する流体抵抗は小さくする構成であるため、矢印C2で示す流体の供給をスムーズに行わせる。
以上整理すると、アクチュエータ6によりダイアフラム5が下動されて圧力室2の内圧が高くなると、流体弁11により供給流路3の逆流が抑制されるので、この内圧はノズル孔1からの流体吐出に効率的に作用して吐出効率が高まり、ノズル孔1から多くの流体を吐出できる。なお、ノズル孔からの吐出量を従来と同様に設定する場合、アクチュエータ6によるダイアフラム6の下動量を小さくすることができ、この部分の構成をさらに小型化、簡易化できる。
一方、アクチュエータ6によりダイアフラム5が上動されて圧力室2の内圧が低くなるときには、流体弁11により供給流路3を流体が順方向にスムーズに流れるので充填効率が高まり、アクチュエータ6によるダイアフラム5の上下作動の高速化が可能であり、高速プリント化を図りやすい。なお、このように流体が圧力室2にスムーズに流れると圧力室2の内部圧力の低下が緩やかとなり、メニスカスの挙動も安定性が増す。
第2実施形態
次に、本発明の第2実施形態について、図8を参照して説明する。なお、この実施形態において上述の第1実施形態に係るインクジェット装置と同一構成部分については同一番号を付してその詳細説明は省略する。第2実施形態に係るインクジェット装置も、ヘッドボディ10に、ノズル孔1、圧力室2、供給流路3および流体供給室4を形成し、圧力室2の上部開口を覆って取り付けたダイアフラムをアクチュエータにより上下動させるように構成される(但し、ダイアフラム及びアクチュエータは図示せず)。
次に、本発明の第2実施形態について、図8を参照して説明する。なお、この実施形態において上述の第1実施形態に係るインクジェット装置と同一構成部分については同一番号を付してその詳細説明は省略する。第2実施形態に係るインクジェット装置も、ヘッドボディ10に、ノズル孔1、圧力室2、供給流路3および流体供給室4を形成し、圧力室2の上部開口を覆って取り付けたダイアフラムをアクチュエータにより上下動させるように構成される(但し、ダイアフラム及びアクチュエータは図示せず)。
但し、このインクジェット装置においては、圧力室2における供給流路3に繋がる入口部分に流体弁21を設けている。この流体弁21は、メイン流路22とサブ流路23とからなり、上述の流体弁11と同様に、順方向流れはスムーズに流すが、逆方向流れに大きな流体抵抗を与える構成である。その機能および作動は第1実施形態と同一であるのでその説明は省略する。
第3実施形態
本発明の第3実施形態について図9を参照して説明するが、ここでも上述の第1実施形態に係るインクジェット装置と同一構成部分については同一番号を付してその詳細説明は省略する。第3実施形態に係るインクジェット装置も、ヘッドボディ10に、ノズル孔1、圧力室2、供給流路3および流体供給室4を形成し、圧力室2の上部開口を覆って取り付けたダイアフラムをアクチュエータにより上下動させるように構成される(但し、ダイアフラム及びアクチュエータは図示せず)。
本発明の第3実施形態について図9を参照して説明するが、ここでも上述の第1実施形態に係るインクジェット装置と同一構成部分については同一番号を付してその詳細説明は省略する。第3実施形態に係るインクジェット装置も、ヘッドボディ10に、ノズル孔1、圧力室2、供給流路3および流体供給室4を形成し、圧力室2の上部開口を覆って取り付けたダイアフラムをアクチュエータにより上下動させるように構成される(但し、ダイアフラム及びアクチュエータは図示せず)。
このインクジェット装置においては、ノズル孔1内、もしくは圧力室2からノズル孔1の先端開口1aに至る吐出流路内に流体弁31が設けられる。この流体弁31はメイン流路32とサブ流路33とからなり、図9に示す形状から分かるように、圧力室2から先端開口1aに向かう順方向流れはスムーズに流すが、先端開口1aから圧力室2内に流体を吸引する逆方向流れに対して大きな流体抵抗を与える。
このように構成することにより、圧力室2の内圧が高くなったときにノズル孔1からの流体吐出はスムーズに行われるが、この内圧が低くなったときにノズル孔1内への流体吸引力に抵抗が生じてノズル孔1先端部に発生するメニスカスの後退量を抑制できるという効果が得られる。このことから分かるように、流体弁31を設けることにより圧力室2の内圧が従来より大きく低下してもノズル孔1のメニスカスを維持でき、これに伴って流体供給室4から供給流路3を通って流れる流体の供給量を増加させることができるという効果が得られる。これにより、アクチュエータによるダイアフラムの上下作動の高速化が可能であり、高速プリント化を図り易くなる。また、ノズル孔1の逆流を流体弁31により抑制できるので、ノズル孔1を大きくしてもメニスカスを維持でき、大気の吸入を防止できるので、ノズル孔1から大量の流体吐出を行わせることが容易となる。
第4実施形態
本発明の第4実施形態について図10を参照して説明する。この実施形態では、第1実施形態とほぼ同一構成のインクジェット装置を有したプリンタヘッドを、ノズル孔1の先端開口1aが下方に向くように配設している。このように配設する場合において、図10(A)に示す形状のメイン流路42およびサブ流路43からなる流体弁41を設けた例と、図10(B)に示す形状のメイン流路52およびサブ流路53からなる流体弁51を設けた例とを示している。
本発明の第4実施形態について図10を参照して説明する。この実施形態では、第1実施形態とほぼ同一構成のインクジェット装置を有したプリンタヘッドを、ノズル孔1の先端開口1aが下方に向くように配設している。このように配設する場合において、図10(A)に示す形状のメイン流路42およびサブ流路43からなる流体弁41を設けた例と、図10(B)に示す形状のメイン流路52およびサブ流路53からなる流体弁51を設けた例とを示している。
まず、図10(A)に示すように、サブ流路43が途中において上方に湾曲した形状となる流体弁41を設けた場合には、サブ流路43における湾曲部43aに気泡が滞留し易いという問題がある。このように湾曲部43a内に気泡が存在すると、圧力室2内の圧力変動に応じて気泡が体積変化してこの圧力変化を緩慢にしたり、ダイアフラムの動きに対する圧力変動の応答を遅らせたりすることになり、正常なもしくは所望の液体吐出制御を行うことができなくなるおそれがあるという問題がある。
このため、ノズル孔1の先端開口1aが下方に向くように配設する場合には、図10(B)に示すように、メイン流路52およびサブ流路53がともに上方もしくは斜め上に向かって延びるように形成した流体弁51を用い、内部に気泡が滞留することがない構成とするのが望ましい。
第5実施形態
本発明の第5実施形態について図11を参照して説明する。この実施形態のインクジェット装置は上記第4実施形態のインクジェット装置とほぼ同一構成であり、図10(B)に示すものと同一の流体弁51を設けているが、圧力室2と流体弁51とを繋ぐ比較的長い第1整流流路3aと、流体供給室4と流体弁51とを繋ぐ比較的長い第2整流流路3bとを設けた構成が相違する。このように第1および第2整流流路3a,3bを設けると、順方向流れが生じるときに流体供給室4から流入する流れが第2整流流路3bにより整流されてメイン流路52を流れる順方向流れをスムーズな流れとし、逆方向流れが生じるときにも圧力室2から流入する流れをメインおよびサブ流路52,53にスムーズに導入させることができる。
本発明の第5実施形態について図11を参照して説明する。この実施形態のインクジェット装置は上記第4実施形態のインクジェット装置とほぼ同一構成であり、図10(B)に示すものと同一の流体弁51を設けているが、圧力室2と流体弁51とを繋ぐ比較的長い第1整流流路3aと、流体供給室4と流体弁51とを繋ぐ比較的長い第2整流流路3bとを設けた構成が相違する。このように第1および第2整流流路3a,3bを設けると、順方向流れが生じるときに流体供給室4から流入する流れが第2整流流路3bにより整流されてメイン流路52を流れる順方向流れをスムーズな流れとし、逆方向流れが生じるときにも圧力室2から流入する流れをメインおよびサブ流路52,53にスムーズに導入させることができる。
第6実施形態
本発明の第6実施形態について、図12を参照して説明する。この実施形態に係るインクジェット装置も、ヘッドボディ70に、ノズル孔71、圧力室72、供給流路73および流体供給室74を形成し、圧力室72の上部開口を覆って取り付けたダイアフラム75をアクチュエータ76により上下動させるように構成される。但し、上述の第1から第5実施形態に係るインクジェット装置においては流体弁はアクチュエータの上下振動方向に直角に延びる面(すなわち、図1の紙面に垂直な面)上に形成されていたが、この第6実施形態においては、図示のようにアクチュエータ76の振動方向と同一平面上に流体弁61が形成されている。但し、この流体弁61もメイン流路62とサブ流路63とからなり、上述の流体弁と同一の機能を発揮する。なお、この構成は、所定の位置に穴を形成した薄板を積層する方式で容易に形成できる。
本発明の第6実施形態について、図12を参照して説明する。この実施形態に係るインクジェット装置も、ヘッドボディ70に、ノズル孔71、圧力室72、供給流路73および流体供給室74を形成し、圧力室72の上部開口を覆って取り付けたダイアフラム75をアクチュエータ76により上下動させるように構成される。但し、上述の第1から第5実施形態に係るインクジェット装置においては流体弁はアクチュエータの上下振動方向に直角に延びる面(すなわち、図1の紙面に垂直な面)上に形成されていたが、この第6実施形態においては、図示のようにアクチュエータ76の振動方向と同一平面上に流体弁61が形成されている。但し、この流体弁61もメイン流路62とサブ流路63とからなり、上述の流体弁と同一の機能を発揮する。なお、この構成は、所定の位置に穴を形成した薄板を積層する方式で容易に形成できる。
以上説明したように流体吐出装置(以上の実施形態ではインクジェット装置)に流体弁を形成するに当たっては高精度の加工が要求されるが、従来のインクジェット装置の製造に使われているシリコンのウェットエッチングによる加工は、シリコンの結晶軸によりエッチレートが変化して滑らかな曲面の流路を形成するのが難しいため、あまり適していない。
滑らかな曲面の流路を形成する方法としては、メッキ技術を利用した電気鋳造が考えられる。これは樹脂により作られたマスクをフォトファブリケーションにより形成する方法であり、フォトマスクの描画により自由に曲面が形成できる。
また、感光性ガラスを用いても、フォトファブリケーションによりエッチングエリアの形成を行えるので、同様な効果が得られる。
1 ノズル孔 1a 先端開口
2 圧力室 3 供給流路
4 流体供給室 5 ダイアフラム
6 アクチュエータ 10 ヘッドボディ
11,21,31,41,51,61 流体弁
12,22,32,42,52,62 メイン流路
13,23,33,43,53,63 サブ流路
2 圧力室 3 供給流路
4 流体供給室 5 ダイアフラム
6 アクチュエータ 10 ヘッドボディ
11,21,31,41,51,61 流体弁
12,22,32,42,52,62 メイン流路
13,23,33,43,53,63 サブ流路
Claims (12)
- 流体を吐出するノズル孔と、前記ノズル孔に連通する空間からなる圧力室と、前記圧力室内に流体を供給する流体供給源とを有し、前記圧力室内の圧力を変化させて前記流体供給室から前記圧力室内に供給された流体を前記ノズル孔から吐出させるように構成された流体吐出装置において、
前記ノズル孔から流体供給源までの間に少なくとも一つの流体弁を配設したことを特徴とする流体吐出装置。 - 前記圧力室から前記流体供給源に至る供給流路内に前記流体弁が配設され、
前記流体弁は、前記流体供給源から前記圧力室へ向く順方向流れに対する順方向流体抵抗より前記圧力室から前記流体供給源へ向く逆方向流れに対する逆方向流体抵抗の方が大きくなる構成を有していることを特徴とする請求項1に記載の流体吐出装置。 - 前記供給流路内に複数の前記流体弁を直列に配設したことを特徴とする請求項1もしくは2に記載の流体吐出装置。
- 前記供給流路内に複数の前記流体弁を並列に配設したことを特徴とする請求項1もしくは2に記載の流体吐出装置。
- 前記圧力室における前記流体供給源からの流体が供給される入口部に前記流体弁を設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記圧力室から前記ノズル孔の先端開口部に至る吐出流路内に前記流体弁が配設され、
前記流体弁は、前記圧力室から前記先端開口部へ向く順方向流れに対する順方向流体抵抗より前記先端開口部から前記圧力室へ向く逆方向流れに対する逆方向流体抵抗の方が大きくなる構成を有していることを特徴とする請求項1に記載の流体吐出装置。 - 前記流体弁が、
前記順方向流れおよび前記逆方向流れをスムーズに流すメイン流路と、
前記逆方向流れに対して流入側所定位置において前記メイン流路からスムーズに分岐するとともに前記メイン流路における前記流入側所定位置より下流側の流出側所定位置に繋がって設けられ、前記流入側所定位置から分岐して流入した流体を前記メイン流路を通る流体の流れを邪魔するように前記流出側所定位置から前記メイン流路内に流入させるサブ流路とから構成されることを特徴とする請求項2もしくは6に記載の流体吐出装置。 - 前記流入側所定位置における前記サブ流路の流路断面積A1と、前記流入側所定位置における前記メイン流路の流路断面積A2と、前記流出側所定位置における前記サブ通路の流路断面積A3とが、条件式
A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3およびA1>A3
の少なくともいずれかを満足するように構成されていることを特徴とする請求項7に記載の流体吐出装置。 - 前記ノズル孔を下方に開口させて配置し、前記ノズル孔から上方に繋がって前記圧力室を配置し、前記圧力室から上方に繋がって前記流体供給源を配置した状態で、前記メイン流路および前記サブ流路が、前記圧力室から前記流体供給源までの全範囲内に亘って上方もしくは斜め上方に向かって延びて形成されており、内部に気泡が停留することが無いように構成されたことを特徴とする請求項7に記載の流体吐出装置。
- 前記流入側所定位置に繋がって前記逆方向流れを前記メイン流路および前記サブ流路にスムーズに流入させるための第1整流流路と、前記流出側所定位置に繋がって前記順方向流れを前記メイン流路にスムーズに流入させるための第2整流流路とを備えることを特徴とする請求項7に記載の流体吐出装置。
- 前記流体弁を電気鋳造法により製造したことを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の流体吐出装置。
- 前記流体弁をガラス材料から製造したことを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の流体吐出装置。
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